JP2005146392A - 金属基複合材料およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来のSiC/Si複合材料と同程度の高い剛性を有するとともに加工性に優れたSiC/Al合金複合材料およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料。
【選択図】 なし
Description
本発明は、高い剛性を有し、なおかつ加工性に優れた金属基複合材料およびその製造方法に関するものである。
金属をマトリックスとしセラミックス繊維またはセラミックス粉末で強化された金属基複合材料は、金属材料の延性、高靭性、高熱伝導性等の特性と、セラミックスの高剛性、低熱膨張性、耐摩耗性等の特性を兼ね備えた材料であり、機械装置メーカ等の業界から次世代の材料として注目されている。
現在までに、ヤング率が300GPaを超える、SiC粒子(SiC繊維またはSiC粉末またはこれらの混合物を以下に、SiC粒子と記す。)を強化材としSiをマトリックスとする複合材料(以下、SiC/Si複合材料と記す。)が開発されており、また、SiC粒子を強化材としAl合金をマトリックスとする複合材料ではヤング率が265GPaの金属基複合材料(以下、SiC/Al合金複合材料と記す。)が開発されている。よって、より高い剛性が必要とされる部材には、SiC/Al合金複合材料よりヤング率が高いSiC/Si複合材料が適していると考えられる。
一方で、上記の高剛性を有する金属基複合材料は、半導体製造装置用の部材等として使用されているが、この場合高い剛性と同時に加工性が容易であることも求められることも多い。しかし、上記の高剛性を有する複合材料はマトリックスがSiであるため、加工時にチッピングが発生する等、加工性が低いという問題を有している。この場合、より加工性が必要とされる部材には、脆くて欠けやすいSiC/Si複合材料よりSiC/Al合金複合材料が適している。
このように金属基複合材料の加工性の問題に対処するため、加工を要する部位のみセラミックスの含有率を低くする方法が提案されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
特開2001−48652号公報
特開平10−212533号公報
特許文献1の方法は、複合材料中のSiC含有率を傾斜させて加工を要する部分のSiC含有率を低くする方法であるが、例えば部材を貫通する穴加工部が点在している場合など、適用が困難な場合があった。
また、特許文献2の方法は加工を要する部位のみセラミックスの含有率を低くする方法であるが、例えばネジ穴加工部が多く点在している部材等の場合は、生産性の低下につながる場合があった。
本発明は、上述した金属基複合材料が有する課題に鑑みなされたものであって、その目的は、部分的にセラミックスの含有率を変えることなく、加工性が良好で、SiC/Si複合材料と同程度の高い剛性を有するSiC/Al合金複合材料およびその製造方法を提供することにある。
本発明者等は、上記目的を達成するため鋭意研究した結果、強化材として使用するSiC粒子の粒径を規定し、複合材料中でのSiC粒子の含有率を高くし、マトリックスとしてSiを所定量含むAl合金を使用することによって、高い剛性を有しなおかつ加工性が良好な金属基複合材料を提供することができるとの知見を得て本発明を完成するに至った。
即ち本発明は、
(1)粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料(請求項1)とし、
(2)粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子に、バインダーと溶媒を加えて混合して得られるスラリーを成形する成形工程と、成形工程で得られた成形体を熱処理する熱処理工程と、熱処理工程で得られたSiC粒子充填率が70体積%以上のプリフォームに、Mgと15質量%以上のSiを含む溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させる浸透工程と、を含むことを特徴とする金属基複合材料の製造方法(請求項2)とすることを要旨とする。
(1)粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料(請求項1)とし、
(2)粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子に、バインダーと溶媒を加えて混合して得られるスラリーを成形する成形工程と、成形工程で得られた成形体を熱処理する熱処理工程と、熱処理工程で得られたSiC粒子充填率が70体積%以上のプリフォームに、Mgと15質量%以上のSiを含む溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させる浸透工程と、を含むことを特徴とする金属基複合材料の製造方法(請求項2)とすることを要旨とする。
本発明によれば、従来例のように部分的にセラミックスの含有率を変えるようなことをしなくても、加工性が良好で、SiC/Si複合材料と同程度の高い剛性を有するSiC/Al合金複合材料およびその製造方法を提供できる。
したがって、本発明のSiC/Al合金複合材料に、ドリルによる穴あけ加工をした場合、複合材料の加工性は高まり、チッピングの発生も著しく減少するため、生産コストの低減を図れる効果がある。
したがって、本発明のSiC/Al合金複合材料に、ドリルによる穴あけ加工をした場合、複合材料の加工性は高まり、チッピングの発生も著しく減少するため、生産コストの低減を図れる効果がある。
以下に、本発明を詳細に説明する。
本発明では、粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料を提案している。
本発明では、粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料を提案している。
本発明のSiC/Al合金複合材料は、窒素雰囲気中で非加圧浸透法により得られる。 ここで、Al合金中のMgは、窒素との反応によりSiCとAl合金の濡れ性を改善し非加圧で浸透することを可能とさせるためのものであり、その含有量が0.5質量%より少ないとその効果は小さく、複合材料中にAl合金未浸透部分が生じ易くなり、緻密化せず密度を3.0g/cm3以上とすることができなくなる。(複合材料中にAl合金未浸透部分があると、機械的強度面から好ましくない。)このため、Al合金中のMgの含有量は0.5質量%以上が好ましい。なお、さらに10質量%程度のCuを含有するAl合金を使用すると、得られる複合材料の組織は緻密化し、気孔率が小さくなることが確認されている。
さらに、15質量%以上のSiを含むAl合金とした理由は、Al合金中のSiの含有量が15質量%より少ないとマトリックス部自体の剛性が低下するため複合材料のヤング率を290GPa以上に高めることができなくなるからである。
さらに、15質量%以上のSiを含むAl合金とした理由は、Al合金中のSiの含有量が15質量%より少ないとマトリックス部自体の剛性が低下するため複合材料のヤング率を290GPa以上に高めることができなくなるからである。
同様にして、本発明のSiC/Al合金複合材料が70体積%以上のSiC粒子強化材からなる理由は、SiC粒子強化材が70体積%より少ないと剛性が低下するため複合材料のヤング率を290GPa以上に高めることができなくなるからである。
また、本発明では粒径125μm以上の粒子を20質量%以下含むSiC粒子を出発原料としている。粒径125μm以上の粗大粒子はSiC強化材の充填率を高めるためには多いほうが好ましいが、SiC自体の加工性が悪いため、加工性を確保するためには含有量は少ないほうが好ましい。実験の結果、125μm以上の粒子が20質量%より多く存在すると、例えばドリルによる穴あけ加工をした場合、複合材料のチッピングの発生はSiC/Si複合材料よりは減少するが、ドリル一本あたりの加工距離が著しく短くなり加工性は低下した。
また、5μm以下の粒子が10質量%以下であることが好ましい。5μm以下の粒子が10質量%以下であることが好ましい理由は、充填性を考慮したものであり、10質量%より多く存在すると、複合材料中のSiCの含有率を70体積%以上にするのが困難となるためである。また、形成したプリフォームに溶融したAl合金を浸透させる際に、粒子間隔が狭くなりAl合金が浸透しにくく、未浸透部分が発生しやすくなるためである。
また、5μm以下の粒子が10質量%以下であることが好ましい。5μm以下の粒子が10質量%以下であることが好ましい理由は、充填性を考慮したものであり、10質量%より多く存在すると、複合材料中のSiCの含有率を70体積%以上にするのが困難となるためである。また、形成したプリフォームに溶融したAl合金を浸透させる際に、粒子間隔が狭くなりAl合金が浸透しにくく、未浸透部分が発生しやすくなるためである。
次に、本発明では、粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子に、バインダーと溶媒を加えて混合して得られるスラリーを成形する成形工程と、成形工程で得られた成形体を熱処理する熱処理工程と、熱処理工程で得られたSiC粒子充填率が70体積%以上のプリフォームに、Mgと15質量%以上のSiを含む溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させる浸透工程と、を含むことを特徴とする金属基複合材料の製造方法を提案している。
ここで、粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を用いる理由は上記したとおりである。
上記の粒度構成からなるSiC粒子に、バインダーと溶媒を加えて混合後、得られたスラリーを型枠に流し込んで成形する、いわゆる湿式成形の方法をとるが、粒子分を沈降させる沈降成形(いわゆるセディメント法)、細孔を有する型枠を用い圧力を加えて溶媒を除去する方法などを用いることができる。その後、脱型して得られた成形体を熱処理してSiC強化材充填率が70体積%以上であるプリフォームを得る。プリフォームの強化材の充填率が70体積%以上であれば、SiC/Si複合材料のヤング率に近い、高いヤング率を発現させることが可能となる。
得られたプリフォームに、溶融した、SiとMgを含むAlを主成分とするAl合金を窒素中で非加圧で浸透させる。ここで、Siの含有量はヤング率に影響を及ぼし、その含有量が多いほど複合材料のヤング率も高くなる。複合材料のヤング率を290GPa以上に高めるためには、15質量%以上のSiを含むAl合金を用いることが好ましい。
ただし、Siの含有量が40質量%より多いとAl合金の液相線温度が高くなり、複合材料中にAl合金を浸透させるためには1000℃以上の加熱が必要となる。ヒーター部材等の関係で、1000℃を境に炉装置が高価になるため、1000℃以下で浸透可能とするため、Al合金中のSiの含有量は40質量%以下が好ましい。
ただし、Siの含有量が40質量%より多いとAl合金の液相線温度が高くなり、複合材料中にAl合金を浸透させるためには1000℃以上の加熱が必要となる。ヒーター部材等の関係で、1000℃を境に炉装置が高価になるため、1000℃以下で浸透可能とするため、Al合金中のSiの含有量は40質量%以下が好ましい。
以下本発明の実施例を比較例と共に具体的に挙げ、本発明をより詳細に説明する。
(1)複合材料のプリフォームの作製と評価
市販のSiC粉末(信濃電気精錬社製)の粗粒と微粒を複数種類用いて配合し、粒度構成の異なる7種類のSiC粒子を出発原料粉末として用意した。(出発原料粉末の粒度構成は、公知の粒度分析計により評価した。)次に、それぞれの出発原料粉末100質量部に対し溶媒としてイオン交換水19質量部、バインダーとしてコロイダルシリカ15質量部を加え、ボールミルにて3時間混合した。得られたスラリーを25×25×180mmの型枠に流し込み、沈降成形した後、冷凍させて脱型し、大気中1100℃で焼成してプリフォームを作製した。得られたプリフォームの体積と質量から、プリフォーム中の粉末充填率を算出した。その結果を表1に、用いた出発原料粉末の粒度構成とともに示した。
(1)複合材料のプリフォームの作製と評価
市販のSiC粉末(信濃電気精錬社製)の粗粒と微粒を複数種類用いて配合し、粒度構成の異なる7種類のSiC粒子を出発原料粉末として用意した。(出発原料粉末の粒度構成は、公知の粒度分析計により評価した。)次に、それぞれの出発原料粉末100質量部に対し溶媒としてイオン交換水19質量部、バインダーとしてコロイダルシリカ15質量部を加え、ボールミルにて3時間混合した。得られたスラリーを25×25×180mmの型枠に流し込み、沈降成形した後、冷凍させて脱型し、大気中1100℃で焼成してプリフォームを作製した。得られたプリフォームの体積と質量から、プリフォーム中の粉末充填率を算出した。その結果を表1に、用いた出発原料粉末の粒度構成とともに示した。
表1の結果より、本発明の比較例である試験例1と試験例4では、5μm以下の粒子が10質量%より多く存在するため、プリフォーム中のSiC粒子の充填率(複合材料中のSiC粒子の含有率に相当する。)を70体積%以上にすることができなかった。
(2)プリフォームへのAl合金の浸透と複合材料の評価
得られた7種類のプリフォームそれぞれを、表2に示す組成のAl合金を、窒素雰囲気中で表2に示す温度で50時間熱処理して、溶融Al合金をプリフォームに浸透させてSiC/Al合金複合材料を作製した。
また、得られたSiC/Al合金複合材料の体積と質量から密度を算出し、次に、SiC/Al合金複合材料から試験片を切り出して共振法によりヤング率を測定した。それらの結果を合わせて表2にまとめて示した。
得られた7種類のプリフォームそれぞれを、表2に示す組成のAl合金を、窒素雰囲気中で表2に示す温度で50時間熱処理して、溶融Al合金をプリフォームに浸透させてSiC/Al合金複合材料を作製した。
また、得られたSiC/Al合金複合材料の体積と質量から密度を算出し、次に、SiC/Al合金複合材料から試験片を切り出して共振法によりヤング率を測定した。それらの結果を合わせて表2にまとめて示した。
表2の結果より、本発明の実施例である試験例3,5,6,7は、いずれも未浸透部分がないため、複合材料の密度は3.0g/cm3以上と大きく、ヤング率は290GPa以上と剛性が高かった。一方、本発明の比較例である試験例1には、未浸透部分はなかったが、ヤング率は280GPaと剛性が低かった。また、本発明の比較例である試験例4には、未浸透部分が観察され、複合材料の密度も2.80g/cm3と小さかった。
(3)複合材料の加工性の評価
複合材料の試料厚さを25mmと一定にして、本発明の実施例である試験例3を本発明の比較例である試験例2と参考例としてSiC/Si複合材料(ヤング率:340GPa)との加工性の比較試験による評価を行った。
試験方法としては、Φ6mmの面取りドリルを用いて穴あけ加工したときに、加工条件を、周速度30mm/min、送り速度3mm/min、ステップ0.5mm/pass、突き出し70mmとしたときのドリル一本あたりの加工距離と加工穴周辺にチッピングが発生したか否かで評価した。
複合材料の試料厚さを25mmと一定にして、本発明の実施例である試験例3を本発明の比較例である試験例2と参考例としてSiC/Si複合材料(ヤング率:340GPa)との加工性の比較試験による評価を行った。
試験方法としては、Φ6mmの面取りドリルを用いて穴あけ加工したときに、加工条件を、周速度30mm/min、送り速度3mm/min、ステップ0.5mm/pass、突き出し70mmとしたときのドリル一本あたりの加工距離と加工穴周辺にチッピングが発生したか否かで評価した。
本発明の実施例である試験例3を加工試験した結果、ドリル一本あたりの加工距離は280mmと大きく、また、穴加工した裏面のチッピング発生件数は、10回中0件であった。
一方、本発明の比較例である試験例2を加工試験した結果、ドリル一本あたりの加工距離は100mmと小さく、また、穴加工した裏面のチッピング発生件数は、4回中1件であった。さらに、参考例としてSiC/Si複合材料(SiC粒子の充填率:70体積%、ヤング率:340GPa)を加工試験した結果、ドリル一本あたりの加工距離は210mmであり、穴加工した裏面のチッピング発生件数は、6回中6件と多く加工性が悪かった。
一方、本発明の比較例である試験例2を加工試験した結果、ドリル一本あたりの加工距離は100mmと小さく、また、穴加工した裏面のチッピング発生件数は、4回中1件であった。さらに、参考例としてSiC/Si複合材料(SiC粒子の充填率:70体積%、ヤング率:340GPa)を加工試験した結果、ドリル一本あたりの加工距離は210mmであり、穴加工した裏面のチッピング発生件数は、6回中6件と多く加工性が悪かった。
Claims (2)
- 粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子を出発原料として用い、溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧浸透させて得られる金属基複合材料であって、該金属基複合材料は70体積%以上のSiC粒子強化材と、残部がMgと15質量%以上のSiを含むAl合金と、からなるものであり、かつ、該金属基複合材料の密度が3.0g/cm3以上でヤング率が290GPa以上であることを特徴とする金属基複合材料。
- 粒径5μm以下の粒子が10質量%以下で、粒径125μm以上の粒子が20質量%以下で、残部が粒径5〜125μmの粒子からなるSiC粒子に、バインダーと溶媒を加えて混合して得られるスラリーを成形する成形工程と、成形工程で得られた成形体を熱処理する熱処理工程と、熱処理工程で得られたSiC粒子充填率が70体積%以上のプリフォームに、Mgと15質量%以上のSiを含む溶融Al合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させる浸透工程と、を含むことを特徴とする金属基複合材料の製造方法。
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2003
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