JP2891977B2 - 鉛およびカドミウムを含まない封止剤組成物 - Google Patents
鉛およびカドミウムを含まない封止剤組成物Info
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Description
ムを含まない封止(encapsulant )剤組成物に関するも
のである。特に本発明は、電子回路の封止に使用するの
に適切な低温溶融ガラス組成物に関するものである。
を保証するために、ハイブリッド回路は封止される。そ
れ故、製造業者は、長期間の腐食から導電金属を保護す
るためにガラス封止剤を好んで用いる。
難ないくつかの特徴を示す必要がある。それらは、下に
あるレジスターのシフトを防ぐために十分に低い焼成温
度で気泡のないシール(seal)を形成しなければならな
い。ガラスがあまりにも多く流出すると、レジスター中
へ拡散し値を上方にシフトさせる。流出が十分でないと
シールにはならない。スクリーン印刷のために必要な有
機ビヒクルは、かかる低い温度で焼失しなければならな
い。すなわち、理想的な封止剤は、ビヒクルとともにス
ムーズにしかも早くスクリーン印刷されなければならな
い。すなわち、そのビヒクルは十分に低い温度で分解可
能であり、ガラスが十分に流れてシールを形成できるも
のであるから、レジスターをシフトさせるように多くて
ならない。
スは、電子回路のための封止剤として広く用いられてい
る。たいていそれらのガラスは膨張に関する高い温度係
数(TCE)を有しており、隣接した回路の層に注意深
く接合されていないとき、それはシステム破壊になり得
る本質的な機械的応力を作り出す可能性がある。
で、下にある電子回路に対する環境からの保護を提供す
る。かかる機能を果たすために、封止剤は、製造および
電子回路の通常の使用において直面する環境に耐えるた
めに、十分な耐久性をもつべきである。大多数の低い軟
化点ガラスは、酸および塩基中において耐久性に乏し
く、およびそれらの耐久性はTsが低くなるにつれて低
下する傾向がある。電子回路の大部分は、かなりの酸性
および塩基性の環境において使用されることは予期され
ていないけれども、ある程度は、製造のあいだ水および
塩基性または酸性の環境にさらされる。いくらかの製造
工程における最終段階は、有機ポリマー、たとえばエポ
キシによる付加的な封止剤を含んでいる。若干のエポキ
シ樹脂は、湿気のある大気中で塩基性環境を与えること
ができるアミンを含んでいる。
り、耐久性のあるおよび優れた濡れを提供する、無毒性
の、鉛を含んでいないおよびカドミウムを含んでいない
封止剤が要望されていた。
製品の幅広いカテゴリーから鉛およびカドミウムを減少
または除去するための努力に一致して、本発明は無毒性
の、鉛を含まないおよびカドミウムを含まないガラス封
止剤を提供するものである。さらに、本発明は、隣接し
た導電金属タブ(conductive metal tabs )に対してハ
ンダを接着するために一般に使用される酸性融剤に対し
て改善された安定性を有する鉛を含まないおよびカドミ
ウムを含まない封止剤ガラスを提供するものである。
全組成物の重量基準で、60から80重量%のBi2O3
、6から14重量%のSiO2 、5から12重量%の
B2 O3 、5から10重量%のAl2 O3 および0から
4重量%のZnOを含有する鉛を含まないおよびカドミ
ウムを含まないガラス組成物に関するものである。
のSiO2 を含有する前記に記載の組成物に関するもの
である。
℃を超えない前記に記載の組成物に関するものである。
℃を超えない前記に記載の組成物に関するものである。
%のBi2 O3 、9から12重量%のSiO2 、8から
11重量%のB2 O3 、6から8重量%のAl2 O3 お
よび0から2重量%のZnOを含有する前記に記載の組
成物に関するものである。
れた請求項1のガラスの微粉砕粒子を含有する前記に記
載の厚膜組成物に関するものである。
Al2 O3 およびそれらの混合物から選ばれる5から2
0重量%の膨張改質剤を含有する前記に記載の組成物に
関するものである。
2重量%のCr2 O3 を含有する前記に記載の組成物に
関するものである。
て、60から80重量%のBi2 O3 、6から14重量
%のSiO2 、5から12重量%のB2 O3 、5から1
0重量%のAl2 O3 および0から4重量%のZnOを
含有する鉛およびカドミウムを含まない封止剤ガラス組
成物に向けられたものである。ガラス組成物は、有機媒
体に分散され厚膜ペースト組成物を形成することができ
る。
スは、いくつかの機能を果たす必要がある。すなわち、
封止剤ガラスは、下にあるレジスターへの拡散を経由す
るガラスの流出を防ぐためにできるだけ低い温度で溶融
しおよびガラスフィルムを形成しなければならない。レ
ジスター中へのガラスの拡散があまりにも多すぎると、
封止前に測定された値から上方への抵抗シフト(resist
ance shift)によって測定されるように、抵抗は変化す
るだろう。シフトがあまりにも大きければ、上昇した抵
抗値を要求される値に調節するためのレーザートリミン
グはできないだろう。
で設計され、表1に示したように、抵抗シフトをもとの
値の3%未満まで最小にする。これは、要求される値ま
でレーザートリミングすることができる許容範囲内であ
る。さらなる説明として、適当な回路性能のために、全
てのレジスターが同様の設計値を有するように、レジス
ター材料の僅かな部分を取り除く(揮発させる)ことに
よって抵抗をトリムするのにレーザーが使用されてい
る。次いでトリムされたレジスターの安定性は、レーザ
ートリミングの後に生じる抵抗における部分的な変化の
目安である。抵抗を適切な回路性能に対する設計値に近
く保持するために、低い抵抗変化−高い安定性は必要で
ある。
要とされる流出の度合いは、Tsの関数である。厚膜形
成において、十分なガラスの流出を生み出し滑らかなガ
ラス張り(glaze )を形成するために、一般的にTsよ
り約50℃高い温度が望ましい。レジスターシフトを最
小にするために、最高焼成温度は約600℃でありおよ
び620℃を超えないことが望ましい。すなわち、本発
明において好ましいTsは、570℃を超えないように
すべきである。けれども、大きな酸安定性が要求される
ときは、ある場合は590℃のTsが使用される。
低い必要があるけれども、下にあるレジスターにガラス
が流出しおよびシールするためには十分に高い必要があ
る。レーザートリミングの後に高温および高湿度にさら
されることによるレジスタードリフト(resistor drif
t)を最小にするために、シーリングは特に重要であ
る。
うな組成を有する本発明の封止剤を用いて、最高620
℃で焼成された厚膜レジスターについてシフトおよびレ
ーザートリムドリフトを示している。
た空気中150℃でのエージングおよびその温度で規定
された時間(たいてい1,000時間)にわたって保持
したときのドリフト。規定された時間の最後に、そのレ
ジスターを取り除きおよび室温まで冷却した。抵抗を再
び測定しおよび最初の抵抗測定と比較することにより抵
抗の変化を計算した。
中の空気が85℃で相対湿度(RH)85%(85%R
H85℃)に維持されることを除いて、先のエージング
に基づくドリフト試験と同様の方法で行った。
い軟化温度のものよりも酸溶剤中でより耐久性がある。
すなわち、軟化温度を最小にすることおよび酸性への耐
久性を最大にすることについてはトレードオフの関係に
ある。かかる発明のガラスは、種々の程度の成分を用い
て製造され、かつZnOおよびAl2 O3 含有量が最も
重要であることが分かった。
は、0から低い充填のZnOおよび高い充填のAl2 O
3 で最良を示し、および低い軟化点は高い充填のZnO
および低い充填のAl2 O3 で最良を示した。ここで用
いられるように、用語の“低い”とは組成物全体を基準
にして0から4重量%の含有量として定義され、および
用語の“高い”とは組成物全体を基準にして5から10
重量%の含有量として定義される。
の範囲は、かなり低いかまたは0のZnOおよび高いA
l2 O3 の含有量を組み合わせることである。Al2 O
3 の含有量があまりにも高いとき、Tsはあまりにも高
くなる。ZnOの含有量があまりにも高いと、酸への耐
久性が失われる。
60から80重量%の範囲の量で含まれる。Bi2 O3
は63から75重量%の範囲内で使用されることが好ま
しい。
から12重量%および好ましくは8から11重量%の範
囲の量で含まれる。B2 O3 は、軟化点を低下すること
に寄与するようにガラスにおいて重要な機能を果たす。
酸または水中で不溶性である)に寄与するために、本発
明の組成物において重要である。ガラスの軟化点があま
りにも高くなるのを避けるために、SiO2 の量は14
%を超えるべきではない。SiO2 は、9から12%の
範囲内で本発明の各組成物中に存在することが望まし
い。
組成物は5から2重量%のCr2 O3 を任意に含むこと
ができる。Cr2 O3 は、ガラス中で主に顔料として機
能する。
り、例えば、成分の酸化物の形でガラスの成分をともに
溶融することおよびかかる溶融組成物を水中に注加しフ
リットを形成することから成っている。もちろんバッチ
成分は、フリット製造に関する通常の条件下、所望の酸
化物が得られるいかなる化合物でもよい。例えば、酸化
ホウ素はホウ酸から得られ、二酸化ケイ素はヒウチ石
(flint )から得られ、酸化バリウムは、炭酸バリウム
などから得られる。ガラスは、好ましくは水を用いてボ
ールミル中で粉砕し、フリットの粒径を減少しおよび本
質的に均一なサイズのフリットを得る。粒径は決定的で
はないが、好ましくは2から5ミクロン平均の範囲であ
る。
し、および溶融物を形成するまで混合物を加熱すること
による慣用のガラス製造技術によって製造される。当業
界で公知のように、加熱は最高温度まで、および溶融物
が完全に液体および均一になるような時間にわたって行
われた。本実施例では、プラスチック製のボールを備え
たポリエチレン製の広口瓶の中で振とうすることで予備
混合し、次いで白金るつぼの中で所望の温度で溶融させ
た。溶融物は最高1200℃で1.5時間にわたって加
熱された。次いで溶融物は冷水に注加された。急冷の間
の水の最高温度は、溶融物に対する水の体積の割合を増
加させることによってできるだけ低くすることができ
る。次いで粗精製のフリットは、アルミナボールを用い
たアルミナ容器中で3から24時間にわたって水中でボ
ールミルされた。
後に、過剰量の水をデカンテーションによって取り除
き、次いでフリット粉末を150℃で空気乾燥した。次
いで乾燥された粉末を325メッシュのスクリーンを通
してふるい分け、いかなる大きい粒子も取り除いた。
記された金属酸化物のみを含むことが望ましい。それに
もかかわらず、5重量%までの少ない量のアルカリ金属
酸化物およびアルカリ土類物のような酸化物を修正する
他のガラスを、それらの本質的な性質を変えることなし
に封止剤組成物に添加することができることが確認され
た。
属酸化物の混合物を溶融することによる本発明のガラス
の製造を例示するものである。しかしながら、ガラスは
適当な割合で金属酸化物をいっしょに含む2以上の無定
型ガラスを混合することでも製造できるか、または金属
酸化物といっしょに1以上の無定型ガラスを混合し適当
な割合の金属酸化物を得ることでも製造できる。
発明のガラスを用いた厚膜ペーストの製造において、ガ
ラスは適当な充填剤および有機媒体と組み合わせる必要
がある。ガラスはグリーンテープとして塗布することも
できる。
とき、それらの粒子は機械的な混合(例えば、ロールミ
ルにおいて)によって不活性な液体媒体(ビヒクル)と
混合され、スクリーン印刷に対して適切な粘稠度および
レオロジーを有するペースト状の組成物を形成する。後
者は慣用の方法で“厚膜”として印刷される。
物からなる細かく粉砕された固体の分散に対してビヒク
ルとして役立つことであり、ビヒクルに分散された形で
それはセラミックまたは他の基板に容易に塗布すること
ができる。すなわち、まず第一に有機媒体は、その中で
固体が十分な安定度で分散できるようなものでなければ
ならない。次に、それらが分散に対して優れた適用特性
をもたらすような有機媒体のレジオロジー特性でなけれ
ばならない。
法で基板に塗布される。それ故、それらはスクリーンを
容易に通り抜けることができるような適当な粘度を有す
る必要がある。さらに、スクリーンされた後にそれらを
迅速にセットアップし、それによって優れた鮮明さ(re
solution)を与えるようにするために、それらはチキソ
トロピックである必要がある。一方でレオロジー特性は
根本的に重要であり、固体および基板に関して適当な潤
湿性、優れた乾燥速度、乾燥したフィルムがラフな取り
扱いに耐えるのに十分な乾燥したフィルムの強度、およ
び優れた焼成特性を与えるように有機媒体を配合するこ
とが好ましい。焼成組成物に関して満足のいく外観もま
た重要である。
て、種々の液体は有機媒体として使用できる。大抵の厚
膜組成物に対する有機媒体は、典型的にしばしばチキソ
トロピー剤および潤湿剤をも含んでいる溶剤中の樹脂の
溶液である。溶剤はたいてい、130から350℃の範
囲内で沸騰する。
ッツ、ジブチルフタレート、ブチルカルビトール、ブチ
ルカルビトールアセテート、へキシレングリコールおよ
び高沸点のアルコール、アルコールエステルおよびテル
ピネオールを含む。これらと他の溶剤との種々の組み合
わせは、所望の粘度および揮発性を得るように配合され
る。
用されおよびしばしば好ましい樹脂は、エチルセルロー
スである。しかしながら、エチルヒドロキシエチルセル
ロース、ウッドロジン、エチルセルロースおよびフェノ
ール樹脂の混合物、低級アルコールのポリメタクリレー
トおよびエチレングリコールモノアセテートのモノブチ
ルエーテルおよびポリアルファーメチルスチレンといっ
た樹脂もまた使用できる。ガラスが水で粉砕できるため
に、本発明は水をベースにした系(water-based system
s )までそのまま拡張できる。水をベースにした系に対
して適当な樹脂は以下の通りである。すなわち、ポリビ
ニルピロリドン、PVAとのコポリマー、ヒドロキシエ
チルセルロース、メチルセルロース、ヒドロキシプロピ
ルセルロース、ソディウムカルボキシメチルセルロー
ス、ポリビニルアセテートおよび中和されたアクリルポ
リマーである。水をベースにした系に対して適当な補助
溶剤は以下の通りである。すなわち、ブチルセロソル
ブ、テトラエチレングリコール、ブチルカルビトール、
ブチルカルビトールアセテート、エチレングリコール、
グリセロール、エチレングリコールジアセテート、カル
ビトールアセテート、n−メチルピロリドン、へキシレ
ングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエー
テル、1−メトキシ−2−プロパノールアセテート、プ
ロピレングリコールフェニルエーテル、およびジプロピ
レングリコールフェニルエーテルである。
まし油およびそれらの誘導体およびエチルセルロースが
一般に使用される。もちろん、チキソトロピー剤の混入
は常に必要なわけではない。なぜなら、いかなるけん濁
溶液中でも溶剤樹脂の性質は固有の剪断減粘性と結び付
いていて、この点で単独でも適当であることができるた
めである。適当な潤湿剤は、リン酸エステルおよびソー
ヤレシチンを含む。
体の割合は、かなり変化することができ、および分散物
が適用されるときの方法および使用する有機媒体の種類
に依存する。すなわち、最終的な所望の配合物の粘度お
よび印刷の厚さによって主に決定される。通常は、優れ
た被覆を達成するために、分散物は40から90重量%
の固体および60から10重量%の有機媒体を相補的に
含む。
ることにより、および有機媒体の溶剤成分を変化させる
ことにより、本発明の組成物はキャスティグ以外の他の
方法、例えばスクリーン印刷、によって基板上に塗布で
きることが確認される。スクリーン印刷によってこの組
成物が塗布されるとき、厚膜材料に対して用いられる慣
用な有機媒体物質は、ポリマーが塗布温度で完全にその
中で溶解できる限り使用することができる。
さらに詳細に記述される。しかしながら、本発明の範囲
はそれらの実施例によっていずれかの方法に限定される
ものではない。
法を用いて測定された。それは、0.1Nの力でガラス
のペレットを圧縮し、および25℃から700℃までの
5℃/minの加熱における寸法の変化を測定するもの
である。寸法の変化が最大になる温度がTsである。
ラスよりも水中、酸性および塩基性溶液中でより耐久性
である。高い耐久性はいくつかの理由のために望まし
い。耐久性のガラスは水中で粉砕できる。すなわち、工
程は、噴射または溶剤粉砕よりコストにおいて本質的に
低い。それらは、下にある回路において露出した金属領
域にハンダを塗布した後に、融剤を洗浄するのに用いる
種々の洗浄溶液中でよく耐える。
って0.1NHClにさらしたときの重量減少である。
理想的に減少はゼロであるべきであるが、2%まで減少
したフィルムで十分なことが分かった。
せることにより製造した。すなわち、144gのBi2
O3 、23.7gのSiO2 、34.48gのH3 BO
3および18.93gのAl2 O3 3H2 Oである。得
られたガラスは以下のとおりである。すなわち、72.
21重量%のBi2 O3 、11.88重量%のSiO
2 、9.72重量%のB2 O3 、6.19重量%のAl
2 O3 および0重量%のZnOであり、これらは水中で
ボールミルされ3.12ミクロンの平均粒径になった。
そのガラスのTsは557℃であった。厚膜ペースト
は、無定型シリカおよび結晶性のアルミナ膨張充填剤の
両者、およびCr2 O3 の染料を用いて製造された。そ
のペースト組成物は以下のとおりである。すなわち、6
2.1重量%のガラス、6.7重量%のSiO2 、1
2.0重量%のAl2 O3 、0.7重量%のCr2 O3
およびエチルセルロースおよびテルピネオールから成る
18.5重量%の印刷用ビヒクル成分である。
れ、および最高温度600から620℃でベルトファー
ネス中で焼成され、厚膜マイクロ回路の封止剤のために
適切な密度の濃いガラス張りを形成した。酸安定性試験
では0.76%の重量減少が記録された。
例1において記載されたように製造され、かつ酸安定性
および軟化温度に関する試験が記録された。表2におけ
る全ての量は重量%単位で表示される。
0のZnOが高い含有量のAl2 O 3 と組み合わされた
とき、十分な酸安定性が得られることを示している。比
較の実施例7および8においては、低い含有量のAl2
O3 と組み合わせて使用した高い含有量のZnOは不十
分な酸安定性を記録したことを示した。
酸耐久性は改善されたが、好ましい範囲を超えてTsが
上昇することを示している。しかし、優れた酸耐久性が
必要であれば、高いSiO2 含有量を有するガラスを用
いることもできる。
食から導電金属を保護することができ、酸性および塩基
性の環境に強く、低温溶融し、しかも中程度の膨張を有
しており、さらに耐久性とともに優れた濡れを有する封
止剤組成物が得られる。
ウムを含んでいないことにより無毒性であり、ハンダ付
けの時に使用される酸性融剤に対しても改善された安定
性を有するものである。
Claims (8)
- 【請求項1】 全組成物の重量基準で、60から80重
量%のBi2 O3 、6から14重量%のSiO2 、5か
ら12重量%のB2 O3 、5から10重量%のAl2 O
3 および0から4重量%のZnOを含有することを特徴
とする鉛を含まないおよびカドミウムを含まないガラス
組成物。 - 【請求項2】 6から12重量%のSiO2 を含有する
ことを特徴する請求項1に記載の組成物。 - 【請求項3】 軟化温度が590℃を超えないことを特
徴とする請求項1に記載の組成物。 - 【請求項4】 軟化温度が570℃を超えないことを特
徴とする請求項2に記載の組成物。 - 【請求項5】 63から75重量%のBi2 O3 、9か
ら12重量%のSiO2 、8から11重量%のB2 O
3 、6から8重量%のAl2 O3 および0から2重量%
のZnOを含有することを特徴とする請求項1の組成
物。 - 【請求項6】 有機媒体に分散された請求項1のガラス
の微粉砕粒子を含有することを特徴とする厚膜組成物。 - 【請求項7】 さらにSiO2 、Al2 O3 およびそれ
らの混合物から選ばれる5から20重量%の膨張改質剤
を含有することを特徴とする請求項6に記載の組成物。 - 【請求項8】 さらに0.5から2重量%のCr2 O3
を含有することを特徴とする請求項6に記載の組成物。
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