JP2807461B2 - 三次元形状加工レーザ装置 - Google Patents
三次元形状加工レーザ装置Info
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- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は三次元加工を行う三次元形状加工レーザ装置
に関し、特にティーチングデータを補正する機能を備え
た三次元形状加工レーザ装置に関する。
に関し、特にティーチングデータを補正する機能を備え
た三次元形状加工レーザ装置に関する。
レーザ発振器と数値制御装置(CNC)を結合したCNCレ
ーザ加工機が広く使用されるようになってきた。レーザ
加工機の高速加工と、複雑な輪郭制御のできる数値制御
装置(CNC)の特徴を結合して、複雑な形状の加工を非
接触で、高速に加工することが可能になってきており、
特に従来のパンチプレス、ニブリングマシン等では不可
能であった、3次元加工のできる三次元形状加工レーザ
装置が実用に供されるようになってきた。
ーザ加工機が広く使用されるようになってきた。レーザ
加工機の高速加工と、複雑な輪郭制御のできる数値制御
装置(CNC)の特徴を結合して、複雑な形状の加工を非
接触で、高速に加工することが可能になってきており、
特に従来のパンチプレス、ニブリングマシン等では不可
能であった、3次元加工のできる三次元形状加工レーザ
装置が実用に供されるようになってきた。
三次元形状加工レーザ装置で3次元加工を行うには、
X、Y、Z軸の制御以外に先端のノズルの姿勢制御を行
う必要があり、通常ノズル制御はα軸及びβ軸として制
御される。従って、三次元形状加工レーザ装置では、加
工指令はX、Y、Z軸及びα軸、β軸の制御が必要であ
る。
X、Y、Z軸の制御以外に先端のノズルの姿勢制御を行
う必要があり、通常ノズル制御はα軸及びβ軸として制
御される。従って、三次元形状加工レーザ装置では、加
工指令はX、Y、Z軸及びα軸、β軸の制御が必要であ
る。
これらの指令を図面からプログラムするのは非常に困
難な場合が多く、一般に実際のワークにノズルの先端を
合わせて、形状データを収集し、このデータからNC指令
を作成する。これはオペレータがティーチングボックス
を操作して手動操作で行う。
難な場合が多く、一般に実際のワークにノズルの先端を
合わせて、形状データを収集し、このデータからNC指令
を作成する。これはオペレータがティーチングボックス
を操作して手動操作で行う。
しかし、ティーチングは手動操作でノズルをワーク上
に位置決めして、ノズルの姿勢を制御した後に記憶釦を
操作し、そのときの各軸の位置がNC指令となる。この結
果ティーチングで得られるNC指令、すなわちティーチン
グデータの精度はノズルの位置決め状態に依存し、一般
にそれほど高くはない。
に位置決めして、ノズルの姿勢を制御した後に記憶釦を
操作し、そのときの各軸の位置がNC指令となる。この結
果ティーチングで得られるNC指令、すなわちティーチン
グデータの精度はノズルの位置決め状態に依存し、一般
にそれほど高くはない。
このときの誤差がならい制御で吸収できない程大きい
と、その部分の加工は不可能となり、加工できない部分
が残る。
と、その部分の加工は不可能となり、加工できない部分
が残る。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、
ティーチングデータを補正する機能を備えた三次元形状
加工レーザ装置を提供することを目的とする。
ティーチングデータを補正する機能を備えた三次元形状
加工レーザ装置を提供することを目的とする。
本発明は上記課題を解決するために、三次元加工を行
う三次元形状加工レーザ装置において、ノズル先端のX
軸,Y軸及びZ軸の軌跡及びノズルの姿勢を含むNC指令を
教示する教示手段と、前記NC指令を記憶する指令記憶手
段と、前記NC指令を実行するNC指令実行手段と、前記ノ
ズル先端近傍に設けられ、前記ノズル先端とワークとの
ギャップを検出する検出器と、前記ギャップが一定値に
なるようにならい制御を行うならい制御手段と、前記NC
指令実行中にならい制御も同時に行い、前記ノズル先端
の軌跡上の位置と前記ギャップから計算されるノズル先
端の位置との偏差量を求め、前記偏差量が許容値を越え
たとき、前記NC指令の実行を停止する停止制御手段と、
前記偏差量とノズルの姿勢から、前記偏差量が零になる
ような各軸の補正値を演算する補正値演算手段と、前記
補正値を前記NC指令のノズル先端の軌跡の各軸の指令値
に加える補正手段と、を具備することを特徴とする三次
元形状加工レーザ装置が、提供される。
う三次元形状加工レーザ装置において、ノズル先端のX
軸,Y軸及びZ軸の軌跡及びノズルの姿勢を含むNC指令を
教示する教示手段と、前記NC指令を記憶する指令記憶手
段と、前記NC指令を実行するNC指令実行手段と、前記ノ
ズル先端近傍に設けられ、前記ノズル先端とワークとの
ギャップを検出する検出器と、前記ギャップが一定値に
なるようにならい制御を行うならい制御手段と、前記NC
指令実行中にならい制御も同時に行い、前記ノズル先端
の軌跡上の位置と前記ギャップから計算されるノズル先
端の位置との偏差量を求め、前記偏差量が許容値を越え
たとき、前記NC指令の実行を停止する停止制御手段と、
前記偏差量とノズルの姿勢から、前記偏差量が零になる
ような各軸の補正値を演算する補正値演算手段と、前記
補正値を前記NC指令のノズル先端の軌跡の各軸の指令値
に加える補正手段と、を具備することを特徴とする三次
元形状加工レーザ装置が、提供される。
また、三次元加工を行う三次元形状加工レーザ装置に
おいて、ノズル先端のX軸、Y軸及びZ軸の軌跡及びノ
ズルの姿勢を含むNC指令を教示する教示手段と、前記NC
指令を記憶する指令記憶手段と、前記NC指令を実行する
NC指令実行手段と、前記ノズル先端近傍に設けられ、前
記ノズル先端とワークとのギャップを検出する検出器
と、前記ギャップと標準ギャップとの偏差量を求め、前
記偏差量が許容値を越えたとき、前記NC指令の実行を停
止する停止制御手段と、前記偏差量とノズルの姿勢か
ら、前記偏差量が零になるような各軸の補正値を演算す
る補正値演算手段と、前記補正値を前記NC指令のノズル
先端の軌跡の各軸の指令値に加える補正手段と、を具備
することを特徴とする三次元形状加工レーザ装置が、提
供される。
おいて、ノズル先端のX軸、Y軸及びZ軸の軌跡及びノ
ズルの姿勢を含むNC指令を教示する教示手段と、前記NC
指令を記憶する指令記憶手段と、前記NC指令を実行する
NC指令実行手段と、前記ノズル先端近傍に設けられ、前
記ノズル先端とワークとのギャップを検出する検出器
と、前記ギャップと標準ギャップとの偏差量を求め、前
記偏差量が許容値を越えたとき、前記NC指令の実行を停
止する停止制御手段と、前記偏差量とノズルの姿勢か
ら、前記偏差量が零になるような各軸の補正値を演算す
る補正値演算手段と、前記補正値を前記NC指令のノズル
先端の軌跡の各軸の指令値に加える補正手段と、を具備
することを特徴とする三次元形状加工レーザ装置が、提
供される。
NC指令実行中にならい制御を行い、ノズル先端とワー
クとのギャップが一定量になるようにならい制御する。
ノズル先端の軌跡上の位置と前記ギャップから計算され
るノズル先端の位置との偏差量を求め、偏差量が許容値
を越えたとき、NC指令の実行を停止する。そして、偏差
量とノズルの姿勢から、偏差量が零になるような各軸の
補正値を演算し、その補正値をNC指令のノズル先端の軌
跡の各軸の指令値に加えて、NC指令を補正する。
クとのギャップが一定量になるようにならい制御する。
ノズル先端の軌跡上の位置と前記ギャップから計算され
るノズル先端の位置との偏差量を求め、偏差量が許容値
を越えたとき、NC指令の実行を停止する。そして、偏差
量とノズルの姿勢から、偏差量が零になるような各軸の
補正値を演算し、その補正値をNC指令のノズル先端の軌
跡の各軸の指令値に加えて、NC指令を補正する。
また、ならい制御を行わずに、NC指令を実行し、ノズ
ル先端とワークとのギャップと標準ギャップとの偏差量
が許容値を越えたときに、NC指令の実行を停止する。そ
して、偏差量とノズルの姿勢から、偏差量が零になるよ
うな各軸の補正値を演算し、その補正値をNC指令のノズ
ル先端の軌跡の各軸の指令値に加えて、NC指令を補正す
る。
ル先端とワークとのギャップと標準ギャップとの偏差量
が許容値を越えたときに、NC指令の実行を停止する。そ
して、偏差量とノズルの姿勢から、偏差量が零になるよ
うな各軸の補正値を演算し、その補正値をNC指令のノズ
ル先端の軌跡の各軸の指令値に加えて、NC指令を補正す
る。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図に本発明の一実施例の三次元形状加工レーザ装
置のブロック図を示す。図において、10はNC指令を記
憶、実行し、ならい制御を行う制御装置である。
置のブロック図を示す。図において、10はNC指令を記
憶、実行し、ならい制御を行う制御装置である。
11は全体を制御するプロセッサ、12は制御プログラム
を格納するメモリ、13はティーチングボックスとのイン
タフェース回路であり、ここではRS232Cインタフェース
が使用される。14は表示制御回路であり、表示データを
作成し、送出する。15は距離検出器からの信号を受け
て、これをAD変換して、プロセッサ11が取り込めるよう
にする距離検出回路である。
を格納するメモリ、13はティーチングボックスとのイン
タフェース回路であり、ここではRS232Cインタフェース
が使用される。14は表示制御回路であり、表示データを
作成し、送出する。15は距離検出器からの信号を受け
て、これをAD変換して、プロセッサ11が取り込めるよう
にする距離検出回路である。
16はDA変換器であり、プロセッサ11からの分配パルス
をアナログ電圧に変換する。17はサーボアンプであり、
サーボモータを駆動する。18は位置制御回路であり、サ
ーボモータにつけられた位置検出器からの位置信号を検
出する。
をアナログ電圧に変換する。17はサーボアンプであり、
サーボモータを駆動する。18は位置制御回路であり、サ
ーボモータにつけられた位置検出器からの位置信号を検
出する。
20はティーチングボックスであり、オペレータが、テ
ィーチングを行うための操作盤である。21はプロセッサ
であり、ティーチングボックス20全体の制御を行う。22
はティーチングデータ等を一時記憶するメモリ、23はキ
ーボードであり、24は簡単なデータを表示する表示装置
であり、液晶表示装置が使用される。25は制御装置10と
結合するためのインタフェース回路である。
ィーチングを行うための操作盤である。21はプロセッサ
であり、ティーチングボックス20全体の制御を行う。22
はティーチングデータ等を一時記憶するメモリ、23はキ
ーボードであり、24は簡単なデータを表示する表示装置
であり、液晶表示装置が使用される。25は制御装置10と
結合するためのインタフェース回路である。
30は表示装置であり、表示制御回路14からのビデオ信
号を受けて、各種の表示を行い、後述する警報信号等も
表示される。
号を受けて、各種の表示を行い、後述する警報信号等も
表示される。
41はサーボモータ42の位置検出器であり、42はならい
軸を駆動するサーボモータである。43は距離検出器であ
り、ノズル45とワーク46のギャップを検出し、ここで
は、半導体レーザを使用したレーザ測定器が使用され
る。44は測定用レーザ光である。これ以外に静電容量か
ら距離を検出する静電容量距離検出器、エディカレント
を検出して距離を測定する磁気センサ等が使用できる。
47はワーク46を固定する機械テーブルである。
軸を駆動するサーボモータである。43は距離検出器であ
り、ノズル45とワーク46のギャップを検出し、ここで
は、半導体レーザを使用したレーザ測定器が使用され
る。44は測定用レーザ光である。これ以外に静電容量か
ら距離を検出する静電容量距離検出器、エディカレント
を検出して距離を測定する磁気センサ等が使用できる。
47はワーク46を固定する機械テーブルである。
ノズル45からは図示されていない加工用のレーザ光が
ワーク46に照射されて、ワーク46の切断加工、トリミン
グ等の加工が行われる。
ワーク46に照射されて、ワーク46の切断加工、トリミン
グ等の加工が行われる。
なお、第1図ではならい軸のサーボモータ等のサーボ
系のみ示し、他の軸のサーボ系は省略してある。オペレ
ータはティーチングボックス20を使用して、ノズル45の
先端をワーク46に持っていき、ノズルの姿勢をα軸とβ
軸を制御して、各点ごとにティーチングデータを収集す
る。このティーチングデータは一時メモリ22に記憶さ
れ、一定量ごとに、制御装置のメモリ12に格納記憶され
る。
系のみ示し、他の軸のサーボ系は省略してある。オペレ
ータはティーチングボックス20を使用して、ノズル45の
先端をワーク46に持っていき、ノズルの姿勢をα軸とβ
軸を制御して、各点ごとにティーチングデータを収集す
る。このティーチングデータは一時メモリ22に記憶さ
れ、一定量ごとに、制御装置のメモリ12に格納記憶され
る。
ティーチングデータの収集が終わると、レーザ加工を
行う前にティーチングデータの確認、補正を行う。この
ときに以下の2通りの方法がある。
行う前にティーチングデータの確認、補正を行う。この
ときに以下の2通りの方法がある。
第1の方法は、ティーチングデータすなわち、NC指令
を実行しながら、同時にならい制御を行う。これはティ
ーチングの精度が粗い場合等に有効である。
を実行しながら、同時にならい制御を行う。これはティ
ーチングの精度が粗い場合等に有効である。
ここで、NC指令を実行しながら、同時に距離検出器43
からの検出データによって、ノズル45の先端からワーク
46までのギャップを測定し、ならい制御を行う。この結
果、ノズル45の先端は基本的にはNC指令を実行しなが
ら、ならい制御によって、ワーク46との距離を一定にす
るようにならい軸の移動によって制御される。
からの検出データによって、ノズル45の先端からワーク
46までのギャップを測定し、ならい制御を行う。この結
果、ノズル45の先端は基本的にはNC指令を実行しなが
ら、ならい制御によって、ワーク46との距離を一定にす
るようにならい軸の移動によって制御される。
NC指令とならい制御を実行するときのノズル先端の軌
跡を第2図に示す。図において、45はノズル、46はワー
ク、48は実際のノズル45の先端の軌跡、すなわちならい
制御された軌跡49はティーチングの軌跡、すなわちNC指
令の軌跡である。実行中に、ティーチング(NC指令)の
軌跡49とならい制御された軌跡48の偏差量Δε1が許容
値を越えたとき、NC指令の実行を停止し、ティーチング
データの補正を行う。補正の詳細は後述する。
跡を第2図に示す。図において、45はノズル、46はワー
ク、48は実際のノズル45の先端の軌跡、すなわちならい
制御された軌跡49はティーチングの軌跡、すなわちNC指
令の軌跡である。実行中に、ティーチング(NC指令)の
軌跡49とならい制御された軌跡48の偏差量Δε1が許容
値を越えたとき、NC指令の実行を停止し、ティーチング
データの補正を行う。補正の詳細は後述する。
第2の方法は、ならい制御を行わずにそのままNC指令
を実行する方法である。これは、ティーチングデータが
細かく収集されている場合等に有用である。第3図にNC
指令のみを実行する場合のノズル軌跡を示す。図におい
て、45はノズルであり、46はワークである。このとき
に、ノズル45の先端とワーク46との実際の距離(ギャッ
プ)と、予め定めた標準距離(標準ギャップ)との偏差
Δε2が一定値以上になったとき、偏差量を補正する。
を実行する方法である。これは、ティーチングデータが
細かく収集されている場合等に有用である。第3図にNC
指令のみを実行する場合のノズル軌跡を示す。図におい
て、45はノズルであり、46はワークである。このとき
に、ノズル45の先端とワーク46との実際の距離(ギャッ
プ)と、予め定めた標準距離(標準ギャップ)との偏差
Δε2が一定値以上になったとき、偏差量を補正する。
次に補正の詳細についてのべる。第4図に補正値を求
めるための図を示す。図において、εは補正すべき偏差
ベクトルである。X、Y、Z軸の座標値及びノズルの姿
勢を制御するα軸、β軸の値は制御装置10のメモリ12に
あり、これからそれぞれの補正値ΔXa、ΔYa、ΔZaを求
めることができる。
めるための図を示す。図において、εは補正すべき偏差
ベクトルである。X、Y、Z軸の座標値及びノズルの姿
勢を制御するα軸、β軸の値は制御装置10のメモリ12に
あり、これからそれぞれの補正値ΔXa、ΔYa、ΔZaを求
めることができる。
すなわち、ノズルの姿勢を制御しているα軸、β軸か
らノズルの姿勢ベクトルWが得られる。
らノズルの姿勢ベクトルWが得られる。
そして、この姿勢ベクトルWから各軸の方向余弦、 X軸=f(α,β) Y軸=g(α,β) Z軸=h(α,β) を算出し、ノズル先端の各軸の補正値を下記のように算
出する。
出する。
ΔXa=f(α,β)×|ε| ΔYa=g(α,β)×|ε| ΔZa=h(α,β)×|ε| この補正値をX、Y、Z各軸の指令値に加える。
Xa+ΔXa→Xa Ya+ΔYa→Ya Za+ΔZa→Za この指令値をNC指令に変換する。
G01XXaYYaZZaAαBβFxx; (下線が実際の指令値を表す) この指令をNC指令の次のブロックに挿入する。なお、
ここでは指令はアブソリュート指令とする。
ここでは指令はアブソリュート指令とする。
次に上記にのべた制御の処理について述べる。第5図
(a)及び(b)に本発明の一実施例の処理のフローチ
ャート図を示す。図において、Sに続く数値はステップ
番号である。
(a)及び(b)に本発明の一実施例の処理のフローチ
ャート図を示す。図において、Sに続く数値はステップ
番号である。
〔S1〕メモリ12からNC指令プログラムを読み出す。
〔S2〕1ブロックの解読を行う。
〔S3〕ならい指令があるかどうか調べる。ここでは、な
らい指令はモーダルなGコードで指令される。ならい指
令がないときはS4へ、あるときはS5へいく。
らい指令はモーダルなGコードで指令される。ならい指
令がないときはS4へ、あるときはS5へいく。
〔S4〕ならい指令がないので、NC指令をそのまま実行す
る。
る。
〔S5〕ならい指令があるので、ならい制御を行う。
〔S6〕偏差量が許容範囲か調べる。許容範囲を越えたと
きはS9へ、許容範囲内のときはS7へいく。
きはS9へ、許容範囲内のときはS7へいく。
〔S7〕分配終了か調べる。終了でなければ、S4へいきパ
ルス分配を続け、終了ならS8へいく。
ルス分配を続け、終了ならS8へいく。
〔S8〕全部のNC指令プログラムが終了したか調べる。終
了していなければS1へ戻り次のブロックを読み出し、実
行する。
了していなければS1へ戻り次のブロックを読み出し、実
行する。
〔S9〕偏差量が許容範囲を越えたので、停止処理を行
う。
う。
〔S10〕X、Y、Z、α、βの全軸の座標位置を読み取
る。
る。
〔S11〕偏差量からX、Y、Z軸の補正値を求める。
〔S12〕補正値を加えた新たな指令値を求める。
〔S13〕指令値をNC指令に変換する。
〔S14〕NC指令をプログラムに挿入する。
〔S15〕再起動をかけ、S8へ戻る。
上記の説明では、補正を行うときは、補正後に再起動
することとしたが、自動的に再起動するようにしてもよ
い。
することとしたが、自動的に再起動するようにしてもよ
い。
以上説明したように本発明では、NC指令とならい制御
を同時に行い、ノズル先端の軌跡上の位置と実際のノズ
ル先端の位置との偏差量を求め、偏差量が許容値を越え
たとき、NC指令の実行を停止し、偏差量が零になるよう
にNC指令を補正するようにしたので、ティーチングデー
タを簡単に確認し、修正することが可能になり、迅速に
正確なティーチングデータを得ることができる。
を同時に行い、ノズル先端の軌跡上の位置と実際のノズ
ル先端の位置との偏差量を求め、偏差量が許容値を越え
たとき、NC指令の実行を停止し、偏差量が零になるよう
にNC指令を補正するようにしたので、ティーチングデー
タを簡単に確認し、修正することが可能になり、迅速に
正確なティーチングデータを得ることができる。
また、ノズル先端とワークとのギャップと標準ギャッ
プとの偏差量が許容値を越えたときにのみNC指令プログ
ラムの実行を停止し、偏差量が零になるように補正を行
うようにしたので、ティーチングデータを簡単に確認、
修正することが可能になり、迅速に正確なティーチング
データを得ることができる。
プとの偏差量が許容値を越えたときにのみNC指令プログ
ラムの実行を停止し、偏差量が零になるように補正を行
うようにしたので、ティーチングデータを簡単に確認、
修正することが可能になり、迅速に正確なティーチング
データを得ることができる。
第1図は本発明の一実施例の三次元形状加工レーザ装置
のブロック図、 第2図はNC指令とならい指令を実行するときのノズル先
端の軌跡を示す図、 第3図はNC指令のみを実行する場合のノズル軌跡を示す
図、 第4図は偏差量から補正値を求める図、 第5図(a)及び(b)は本発明の一実施例の処理のフ
ローチャート図である。 10……制御装置 11……プロセッサ 12……メモリ 13……インタフェース回路 15……距離検出回路 20……ティーチングボックス 21……プロセッサ 22……メモリ 25……インタフェース回路 43……距離検出器 44……測定用レーザ光 45……ノズル 46……ワーク
のブロック図、 第2図はNC指令とならい指令を実行するときのノズル先
端の軌跡を示す図、 第3図はNC指令のみを実行する場合のノズル軌跡を示す
図、 第4図は偏差量から補正値を求める図、 第5図(a)及び(b)は本発明の一実施例の処理のフ
ローチャート図である。 10……制御装置 11……プロセッサ 12……メモリ 13……インタフェース回路 15……距離検出回路 20……ティーチングボックス 21……プロセッサ 22……メモリ 25……インタフェース回路 43……距離検出器 44……測定用レーザ光 45……ノズル 46……ワーク
Claims (4)
- 【請求項1】三次元加工を行う三次元形状加工レーザ装
置において、 ノズル先端のX軸,Y軸及びZ軸の軌跡及びノズルの姿勢
を含むNC指令を教示する教示手段と、 前記NC指令を記憶する指令記憶手段と、 前記NC指令を実行するNC指令実行手段と、 前記ノズル先端近傍に設けられ、前記ノズル先端とワー
クとのギャップを検出する検出器と、 前記ギャップが一定値になるようにならい制御を行うな
らい制御手段と、 前記NC指令実行中にならい制御も同時に行い、前記ノズ
ル先端の軌跡上の位置と前記ギャップから計算されるノ
ズル先端の位置との偏差量を求め、前記偏差量が許容値
を越えたとき、前記NC指令の実行を停止する停止制御手
段と、 前記偏差量とノズルの姿勢から、前記偏差量が零になる
ような各軸の補正値を演算する補正値演算手段と、 前記補正値を前記NC指令のノズル先端の軌跡の各軸の指
令値に加える補正手段と、 を具備することを特徴とする三次元形状加工レーザ装
置。 - 【請求項2】前記検出器はレーザ距離測定器であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の三次元形状加
工レーザ装置。 - 【請求項3】三次元加工を行う三次元形状加工レーザ装
置において、 ノズル先端のX軸、Y軸及びZ軸の軌跡及びノズルの姿
勢を含むNC指令を教示する教示手段と、 前記NC指令を記憶する指令記憶手段と、 前記NC指令を実行するNC指令実行手段と、 前記ノズル先端近傍に設けられ、前記ノズル先端とワー
クとのギャップを検出する検出器と、 前記ギャップと標準ギャップとの偏差量を求め、前記偏
差量が許容値を越えたとき、前記NC指令の実行を停止す
る停止制御手段と、 前記偏差量とノズルの姿勢から、前記偏差量が零になる
ような各軸の補正値を演算する補正値演算手段と、 前記補正値を前記NC指令のノズル先端の軌跡の各軸の指
令値に加える補正手段と、 を具備することを特徴とする三次元形状加工レーザ装
置。 - 【請求項4】前記検出器はレーザ距離測定器であること
を特徴とする特許請求の範囲第3項記載の三次元形状加
工レーザ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63002143A JP2807461B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 三次元形状加工レーザ装置 |
| US07/397,460 US5067086A (en) | 1988-01-08 | 1989-01-06 | Three-dimensional shape machining laser device |
| EP19890901298 EP0348531A4 (en) | 1988-01-08 | 1989-01-06 | LASER DEVICE FOR THREE-DIMENSIONAL MACHINING. |
| PCT/JP1989/000005 WO1989006174A1 (fr) | 1988-01-08 | 1989-01-06 | Dispositif laser pour l'usinage tridimensionnel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63002143A JP2807461B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 三次元形状加工レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01178395A JPH01178395A (ja) | 1989-07-14 |
| JP2807461B2 true JP2807461B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=11521122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63002143A Expired - Lifetime JP2807461B2 (ja) | 1988-01-08 | 1988-01-08 | 三次元形状加工レーザ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
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| US (1) | US5067086A (ja) |
| EP (1) | EP0348531A4 (ja) |
| JP (1) | JP2807461B2 (ja) |
| WO (1) | WO1989006174A1 (ja) |
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1988
- 1988-01-08 JP JP63002143A patent/JP2807461B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-01-06 US US07/397,460 patent/US5067086A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-01-06 WO PCT/JP1989/000005 patent/WO1989006174A1/ja not_active Ceased
- 1989-01-06 EP EP19890901298 patent/EP0348531A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
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