JP2866866B2 - レーザ光整形装置 - Google Patents
レーザ光整形装置Info
- Publication number
- JP2866866B2 JP2866866B2 JP63079326A JP7932688A JP2866866B2 JP 2866866 B2 JP2866866 B2 JP 2866866B2 JP 63079326 A JP63079326 A JP 63079326A JP 7932688 A JP7932688 A JP 7932688A JP 2866866 B2 JP2866866 B2 JP 2866866B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- light intensity
- total reflection
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ発振器から出射されたレーザ光を照
射面上の一点に絞り込むレーザ光整形装置に関する。
射面上の一点に絞り込むレーザ光整形装置に関する。
（従来の技術） 近年、レーザ光を用いたディジタル情報の記録や再生
の技術の進展に目覚ましいものがある。
の技術の進展に目覚ましいものがある。
レーザ光の応用例として、例えば音声を記録したコン
パクトディスク（CD）や音声と映像とを記録したビデオ
ディスク（VD）等の光ディスクの記録情報面にレーザ光
を絞り込んで照射させ、このレーザ光の反射光により情
報を読取る装置が開発されている。
パクトディスク（CD）や音声と映像とを記録したビデオ
ディスク（VD）等の光ディスクの記録情報面にレーザ光
を絞り込んで照射させ、このレーザ光の反射光により情
報を読取る装置が開発されている。
ところで、レーザ光を絞り込んで照射させる方法には
様々なものがあるが、一例として（Lasers ＆ Applicat
ions April 1987 P.91〜94）には、第２図に示すような
４枚の全反射ミラーを用いたレーザ光整形装置が示され
ている。
様々なものがあるが、一例として（Lasers ＆ Applicat
ions April 1987 P.91〜94）には、第２図に示すような
４枚の全反射ミラーを用いたレーザ光整形装置が示され
ている。
同図において（ａ）はレーザ発振器（図示省略）から
出射されたレーザ光の光強度分布、（ｂ）はレーザ光の
光パターン、（ｃ）はレーザ光整形装置、（ｄ）は照射
面上のレーザパターン、（ｅ）、（ｆ）は照射面上のレ
ーザ光の光強度分布を示している。
出射されたレーザ光の光強度分布、（ｂ）はレーザ光の
光パターン、（ｃ）はレーザ光整形装置、（ｄ）は照射
面上のレーザパターン、（ｅ）、（ｆ）は照射面上のレ
ーザ光の光強度分布を示している。
同図（ｃ）に示すレーザ光整形装置には、Ｘ−Ｙ方向
に調整可能な調整ねじを有するミラーホルダ（図示省
略）に取付けられた全反射ミラー1a、1b、1c、1dが対角
線上に配置されている。また全反射ミラー1aと1bおよび
全反射ミラー1cと1dの間隔は、後述する光強度の強いレ
ーザ光の幅に合されている。
に調整可能な調整ねじを有するミラーホルダ（図示省
略）に取付けられた全反射ミラー1a、1b、1c、1dが対角
線上に配置されている。また全反射ミラー1aと1bおよび
全反射ミラー1cと1dの間隔は、後述する光強度の強いレ
ーザ光の幅に合されている。
なお、同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において2aは光強
度の強いレーザ光、2b、2cは光強度の弱いレーザ光を示
している。
度の強いレーザ光、2b、2cは光強度の弱いレーザ光を示
している。
そして、レーザ発振器から出射されたレーザ光2a〜2c
は、全反射ミラー1a〜1dにより絞り込まれて照射面３上
の一点に照射される。
は、全反射ミラー1a〜1dにより絞り込まれて照射面３上
の一点に照射される。
このとき、レーザ光2aは、全反射ミラー1a〜1dに全反
射されずに通過して照射面３上に照射される。一方、レ
ーザ光2b、2cは、一旦、全反射ミラー1a、1bによって全
反射ミラー1c、1d側に全反射された後、全反射ミラー1
c、1dにより先に照射面３上に照射されたレーザ光2aに
重なるように全反射される。
射されずに通過して照射面３上に照射される。一方、レ
ーザ光2b、2cは、一旦、全反射ミラー1a、1bによって全
反射ミラー1c、1d側に全反射された後、全反射ミラー1
c、1dにより先に照射面３上に照射されたレーザ光2aに
重なるように全反射される。
またこのとき、レーザ光2a〜2cを照射面３上の一点に
集光させるために、ミラーホルダの調整ねじが操作さ
れ、全反射ミラー1a〜1dがそれぞれ所定の傾きに調整さ
れる。
集光させるために、ミラーホルダの調整ねじが操作さ
れ、全反射ミラー1a〜1dがそれぞれ所定の傾きに調整さ
れる。
この結果、照射面３上に絞り込まれて照射されたレー
ザ光2a〜2cは、同図（ｄ）に示すようにほぼ長方形とな
る。またレーザ光2a〜2cの光強度分布は同図（ｅ）に示
すように折り重なるので、同図（ｆ）に示すようにレー
ザ光の光強度分布がほぼ一定する。
ザ光2a〜2cは、同図（ｄ）に示すようにほぼ長方形とな
る。またレーザ光2a〜2cの光強度分布は同図（ｅ）に示
すように折り重なるので、同図（ｆ）に示すようにレー
ザ光の光強度分布がほぼ一定する。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した従来のレーザ光整形装置で
は、レーザ光2a〜2cを絞り込ませる際、４枚の全反射ミ
ラー1a〜1dを要するためコストが高くなってしまう。
は、レーザ光2a〜2cを絞り込ませる際、４枚の全反射ミ
ラー1a〜1dを要するためコストが高くなってしまう。
また照射面３上の一点にレーザ光2b、2cを集光させる
際、全反射ミラー1a〜1dにより２度全反射させるため、
全反射ミラー1a〜1dの傾き調整が極めて困難である。
際、全反射ミラー1a〜1dにより２度全反射させるため、
全反射ミラー1a〜1dの傾き調整が極めて困難である。
さらには照射面３上に絞り込まれて照射されるレーザ
光2b、2cの全反射は、２度行われるため、僅かではある
がレーザ光2b、2cの光強度が低下してしまい、これによ
り照射面３上のレーザ光2a〜2cの光強度のバランスが悪
くなって光強度分布の一定化に悪影響を及ぼしてしま
う。
光2b、2cの全反射は、２度行われるため、僅かではある
がレーザ光2b、2cの光強度が低下してしまい、これによ
り照射面３上のレーザ光2a〜2cの光強度のバランスが悪
くなって光強度分布の一定化に悪影響を及ぼしてしま
う。
また従来のレーザ光整形装置では、レーザ光2a〜2cの
光強度を３分割して絞り込む構造であるため、２分割ま
たは４分割以上の絞り込みに対応させることができな
い。
光強度を３分割して絞り込む構造であるため、２分割ま
たは４分割以上の絞り込みに対応させることができな
い。
本発明は、このような事情により成されたもので、簡
単な構成で全反射ミラーの傾き調整を容易かつ確実に行
え、しかも照射面でのレーザ光の光強度分布をほぼ一定
化合することのできるレーザ光整形装置を提供すること
を目的とする。
単な構成で全反射ミラーの傾き調整を容易かつ確実に行
え、しかも照射面でのレーザ光の光強度分布をほぼ一定
化合することのできるレーザ光整形装置を提供すること
を目的とする。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、レーザ発振器
から出射されたレーザ光をＸ−Ｙ方向の傾き調整が可能
な複数のミラーホルダのそれぞれの取付けられた全反射
ミラーにより全反射させ照射面上の一点に絞り込むレー
ザ光整形装置において、前記各全反射ミラーが、前記レ
ーザ光の光路上にこのレーザ光を複数に分割して前記照
射面に向けて全反射させるよう傾けられかつ段違いに設
けられ、しかも前記複数枚の全反射ミラーの内の１枚
は、前記レーザ光をその光強度分布からみて分布の略中
央に位置する光強度の強いレーザ光部分とそれ以外の光
強度の弱いレーザ光部分との複数に分けた場合の前記光
強度の強いレーザ光部分に対応して設けられたものであ
る。
から出射されたレーザ光をＸ−Ｙ方向の傾き調整が可能
な複数のミラーホルダのそれぞれの取付けられた全反射
ミラーにより全反射させ照射面上の一点に絞り込むレー
ザ光整形装置において、前記各全反射ミラーが、前記レ
ーザ光の光路上にこのレーザ光を複数に分割して前記照
射面に向けて全反射させるよう傾けられかつ段違いに設
けられ、しかも前記複数枚の全反射ミラーの内の１枚
は、前記レーザ光をその光強度分布からみて分布の略中
央に位置する光強度の強いレーザ光部分とそれ以外の光
強度の弱いレーザ光部分との複数に分けた場合の前記光
強度の強いレーザ光部分に対応して設けられたものであ
る。
（作 用） 本発明では、各全反射ミラーが、レーザ光の光路上に
該レーザ光を複数に分割して照射面に向けて全反射させ
るよう傾けられかつ段違いに設けられているために、各
全反射ミラーによるレーザ光の全反射を１度で済ませる
ことができるので、全反射ミラーの傾き調整を容易かつ
確実に行うことができる。また、全反射ミラーの枚数設
定によりレーザ光の分割数を任意に設定することがで
き、所望のレーザ光整形を行うことができる。さらに複
数枚の全反射ミラーの内の１枚は、レーザ光をその光強
度分布からみて分布の略中央に位置する光強度の強いレ
ーザ光部分とそれ以外の光強度の弱いレーザ光部分との
複数に分けた場合の光強度の強いレーザ光部分に対応し
て設けられているので、レーザ発振器から出射されたレ
ーザ光の光強度分布が一定でない場合でも照射面での光
強度分布をほぼ一定化させることができる。
該レーザ光を複数に分割して照射面に向けて全反射させ
るよう傾けられかつ段違いに設けられているために、各
全反射ミラーによるレーザ光の全反射を１度で済ませる
ことができるので、全反射ミラーの傾き調整を容易かつ
確実に行うことができる。また、全反射ミラーの枚数設
定によりレーザ光の分割数を任意に設定することがで
き、所望のレーザ光整形を行うことができる。さらに複
数枚の全反射ミラーの内の１枚は、レーザ光をその光強
度分布からみて分布の略中央に位置する光強度の強いレ
ーザ光部分とそれ以外の光強度の弱いレーザ光部分との
複数に分けた場合の光強度の強いレーザ光部分に対応し
て設けられているので、レーザ発振器から出射されたレ
ーザ光の光強度分布が一定でない場合でも照射面での光
強度分布をほぼ一定化させることができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図は、本発明をレーザ光の光強度を３分割して照
射面上に絞り込む場合のレーザ光整形装置に適用した一
実施例を示すものである。
射面上に絞り込む場合のレーザ光整形装置に適用した一
実施例を示すものである。
同図において（ａ）はレーザ発振器から出射されたレ
ーザ光の光強度分布、（ｂ）はレーザ光の光パターン、
（ｃ）はレーザ光整形装置、（ｄ）は照射面上のレーザ
パターン、（ｅ）、（ｆ）は照射面上のレーザ光の光強
度分を示している。
ーザ光の光強度分布、（ｂ）はレーザ光の光パターン、
（ｃ）はレーザ光整形装置、（ｄ）は照射面上のレーザ
パターン、（ｅ）、（ｆ）は照射面上のレーザ光の光強
度分を示している。
同図（ｃ）に示すレーザ光整形装置には、Ｘ−Ｙ軸方
向に調整可能な調整ねじを有するミラーホルダ（図示省
略）に取付けられた全反射ミラー4a、4b、4cがレーザ光
の進行方向に対しほぼ同方向に傾けられかつ段違いに設
けられている。
向に調整可能な調整ねじを有するミラーホルダ（図示省
略）に取付けられた全反射ミラー4a、4b、4cがレーザ光
の進行方向に対しほぼ同方向に傾けられかつ段違いに設
けられている。
また同図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において5aは光強度
の強いレーザ光、5b、5cは光強度の弱いレーザ光を示し
ている。
の強いレーザ光、5b、5cは光強度の弱いレーザ光を示し
ている。
そして、レーザ発振器から出射されたレーザ光5a〜5c
は、全反射ミラー4a〜4cにより絞り込まれて照射面６上
に照射される。
は、全反射ミラー4a〜4cにより絞り込まれて照射面６上
に照射される。
このとき、レーザ光5aは、全反射ミラー全反射ミラー
4aにより全反射されて照射面６上に照射される。一方、
レーザ光5b、5cはそれぞれ全反射ミラー4c、4bにより先
に照射面６上に照射されたレーザ光5aに重なるように全
反射される。
4aにより全反射されて照射面６上に照射される。一方、
レーザ光5b、5cはそれぞれ全反射ミラー4c、4bにより先
に照射面６上に照射されたレーザ光5aに重なるように全
反射される。
またこのとき、照射面６上の一点にレーザ光5a〜5cを
絞り込ませて照射させるために、ミラーホルダの調整ね
じを操作し全反射ミラー4a〜4cをそれぞれ所定の傾きに
調整する。
絞り込ませて照射させるために、ミラーホルダの調整ね
じを操作し全反射ミラー4a〜4cをそれぞれ所定の傾きに
調整する。
この結果、照射面６上に照射されたレーザ光5a〜5c
は、同図（ｄ）に示すようにほぼ長方形となる。またレ
ーザ光5a〜5cの光強度分布は、同図（ｅ）に示すように
折り重なるので、同図（ｆ）に示すようにレーザ光の光
強度分布がほぼ一定する。
は、同図（ｄ）に示すようにほぼ長方形となる。またレ
ーザ光5a〜5cの光強度分布は、同図（ｅ）に示すように
折り重なるので、同図（ｆ）に示すようにレーザ光の光
強度分布がほぼ一定する。
このように、本実施例のレーザ光整形装置は、３分割
されたレーザ光5a〜5cの絞り込んでの照射が、３枚の全
反射ミラー4a〜4cにより行われるので、第２図の４枚の
全反射ミラー1a〜1cを設けたレーザ光整形装置に比べコ
ストを低減させることができる。
されたレーザ光5a〜5cの絞り込んでの照射が、３枚の全
反射ミラー4a〜4cにより行われるので、第２図の４枚の
全反射ミラー1a〜1cを設けたレーザ光整形装置に比べコ
ストを低減させることができる。
また照射面６上の一点に照射されるレーザ光5a〜5cの
絞り込みが全反射ミラー4a〜4cにより１度の全反射で済
むので、全反射ミラー4a〜4cの傾き調整を極めて容易に
行える。
絞り込みが全反射ミラー4a〜4cにより１度の全反射で済
むので、全反射ミラー4a〜4cの傾き調整を極めて容易に
行える。
さらには、レーザ光5a〜5cの絞り込みが１度の全反射
で済むので、レーザ光5a〜5cの光強度の低下を防止する
ことができ、これにより照射面６上のレーザ光5a〜5cの
光強度のバランスが良く、光強度分布の一定したレーザ
光5a〜5cが得られる。
で済むので、レーザ光5a〜5cの光強度の低下を防止する
ことができ、これにより照射面６上のレーザ光5a〜5cの
光強度のバランスが良く、光強度分布の一定したレーザ
光5a〜5cが得られる。
なお、本実施例では、全反射ミラーを３枚用いて、レ
ーザ光の光強度を３分割する例について説明したが、こ
の例に限らず、全反射ミラーを２枚または４以上用いて
それぞれレーザ光の光強度を２分割または４分割以上に
分割させてもよい。
ーザ光の光強度を３分割する例について説明したが、こ
の例に限らず、全反射ミラーを２枚または４以上用いて
それぞれレーザ光の光強度を２分割または４分割以上に
分割させてもよい。
［発明の効果］ 以上、説明したように、本発明のレーザ光整形装置
は、簡単な構成で全反射ミラーの傾き調整を容易かつ確
実に行うことができ、これにより信頼性が向上するとと
もに、レーザ光の分割数を任意の数に設定することがで
き、所望のレーザ光整形を行うことができ、さらには照
射面でのレーザ光の光強度分布をほぼ一定化させること
ができる。
は、簡単な構成で全反射ミラーの傾き調整を容易かつ確
実に行うことができ、これにより信頼性が向上するとと
もに、レーザ光の分割数を任意の数に設定することがで
き、所望のレーザ光整形を行うことができ、さらには照
射面でのレーザ光の光強度分布をほぼ一定化させること
ができる。
第１図は本発明をレーザ光の光強度分布を３分割する場
合に適用した一実施例を示すもので、（ａ）はレーザ発
振器から出射されたレーザ光の光強度分布、（ｂ）はレ
ーザ光の光パターン、（ｃ）はレーザ光整形装置、
（ｄ）は照射面上のレーザパターン、（ｅ）、（ｆ）は
照射面上のレーザ光の光強度分布をそれぞれ示す図、第
２図は従来のレーザ光整形装置を示すもので、（ａ）は
レーザ発振器から出射されたレーザ光の光強度分布、
（ｂ）はレーザ光の光パターン、（ｃ）はレーザ光整形
装置、（ａ）は照射面上のレーザパターン、（ｅ）、
（ｆ）は照射面上のレーザ光の光強度分布をそれぞれ示
す図である。 4a、4b、4c……全反射ミラー、5a……光強度の強いレー
ザ光、5b、5c……光強度の弱いレーザ光、６……照射
面。
合に適用した一実施例を示すもので、（ａ）はレーザ発
振器から出射されたレーザ光の光強度分布、（ｂ）はレ
ーザ光の光パターン、（ｃ）はレーザ光整形装置、
（ｄ）は照射面上のレーザパターン、（ｅ）、（ｆ）は
照射面上のレーザ光の光強度分布をそれぞれ示す図、第
２図は従来のレーザ光整形装置を示すもので、（ａ）は
レーザ発振器から出射されたレーザ光の光強度分布、
（ｂ）はレーザ光の光パターン、（ｃ）はレーザ光整形
装置、（ａ）は照射面上のレーザパターン、（ｅ）、
（ｆ）は照射面上のレーザ光の光強度分布をそれぞれ示
す図である。 4a、4b、4c……全反射ミラー、5a……光強度の強いレー
ザ光、5b、5c……光強度の弱いレーザ光、６……照射
面。
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ発振器から出射されたレーザ光をＸ
−Ｙ方向の傾き調整が可能な複数のミラーホルダのそれ
ぞれに取付けられた全反射ミラーにより全反射させ照射
面上の一点に絞り込むレーザ光整形装置において、前記
各全反射ミラーが、前記レーザ光の光路上にこのレーザ
光を複数に分割して前記照射面に向けて全反射させるよ
う傾けられかつ段違いに設けられ、しかも前記複数枚の
全反射ミラーの内の１枚は、前記レーザ光をその光強度
分布からみて分布の略中央に位置する光強度の強いレー
ザ光部分とそれ以外の光強度の弱いレーザ光部分との複
数に分けた場合の前記光強度の強いレーザ光部分に対応
して設けられていることを特徴とするレーザ光整形装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079326A JP2866866B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | レーザ光整形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079326A JP2866866B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | レーザ光整形装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01251440A JPH01251440A (ja) | 1989-10-06 |
| JP2866866B2 true JP2866866B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=13686761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63079326A Expired - Fee Related JP2866866B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | レーザ光整形装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2866866B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2635372B2 (ja) * | 1988-06-28 | 1997-07-30 | 松下電器産業株式会社 | 光ヘッド |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ZA787030B (en) * | 1978-02-22 | 1979-11-28 | Minnesota Mining & Mfg | Tilted panel linear echelon solar collector |
| JPS57200001A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-08 | Toshiba Corp | Optical record information reader |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63079326A patent/JP2866866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01251440A (ja) | 1989-10-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61116360A (ja) | レ−ザ光線リトグラフ | |
| EP0184750A2 (en) | Optical recording and reproducing device | |
| US4272651A (en) | Optical system having diode laser light source | |
| JPH11218686A (ja) | 光学像記録装置及びそれを利用する方法 | |
| JP2866866B2 (ja) | レーザ光整形装置 | |
| JPS6383931A (ja) | 発光素子 | |
| JPH08307006A (ja) | 半導体レーザ | |
| JPH0652582B2 (ja) | 光ヘッド | |
| JPS62298035A (ja) | 光記録装置 | |
| JPS5443756A (en) | Optically recording and reproducing apparatus | |
| JPH11162022A (ja) | 光学記録装置 | |
| JPH0231278Y2 (ja) | ||
| JPH04362547A (ja) | ビームエキスパンダ及び光ディスク原盤露光機 | |
| JPS6242340A (ja) | 光学式情報記録再生装置 | |
| JPH08161750A (ja) | 光ディスク原盤記録装置 | |
| JPS63300445A (ja) | 光ディスク製造装置 | |
| JPH03132922A (ja) | 光記録媒体記録再生消去装置 | |
| JPS6325844A (ja) | 光学ヘツド | |
| KR100186292B1 (ko) | 광디스크 스탬퍼 제조를 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| JPH02250024A (ja) | 半導体レーザを使用した光学装置 | |
| JPH11273135A (ja) | 光スポット照射装置 | |
| JPH04351729A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
| JP2002107941A (ja) | 光加工方法、光加工装置、光デバイス、及びスタンパ | |
| JPH0365863A (ja) | 光走査装置 | |
| JPS63244784A (ja) | 多重発光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |