JP2792595B2 - 無機繊維焼結体及びその製造方法 - Google Patents
無機繊維焼結体及びその製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高い強度及びきわめて高
い靭性値を有する無機繊維焼結体に関する。
い靭性値を有する無機繊維焼結体に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】特開平５−４３３３８号公
報には、（１）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非
晶質物質、（２）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−Ｓｉ
ＣとＭＣとの固溶体及び／又はＭＣ１−ｘの結晶質超微
粒子、及び非晶質のＳｉＯ２とびＭＯ２とからなる集合
体、又は（３）上記（１）の非晶質物質と上記（２）の
集合体との混合物から構成される無機質繊維と、この無
機質繊維の界面に存在する、（４）実質的にＳｉ、Ｍ及
びＯからなる非晶質物質、（５）結晶質のＳｉＯ２及び
ＭＯ２からなる結晶質集合体、又は（６）上記（４）の
非晶質物質と上記（５）の結晶集合体との混合物から構
成される無機物質とからなる無機繊維焼結体が開示され
ている。
報には、（１）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非
晶質物質、（２）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−Ｓｉ
ＣとＭＣとの固溶体及び／又はＭＣ１−ｘの結晶質超微
粒子、及び非晶質のＳｉＯ２とびＭＯ２とからなる集合
体、又は（３）上記（１）の非晶質物質と上記（２）の
集合体との混合物から構成される無機質繊維と、この無
機質繊維の界面に存在する、（４）実質的にＳｉ、Ｍ及
びＯからなる非晶質物質、（５）結晶質のＳｉＯ２及び
ＭＯ２からなる結晶質集合体、又は（６）上記（４）の
非晶質物質と上記（５）の結晶集合体との混合物から構
成される無機物質とからなる無機繊維焼結体が開示され
ている。
【０００３】さらに上記公報には、その焼結体の製法と
して、内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内
面層が、（１）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非
晶質物質、（２）粒径がそれぞれ５０ｎｍ以下の実質的
にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣとの固溶体及び
／又はＭＣ１−ｘの結晶質超微粒子、及び非晶質のＳｉ
Ｏ２とＭＯ２からなる集合体、又は（３）上記（１）の
非晶質物質と上記（２）の集合体との混合物からなる無
機質物質で構成され、表面層が、（４）実質的にＳｉ、
Ｍ及びＯからなる非晶質物質、（５）結晶質のＳｉＯ２
及びＭＯ２からなる結晶質集合体、又は（６）上記
（４）の非晶質物質と上記（５）の結晶集合体との混合
物からなる無機質物質で構成されている無機繊維の積層
物を、１４００〜１９００℃の温度範囲で加熱焼結する
方法が開示されている。
して、内面層と表面層とからなる無機繊維であって、内
面層が、（１）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非
晶質物質、（２）粒径がそれぞれ５０ｎｍ以下の実質的
にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣとの固溶体及び
／又はＭＣ１−ｘの結晶質超微粒子、及び非晶質のＳｉ
Ｏ２とＭＯ２からなる集合体、又は（３）上記（１）の
非晶質物質と上記（２）の集合体との混合物からなる無
機質物質で構成され、表面層が、（４）実質的にＳｉ、
Ｍ及びＯからなる非晶質物質、（５）結晶質のＳｉＯ２
及びＭＯ２からなる結晶質集合体、又は（６）上記
（４）の非晶質物質と上記（５）の結晶集合体との混合
物からなる無機質物質で構成されている無機繊維の積層
物を、１４００〜１９００℃の温度範囲で加熱焼結する
方法が開示されている。
【０００４】上記公報に記載の方法では、無機質繊維の
界面に存在する酸化物層が、この無機質繊維と非常に良
好な親和性を有するために破壊の伝搬が速やかに進行
し、高い力学的特性が得られても、脆い（ｂｒｉｔｔｌ
ｅ）破壊パターンを示しがちである。従って、割れにく
く高い破壊エネルギー、換言すると高破壊靭性を有する
焼結体を得るには限界がある。
界面に存在する酸化物層が、この無機質繊維と非常に良
好な親和性を有するために破壊の伝搬が速やかに進行
し、高い力学的特性が得られても、脆い（ｂｒｉｔｔｌ
ｅ）破壊パターンを示しがちである。従って、割れにく
く高い破壊エネルギー、換言すると高破壊靭性を有する
焼結体を得るには限界がある。
【０００５】
【課題を解決する技術的手段】本発明の目的は、高い力
学的特性と共に、きわめて高い破壊靭性を有する焼結体
及びその製造法を提供することにある。本発明によれ
ば、下記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成される無
機質繊維と、この無機質繊維の間隙を充填するように存
在する下記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成される
無機物質とからなる無機繊維焼結体であって、（ａ）〜
（ｃ）の無機質繊維と（ｅ）〜（ｆ）の無機物質との境
界層として１〜２００ｎｍの非晶質及び／又は結晶質の
炭素からなる層が存在する、無機繊維焼結体が提供され
る。 （ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物
質。 （ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣと
の固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣの結晶質超微粒
子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質との集合体（上
記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示し、ｘは０以上１
未満の数である。）。 （ｃ）上記（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体と
の混合物から構成される無機質繊維。 （ｄ）実質的にＳｉ、Ｍ及びＯからなる非晶質物質。 （ｅ）結晶質のＳｉＯ２及びＭＯ２からなる結晶質集合
体。 （ｆ）上記（ｄ）の非晶質物質と上記（ｅ）の結晶集合
体との混合物から構成される無機物質。
学的特性と共に、きわめて高い破壊靭性を有する焼結体
及びその製造法を提供することにある。本発明によれ
ば、下記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成される無
機質繊維と、この無機質繊維の間隙を充填するように存
在する下記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成される
無機物質とからなる無機繊維焼結体であって、（ａ）〜
（ｃ）の無機質繊維と（ｅ）〜（ｆ）の無機物質との境
界層として１〜２００ｎｍの非晶質及び／又は結晶質の
炭素からなる層が存在する、無機繊維焼結体が提供され
る。 （ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物
質。 （ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣと
の固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣの結晶質超微粒
子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質との集合体（上
記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示し、ｘは０以上１
未満の数である。）。 （ｃ）上記（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体と
の混合物から構成される無機質繊維。 （ｄ）実質的にＳｉ、Ｍ及びＯからなる非晶質物質。 （ｅ）結晶質のＳｉＯ２及びＭＯ２からなる結晶質集合
体。 （ｆ）上記（ｄ）の非晶質物質と上記（ｅ）の結晶集合
体との混合物から構成される無機物質。
【０００６】さらに、本発明によれば、下記の（ａ）、
（ｂ）又は（ｃ）で構成される内面層と下記の（ｄ）、
（ｅ）又は（ｆ）から構成される表面層とからなる無機
繊維の積層物を、不活性ガス中、５０〜１０００ｋｇ／
ｃｍ２の圧力下に、室温から１４００℃まで昇温する第
一工程、１４００〜１７５０℃の範囲の温度まで昇温し
て、同温度で３０〜１０時間する保持する第二工程、及
び上記保持温度から１９００℃までの範囲の温度まで昇
温して加熱焼結する第三工程からなる、無機繊維焼結体
の製造法が提供される。 （ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物
質。 （ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣと
の固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣの結晶質超微粒
子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質との集合体（上
記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示し、ｘは０以上１
未満の数である。）。 （ｃ）上記（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体と
の混合物からなる無機質物質。 （ｄ）実質的にＳｉ、Ｍ及びＯからなる非晶質物質。 （ｅ）結晶質のＳｉＯ２及びＭＯ２からなる結晶質集合
体。 （ｆ）上記（ｄ）の非晶質物質と上記（ｅ）の結晶集合
体との混合物。
（ｂ）又は（ｃ）で構成される内面層と下記の（ｄ）、
（ｅ）又は（ｆ）から構成される表面層とからなる無機
繊維の積層物を、不活性ガス中、５０〜１０００ｋｇ／
ｃｍ２の圧力下に、室温から１４００℃まで昇温する第
一工程、１４００〜１７５０℃の範囲の温度まで昇温し
て、同温度で３０〜１０時間する保持する第二工程、及
び上記保持温度から１９００℃までの範囲の温度まで昇
温して加熱焼結する第三工程からなる、無機繊維焼結体
の製造法が提供される。 （ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからなる非晶質物
質。 （ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−ＳｉＣとＭＣと
の固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣの結晶質超微粒
子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質との集合体（上
記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示し、ｘは０以上１
未満の数である。）。 （ｃ）上記（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体と
の混合物からなる無機質物質。 （ｄ）実質的にＳｉ、Ｍ及びＯからなる非晶質物質。 （ｅ）結晶質のＳｉＯ２及びＭＯ２からなる結晶質集合
体。 （ｆ）上記（ｄ）の非晶質物質と上記（ｅ）の結晶集合
体との混合物。
【０００７】まず、本発明の無機繊維焼結体について説
明する。無機質繊維は上記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）
で構成され、無機質繊維を構成する各元素の割合は、通
常、Ｓｉ：３０〜６０重量％、Ｍ：０．５〜３５重量
％、好ましくは１〜１０重量％、Ｃ：２５〜４０重量
％、Ｏ：０．０１〜３０重量％である。無機質繊維の相
当直径は一般に５〜２０μｍである。
明する。無機質繊維は上記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）
で構成され、無機質繊維を構成する各元素の割合は、通
常、Ｓｉ：３０〜６０重量％、Ｍ：０．５〜３５重量
％、好ましくは１〜１０重量％、Ｃ：２５〜４０重量
％、Ｏ：０．０１〜３０重量％である。無機質繊維の相
当直径は一般に５〜２０μｍである。
【０００８】焼結体中の無機質繊維の表面には、１〜２
００ｎｍの範囲の非晶質及び／又は結晶質の炭素が層状
に偏在している。そしてこの無機質繊維の間隙を充填す
るように、上記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）が存在して
いる。また、場所によっては、無機質繊維と無機質繊維
とが、１〜２００ｎｍの範囲の非晶質及び／又は結晶質
の炭素を境界層として、相互に接触していてもよい。
００ｎｍの範囲の非晶質及び／又は結晶質の炭素が層状
に偏在している。そしてこの無機質繊維の間隙を充填す
るように、上記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）が存在して
いる。また、場所によっては、無機質繊維と無機質繊維
とが、１〜２００ｎｍの範囲の非晶質及び／又は結晶質
の炭素を境界層として、相互に接触していてもよい。
【０００９】本発明の無機繊維焼結体において重要なこ
とは、無機質繊維の表面には必ず１〜２００ｎｍの範囲
の非晶質及び／又は結晶質の炭素が層伏に存在している
ことである。この炭素は後述する製造方法における加圧
焼結の過程で無機質繊維の内部から偏析してきたもので
ある。無機質繊維の表面における層状の炭素についてよ
り詳しく述べると、炭素は無機質繊維の内部に向かって
濃度が減少する傾斜した組成分布を有しており、無機質
繊維と一体で繊維の一部として存在している。
とは、無機質繊維の表面には必ず１〜２００ｎｍの範囲
の非晶質及び／又は結晶質の炭素が層伏に存在している
ことである。この炭素は後述する製造方法における加圧
焼結の過程で無機質繊維の内部から偏析してきたもので
ある。無機質繊維の表面における層状の炭素についてよ
り詳しく述べると、炭素は無機質繊維の内部に向かって
濃度が減少する傾斜した組成分布を有しており、無機質
繊維と一体で繊維の一部として存在している。
【００１０】本発明における無機質繊維表面の炭素層
は、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）又はＣＶＩ（化学気相含
浸法）により繊維の回りに設けられた炭素層とは完全に
異なるものである。本発明における上記の炭素層は、焼
結体が破壊する際の滑り層として作用し、亀裂が直線的
に進行しないための重要な働きをする。この点において
本発明の無機繊維焼結体は、前記の特開平５−４３３３
３８号公報に記載の焼結体とも異なっている。
は、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）又はＣＶＩ（化学気相含
浸法）により繊維の回りに設けられた炭素層とは完全に
異なるものである。本発明における上記の炭素層は、焼
結体が破壊する際の滑り層として作用し、亀裂が直線的
に進行しないための重要な働きをする。この点において
本発明の無機繊維焼結体は、前記の特開平５−４３３３
３８号公報に記載の焼結体とも異なっている。
【００１１】炭素層を表面に有する無機質繊維の間隙に
存在する無機質物質を構成する各元素の割合は、通常、
Ｓｉ：２０〜６５重量％、Ｍ：０．３〜４０重量％、好
ましくは１〜１５重量％、Ｏ：３０〜５５重量％であ
り、場合によっては５重量％以下のＣを含むことがあ
る。
存在する無機質物質を構成する各元素の割合は、通常、
Ｓｉ：２０〜６５重量％、Ｍ：０．３〜４０重量％、好
ましくは１〜１５重量％、Ｏ：３０〜５５重量％であ
り、場合によっては５重量％以下のＣを含むことがあ
る。
【００１２】つぎに、本発明の無機繊維焼結体の製造方
法について説明する。本発明で使用される原料の無機繊
維は、例えば特開昭６２−２８９６４１号公報に記載の
方法に従って、上記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構
成される無機繊維を、酸化性雰囲気下に５００〜１６０
０℃の範囲の温度で加熱することによって調製すること
ができる。この（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成され
る無機繊維（Ｍ：Ｔｉ）は宇部興産（株）からチラノ繊
維（登録商標）として市販されている。
法について説明する。本発明で使用される原料の無機繊
維は、例えば特開昭６２−２８９６４１号公報に記載の
方法に従って、上記の（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構
成される無機繊維を、酸化性雰囲気下に５００〜１６０
０℃の範囲の温度で加熱することによって調製すること
ができる。この（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成され
る無機繊維（Ｍ：Ｔｉ）は宇部興産（株）からチラノ繊
維（登録商標）として市販されている。
【００１３】酸化性雰囲気の具体例としては、空気、純
酸素、オゾン、水蒸気、炭酸ガスを挙げることができ
る。この加熱処理によって、上記の無機繊維の表面が酸
化され、前記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成され
る表面層が形成される。換言すると、内面層が上記の
（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成され、表面層が上記
の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成される、本発明の
製造方法における出発原料である無機繊維となる。本発
明で使用される無機繊維の形態については特別の制限は
なく、連続繊維又は連続繊維を切断したチョップ状短繊
維であることができ、また連続繊維を一方向に引き揃え
たシート状であってもよい。
酸素、オゾン、水蒸気、炭酸ガスを挙げることができ
る。この加熱処理によって、上記の無機繊維の表面が酸
化され、前記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成され
る表面層が形成される。換言すると、内面層が上記の
（ａ）、（ｂ）又は（ｃ）から構成され、表面層が上記
の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）から構成される、本発明の
製造方法における出発原料である無機繊維となる。本発
明で使用される無機繊維の形態については特別の制限は
なく、連続繊維又は連続繊維を切断したチョップ状短繊
維であることができ、また連続繊維を一方向に引き揃え
たシート状であってもよい。
【００１４】本発明においては無機繊維の積層物を作成
し、ついで所望の形状に成形した後に、あるいは成形と
同時に、加熱焼結することによって、強度及び靭性の極
めて優れた無機繊維焼結体を得ることができる。焼結法
としては、例えば、積層物を一次成形した後に不活性ガ
ス雰囲気の加圧下で焼結する方法、あるいは成形と焼結
とを同時に行うホットプレス法を採用することができ
る。
し、ついで所望の形状に成形した後に、あるいは成形と
同時に、加熱焼結することによって、強度及び靭性の極
めて優れた無機繊維焼結体を得ることができる。焼結法
としては、例えば、積層物を一次成形した後に不活性ガ
ス雰囲気の加圧下で焼結する方法、あるいは成形と焼結
とを同時に行うホットプレス法を採用することができ
る。
【００１５】一次成形と焼結とを別々に行う方法におい
て、一次成形する方法としては、例えば、金型プレス
法、ラバープレス法、押出成形法、シート成形法を用い
て、１００〜５０００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧して、
シート状、棒状、球状の成形体を得る方法が挙げられ
る。また、ホットプレス法で焼結を行う場合には、窒化
ホウ素のような離型剤をスプレーした黒鉛製押型に無機
繊維の積層物を入れ、５０〜１０００ｋｇ／ｃｍ２の圧
力で加圧し同時に加熱して焼結体とすることができる。
て、一次成形する方法としては、例えば、金型プレス
法、ラバープレス法、押出成形法、シート成形法を用い
て、１００〜５０００ｋｇ／ｃｍ２の圧力で加圧して、
シート状、棒状、球状の成形体を得る方法が挙げられ
る。また、ホットプレス法で焼結を行う場合には、窒化
ホウ素のような離型剤をスプレーした黒鉛製押型に無機
繊維の積層物を入れ、５０〜１０００ｋｇ／ｃｍ２の圧
力で加圧し同時に加熱して焼結体とすることができる。
【００１６】本発明においては、無機質繊維の表面に層
状の炭素を形成させるために、段階的な昇温を行うこと
が必要である。第一工程における１４００℃までの昇温
方法については特別の制限はないが、１００〜５００℃
／ｈの速度で昇温することが望ましい。第二工程におい
ては１４００〜１７５０℃の範囲の温度まで昇温した
後、その温度に３０分〜１０時間保持する。この温度範
囲に保持することが重要であり、この間に無機質繊維の
内部から非化学量論的組成の炭素が表面に偏析し、同時
に無機質繊維の間を前記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）か
ら構成される無機物質の酸化物相で充分に充填して、成
形体中の空孔をきわめて少なくすることができる。
状の炭素を形成させるために、段階的な昇温を行うこと
が必要である。第一工程における１４００℃までの昇温
方法については特別の制限はないが、１００〜５００℃
／ｈの速度で昇温することが望ましい。第二工程におい
ては１４００〜１７５０℃の範囲の温度まで昇温した
後、その温度に３０分〜１０時間保持する。この温度範
囲に保持することが重要であり、この間に無機質繊維の
内部から非化学量論的組成の炭素が表面に偏析し、同時
に無機質繊維の間を前記の（ｄ）、（ｅ）又は（ｆ）か
ら構成される無機物質の酸化物相で充分に充填して、成
形体中の空孔をきわめて少なくすることができる。
【００１７】第二工程における加熱温度が１４００℃よ
り低いと、炭素の偏析速度が極端に遅くなり効果的でな
い。加熱温度が１７００℃を超えると、上記の酸化物相
が活性な溶融状態となり、析出する炭素層と反応して、
成形体中の空孔を通じてＣＯガスとして成形体から離脱
する。
り低いと、炭素の偏析速度が極端に遅くなり効果的でな
い。加熱温度が１７００℃を超えると、上記の酸化物相
が活性な溶融状態となり、析出する炭素層と反応して、
成形体中の空孔を通じてＣＯガスとして成形体から離脱
する。
【００１８】第三工程においては、続いて１９００℃ま
での温度に昇温する。これにより、本発明の無機繊維焼
結体を得ることができる。第二工程における加熱処理を
行った成形体中には空孔がきわめて少ないことから、第
三工程における１９００℃までの温度への昇温過程にお
いても、無機繊維の表面に析出した炭素がＣＯガスとし
て離脱することない。これにより、高い機械的特性及び
破壊靭性を有する無機繊維焼結体を効率的に得ることが
できる。
での温度に昇温する。これにより、本発明の無機繊維焼
結体を得ることができる。第二工程における加熱処理を
行った成形体中には空孔がきわめて少ないことから、第
三工程における１９００℃までの温度への昇温過程にお
いても、無機繊維の表面に析出した炭素がＣＯガスとし
て離脱することない。これにより、高い機械的特性及び
破壊靭性を有する無機繊維焼結体を効率的に得ることが
できる。
【００１９】以下に実施例及び比較例を示す。
【００２０】実施例１ 繊維径１１μｍのチラノ繊維（登録商標）を９３０℃の
空気中で４時間加熱処理して原料無機繊維を得た。繊維
表面には約１５０ｎｍの均一な酸化層が形成されてい
た。この原料無機繊維からなり、１枚の厚さが約１７０
μｍの一方向シート１００枚を、繊維方向を揃えて積層
してシート状積層物を作成した。この積層物を９０×９
０ｍｍ角に切り、ホットプレスのカーボンダイス中にセ
ットして、アルゴン気流下に６００ｋｇ／ｃｍ２の圧力
をかけ２００℃／ｈの速度で１７００℃まで昇温し、１
７００℃で２時間保持した後、引き続き１８００℃まで
２００℃／ｈの速度で昇温して、無機繊維焼結体を得
た。
空気中で４時間加熱処理して原料無機繊維を得た。繊維
表面には約１５０ｎｍの均一な酸化層が形成されてい
た。この原料無機繊維からなり、１枚の厚さが約１７０
μｍの一方向シート１００枚を、繊維方向を揃えて積層
してシート状積層物を作成した。この積層物を９０×９
０ｍｍ角に切り、ホットプレスのカーボンダイス中にセ
ットして、アルゴン気流下に６００ｋｇ／ｃｍ２の圧力
をかけ２００℃／ｈの速度で１７００℃まで昇温し、１
７００℃で２時間保持した後、引き続き１８００℃まで
２００℃／ｈの速度で昇温して、無機繊維焼結体を得
た。
【００２１】得られた無機繊維焼結体の断面のＦＥ−Ｓ
ＥＭの観察結果を示す図１からわかるように、焼結体中
の無機繊維の表面には約３０ｎｍの均一な炭素層が形成
され、また無機質繊維の間は結晶質のＳｉＯ２を主体と
する相で均一に充填されていた。このＳｉＯ２を主体と
する相にはＴｉ原子の存在が確認された。この焼結体の
曲げ強度は室温で５８ｋｇ／ｍｍ２であり、図２に示す
ような緩やかな（Ｗｏｏｄｙな）破壊パターンを示し
た。
ＥＭの観察結果を示す図１からわかるように、焼結体中
の無機繊維の表面には約３０ｎｍの均一な炭素層が形成
され、また無機質繊維の間は結晶質のＳｉＯ２を主体と
する相で均一に充填されていた。このＳｉＯ２を主体と
する相にはＴｉ原子の存在が確認された。この焼結体の
曲げ強度は室温で５８ｋｇ／ｍｍ２であり、図２に示す
ような緩やかな（Ｗｏｏｄｙな）破壊パターンを示し
た。
【００２２】比較例１ シート状積層物を２００℃／ｈの速度で１８００℃まで
昇温した以外は実施例１を繰り返した。得られた無機繊
維焼結体の断面のＦＥ−ＳＥＭの観察結果を示す図３か
らわかるように、焼結体中の無機質繊維間を充填するＳ
ｉＯ２を主体とする相には多くの空孔（ポア）が存在
し、また無機質繊維の表面には炭素相の存在が確認され
なかった。なお、上記のＳｉＯ２を主体とする相にはＴ
ｉ原子の存在が確認された。この焼結体の室温における
曲げ強度は５２ｋｇ／ｍｍ２と高い値を示したが、図４
に示すように脆い（ｂｒｉｔｔｌｅな）破壊パターンを
示した。
昇温した以外は実施例１を繰り返した。得られた無機繊
維焼結体の断面のＦＥ−ＳＥＭの観察結果を示す図３か
らわかるように、焼結体中の無機質繊維間を充填するＳ
ｉＯ２を主体とする相には多くの空孔（ポア）が存在
し、また無機質繊維の表面には炭素相の存在が確認され
なかった。なお、上記のＳｉＯ２を主体とする相にはＴ
ｉ原子の存在が確認された。この焼結体の室温における
曲げ強度は５２ｋｇ／ｍｍ２と高い値を示したが、図４
に示すように脆い（ｂｒｉｔｔｌｅな）破壊パターンを
示した。
【図１】実施例１で得られた無機焼結体の粒子構造を示
す図である。
す図である。
【図２】実施例１で得られた無機繊維焼結体の室温曲げ
強度測定結果を示す図である。
強度測定結果を示す図である。
【図３】比較例１で得られた無機焼結体の粒子構造を示
す図である。
す図である。
【図４】比較例１で得られた無機繊維焼結体の室温曲げ
強度測定結果を示す図である。
強度測定結果を示す図である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−78174（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−43338（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C04B 35/80 C04B 35/56 D01F 9/10 D03D 25/00
Claims (2)
- 【請求項１】（ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからな
る非晶質物質、（ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−
ＳｉＣとＭＣとの固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣ
の結晶質超微粒子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質
との集合体（上記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示
し、ｘは０以上１未満の数である。）、又は（ｃ）上記
（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体との混合物か
ら構成される無機質繊維と、この無機質繊維の間隙を充
填するように存在する、（ｄ）実質的にＳｉ、Ｍ及びＯ
からなる非晶質物質、（ｅ）結晶質のＳｉＯ２及びＭＯ
２からなる結晶質集合体、又は（ｆ）上記（ｄ）の非晶
質物質と上記（ｅ）の結晶集合体との混合物から構成さ
れる無機物質とからなる無機繊維焼結体であって、
（ａ）〜（ｃ）の無機質繊維と（ｄ）〜（ｆ）の無機物
質との境界層として１〜２００ｎｍの非晶質及び／又は
結晶質の炭素からなる層が存在することを特徴とする無
機繊維焼結体。 - 【請求項２】内面層と表面層とからなる無機繊維であっ
て、内面層が（ａ）実質的にＳｉ、Ｍ、Ｃ及びＯからな
る非晶質物質、（ｂ）実質的にβ−ＳｉＣ、ＭＣ、β−
ＳｉＣとＭＣとの固溶体及び／又はＭＣ１−ｘ、及びＣ
の結晶質超微粒子と、ＳｉＯ２及びＭＯ２の非晶質物質
との集合体（上記式において、ＭはＴｉ又はＺｒを示
し、ｘは０以上１未満の数である。）、又は（ｃ）上記
（ａ）の非晶質物質と上記（ｂ）の集合体との混合物か
らなる無機質物質で構成され、表面層が、（ｄ）実質的
にＳｉ、Ｍ及びＯからなる非晶質物質、（ｅ）結晶質の
ＳｉＯ２及びＭＯ２からなる結晶質集合体、又は（ｆ）
上記（ｄ）の非晶質物質と上記（ｅ）の結晶集合体との
混合物からなる無機質物質で構成されている無機繊維の
積層物を、不活性ガス中、５０〜１０００ｋｇ／ｃｍ２
の圧力下に、室温から１４００℃まで昇温する第一工
程、１４００〜１７５０℃の範囲の温度まで昇温して、
同温度で３０分〜１０時間する保持する第二工程、及び
上記保持温度から１９００℃までの範囲の温度まで昇温
して加熱焼結する第三工程からなることを特徴とする無
機繊維焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5253550A JP2792595B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 無機繊維焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5253550A JP2792595B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 無機繊維焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0769747A JPH0769747A (ja) | 1995-03-14 |
| JP2792595B2 true JP2792595B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=17252935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5253550A Expired - Lifetime JP2792595B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | 無機繊維焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2792595B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69819086T2 (de) | 1997-07-22 | 2004-05-13 | Ube Industries, Ltd., Ube | Gesinterter Werkstoff aus verbundenen Siliciumcarbidfasern |
| JP4239684B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2009-03-18 | 宇部興産株式会社 | 高耐熱性無機繊維結合型セラミックス部材及びその製造方法 |
| JP5910728B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-04-27 | 宇部興産株式会社 | 無機繊維結合型セラミックスの製造方法 |
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-
1993
- 1993-09-03 JP JP5253550A patent/JP2792595B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0769747A (ja) | 1995-03-14 |
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