JP2869596B2 - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂封止型半導体装置に
係り、特に半導体素子・共用リード・信号用リードの全
部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、樹脂封止型半導体においては、半
導体素子をタブと呼ばれる素子搭載部に固定し、タブの
周囲に複数のリードを配設し、半導体素子上の端子とリ
ードとをボンディングワイヤによって電気的に接続し
て、その周囲を封止樹脂でモールドする構造が採用され
ている。このような構造では、リードを半導体素子のボ
ンディングパッドに接続するために必要なボンディング
ワイヤが非常に細くなり、しかも、半導体素子に電源及
び基準電圧を供給するボンディングワイヤの本数を多く
とることができないため、半導体素子表面の微細なアル
ミ配線によって半導体素子各部に電源及び基準電圧を供
給する必要があった。このため、電源、基準配線のイン
ピーダンスが高くなり、半導体素子の動作速度が制限さ
れるという問題があった。
【0003】そこで、前記問題を解消するために、半導
体素子の回路形成面上に、絶縁部材を介在させて複数の
信号用リードを接着し(この構造をLOC(Lead on
Chip)構造という)、さらに半導体素子の回路形成面
の長手方向の中心線の近傍に共用リード(バスバーリー
ド)を設け、信号用リード及び共用リードと半導体素子
とをボンディングワイヤで電気的に接続した構造の樹脂
封止型半導体装置が提案されている(例えば、特開昭6
1−241959号公報)。この半導体装置では、電源
及び基準電圧を共用リードによって半導体素子の各部に
供給し、複数箇所でボンディングワイヤ接続が行われる
ので、電源及び基準電圧配線のインピーダンスを大幅に
低減することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の半導体装置では、共用リード(バスバーリー
ド)を越えてワイヤボンディングするので、生産性が悪
い上に、ワイヤと共用リードとがショートするという問
題や、装置を薄型化しにくいという問題がある。
【0005】また、近年では半導体装置の多様化が著し
く、一つの半導体素子で多くの半導体装置に対応できる
ことが望ましい。従来のように、共用リードを半導体素
子の中央付近に配置した場合は、半導体素子表面のボン
ディングパッドを、素子中央部付近に配置する必要があ
り、タブを用いた構造の半導体装置と、半導体素子を共
通化しにくいという問題もある。
【0006】本発明の目的は、共用リードと電気接続部
材とのショートを防止して、電気特性に優れ且つ装置の
多様化にも対応が容易な樹脂封止型半導体装置を提供す
ることである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、矩形状の半導体素子と、該半導体素子
に電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記
半導体素子に対して信号を伝達する信号用リードとを備
え、前記半導体素子、共用リードおよび信号用リードの
全部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装
置において、前記半導体素子表面上の少なくとも一側に
絶縁部材を介して前記共用リードを固着し、前記半導体
素子の正射影外に前記信号用リードを配置するととも
に、前記半導体素子上の電気接続領域を前記共用リード
より外側の半導体素子端部近傍に設け、前記共用リード
と電気接続領域、および前記信号用リードと電気接続領
域を電気的接続手段によってそれぞれ接続したものであ
る。
【0008】また、本発明は、矩形状の半導体素子と、
該半導体素子に電源電圧及び基準電圧を印加する共用リ
ードと、前記半導体素子に対して信号を伝達する信号用
リードとを備え、前記半導体素子、共用リードおよび信
号用リードの全部または一部が樹脂で封止された樹脂封
止型半導体装置において、前記半導体素子表面上の少な
くとも一側に絶縁部材を介して前記共用リードを固着
し、前記半導体素子裏面側に前記信号用リードの先端部
を固着するとともに、前記半導体素子上の電気接続領域
を前記共用リードより外側の半導体素子端部近傍に設
け、前記共用リードと電気接続領域を電気的接続手段に
よって接続し、さらに前記信号用リードと電気接続領域
を前記半導体素子の正射影外で電気的接続手段によって
接続したものである。
【0009】また、本発明は、矩形状の半導体素子と、
該半導体素子に電源電圧及び基準電圧を印加する共用リ
ードと、前記半導体素子に対して信号を伝達する信号用
リードとを備え、前記半導体素子、共用リードおよび信
号用リードの全部または一部が樹脂で封止された樹脂封
止型半導体装置において、前記半導体素子表面上の少な
くとも一側に絶縁部材を介して前記共用リードを固着
し、前記半導体素子上の電気接続領域を前記共用リード
より外側の半導体素子端部近傍に設けるとともに、前記
信号用リードの先端部を前記電気接続領域を回避する略
コ字状に形成して前記半導体素子表面に固着し、かつ前
記共用リードと電気接続領域、および前記信号用リード
と電気接続領域を電気的接続手段によってそれぞれ接続
したものである。
【0010】さらに、本発明は、矩形状の半導体素子
と、該半導体素子に電源電圧及び基準電圧を印加する共
用リードと、前記半導体素子に対して信号を伝達する信
号用リードとを備え、前記半導体素子、共用リードおよ
び信号用リードの全部または一部が樹脂で封止された樹
脂封止型半導体装置において、前記半導体素子表面上の
少なくとも一側端部に電気接続領域を設けるとともに、
前記半導体素子の外側に向かって複数の凸部を有する共
用リードの主要部分を絶縁部材を介して半導体素子表面
に固着し、前記共用リードの凸部と前記信号用リードの
先端部を前記電気接続領域に接続したものである。
【0011】
【作用】上記構成によれば、電気接続領域と信号用リー
ドとを接続する電気的接続手段は共用リードの上に配設
されていないので、共用リードと電気的接続手段とのシ
ョートを防ぐことができる。しかも、共用リードを介し
て、半導体素子の回路形成面のほぼ任意の位置に電源電
圧及び基準電圧を供給できるので、電気特性を向上させ
る点で有利である。さらに、半導体素子の回路形成面の
端部近傍に電気接続領域を配置することができるので、
多様な半導体装置に対応することが容易である。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従って説明
する。 (第1実施例)図1〜図3は本発明の第1実施例を示
し、図1は樹脂封止型半導体装置の部分断面斜視図、図
2はその断面図、図3は樹脂封止型半導体装置の組立工
程においてリードフレームに半導体素子を接着した状態
での平面図である。なお、図3において、鎖線Aは半導
体装置の輪郭を示している。
【0013】図において、電源電圧及び基準電圧を供給
するための共用リード3aは、半導体素子1の両側端部
近傍に設けられ、その両側端部に平行に引き伸ばされて
配置されてている。そして、共用リード3aは、半導体
素子1の回路形成面1a上でボンディングワイヤ4(以
下、単にワイヤという)によってボンディングパッド1
BPに電気的に接続されている。回路形成面1aは大部分
がポリイミドなどのパッシベーション膜で覆われている
が、電気的接続部分の領域にはパッシベーション膜がな
く回路形成面1aが露出している。共用リード3aの下
面と回路形成面1aとの間には、両者を電気的に絶縁す
るための絶縁部材2が設けられている。絶縁部材2の材
質としては、例えばポリイミドなどの高分子フィルム等
が用いられる。
【0014】また、信号用リード3bは半導体素子1の
正射影外(半導体素子1の外側)に配置され、その先端
部と半導体素子1上のボンディングパッド1BPとがワイ
ヤ4によって接続されている。共用リード3aおよび信
号用リード3b(以下、共用リード3aと信号用リード
3bを総称してリード3という)をボンディングパッド
1BPに電気的に接続するワイヤ4としては、金線、銅線
等が用いられる。
【0015】半導体素子1、リード3、ワイヤ4等は樹
脂5により封止されている。また、樹脂5の側面から外
側に出ているリード3(信号用リード3b)は、不要な
部分が切断され、実装可能な形状に成形されている。
【0016】図1および図2ではガルウィングリードと
したが、リードの形状は、Jベンド、バッドリード等で
も良い。
【0017】ところで、従来のLOC構造においては、
図13にその断面形状を示したように、共用リード3
a、信号用リード3bの両方が絶縁部材2を介して半導
体素子1に固着され、半導体素子1の中央部でワイヤボ
ンディングが行われている。この場合は、半導体素子1
の回路形成面1aのどの位置においても、半導体素子1
の中心線に沿った最寄りのボンディングパッドから短い
微細アルミ配線距離で、電源電圧、基準電圧を供給する
ことができる。しかし、図13に示したように、信号用
リード3bと半導体素子1とを電気的に接続するワイヤ
4は、共用リード3aの上を越えなければならないた
め、共用リード3aとワイヤ4とがショートし易い。ま
た、共用リードを用いない半導体装置等とではボンディ
ングパッドの配置が異なるので、半導体装置の多様化に
対応することが難しい。
【0018】これに対し、本実施例においては、矩形状
の半導体素子1の両側端部近傍に電源電圧供給用と基準
電圧供給用の共用リード3aとが夫々配置されるため、
半導体素子1表面での微細アルミ配線の距離は図13の
ものに比べて長くなるものの、従来のタブを用いた構造
に比べれば電気的特性に優れ、しかも、共用リード3a
とワイヤ4とが交差することのない位置で、半導体素子
1と信号用リード3bとをワイヤボンディングすること
が可能となる。このため、共用リード3aとワイヤ4と
がショートすることがなく、しかも共用リード3aの上
を越えてワイヤボンディングする場合に比べて、ワイヤ
4の高さを低くくできるので、半導体装置の薄型化にも
有効である。また、半導体素子1を多様な半導体装置へ
対応させることも容易となる。
【0019】(第2実施例)図4および図5は本発明の
第2実施例を示し、図4は樹脂封止型半導体装置の部分
断面斜視図、図5はその断面図である。図において、共
用リード3aは半導体素子1の両側端部近傍に配置さ
れ、半導体素子1上のボンディングパッド1BPとワイヤ
4によって電気的に接続されている。また、半導体素子
1の回路形成面1aは電気接続部分の領域のみが露出
し、それ以外の部分はポリイミドなどのパッシベーショ
ン膜で覆われている。さらに、共用リード3aの下面と
半導体素子1の回路形成面1aの間には、両者を電気的
に絶縁するためにポリイミド製の絶縁部材2が設けられ
ている。以上の構成は第1実施例と同様である。
【0020】本実施例では、信号用リード3bの先端部
が半導体素子1の回路形成面1aの裏面側に配置されて
いるところに特徴がある。そして、信号用リード3bの
半導体素子1の正射影外の部分と半導体素子1のボンデ
ィングパッド1PBとがワイヤ4によって接続されてい
る。共用リード3aと信号用リード3bを形成する場
合、図6に示すような一枚のリードフレームを用いて半
導体素子をはさんでも良いし、図7に示すように、夫々
別のリードフレームを用い、半導体素子1に接着した
後、2枚のリードフレームを例えばレーザ接合などによ
り接合しても良い。
【0021】なお、図6あるいは図7に示したリードフ
レームでは、電気的には用いない半導体素子1を支持す
るためのリード3cを備えているが、図1、図4に示し
たように、共用リード3a及び信号用リード3bで半導
体素子1を支持することもできるし、さらに共用リード
3aまたは信号用リード3bのいずれかで支持すること
も可能である。これらの場合にも、先に述べたと同様、
共用リード3aとワイヤ4とのショートを防ぐことがで
きる。また、半導体素子1は多様な構造の半導体装置に
対応させることができる。
【0022】(第3実施例)図8〜図11は本発明の第
3実施例を示し、図8は樹脂封止型半導体装置の組立工
程において、リードフレームに半導体素子を接着した状
態での平面図、図9・10は組立て後の半導体装置のX
−X線に沿った断面図、図11は組立て後の半導体装置
のY−Y線に沿った断面図である。なお、図8におい
て、鎖線Aは半導体装置外形の輪郭を示している。
【0023】図において、共用リード3aは半導体素子
1の両側端部近傍に配置され、半導体素子1上のボンデ
ィングパッド1BPとワイヤ4によって電気的に接続され
ている。また、共用リード3aの下面と半導体素子1の
間には、両者を電気的に絶縁するための絶縁部材2が設
けられている。
【0024】また、信号用リード3bの先端部は絶縁部
材2上に接着され、ボンディングパッド1BPとワイヤ4
によって電気的に接続されている。ボンディングパッド
1BPは、絶縁部材2よりも外側の、かつ信号用リード3
bの存在しない部分に配置されている。このために、信
号用リード3bとボンディングパッド1BPとをワイヤボ
ンディングする際、共用リード3aとワイヤ4とがショ
ートすることはない。また、装置の薄型化にも有効であ
る。さらに、半導体素子1は多様な構造の半導体装置に
対応させることもできる。信号用リード3bとボンディ
ングパッド1BPとのワイヤボンディングは、図9に示す
ように内側の信号用リード3bに対して行っても良い
し、図10に示すように外側の信号用リード3bに対し
て行っても良い。
【0025】本実施例においては、図8から明らかなよ
うに、信号用リード3bの先端部を電気接続領域を回避
する略コ字状に形成したので、信号用リード3bの幅が
狭くなった結果として生じたスペースにボンディングパ
ッド1BPを位置させ、ボンディングパッド1BPの配
置ピッチを狭くして半導体装置の長さを短縮できる。
た、略コ字状に形成された部分全体をボンディング領域
として使えることになり、ボンディングの信頼性が向上
する。 さらに、略コ字状の信号用リード3bが封止用樹
脂5と噛み合うので、信号用リード3bの引き抜きに対
する強度が上がる。なお、信号用リード3bの下面側で
絶縁部材2がない部分については、半導体素子1上面と
信号用リード3b下面との間に樹脂5を介在させること
ができる程度の隙間をあけておくことが望ましい。
【0026】(第4実施例)図12は本発明の第4実施
例を示し、樹脂封止型半導体装置の組立工程においてリ
ードフレームに半導体素子を接着した状態での平面図で
ある。なお、鎖線Aは半導体装置の輪郭を示している。
図において、半導体装置の外側に向って凸部を有する櫛
状の共用リード3aの主要部分は、絶縁部材2を介して
半導体素子1上に接着されている。共用リード3aの凸
部先端部は、半導体素子1とはんだボール6によってフ
リップチップボンディングされている。また、信号用リ
ード3bの先端部も半導体素子1上に引き伸ばされ、は
んだボール6によってフリップチップボンディングされ
ている。なお、リード3と半導体素子1とを電気的に接
続するために用いるのは、はんだボール6に限らず例え
ばAu等でも良い。
【0027】本実施例によっても、第1〜第3実施例で
述べたと同様の効果が得られる。
【0028】以上述べた各実施例では、リード3が2方
向に出ている場合について説明したが、1方向のみ、あ
るいは3方向以上に出ている場合についても本発明は適
用できる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
信号用リードと半導体素子とが共用リードの上を越える
ことなく電気的に接続されるため、信号用リードと半導
体素子とを接続する電気的接続手段と共用リードとのシ
ョートを防ぐことができる。
【0030】また、半導体装置としての基本的構成は従
来のもの変わりがないから、多様な構造の半導体装置へ
の対応が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による樹脂封止型半導体装
置の部分断面斜視図である。
【図2】図1に示した樹脂封止型半導体装置の断面図で
ある。
【図3】第1実施例での樹脂封止型半導体装置の組立工
程において、リードフレームに半導体素子を接着した状
態の平面図である。
【図4】本発明の第2実施例による樹脂封止型半導体装
置の部分断面斜視図である。
【図5】図4に示した樹脂封止型半導体装置の断面図で
ある。
【図6】本発明の第2実施例に用いられるリードフレー
ムの一部の斜視図である。
【図7】本発明の第2実施例に用いられるリードフレー
ムの一部の斜視図である。
【図8】本発明の第3実施例での樹脂封止型半導体装置
の組立工程において、リードフレームに半導体素子を接
着した状態の平面図である。
【図9】第3実施例による樹脂封止型半導体装置の断面
を示し、図8のX−X線に沿った図である。
【図10】第3実施例による樹脂封止型半導体装置の断
面を示し、図8のX−X線に沿った図である。
【図11】第3実施例による樹脂封止型半導体装置の断
面を示し、図8のY−Y線に沿った図である。
【図12】本発明の第4実施例での樹脂封止型半導体装
置の組立工程において、リードフレームに半導体素子を
接着した状態の平面図である。
【図13】従来の樹脂封止型半導体装置の断面図であ
る。
【符号の説明】
1 半導体素子 1a 回路形成面 1BP ボンディングパッド 2 絶縁部材 3 リード 3a 共用リード 3b 信号用リード 3c 半導体素子支持用リード 4 ワイヤ 5 樹脂 6 はんだボール
フロントページの続き (72)発明者 河野 竜治 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社 日立製作所 機械研究所内 (56)参考文献 特開 平3−204965(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 23/50

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 矩形状の半導体素子と、該半導体素子に
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記半
    導体素子に対して信号を伝達する信号用リードとを備
    え、前記半導体素子、共用リードおよび信号用リードの
    全部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装
    置において、 前記半導体素子表面上の少なくとも一側に絶縁部材を介
    して前記共用リードを固着し、前記半導体素子の正射影
    外に前記信号用リードを配置するとともに、前記半導体
    素子上の電気接続領域を前記共用リードより外側の半導
    体素子端部近傍に設け、前記共用リードと電気接続領
    域、および前記信号用リードと電気接続領域を電気的接
    続手段によってそれぞれ接続したことを特徴とする樹脂
    封止型半導体装置。
  2. 【請求項2】 矩形状の半導体素子と、該半導体素子に
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記半
    導体素子に対して信号を伝達する信号用リードとを備
    え、前記半導体素子、共用リードおよび信号用リードの
    全部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装
    置において、 前記半導体素子表面上の少なくとも一側に絶縁部材を介
    して前記共用リードを固着し、前記半導体素子裏面側に
    前記信号用リードの先端部を固着するとともに、前記半
    導体素子上の電気接続領域を前記共用リードより外側の
    半導体素子端部近傍に設け、前記共用リードと電気接続
    領域を電気的接続手段によって接続し、さらに前記信号
    用リードと電気接続領域を前記半導体素子の正射影外で
    電気的接続手段によって接続したことを特徴とする樹脂
    封止型半導体装置。
  3. 【請求項3】 半導体素子と、この半導体素子に形成さ
    れたボンディングパッドと、このボンディングパッドに
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記ボ
    ンディングパッドに対して信号を伝達する信号用リード
    と、前記半導体素子を封止する樹脂とを備えた樹脂封止
    型半導体装置において、 前記共用リードが前記ボンディングパッドよりも前記半
    導体素子の中央側に配置され、前記信号用リードの前記
    半導体素子側端部が前記ボンディングパッドよりも前記
    半導体素子の中央側に突出していることを特徴とする樹
    脂封止型半導体装置。
  4. 【請求項4】 半導体素子と、この半導体素子に形成さ
    れたボンディングパッドと、このボンディングパッドに
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記ボ
    ンディングパッドに対して信号を伝達する信号用リード
    と、前記半導体素子を封止する樹脂とを備えた樹脂封止
    型半導体装置において、 前記共用リードが前記ボンディングパッドよりも前記半
    導体素子の中央側に配置され、前記信号用リードの前記
    半導体素子側端部が前記ボンディングパッドよりも前記
    半導体素子の中央側に突出しており、この突出した領域
    において前記信号用リードの幅が前記ボンディングパッ
    ド近傍の前記信号用リードの幅よりも広い部分を有する
    ことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
  5. 【請求項5】 短形状の半導体素子と、該半導体素子に
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記半
    導体素子に対して信号を伝達する信号用リードとを備
    え、前記半導体素子、共用リードおよび信号用リードの
    全部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装
    置において、 前記半導体素子表面上の少なくとも一側に絶縁部材を介
    して前記共用リードを固着し、前記半導体素子上の電気
    接続領域を前記共用リードより外側の半導体素子端部近
    傍に設けるとともに、前記信号用リードの先端部を前記
    電気接続領域を回避する略コ字状に形成して前記半導体
    素子表面に固着し、かつ前記共用リードと電気接続領
    域、および前記信号用リードと電気接続領域を電気的接
    続手段によってそれぞれ接続したことを特徴とする樹脂
    封止型半導体装置。
  6. 【請求項6】 矩形状の半導体素子と、該半導体素子に
    電源電圧及び基準電圧を印加する共用リードと、前記半
    導体素子に対して信号を伝達する信号用リードとを備
    え、前記半導体素子、共用リードおよび信号用リードの
    全部または一部が樹脂で封止された樹脂封止型半導体装
    置において、 前記半導体素子表面上の少なくとも一側端部に電気接続
    領域を設けるとともに、前記半導体素子の外側に向かっ
    て複数の凸部を有する共用リードの主要部分を絶縁部材
    を介して半導体素子表面に固着し、前記共用リードの凸
    部と前記信号用リードの先端部を前記電気接続領域に接
    続したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
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