JPS63300445A

JPS63300445A - 光ディスク製造装置

Info

Publication number: JPS63300445A
Application number: JP13753187A
Authority: JP
Inventors: Minemasa Oota; 岑正太田
Original assignee: Pioneer Video Corp; Pioneer Electronic Corp
Current assignee: Pioneer Video Corp; Pioneer Corp
Priority date: 1987-05-29
Filing date: 1987-05-29
Publication date: 1988-12-07
Anticipated expiration: 2010-03-06
Also published as: JPH0719397B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】１丘且１本発明は、光ディスクの原盤を作成するマスタリング工
程において、制御用ピット又は案内溝を該原盤に形成す
る光ディスク製造装置に関する。

１１且薫従来、ユーザによる書き込みができる追記型光ディスク
として、案内溝及びアドレスピットを右するものとピッ
ト列のみを有するものとが知られている。かかるピット
列のみを有する光ディスクにおいては、第３図に示す如
きピットが光ディスクの原盤上に間欠的に形成される。

この複数のピット列Ｐは読み取り装置のためサーボ領域
をなしトラッキング及びアドレス情報を担持する。サー
ボ領域Ｐに続く部分は追記領域Ｒでありピット列は予め
形成されておらず、復にユーザによりピット２が追記さ
れる。これらサーボ領域Ｐ、追記領域Ｒは光ディスク上
に渦巻状に形成されトラックとなるが、この案内用のピ
ット列は、トラック方向Ｔに関してずれ幅（＋δ）、（
−δ）の対で原盤の半径方向に偏倚して形成されたトラ
ッキングサーボ用のピット１ａ、１ｂと、このピット１
ａ。

１ｂの位置を検出するセクタマークピット１ｃとにより
構成されている。このセクタマークピット１Ｃはトラッ
クの中心Ｔにあり原盤の半径方向において偏倚されてい
ない。

マスタリング工程において、このように蛇行した案内用
ピット列Ｐを光ディスク原盤に形成するために、第４図
の如き光ディスク記録装置が開発されている（特開昭６
１−１７０９３４号公報）。

かかる装置においては、記録用のＡｒレーザ光源２１か
ら放射されたレーザビーム２２は、偏向レンズ２３によ
って超音波光変調器２４に所定の周波数応答特性を得る
ように集光され、この超音波光変調器２４によってレー
ザビーム２２の強度変調を可能としている。

光変調器２４を通過したレーザビームは、コンバータ６
からのフォーマット信号７に応じて光変調され、レーザ
光束補正光学系２５を通って反射ミラー２８によって反
射され、対物レンズ２７を通過して、フォトレジストを
担持した原盤２９の主面上にスポット３０として絞り込
まれる。原盤２９は、スピンドルモータ３１によって回
転駆動されており、螺旋状又は同心円状のトラックに沿
って間欠的に露光されるようにスポット３０に対し相対
的に移動自在となっている。

かかる従来装置によって第３図に示す如くピット１及び
２を蛇行させるためには、超音波光変調器２４は以下の
ように！ｉ１１御される。

先ず変調信号源３２において、第５図（Ａ）に示す如き
変調信号３３を第５図（ａ）（ｂ）に示す如きトラッキ
ングサーボ用ピットｉａ、ｉｂを形成する信号３３ａ、
３３ｂ及び第５図（Ｃ）に示す如きセクターマークピッ
ト２を形成する信号３３Ｃとなるように３つの変調信号
に時間分割する。次に、この各々の信号３３ａ、３３ｂ
、３３Ｃを異なるキャリア周波数で発！する超音波米麦
ｉｔ’−ｚ’ｚｌａ、４ｂ、４ｃに入力する。この各超
音波光変調ドライバ回路からの出カ信＠５５ａ。

５５ｂ、５５Ｃを高周波コンバータ６によって加ＷＬ、
、フォーマット信号７とする。このフォーマット信号７
を超音波変ｍ器２４に入力し、レーザビーム２２を変調
させる。ここで異なるキャリア周波数の各々の間には、
レーザビーム２２をウオブリングさせるために一定の関
係が付与されている。

このように従来の光ディスク記録装置においては、超音
波光変調器２４をｔ、ｌＩ御することにより、レーザビ
ームを、例えばパルス変調し同時に偏向させてレーザビ
ームスポットを微少ずれ幅（±δ）だけ蛇行させ露光を
行っている。

しかしながら、かがる従来装置においては、次のような
問題がある。

まず、超音波光変調器２４に入射するレーザビームがそ
の超音波光変調素子の中心部で焦点を結ぶように集光さ
せて使用される場合、その集光点と対物レンズ２７で絞
られた原盤上の集光された焦点とが共役になり、キャリ
ア周波数を変えても対物レンズによって集光される原盤
上のレーザビームの露光位置３０の変化が十分に取れな
いという問題がある。また、この問題を除くために超音
波光変調素子へのレーザビームの焦光位置を正規の位置
からずらすか、又は後の光学系２５においてレーザビー
ムの偏倚が大となるように構成しなければならず、この
場合レーザビームの光路が艮（なるため記録装置におけ
る光変調の応答性及び安定性が低くなる。

また、超音波光変調ドライバ４ａ、４ｂ、４ｃにおいて
は、各キャリア周波数が１５０〜２００ＭＨｚと高い状
態においても早い応答性をもってキャリア周波数を切り
換えることのできる高周波処理回路及びキャリア周波数
発生回路が必要になり、超音波光変調ドライバの構成が
複雑化する。

さらに、キャリア周波数を切り換える間にレーザビーム
の通過を阻止する特性の超音波光変調素子を必要とする
故に、第３図に示すピット列Ｐにおけるトラッキングサ
ーボ用ピットのブロックとセクターマークピットのブロ
ックとの間の路ｇｉｌｄを短くするには限界が生じる。

よって、ピットの高密度化や読み取られたピット情報の
転送レートの高速化を阻む問題が生じる。

ｌ豆立且１そこで、本発明の目的は、上記した従来技術の問題点を
解決し、高密度のトラッキングサーボ用ピット又は案内
溝を形成できる光ディスク製造装置を提供することであ
る。

本発明の光ディスク製造装置は、記録トラック位置を予
め定めるために半径方向において互いに偏倚したピット
（案内溝を含む）を有する光ディスクを製造する製造装
置であって、単一の光ビームを発生させる光源と、光ビ
ームを分ｖ１シ複数の光ビームになす光分割手段と、分
割された光ビームの各々を変調する複数の光変調手段と
、変調された光ビームの各々を偏向させ光ディスク原盤
の半径方向において互いに偏倚した複数の露光位置に照
射させる光偏向手段を有し、複数のピット列及び／又は
案内溝を光ディスクの円周方向に沿って同−又は交互に
露光しめるようにしたことを特徴とする。

友−凰−１以下に、本発明による実施例を添付図面を参照しつつ説
明する。

第１図は本実施例の光ディスク製造装置の概略を示す説
明図である。この製造装置は、レーザ光源１０から発生
する単一のレーザビームの一部分を順に同一方向へ直角
に分割し他の部分を透過させるようにレーザビームの光
軸上に配置されたハーフミラ−１１，１２と、透過光を
同一方向へ偏向するように配置されたミラー１３とから
なる光分割手段を有している。

また、本製造装置においては、分割されたレーザビーム
１０ａ、１０ｂ、１０ｃを例えばパルス変調するように
各レーザビームの光路中に複数の光変調素子１５ａ、１
５ｂ、１５ｃが設けられている。光変調素子の各々は、
光変調素子ドライバー１４ａ、１４ｂ、１４ｃを介して
フォーマット信号発生器１６に接続されている。光変調
素子ドライバーの各々は、フォーマット信号発生器１６
からの変調用信号に応じて光変調素子を作動させる。ハ
ーフミラ−１１，１２とミラー１３とは、製造装置の応
答性を高めるためにレーザビーム１０ａ、ｉｏｂ、１０
ｃが光変調素子１５ａ、１５ｂ、１５ｃの中心で焦点を
結ぶように配置されている。

更に、かかる製造装けにおいては、パルス変調されたレ
ーザビーム１０ａ、１０ｂの各々を偏向させ、光ディス
ク原盤の半径方向に偏倚した露光位置に焦光させるため
にミラー１７及びハーフミラ−１８，１９並びに集光レ
ンズ２０からなる光学的偏向手段が設けられている。

ミラー１７は、入射したレーザビーム１０ａをハーフミ
ラ−１９に反射させて集光レンズ２０を介して第３図に
示すトラック方向Ｔから偏倚したピット１ａの位置を露
光するように該レーザビーム１０ａの軸に対して傾斜し
て配置されている。

ハーフミラ−１８は、入射したレーザビーム１０ｂをハ
ーフミラ−１９に反射させて集光レンズ２０を介して第
３図に示すトラック方向Ｔから偏倚したピット１ｂの位
置を露光するように該レーザビーム１０ｂの軸に対して
傾斜して配Ｕされている。ハーフミラ−１９はミラー１
７及びハーフミラ−１８からのレーザビーム１Ｑａ、１
０ｂを偏向しつつ、レーザビーム１０Ｃをそのまま透過
し第３図に示すトラック方向Ｔ上のセクターマークピッ
ト１Ｃの位８に焦光させるように配置されている。

ここで、光源１０から光ディスク原盤２９までの分割前
のレーザビームを含む分割されたレーザビームの光路長
はいずれも等しくなるように両光学系が配置されており
、たとえレーザビーム光源１０が変動しても３つのレー
ザビーム１０ａ、ＩＱｂ、ＩＯＣの相対位置が変化しな
いように構成されている。すなわち、かかる両光学系は
、ハーフミラ−１１，１２間距離とミラー１７．ハーフ
ミラ−１８間距離とが等しく、ハーフミラ−１２゜ミラ
ー１３間距離とハーフミラ−１８，１９間距離とが等し
く、かつ対応するハーフミラ−１１゜ミラー１７間距離
とハーフミラ−１２，１８間距離とミラー１３．ハーフ
ミラ−１９間距離とが等しくなるように配置されている
。光変調素子１５ａ、１５ｂ、１５Ｃの各々は、対応す
るハーフミラ−１１，ミラー１７間、ハーフミラ−１２
，１８間、ミラー１３．ハーフミラ−１９問に個別に配
置されている。

ハーフミラ−１１，１２，１８，１９の透過率、反射率
及びミラー１３．１７の反射率は、集光シン１２０ｔｉ
ｒ通るＬｉ−＋ｊ”ｔ’−ム１０ａ、ｉｏｂ、１０Ｃの
強度がほぼ等しくなるように、予め決められている。

この光ディスク製造装置の動作は以下の如く行われる。

第１図に示すようにレーザ光源１０から発したレーザビ
ームは、ハーフミラ−１１，１２及びミラー１３によっ
て３つのレーザビーム１０ａ、１０ｂ、１０Ｃに分割さ
れ、光変調素子１５ａ、１５ｂ、１５ｃに各々入射され
る。

変調用信号はフォーマット信号発生器１６によって発生
され第３図に示す如きトラッキングサーボ用のピット１
ａのピット信号をドライバー１４ａを介して光変調素子
１５ａに印加し、また、トラッキングサーボ用のピット
１ｂのピット信号をドライバ１４ｂを介して光変調素子
１５ｂに印加し、また、シンク及びアドレス検出用のセ
クタマークピット１Ｃのピット信号をドライバ１４Ｃを
介して光変調素子１５ｃに印加して所定の変調を行う。

変調されたレーザビーム１０ａは、ミラー１７上で反射
され、ハーフミラ−１８を通過してハーフミラ−１９に
達する。変調されたレーザビーム１０ｂは、ハーフミラ
−１８上で反射され、ハーフミラ−１９に達する。これ
らレーザビーム１０ａ、１０ｂは、ハーフミラ−１つ上
にて反射され、ハーフミラ−１９を通過したレーザビー
ム１０ｃとともに、集光レンズ２０へ導かれる。

レーザビーム１０ａ、１０ｂ、１０ｃの各々はは、集光
レンズ２０によって光ディスク原！！２９上に焦光され
、第３図におけるトラック方向Ｔから偏倚したトラッキ
ングサーボ用ピット１ａ、１ｂ位置及びトラック方向Ｔ
上のセクターマークピット１０位置にそれぞれ焦光する
。このようにしテレーサピーム１０ａ、１０ｂ、１０１
Ｃよッテ、スピンドルモータ３１上に担持された回転原
盤２９上の７オトレジストは第３図に示す如き蛇行する
ピット列として露光される。現像後、所定のピット列を
有したされた光ディスク原盤が得られる。

本実施例の光ディスク製造装置においては、３　゛つの
レーザビームを用いてパルス変調しっつウオブリングし
たピット列を形成しているが、３つのうち２つのビーム
を使用することも可能である。

この場合、第２図に示すように２つのレーザビームの内
の１つのビーム１ａはパルス変調せずに強度変調された
レーザビームを連続照射し、他の残るレーザビーム１Ｃ
はフォーマット信号に応じてパルス変調される。その結
果、所定の幅の案内溝４０と同時にピット４１を形成す
ることができるようになり、案内溝間にピット列を有す
る光ディスク原盤をも作成できる。

また、この光ディスク製造装置においては、３つのレー
ザビームの内１つのレーザビームのみを使用し、案内溝
のみ又はアドレスピットのみを形成することも可能であ
る。

本実施例によれば、レーザビームの偏向をミラー及びハ
ーフミラ−の傾斜角度にのみによって行っているために
光変調素子を振幅作動させるための高周波のキャリア周
波数を制御する回路は必要としない。また、光ディスク
原盤の半径方向における形成すべきピットの偏倚農の範
囲を従来より内幅に拡大することができる。

１里立１１本発明によれば、光ビームを発生させる光源と、光ビー
ムを分割しする光分割手段と、分割された光ビームを各
々変調する複数の光変調素子と、変調された光ビームの
各々を偏向させ光ディスク原盤の半径方向に偏倚した露
光位置に照射させる光偏向手段とから構成されている故
に、独立した複数の光ビームを使用しトラッキングサー
ボ用ピットとセクタマークピットとのピット列における
ピットのブロック間隔を制限させることなく高密度に形
成できた光ディスクが得られる。また、ピット列と案内
溝を同時に形成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光ディスク製造装置の説明図、第
２図は本発明による装置から得られる光ディスク原盤の
部分拡大平面図、第３図はピット列を示す光ディスク原
盤の部分拡大平面図、第４図は従来の光ディスク製造装
置の説明図、第５図はフォーマット信号及びその分解し
た信号を示す説明図である。主要部分の符号の説明１ａ、１ｂ・・・・・・トラッキングサーボ用ピット１
Ｃ・・・・・・セクタマークピット１０・・・・・・レーザ光源１１．１２．１８．１９・・・・・・ハーフミラ−１３
，１７・・・・・・ミラー１５ａ、１５ｂ、１５ｃ・・・・・・光変調素子１４ａ
、１４ｂ、１４ｃ・・・・・・光変調素子ドライバ２０・・・・・・集光レンズ２つ・・・・・・ガラス原盤

Claims

【特許請求の範囲】

（１）記録トラック位置を予め定めるために半径方向に
おいて互いに偏倚したピット（案内溝を含む）を有する
光ディスクを製造する製造装置であって、単一の光ビー
ムを発生させる光源と、前記光ビームを分割し複数の光
ビームになす光分割手段と、分割された光ビームの各々
を変調する複数の光変調手段と、変調された光ビームの
各々を偏向させ光ディスク原盤の半径方向において互い
に偏倚した複数の露光位置に照射させる光偏向手段を有
することを特徴とする光ディスク製造装置。
（２）前記光分割手段は、前記単一の光ビームと同一の
光軸上に配置されかつ該光軸に対して傾斜したミラー及
びハーフミラーを含んでいることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の装置。
（３）前記光偏向手段は、前記分割された光ビームの各
々の光軸上に別個に配置され該光軸の各々に対して傾斜
したミラー及びハーフミラーを含んでいることを特徴と
する特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装置。