JP2789281B2 - レーザ加工機における光路長固定装置 - Google Patents
レーザ加工機における光路長固定装置Info
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機における
光路長固定装置の改良に関する。
光路長固定装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】加工ヘッドを移動させるレーザ加工機に
おいては、レーザ発振器と集光手段とを連絡する光学的
な伝播経路の長さは加工ヘッドの移動位置によって様々
に変化する。このため、レーザの発散特性に適合した光
路長を維持するためには、伝播経路上のいずれかの部位
でレーザ光線の光路長を伸縮し、レーザ発振器から集光
手段に至る伝播経路を常に最適の長さに保つ必要があ
る。
おいては、レーザ発振器と集光手段とを連絡する光学的
な伝播経路の長さは加工ヘッドの移動位置によって様々
に変化する。このため、レーザの発散特性に適合した光
路長を維持するためには、伝播経路上のいずれかの部位
でレーザ光線の光路長を伸縮し、レーザ発振器から集光
手段に至る伝播経路を常に最適の長さに保つ必要があ
る。
【０００３】このための一手段として、レーザ光線の光
路を９０度ずつ屈折させて入射光に対し平行に出力する
２枚１組の反射鏡を加工ヘッドにおける特定の駆動軸ま
たは各駆動軸の各々に対して個別に配備し、動滑車の原
理やボールネジのピッチ比もしくは歯車の減速比等を応
用して各組の反射鏡を各軸の移動に対応させて光軸方向
に１／２の移動量で連動させることにより、レーザ発振
器から集光手段に至る伝播経路の長さを常に一定に保つ
ようにしたレーザ加工装置が特公平１−５５０７６号と
して既に提案されている。
路を９０度ずつ屈折させて入射光に対し平行に出力する
２枚１組の反射鏡を加工ヘッドにおける特定の駆動軸ま
たは各駆動軸の各々に対して個別に配備し、動滑車の原
理やボールネジのピッチ比もしくは歯車の減速比等を応
用して各組の反射鏡を各軸の移動に対応させて光軸方向
に１／２の移動量で連動させることにより、レーザ発振
器から集光手段に至る伝播経路の長さを常に一定に保つ
ようにしたレーザ加工装置が特公平１−５５０７６号と
して既に提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特公平１−５
５０７６号に開示されたレーザ加工装置は、加工ヘッド
を駆動する各軸の駆動手段と各軸の反射鏡とが動滑車や
ボールネジもしくは歯車等の機械的な連動機構を介して
直接的に連動されるか、または、反射鏡の駆動手段を各
軸の駆動手段と個別に配備した場合であっても、反射鏡
の駆動手段の回転速度は該反射鏡を配備した特定の駆動
軸の移動速度に対して１／２の速度で適応制御されるの
みであった。
５０７６号に開示されたレーザ加工装置は、加工ヘッド
を駆動する各軸の駆動手段と各軸の反射鏡とが動滑車や
ボールネジもしくは歯車等の機械的な連動機構を介して
直接的に連動されるか、または、反射鏡の駆動手段を各
軸の駆動手段と個別に配備した場合であっても、反射鏡
の駆動手段の回転速度は該反射鏡を配備した特定の駆動
軸の移動速度に対して１／２の速度で適応制御されるの
みであった。
【０００５】従って、加工ヘッドを様々な軸方向に移動
する多軸制御型のレーザ加工機に特公平１−５５０７６
号の発明を適用すると、伝播経路の長さを一定に保つた
めにレーザ光線の伝播経路の長さを各軸毎に調整しなけ
ればならず、各軸毎に２枚１組の反射鏡を余分に配備す
る必要が生じ、レーザ光線の減衰および発散が問題とな
るばかりか、構成が複雑化し、また、可動する反射鏡を
ガイドする部材の高精度化も要求され、製造コストが高
騰するといった問題が生じる。
する多軸制御型のレーザ加工機に特公平１−５５０７６
号の発明を適用すると、伝播経路の長さを一定に保つた
めにレーザ光線の伝播経路の長さを各軸毎に調整しなけ
ればならず、各軸毎に２枚１組の反射鏡を余分に配備す
る必要が生じ、レーザ光線の減衰および発散が問題とな
るばかりか、構成が複雑化し、また、可動する反射鏡を
ガイドする部材の高精度化も要求され、製造コストが高
騰するといった問題が生じる。
【０００６】また、特公平１−５５０７６号に開示され
たレーザ加工装置では、光路長調整手段となる２枚１組
の反射鏡が動滑車やボールネジもしくは歯車等の機械的
な連動機構を介して直接的に加工ヘッドの動きに連動し
ていたため、レーザ発振器から集光手段に至る伝播経路
の長さは固定された一定のものであり、ワークの材質や
厚み等の加工条件に対応して伝播経路自体の長さを調整
することはできず、場合によっては最適の伝播経路の長
さで加工を行うこと自体が不可能となる。
たレーザ加工装置では、光路長調整手段となる２枚１組
の反射鏡が動滑車やボールネジもしくは歯車等の機械的
な連動機構を介して直接的に加工ヘッドの動きに連動し
ていたため、レーザ発振器から集光手段に至る伝播経路
の長さは固定された一定のものであり、ワークの材質や
厚み等の加工条件に対応して伝播経路自体の長さを調整
することはできず、場合によっては最適の伝播経路の長
さで加工を行うこと自体が不可能となる。
【０００７】本発明は斯る問題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、構成が簡単で伝播効率を損
なうことがなく、しかも、ワークの材質や厚み等の加工
条件に対応して伝播経路自体の長さを調整することがで
き、かつ、一旦設定された伝播経路の長さをそのまま保
持して最適の加工条件で加工を行うことのできる、特
に、多軸制御型のレーザ加工機に適した光路長固定装置
を提供することにある。
たものであり、その目的は、構成が簡単で伝播効率を損
なうことがなく、しかも、ワークの材質や厚み等の加工
条件に対応して伝播経路自体の長さを調整することがで
き、かつ、一旦設定された伝播経路の長さをそのまま保
持して最適の加工条件で加工を行うことのできる、特
に、多軸制御型のレーザ加工機に適した光路長固定装置
を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光路長固定装置
は、レーザ加工機本体に配備されたレーザ発振器と該加
工機本体に対し移動自在に装備された加工ヘッドの集光
手段との間を光学的な伝播経路で連絡した多軸制御型の
レーザ加工機において、前記加工ヘッドを各軸の方向に
駆動するヘッド駆動制御手段と、前記伝播経路上の所定
１箇所に設けられ加工ヘッドの移動と独立して伝播経路
の光路長を伸縮する光路長調整手段と、該光路長調整手
段を駆動して前記伝播経路の長さを設定光路長に設定す
る光路長設定手段と、前記加工ヘッドの移動位置に基い
て前記光路長調整手段を駆動して伝播経路の長さが設定
光路長となるように制御する光路長制御手段とを備えた
ことを特徴とする構成により前記目的を達成した。
は、レーザ加工機本体に配備されたレーザ発振器と該加
工機本体に対し移動自在に装備された加工ヘッドの集光
手段との間を光学的な伝播経路で連絡した多軸制御型の
レーザ加工機において、前記加工ヘッドを各軸の方向に
駆動するヘッド駆動制御手段と、前記伝播経路上の所定
１箇所に設けられ加工ヘッドの移動と独立して伝播経路
の光路長を伸縮する光路長調整手段と、該光路長調整手
段を駆動して前記伝播経路の長さを設定光路長に設定す
る光路長設定手段と、前記加工ヘッドの移動位置に基い
て前記光路長調整手段を駆動して伝播経路の長さが設定
光路長となるように制御する光路長制御手段とを備えた
ことを特徴とする構成により前記目的を達成した。
【０００９】即ち、加工ヘッドを各軸の方向に駆動する
ヘッド駆動制御手段と伝播経路の光路長を伸縮する光路
長調整手段とを独立して駆動制御する構成とし、前記光
路長設定手段により光路長調整手段を駆動制御してレー
ザ発振器と集光手段との間にワークの材質や厚み等の加
工条件に応じた最適の光路長を設定した後、更に、加工
ヘッドの移動位置に対応して光路長制御手段で光路長調
整手段を駆動制御し、光路長設定手段で一旦設定された
光路長をそのまま保持して加工を行わせることにより前
記目的を達成するものである。
ヘッド駆動制御手段と伝播経路の光路長を伸縮する光路
長調整手段とを独立して駆動制御する構成とし、前記光
路長設定手段により光路長調整手段を駆動制御してレー
ザ発振器と集光手段との間にワークの材質や厚み等の加
工条件に応じた最適の光路長を設定した後、更に、加工
ヘッドの移動位置に対応して光路長制御手段で光路長調
整手段を駆動制御し、光路長設定手段で一旦設定された
光路長をそのまま保持して加工を行わせることにより前
記目的を達成するものである。
【００１０】最適の光路長を容易に設定するため、加工
ヘッドを駆動する各軸の基準位置および光路長調整手段
の基準位置によって決まる伝播経路の基準長と設定光路
長に対する補正値を設定記憶する補正値記憶手段と、前
記ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段に基準位置
復帰指令を出力する復帰指令手段を前記光路長設定手段
に設け、ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段から
の基準位置復帰信号を受けて前記補正値記憶手段の補正
値に基いて光路長調整手段を駆動することにより光路長
を設定する構成とした。
ヘッドを駆動する各軸の基準位置および光路長調整手段
の基準位置によって決まる伝播経路の基準長と設定光路
長に対する補正値を設定記憶する補正値記憶手段と、前
記ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段に基準位置
復帰指令を出力する復帰指令手段を前記光路長設定手段
に設け、ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段から
の基準位置復帰信号を受けて前記補正値記憶手段の補正
値に基いて光路長調整手段を駆動することにより光路長
を設定する構成とした。
【００１１】また、加工ヘッドを駆動する各軸の現在位
置および光路長調整手段の現在位置によって決まる伝播
経路の現在長と設定光路長との差を求めて補正値を算出
した後、この差に基いて光路長調整手段を駆動するよう
にしても良い。
置および光路長調整手段の現在位置によって決まる伝播
経路の現在長と設定光路長との差を求めて補正値を算出
した後、この差に基いて光路長調整手段を駆動するよう
にしても良い。
【００１２】更に、加工プログラム上に設定された補正
値を読み込む補正値読み込み手段と、補正値読み込み手
段で読み込まれた補正値と前記補正値記憶手段に記憶さ
れている補正値との差を求めて補正変化量を算出する補
正変化量算出手段と、補正値読み込み手段で読み込まれ
た補正値を前記補正値記憶手段に更新記憶する補正値更
新手段を設けると共に、新たな補正値が読み込まれる毎
に補正変化量算出手段で算出された補正変化量に基いて
光路長調整手段を駆動して設定光路長を変更することに
より、ワークの材質や厚み等の加工条件に応じた最適の
光路長を加工プログラムによって設定することを可能と
した。
値を読み込む補正値読み込み手段と、補正値読み込み手
段で読み込まれた補正値と前記補正値記憶手段に記憶さ
れている補正値との差を求めて補正変化量を算出する補
正変化量算出手段と、補正値読み込み手段で読み込まれ
た補正値を前記補正値記憶手段に更新記憶する補正値更
新手段を設けると共に、新たな補正値が読み込まれる毎
に補正変化量算出手段で算出された補正変化量に基いて
光路長調整手段を駆動して設定光路長を変更することに
より、ワークの材質や厚み等の加工条件に応じた最適の
光路長を加工プログラムによって設定することを可能と
した。
【００１３】そして、更に、前記光路長制御手段には加
工ヘッドを駆動する各軸毎の移動量の総和を算出する軸
移動量算出手段を設け、軸移動量算出手段で算出される
各軸移動量の総和と光路長調整手段で伸縮される光路長
変化量との和が常に零となるように光路長調整手段に逐
次移動指令を出力する構成により、光路長設定手段によ
って一旦設定された設定光路長をそのまま保持して加工
を行えるようにした。
工ヘッドを駆動する各軸毎の移動量の総和を算出する軸
移動量算出手段を設け、軸移動量算出手段で算出される
各軸移動量の総和と光路長調整手段で伸縮される光路長
変化量との和が常に零となるように光路長調整手段に逐
次移動指令を出力する構成により、光路長設定手段によ
って一旦設定された設定光路長をそのまま保持して加工
を行えるようにした。
【００１４】
【作用】オペレータは、加工ヘッドを駆動する各軸の基
準位置および光路長調整手段の基準位置によって決まる
伝播経路の基準長と設定光路長に対する補正値を予め光
路長固定装置の補正値記憶手段に設定記憶しておく。オ
ペレータが復帰指令手段を操作してヘッド駆動制御手段
および光路長調整手段に基準位置復帰指令を出力する
と、ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段の駆動制
御により、光路長調整手段の一部を構成する２枚１組の
反射鏡および加工ヘッドが基準位置に移動してレーザ発
振器と集光手段との間の光路長が伝播経路の基準長に復
帰し、基準位置復帰信号が出力される。基準位置復帰信
号を検出した光路長設定手段は補正値記憶手段に記憶さ
れている補正値の値を読み込み、その値が正であれば光
路長を増大する方向に、また、その値が負であれば光路
長を減少する方向に光路長調整手段の駆動手段を駆動し
て前記２枚１組の反射鏡を光軸方向に移動させ、レーザ
発振器と集光手段との間の光路長が設定光路長になるよ
うに設定する。
準位置および光路長調整手段の基準位置によって決まる
伝播経路の基準長と設定光路長に対する補正値を予め光
路長固定装置の補正値記憶手段に設定記憶しておく。オ
ペレータが復帰指令手段を操作してヘッド駆動制御手段
および光路長調整手段に基準位置復帰指令を出力する
と、ヘッド駆動制御手段および光路長調整手段の駆動制
御により、光路長調整手段の一部を構成する２枚１組の
反射鏡および加工ヘッドが基準位置に移動してレーザ発
振器と集光手段との間の光路長が伝播経路の基準長に復
帰し、基準位置復帰信号が出力される。基準位置復帰信
号を検出した光路長設定手段は補正値記憶手段に記憶さ
れている補正値の値を読み込み、その値が正であれば光
路長を増大する方向に、また、その値が負であれば光路
長を減少する方向に光路長調整手段の駆動手段を駆動し
て前記２枚１組の反射鏡を光軸方向に移動させ、レーザ
発振器と集光手段との間の光路長が設定光路長になるよ
うに設定する。
【００１５】また、光路長の設定に際し、所望する設定
光路長の値がオペレータによって直接入力されると、光
路長設定手段が加工ヘッドの各軸および前記２枚１組の
反射鏡の現在位置を検出し、これらの現在位置によって
決まる伝播経路の現在長と入力された設定光路長との差
を求めて補正値を算出する。光路長設定手段は補正値算
出手段によって算出された補正値の値を読み込み、その
値が正であれば光路長を増大する方向に、また、その値
が負であれば光路長を減少する方向に光路長調整手段の
駆動手段を駆動して前記２枚１組の反射鏡を光軸方向に
移動させ、レーザ発振器と集光手段との間に、入力され
た設定光路長を設定する。
光路長の値がオペレータによって直接入力されると、光
路長設定手段が加工ヘッドの各軸および前記２枚１組の
反射鏡の現在位置を検出し、これらの現在位置によって
決まる伝播経路の現在長と入力された設定光路長との差
を求めて補正値を算出する。光路長設定手段は補正値算
出手段によって算出された補正値の値を読み込み、その
値が正であれば光路長を増大する方向に、また、その値
が負であれば光路長を減少する方向に光路長調整手段の
駆動手段を駆動して前記２枚１組の反射鏡を光軸方向に
移動させ、レーザ発振器と集光手段との間に、入力され
た設定光路長を設定する。
【００１６】加工開始後、加工プログラム上の補正値が
補正値読み込み手段によって読み込まれると、補正変化
量算出手段が加工プログラム上の補正値と補正値記憶手
段に記憶されている補正値との差を求めて補正変化量を
算出すると共に、補正値読み込み手段によって加工プロ
グラムから読み込まれた補正値が補正値更新手段により
補正値記憶手段に更新記憶される。光路長設定手段は補
正変化量算出手段で算出された補正変化量の値を読み込
み、その値が正であれば光路長を増大する方向に、ま
た、その値が負であれば光路長を減少する方向に光路長
調整手段の駆動手段を駆動して前記２枚１組の反射鏡を
光軸方向に移動させ、レーザ発振器と集光手段との間
に、加工プログラム上の補正値に基く新たな設定光路長
を設定する。
補正値読み込み手段によって読み込まれると、補正変化
量算出手段が加工プログラム上の補正値と補正値記憶手
段に記憶されている補正値との差を求めて補正変化量を
算出すると共に、補正値読み込み手段によって加工プロ
グラムから読み込まれた補正値が補正値更新手段により
補正値記憶手段に更新記憶される。光路長設定手段は補
正変化量算出手段で算出された補正変化量の値を読み込
み、その値が正であれば光路長を増大する方向に、ま
た、その値が負であれば光路長を減少する方向に光路長
調整手段の駆動手段を駆動して前記２枚１組の反射鏡を
光軸方向に移動させ、レーザ発振器と集光手段との間
に、加工プログラム上の補正値に基く新たな設定光路長
を設定する。
【００１７】加工開始後、加工ヘッドを駆動する各軸移
動量の総和が軸移動量算出手段によって逐次算出され
る。光路長調整手段は、各軸移動量の総和と光路長調整
手段で伸縮される光路長変化量との和を零とすべく、各
軸移動量の総和が正であれば光路長を減少する方向に、
また、各軸移動量の総和が負であれば光路長を増大する
方向に光路長調整手段を逐次駆動し、レーザ発振器と集
光手段との間の伝播経路の長さが光路長設定手段で設定
された設定光路長となるように前記２枚１組の反射鏡を
光軸方向に駆動制御する。
動量の総和が軸移動量算出手段によって逐次算出され
る。光路長調整手段は、各軸移動量の総和と光路長調整
手段で伸縮される光路長変化量との和を零とすべく、各
軸移動量の総和が正であれば光路長を減少する方向に、
また、各軸移動量の総和が負であれば光路長を増大する
方向に光路長調整手段を逐次駆動し、レーザ発振器と集
光手段との間の伝播経路の長さが光路長設定手段で設定
された設定光路長となるように前記２枚１組の反射鏡を
光軸方向に駆動制御する。
【００１８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１は一実施例のレーザ加工機および光路長固定
装置の要部を示すブロック図で、１はレーザ加工機の機
械的な構成部を示し、また、２は制御装置の概略を示
す。
する。図１は一実施例のレーザ加工機および光路長固定
装置の要部を示すブロック図で、１はレーザ加工機の機
械的な構成部を示し、また、２は制御装置の概略を示
す。
【００１９】このレーザ加工機は、レーザ加工機本体に
固設されたワーク載置用のテーブル３と、該テーブル３
の長手方向（以下、Ｘ軸という）に沿って摺動自在に配
備された移動アーム４、および、移動アーム４の長手方
向（以下、Ｙ軸という）に沿って摺動自在に取り付けら
れ、かつ、テーブル３の面に対し遠近する方向（以下、
Ｚ軸という）に移動自在な加工ヘッド５とからなる。加
工ヘッド５には集光部が設けられ、移動アーム４と加工
ヘッド５の各々は、各軸のサーボモータＳＶｘとＳＶｙ
およびＳＶｚの各々により、各軸方向に移動される。な
お、この実施例では図１におけるテーブル３の右上端部
に加工ヘッド５があって集光部が加工ヘッド５に縮退し
た状態を各軸および加工ヘッド５の基準位置と規定し、
加工ヘッド５が基準位置からテーブル３の長手方向に沿
って図中下へ向かう移動をＸ軸の正方向、また、基準位
置から移動アーム４に沿って図中の左へ向かう移動をＹ
軸の正方向、更に、加工ヘッド５の集光部がテーブル３
の面に接近する移動をＺ軸の正方向と規定している。
固設されたワーク載置用のテーブル３と、該テーブル３
の長手方向（以下、Ｘ軸という）に沿って摺動自在に配
備された移動アーム４、および、移動アーム４の長手方
向（以下、Ｙ軸という）に沿って摺動自在に取り付けら
れ、かつ、テーブル３の面に対し遠近する方向（以下、
Ｚ軸という）に移動自在な加工ヘッド５とからなる。加
工ヘッド５には集光部が設けられ、移動アーム４と加工
ヘッド５の各々は、各軸のサーボモータＳＶｘとＳＶｙ
およびＳＶｚの各々により、各軸方向に移動される。な
お、この実施例では図１におけるテーブル３の右上端部
に加工ヘッド５があって集光部が加工ヘッド５に縮退し
た状態を各軸および加工ヘッド５の基準位置と規定し、
加工ヘッド５が基準位置からテーブル３の長手方向に沿
って図中下へ向かう移動をＸ軸の正方向、また、基準位
置から移動アーム４に沿って図中の左へ向かう移動をＹ
軸の正方向、更に、加工ヘッド５の集光部がテーブル３
の面に接近する移動をＺ軸の正方向と規定している。
【００２０】レーザ発振器６は加工機本体に一体的に取
り付けられており、レーザー発振器６から出力されたレ
ーザ光線７は、加工機本体側に配備された反射鏡ａ１乃
至ａ４を介して伝播された後、反射鏡ａ４からＸ軸と平
行に出力される。反射鏡ａ２およびａ３の各々は入射し
たレーザ光線７の光路を９０度ずつ屈折させることによ
り入射光と平行に出力して反射鏡ａ１−ａ４間の伝播経
路の長さを変化させる光路長調整手段であって、サーボ
モータＳＶｕにより各軸のサーボモータＳＶｘ，ＳＶ
ｙ，ＳＶｚと独立してＹ軸方向に移動する。なお、光路
長調整手段および光路長設定手段の一部を構成する反射
鏡ａ２，ａ３の移動方向に関しては、図中左から右へ向
かう方向、即ち、伝播経路の長さを短縮する方向への移
動を正方向への移動として規定しており、その中立位
置、即ち、反射鏡ａ２およびａ３が左右に動ける位置に
光路長調整手段の基準位置が決められている。サーボモ
ータの回転出力を直線運動に変換するための手段につい
ては、運動用ネジによるものやラック＆ピニオンによる
もの等、各種のものが周知であるから特に説明しない。
り付けられており、レーザー発振器６から出力されたレ
ーザ光線７は、加工機本体側に配備された反射鏡ａ１乃
至ａ４を介して伝播された後、反射鏡ａ４からＸ軸と平
行に出力される。反射鏡ａ２およびａ３の各々は入射し
たレーザ光線７の光路を９０度ずつ屈折させることによ
り入射光と平行に出力して反射鏡ａ１−ａ４間の伝播経
路の長さを変化させる光路長調整手段であって、サーボ
モータＳＶｕにより各軸のサーボモータＳＶｘ，ＳＶ
ｙ，ＳＶｚと独立してＹ軸方向に移動する。なお、光路
長調整手段および光路長設定手段の一部を構成する反射
鏡ａ２，ａ３の移動方向に関しては、図中左から右へ向
かう方向、即ち、伝播経路の長さを短縮する方向への移
動を正方向への移動として規定しており、その中立位
置、即ち、反射鏡ａ２およびａ３が左右に動ける位置に
光路長調整手段の基準位置が決められている。サーボモ
ータの回転出力を直線運動に変換するための手段につい
ては、運動用ネジによるものやラック＆ピニオンによる
もの等、各種のものが周知であるから特に説明しない。
【００２１】また、レーザ加工機を制御する制御装置２
は、制御手段としてのマイクロプロセッサ（以下、ＭＰ
Ｕという）９と、該ＭＰＵ９の制御プログラム等を格納
したＲＯＭ１０、および、加工プログラムとなるＮＣデ
ータの格納や演算結果の一時記憶等に用いられる不揮発
性のＲＡＭ１１、ならびに、各軸のサーボモータＳＶｘ
とＳＶｙおよびＳＶｚの各々を駆動制御する軸制御器と
してのサーボ＆アンプ（サーボ回路およびサーボアン
プ）ＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚを有し、更に、反射鏡ａ２
およびａ３の駆動手段となるサーボモータＳＶｕを駆動
制御するためＵ軸のサーボ＆アンプＳＡｕを備える。な
お、補正値記憶手段はＲＡＭ１１の設定メモリ部によっ
て構成されており、ＭＰＵ９は、ヘッド駆動制御手段，
光路長調整手段，光路長設定手段，光路長制御手段，復
帰指令手段，補正値算出手段，補正値読み込み手段，補
正変化量算出手段，補正値更新手段，軸移動量算出手段
の一部を構成している。
は、制御手段としてのマイクロプロセッサ（以下、ＭＰ
Ｕという）９と、該ＭＰＵ９の制御プログラム等を格納
したＲＯＭ１０、および、加工プログラムとなるＮＣデ
ータの格納や演算結果の一時記憶等に用いられる不揮発
性のＲＡＭ１１、ならびに、各軸のサーボモータＳＶｘ
とＳＶｙおよびＳＶｚの各々を駆動制御する軸制御器と
してのサーボ＆アンプ（サーボ回路およびサーボアン
プ）ＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚを有し、更に、反射鏡ａ２
およびａ３の駆動手段となるサーボモータＳＶｕを駆動
制御するためＵ軸のサーボ＆アンプＳＡｕを備える。な
お、補正値記憶手段はＲＡＭ１１の設定メモリ部によっ
て構成されており、ＭＰＵ９は、ヘッド駆動制御手段，
光路長調整手段，光路長設定手段，光路長制御手段，復
帰指令手段，補正値算出手段，補正値読み込み手段，補
正変化量算出手段，補正値更新手段，軸移動量算出手段
の一部を構成している。
【００２２】前述の構成により反射鏡ａ４から出力され
たレーザ光線７は、更に、移動アーム４上の一端に固設
された反射鏡ａ５でＹ軸と平行に屈折された後、テーブ
ル３の面Ｘ−Ｙに対しπ／４の角度を成して加工ヘッド
５の上端に固設された反射鏡ａ６によりＺ軸と平行に屈
折され、加工ヘッド５に設けられた集光部の光学レンズ
８で集光されてテーブル３上の加工対象を加工する。従
って、移動アーム４に関するＸ軸方向の移動に応じて反
射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さが変化し、また、加
工ヘッド５に関するＹ軸方向の移動に応じて反射鏡ａ５
−ａ６間の伝播経路の長さが変化すると共に、加工ヘッ
ド５のＺ軸方向の移動に応じて反射鏡ａ６−光学レンズ
８間の伝播経路の長さが変化することとなる。
たレーザ光線７は、更に、移動アーム４上の一端に固設
された反射鏡ａ５でＹ軸と平行に屈折された後、テーブ
ル３の面Ｘ−Ｙに対しπ／４の角度を成して加工ヘッド
５の上端に固設された反射鏡ａ６によりＺ軸と平行に屈
折され、加工ヘッド５に設けられた集光部の光学レンズ
８で集光されてテーブル３上の加工対象を加工する。従
って、移動アーム４に関するＸ軸方向の移動に応じて反
射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さが変化し、また、加
工ヘッド５に関するＹ軸方向の移動に応じて反射鏡ａ５
−ａ６間の伝播経路の長さが変化すると共に、加工ヘッ
ド５のＺ軸方向の移動に応じて反射鏡ａ６−光学レンズ
８間の伝播経路の長さが変化することとなる。
【００２３】例えば、図１に実線で示す基準位置から加
工ヘッド５がＸ，Ｙ各軸の正方向にＸｓ，Ｙｓだけ移動
し、また、加工ヘッド５がＺ軸の方向にＺｓだけ下降し
たとすれば、反射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さと反
射鏡ａ５−ａ６間の伝播経路の長さは各々ＸｓおよびＹ
ｓだけ増大し、また、反射鏡ａ６−光学レンズ８間の伝
播経路の長さはＺｓだけ増大する。従って、伝播経路の
長さは全体でＸｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓだけ増大することとな
り、伝播経路の長さを一定の値に保つためには、光路長
調整手段を構成する反射鏡ａ２およびａ３の各々を正方
向に（Ｘｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／２だけ移動させなければな
らない。この場合、各軸の移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの値
と、光路長調整手段を構成する反射鏡ａ２およびａ３の
移動量ΔＬとの間には、ΔＬ＝（Ｘｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／
２…（式１）の関係が成り立つ。なお、ここでいう移動
量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓは±の符号を包含した値である。
工ヘッド５がＸ，Ｙ各軸の正方向にＸｓ，Ｙｓだけ移動
し、また、加工ヘッド５がＺ軸の方向にＺｓだけ下降し
たとすれば、反射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さと反
射鏡ａ５−ａ６間の伝播経路の長さは各々ＸｓおよびＹ
ｓだけ増大し、また、反射鏡ａ６−光学レンズ８間の伝
播経路の長さはＺｓだけ増大する。従って、伝播経路の
長さは全体でＸｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓだけ増大することとな
り、伝播経路の長さを一定の値に保つためには、光路長
調整手段を構成する反射鏡ａ２およびａ３の各々を正方
向に（Ｘｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／２だけ移動させなければな
らない。この場合、各軸の移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの値
と、光路長調整手段を構成する反射鏡ａ２およびａ３の
移動量ΔＬとの間には、ΔＬ＝（Ｘｓ＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／
２…（式１）の関係が成り立つ。なお、ここでいう移動
量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓは±の符号を包含した値である。
【００２４】但し、図２に示す構成例の場合において
は、加工ヘッド５におけるＸ軸正方向への移動Ｘｓによ
って反射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さが短縮される
ので、Ｘｓの符号を反転し、（式１）をΔＬ＝（−Ｘｓ
＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／２と改める必要がある。即ち、Ｘ，
Ｙ，Ｚ各軸の正方向の移動が各軸方向の伝播経路の長さ
を増大させる方向と一致する場合には移動量Ｘｓ，Ｙ
ｓ，Ｚｓの値と（式１）をそのまま用いて反射鏡ａ２お
よびａ３の移動量Ｌを算出し、また、各軸の正方向の移
動が伝播経路の長さを短縮させる方向と一致する場合に
は、これに対応する移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの符号を反
転させた値と（式１）を用いて反射鏡ａ２およびａ３の
移動量ΔＬを算出することとなるが、いずれの場合にお
いても式の形式は装置の構成により一義的に定まるの
で、以下、図１の構成例、即ち、ΔＬ＝（Ｘｓ＋Ｙｓ＋
Ｚｓ）／２が成立する場合を例にとって説明する。Ｘ，
Ｙ，ＺおよびＵの各軸が基準位置に位置するときにレー
ザ発振器６から光学レンズ８に至るレーザ光線７の伝播
経路の長さは基準長Ｌであり、補正値記憶手段を構成す
るＲＡＭ１１の設定メモリ部には、ワークの材質や厚み
等の加工条件に応じて様々な光路長を設定するための補
正値ΔＳがオペレータの入力操作により予め多数記憶さ
れているものとする。補正値ΔＳは伝播経路の基準長Ｌ
と所望する設定光路長Ｌ′との差として設定された値で
ある。
は、加工ヘッド５におけるＸ軸正方向への移動Ｘｓによ
って反射鏡ａ４−ａ５間の伝播経路の長さが短縮される
ので、Ｘｓの符号を反転し、（式１）をΔＬ＝（−Ｘｓ
＋Ｙｓ＋Ｚｓ）／２と改める必要がある。即ち、Ｘ，
Ｙ，Ｚ各軸の正方向の移動が各軸方向の伝播経路の長さ
を増大させる方向と一致する場合には移動量Ｘｓ，Ｙ
ｓ，Ｚｓの値と（式１）をそのまま用いて反射鏡ａ２お
よびａ３の移動量Ｌを算出し、また、各軸の正方向の移
動が伝播経路の長さを短縮させる方向と一致する場合に
は、これに対応する移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの符号を反
転させた値と（式１）を用いて反射鏡ａ２およびａ３の
移動量ΔＬを算出することとなるが、いずれの場合にお
いても式の形式は装置の構成により一義的に定まるの
で、以下、図１の構成例、即ち、ΔＬ＝（Ｘｓ＋Ｙｓ＋
Ｚｓ）／２が成立する場合を例にとって説明する。Ｘ，
Ｙ，ＺおよびＵの各軸が基準位置に位置するときにレー
ザ発振器６から光学レンズ８に至るレーザ光線７の伝播
経路の長さは基準長Ｌであり、補正値記憶手段を構成す
るＲＡＭ１１の設定メモリ部には、ワークの材質や厚み
等の加工条件に応じて様々な光路長を設定するための補
正値ΔＳがオペレータの入力操作により予め多数記憶さ
れているものとする。補正値ΔＳは伝播経路の基準長Ｌ
と所望する設定光路長Ｌ′との差として設定された値で
ある。
【００２５】レーザ発振器６から光学レンズ８に至るレ
ーザ光線７の伝播経路の長さを加工条件に対応して変更
する場合、オペレータは、まず、ワークの材質や厚み等
の加工条件に応じ、制御装置２のキーボード（図示せ
ず）を介してＭＰＵ９によりＲＡＭ１１の設定メモリ部
から所望の補正値ΔＳを選択し、または、所望する補正
値ΔＳの値をキーボード入力してバッファに記憶させた
後、復帰指令手段としてのＭＰＵ９により各軸のサーボ
＆アンプＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚ，ＳＡｕに基準位置復
帰指令を出力し、光路長設定手段としてのＭＰＵ９に図
３に示されるような「光路長設定処理」を開始させる。
すると、基準位置復帰指令を受けた各軸のサーボ＆アン
プＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚ，ＳＡｕは各軸のサーボモー
タＳＶｘ，ＳＶｙ，ＳＶｚ，ＳＶｕを駆動制御して加工
ヘッド５および光路長調整手段としての反射鏡ａ２，ａ
３を基準位置に復帰させ、レーザ発振器６から光学レン
ズ８に至るレーザ光線７の伝播経路の長さを基準長Ｌに
初期化し、一方、「光路長設定処理」におけるステップ
Ｔ１の判別処理で加工ヘッド５および反射鏡ａ２，ａ３
の基準位置復帰を検出したＭＰＵ９は、実質的な「光路
長設定処理」を開始することとなる。
ーザ光線７の伝播経路の長さを加工条件に対応して変更
する場合、オペレータは、まず、ワークの材質や厚み等
の加工条件に応じ、制御装置２のキーボード（図示せ
ず）を介してＭＰＵ９によりＲＡＭ１１の設定メモリ部
から所望の補正値ΔＳを選択し、または、所望する補正
値ΔＳの値をキーボード入力してバッファに記憶させた
後、復帰指令手段としてのＭＰＵ９により各軸のサーボ
＆アンプＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚ，ＳＡｕに基準位置復
帰指令を出力し、光路長設定手段としてのＭＰＵ９に図
３に示されるような「光路長設定処理」を開始させる。
すると、基準位置復帰指令を受けた各軸のサーボ＆アン
プＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚ，ＳＡｕは各軸のサーボモー
タＳＶｘ，ＳＶｙ，ＳＶｚ，ＳＶｕを駆動制御して加工
ヘッド５および光路長調整手段としての反射鏡ａ２，ａ
３を基準位置に復帰させ、レーザ発振器６から光学レン
ズ８に至るレーザ光線７の伝播経路の長さを基準長Ｌに
初期化し、一方、「光路長設定処理」におけるステップ
Ｔ１の判別処理で加工ヘッド５および反射鏡ａ２，ａ３
の基準位置復帰を検出したＭＰＵ９は、実質的な「光路
長設定処理」を開始することとなる。
【００２６】そこで、光路長設定手段としてのＭＰＵ９
は、まず、選択された補正値ΔＳまたはキーボード入力
された補正値ΔＳをＲＡＭ１１の設定メモリ部もしくは
バッファから読み込んで補正値記憶手段としてのレジス
タＲに一時記憶し（ステップＴ２）、光路長調整手段と
しての反射鏡ａ２，ａ３を駆動するサーボモータＳＶｕ
のサーボ＆アンプＳＡｕに出力すべき移動指令の値をΔ
Ｌ＝−ΔＳ／２の式に基いて算出すると共に（ステップ
Ｔ３）、この値ΔＬをサーボ＆アンプＳＡｕに移動指令
として出力し、サーボモータＳＶｕを駆動して反射鏡ａ
２およびａ３を移動することにより（ステップＴ４）、
基準長Ｌに補正値ΔＳを加えた値、即ち、所望する設定
光路長Ｌ′をレーザ発振器６と光学レンズ８との間に設
定する。
は、まず、選択された補正値ΔＳまたはキーボード入力
された補正値ΔＳをＲＡＭ１１の設定メモリ部もしくは
バッファから読み込んで補正値記憶手段としてのレジス
タＲに一時記憶し（ステップＴ２）、光路長調整手段と
しての反射鏡ａ２，ａ３を駆動するサーボモータＳＶｕ
のサーボ＆アンプＳＡｕに出力すべき移動指令の値をΔ
Ｌ＝−ΔＳ／２の式に基いて算出すると共に（ステップ
Ｔ３）、この値ΔＬをサーボ＆アンプＳＡｕに移動指令
として出力し、サーボモータＳＶｕを駆動して反射鏡ａ
２およびａ３を移動することにより（ステップＴ４）、
基準長Ｌに補正値ΔＳを加えた値、即ち、所望する設定
光路長Ｌ′をレーザ発振器６と光学レンズ８との間に設
定する。
【００２７】なお、本実施例では補正量として光路長に
対する補正値ΔＳを設定するようにしたが、前述のΔ
Ｌ、即ち、反射鏡ａ２，ａ３を駆動するサーボモータＳ
Ｖｕの移動量を補正量として設定するようにすればステ
ップＴ３の処理は不要である。
対する補正値ΔＳを設定するようにしたが、前述のΔ
Ｌ、即ち、反射鏡ａ２，ａ３を駆動するサーボモータＳ
Ｖｕの移動量を補正量として設定するようにすればステ
ップＴ３の処理は不要である。
【００２８】以上に述べたように、本実施例の光路長固
定装置によれば、光路長調整手段としてのＭＰＵ９によ
り、加工ヘッド５を駆動するヘッド駆動制御手段として
の各軸のサーボ＆アンプＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚに独立
して、光路長設定手段としての反射鏡ａ２，ａ３を駆動
するサーボ＆アンプＳＡｕのみを個別に駆動制御するこ
とができるので、ハードウェア上の構成によって伝播経
路の長さが限定されることはなく、ワークの材質や厚み
等の加工条件に対応して伝播経路の長さＬ′を自由に設
定することができる。なお、レジスタＲは新たに選択も
しくは設定された補正値ΔＳを記憶するための補正値記
憶手段であり、以降の処理で該レジスタＲの値が更新設
定された場合であっても、補正値記憶手段を構成するＲ
ＡＭ１１の設定メモリ部に記憶された補正値ΔＳの値は
そのままの状態で保持される。
定装置によれば、光路長調整手段としてのＭＰＵ９によ
り、加工ヘッド５を駆動するヘッド駆動制御手段として
の各軸のサーボ＆アンプＳＡｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚに独立
して、光路長設定手段としての反射鏡ａ２，ａ３を駆動
するサーボ＆アンプＳＡｕのみを個別に駆動制御するこ
とができるので、ハードウェア上の構成によって伝播経
路の長さが限定されることはなく、ワークの材質や厚み
等の加工条件に対応して伝播経路の長さＬ′を自由に設
定することができる。なお、レジスタＲは新たに選択も
しくは設定された補正値ΔＳを記憶するための補正値記
憶手段であり、以降の処理で該レジスタＲの値が更新設
定された場合であっても、補正値記憶手段を構成するＲ
ＡＭ１１の設定メモリ部に記憶された補正値ΔＳの値は
そのままの状態で保持される。
【００２９】また、伝播経路の基準長Ｌと所望する設定
光路長Ｌ′との差である補正値ΔＳを与えて設定光路長
Ｌ′を設定する代わりに、設定光路長Ｌ′の値を直接キ
ーボードから入力し、加工ヘッド５を駆動するＸ，Ｙ，
Ｚ各軸の現在位置および反射鏡ａ２，ａ３を駆動するＵ
軸の現在位置を各軸毎の現在位置記憶レジスタ等から検
出してレーザ発振器６から光学レンズ８に至る伝播経路
の現在長Ｌ″の値をＭＰＵ９で求め、補正値算出手段と
してのＭＰＵ９でΔＳ＝Ｌ′−Ｌ″の式に基いて補正値
ΔＳを算出した後、前記と同様、サーボモータＳＶｕの
サーボ＆アンプＳＡｕに出力すべき移動指令の値をΔＬ
＝−ΔＳ／２の式に基いて算出し、この値ΔＬをサーボ
＆アンプＳＡｕに移動指令として出力することにより、
レーザ発振器６と光学レンズ８との間に設定光路長Ｌ′
を設定するようにすることも可能である。
光路長Ｌ′との差である補正値ΔＳを与えて設定光路長
Ｌ′を設定する代わりに、設定光路長Ｌ′の値を直接キ
ーボードから入力し、加工ヘッド５を駆動するＸ，Ｙ，
Ｚ各軸の現在位置および反射鏡ａ２，ａ３を駆動するＵ
軸の現在位置を各軸毎の現在位置記憶レジスタ等から検
出してレーザ発振器６から光学レンズ８に至る伝播経路
の現在長Ｌ″の値をＭＰＵ９で求め、補正値算出手段と
してのＭＰＵ９でΔＳ＝Ｌ′−Ｌ″の式に基いて補正値
ΔＳを算出した後、前記と同様、サーボモータＳＶｕの
サーボ＆アンプＳＡｕに出力すべき移動指令の値をΔＬ
＝−ΔＳ／２の式に基いて算出し、この値ΔＬをサーボ
＆アンプＳＡｕに移動指令として出力することにより、
レーザ発振器６と光学レンズ８との間に設定光路長Ｌ′
を設定するようにすることも可能である。
【００３０】このようにして加工条件に対応してレーザ
発振器６と光学レンズ８との間に設定された設定光路長
Ｌ′の値は、光路長設定時の加工条件を保持して加工を
行う間、光路長制御手段によりそのままの状態で維持す
る必要がある。
発振器６と光学レンズ８との間に設定された設定光路長
Ｌ′の値は、光路長設定時の加工条件を保持して加工を
行う間、光路長制御手段によりそのままの状態で維持す
る必要がある。
【００３１】図４はレーザ加工機によるレーザ加工が行
われる間にＭＰＵ９が実施する「光路長固定処理」の概
略を示すフローチャートである。
われる間にＭＰＵ９が実施する「光路長固定処理」の概
略を示すフローチャートである。
【００３２】ＭＰＵ９は、まず、ＲＡＭ１１の加工プロ
グラムから１ブロックのＮＣデータを読込み（ステップ
Ｓ１）、このデータが加工プログラムの終了を示すもの
であるのか、または、加工移動指令であるのかを判別す
る（ステップＳ２）。
グラムから１ブロックのＮＣデータを読込み（ステップ
Ｓ１）、このデータが加工プログラムの終了を示すもの
であるのか、または、加工移動指令であるのかを判別す
る（ステップＳ２）。
【００３３】加工移動指令であれば、ヘッド駆動制御手
段としてのＭＰＵ９はこの移動指令の値に基いて補間演
算を実施し、単位時間当たりの各軸移動量の値、即ち、
この処理周期で出力すべき各軸当たりの分配パルス数を
算出して（ステップＳ３）、各軸のサーボ＆アンプＳＡ
ｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚの各々に出力し、各軸のサーボモー
タＳＶｘ，ＳＶｙ，ＳＶｚを駆動して加工ヘッド５およ
び集光部を移動させると共に（ステップＳ４）、現在値
レジスタの値にステップＳ４で出力した各軸の分配パル
スに対応する移動量を加算して記憶する（ステップＳ
５）。
段としてのＭＰＵ９はこの移動指令の値に基いて補間演
算を実施し、単位時間当たりの各軸移動量の値、即ち、
この処理周期で出力すべき各軸当たりの分配パルス数を
算出して（ステップＳ３）、各軸のサーボ＆アンプＳＡ
ｘ，ＳＡｙ，ＳＡｚの各々に出力し、各軸のサーボモー
タＳＶｘ，ＳＶｙ，ＳＶｚを駆動して加工ヘッド５およ
び集光部を移動させると共に（ステップＳ４）、現在値
レジスタの値にステップＳ４で出力した各軸の分配パル
スに対応する移動量を加算して記憶する（ステップＳ
５）。
【００３４】次いで、軸移動量算出手段としてのＭＰＵ
９は前回の処理周期から今回の処理周期にかけてのミラ
ー移動軸、即ち、レーザ光線の光路の増減に関与する各
軸の実質的な移動量ΔＸｓ，ΔＹｓ，ΔＺｓの値を各軸
の現在値レジスタの値に基いて各軸毎に算出し（ステッ
プＳ６）、光路長制御手段としてのＭＰＵ９はこの移動
によって生じた加工ヘッド５および集光部の位置変化に
伴う伝播経路の長さ変化を補償するための反射鏡ａ２お
よびａ３の移動量をΔＬ＝（ΔＸｓ＋ΔＹｓ＋ΔＺｓ）
／２の式に基いて算出すると共に（ステップＳ７）、こ
の値ΔＬをサーボ＆アンプＳＡｕに移動指令として出力
し、サーボモータＳＶｕを駆動して反射鏡ａ２およびａ
３を移動することにより（ステップＳ８）、伝播経路の
長さを予め設定された設定光路長の値Ｌ′に保持する。
９は前回の処理周期から今回の処理周期にかけてのミラ
ー移動軸、即ち、レーザ光線の光路の増減に関与する各
軸の実質的な移動量ΔＸｓ，ΔＹｓ，ΔＺｓの値を各軸
の現在値レジスタの値に基いて各軸毎に算出し（ステッ
プＳ６）、光路長制御手段としてのＭＰＵ９はこの移動
によって生じた加工ヘッド５および集光部の位置変化に
伴う伝播経路の長さ変化を補償するための反射鏡ａ２お
よびａ３の移動量をΔＬ＝（ΔＸｓ＋ΔＹｓ＋ΔＺｓ）
／２の式に基いて算出すると共に（ステップＳ７）、こ
の値ΔＬをサーボ＆アンプＳＡｕに移動指令として出力
し、サーボモータＳＶｕを駆動して反射鏡ａ２およびａ
３を移動することにより（ステップＳ８）、伝播経路の
長さを予め設定された設定光路長の値Ｌ′に保持する。
【００３５】次いで、ＭＰＵ９は、各軸への分配処理が
終了しているか否かを判別するが（ステップＳ９）、分
配が終了していなければ、以下、前記と同様にしてステ
ップＳ３乃至ステップＳ９の処理を繰返し実行し、各軸
へのパルス分配を行って加工ヘッド５および集光部を移
動させると共に、前回の処理周期から今回の処理周期に
かけての加工ヘッド５および集光部の位置変化に伴う伝
播経路の長さ変化を補償するための反射鏡ａ２およびａ
３の移動量ΔＬを算出してサーボモータＳＶｕを駆動
し、反射鏡ａ２およびａ３を移動しながら伝播経路の長
さを予め設定された設定光路長の値Ｌ′に保持してレー
ザ加工を行う。
終了しているか否かを判別するが（ステップＳ９）、分
配が終了していなければ、以下、前記と同様にしてステ
ップＳ３乃至ステップＳ９の処理を繰返し実行し、各軸
へのパルス分配を行って加工ヘッド５および集光部を移
動させると共に、前回の処理周期から今回の処理周期に
かけての加工ヘッド５および集光部の位置変化に伴う伝
播経路の長さ変化を補償するための反射鏡ａ２およびａ
３の移動量ΔＬを算出してサーボモータＳＶｕを駆動
し、反射鏡ａ２およびａ３を移動しながら伝播経路の長
さを予め設定された設定光路長の値Ｌ′に保持してレー
ザ加工を行う。
【００３６】そして、ステップＳ９の判別結果が真とな
って分配処理の終了が確認されると、ＭＰＵ９はステッ
プＳ１に復帰してＲＡＭ１１の加工プログラムから次の
１ブロックを読込み、このブロックが加工移動指令であ
れば、前記と同様の処理を繰返し実行する一方、加工プ
ログラムの終了を示すブロックが読込まれると（ステッ
プＳ２）、今回の加工プログラムで与えられた全ての加
工動作を終了することとなる。なお、ステップＳ６およ
びステップＳ７の処理で移動量の算出に関与するのはレ
ーザ光線の光路の増減に関与する各軸のみであり、例え
ば、加工ヘッド５をＸ軸およびＺ軸方向に移動させる一
方、テーブル３をＹ軸方向に移動させて加工を行うよう
な構成とした場合には、レーザ光線の光路の増減に関係
のないＹ軸の移動は計算に含めない。
って分配処理の終了が確認されると、ＭＰＵ９はステッ
プＳ１に復帰してＲＡＭ１１の加工プログラムから次の
１ブロックを読込み、このブロックが加工移動指令であ
れば、前記と同様の処理を繰返し実行する一方、加工プ
ログラムの終了を示すブロックが読込まれると（ステッ
プＳ２）、今回の加工プログラムで与えられた全ての加
工動作を終了することとなる。なお、ステップＳ６およ
びステップＳ７の処理で移動量の算出に関与するのはレ
ーザ光線の光路の増減に関与する各軸のみであり、例え
ば、加工ヘッド５をＸ軸およびＺ軸方向に移動させる一
方、テーブル３をＹ軸方向に移動させて加工を行うよう
な構成とした場合には、レーザ光線の光路の増減に関係
のないＹ軸の移動は計算に含めない。
【００３７】また、適切な加工を行うためのレーザ光線
の伝播経路の長さは、設定光路長の値Ｌ′を基準とし
て、その前後に一定の範囲で補償されているので、加工
ヘッド５および集光部の移動によって伝播経路の長さ
Ｌ′に微小な変化が生じたとしても加工に実質的な支障
を生ずることはない。従って、この実施例のように短い
周期で反射鏡ａ２およびａ３の位置を小刻みに修正する
かわりに、ＮＣプログラムにおける１ブロックの加工移
動毎に反射鏡ａ２およびａ３の位置を調整するようにし
てもよい。
の伝播経路の長さは、設定光路長の値Ｌ′を基準とし
て、その前後に一定の範囲で補償されているので、加工
ヘッド５および集光部の移動によって伝播経路の長さ
Ｌ′に微小な変化が生じたとしても加工に実質的な支障
を生ずることはない。従って、この実施例のように短い
周期で反射鏡ａ２およびａ３の位置を小刻みに修正する
かわりに、ＮＣプログラムにおける１ブロックの加工移
動毎に反射鏡ａ２およびａ３の位置を調整するようにし
てもよい。
【００３８】なお、実際の加工プログラムにおいてはレ
ーザ加工電源のＯＮ／ＯＦＦや加工ヘッド５の早送り操
作等が含まれるのが普通であるが、図４に示すフローチ
ャートにおいては、説明の簡略化のため、加工ブログラ
ムにおける全てのブロックが加工移動指令で構成されて
いるものとして扱った。加工電源のＯＮ／ＯＦＦや加工
ヘッド５の早送り等に関する処理は従来のものと同様で
ある。加工ヘッド５の早送り操作の場合でも加工ヘッド
５および集光部の位置変化に伴って伝播経路の長さが変
化することに変わりはないから、加工中であるか否かに
関わらず前述と同様の処理を適用して次の加工のために
反射鏡ａ２およびａ３の位置を常時補正するようにする
か、または、加工ヘッド５の早送り操作のときに前述の
ような処理を行わせない場合には、加工ヘッド５の基準
位置から現在位置までの移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの総和
に基いて反射鏡ａ２およびａ３の移動量ΔＬを算出し、
この値をアブソリュート指定で出力することにより（ス
テップＳ６乃至ステップＳ８の処理に対応）、反射鏡ａ
２およびａ３の位置を調整するようにする。
ーザ加工電源のＯＮ／ＯＦＦや加工ヘッド５の早送り操
作等が含まれるのが普通であるが、図４に示すフローチ
ャートにおいては、説明の簡略化のため、加工ブログラ
ムにおける全てのブロックが加工移動指令で構成されて
いるものとして扱った。加工電源のＯＮ／ＯＦＦや加工
ヘッド５の早送り等に関する処理は従来のものと同様で
ある。加工ヘッド５の早送り操作の場合でも加工ヘッド
５および集光部の位置変化に伴って伝播経路の長さが変
化することに変わりはないから、加工中であるか否かに
関わらず前述と同様の処理を適用して次の加工のために
反射鏡ａ２およびａ３の位置を常時補正するようにする
か、または、加工ヘッド５の早送り操作のときに前述の
ような処理を行わせない場合には、加工ヘッド５の基準
位置から現在位置までの移動量Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓの総和
に基いて反射鏡ａ２およびａ３の移動量ΔＬを算出し、
この値をアブソリュート指定で出力することにより（ス
テップＳ６乃至ステップＳ８の処理に対応）、反射鏡ａ
２およびａ３の位置を調整するようにする。
【００３９】以上に述べたように、本実施例の光路長固
定装置によれば、加工ヘッド５を駆動する各軸の移動量
の総和と光路長調整手段を構成する反射鏡ａ２，ａ３で
伸縮される光路長変化量との和が常に零となるように駆
動制御されるから、レーザ発振器６から光学レンズ８に
至る伝播経路の長さは、前述の「光路長設定処理」で予
め設定された設定光路長の値Ｌ′に定常的に保持され
る。
定装置によれば、加工ヘッド５を駆動する各軸の移動量
の総和と光路長調整手段を構成する反射鏡ａ２，ａ３で
伸縮される光路長変化量との和が常に零となるように駆
動制御されるから、レーザ発振器６から光学レンズ８に
至る伝播経路の長さは、前述の「光路長設定処理」で予
め設定された設定光路長の値Ｌ′に定常的に保持され
る。
【００４０】しかし、実際のレーザ加工では、加工開始
前に設定した加工条件に基いて最後まで同じ条件で加工
を繰り返すという保証はなく、例えば、ワーク形状によ
っては加工の途中でワークの厚みが変化したり、また、
場合によっては材質の異なる別のワークを途中で加工し
たいような場合もあり、この様な場合、加工に最適な設
定光路長の値Ｌ′自体が変化するので、前述の「光路長
設定処理」や「光路長固定処理」だけでは適切な加工が
継続できなくなる可能性もある。そこで、本実施例の光
路長固定装置では、更に、加工プログラムによって新た
な補正値ΔＳ′の値を与え、この値に基いて「光路長再
設定処理」を実行することにより設定光路長の値Ｌ′を
再設定するようにしている。
前に設定した加工条件に基いて最後まで同じ条件で加工
を繰り返すという保証はなく、例えば、ワーク形状によ
っては加工の途中でワークの厚みが変化したり、また、
場合によっては材質の異なる別のワークを途中で加工し
たいような場合もあり、この様な場合、加工に最適な設
定光路長の値Ｌ′自体が変化するので、前述の「光路長
設定処理」や「光路長固定処理」だけでは適切な加工が
継続できなくなる可能性もある。そこで、本実施例の光
路長固定装置では、更に、加工プログラムによって新た
な補正値ΔＳ′の値を与え、この値に基いて「光路長再
設定処理」を実行することにより設定光路長の値Ｌ′を
再設定するようにしている。
【００４１】図５は前述の「光路長固定処理」と並行
し、いわゆるバックグラウンド処理としてＭＰＵ９が所
定周期毎に繰り返し実行する「光路長再設定処理」の概
略を示すフローチャートである。
し、いわゆるバックグラウンド処理としてＭＰＵ９が所
定周期毎に繰り返し実行する「光路長再設定処理」の概
略を示すフローチャートである。
【００４２】「光路長再設定処理」を開始したＭＰＵ９
は、まず、光路長再設定のためのコマンドとなる光路長
変更指令が読み込まれているか否かを判別するが（ステ
ップＵ１）、光路長変更指令が読み込まれていなけれ
ば、以下、所定周期毎の「光路長再設定処理」でステッ
プＵ１の判別処理のみを繰り返し実行し、光路長変更指
令の読み込みを待機することとなる。
は、まず、光路長再設定のためのコマンドとなる光路長
変更指令が読み込まれているか否かを判別するが（ステ
ップＵ１）、光路長変更指令が読み込まれていなけれ
ば、以下、所定周期毎の「光路長再設定処理」でステッ
プＵ１の判別処理のみを繰り返し実行し、光路長変更指
令の読み込みを待機することとなる。
【００４３】そして、前述の「光路長固定処理」を始め
とする各種のタスク処理により加工プログラムを実行す
る間に光路長変更指令が読み込まれると、補正値読み込
み手段および補正変化量算出手段としてのＭＰＵ９はス
テップＵ１の判別処理でこれを検出し、光路長変更指令
のオペランドとして設定された補正値ΔＳ′の値を加工
プログラムから読み込んで（ステップＵ２）、現時点で
設定されている補正値ΔＳ、つまり、補正値記憶手段と
してのレジスタＲに記憶されている補正値ΔＳと新たに
読み込まれた補正値ΔＳ′との差である補正変化量Δ
Ｓ″をΔＳ″＝ΔＳ′−Ｒの式に基いて算出する（ステ
ップＵ３）。
とする各種のタスク処理により加工プログラムを実行す
る間に光路長変更指令が読み込まれると、補正値読み込
み手段および補正変化量算出手段としてのＭＰＵ９はス
テップＵ１の判別処理でこれを検出し、光路長変更指令
のオペランドとして設定された補正値ΔＳ′の値を加工
プログラムから読み込んで（ステップＵ２）、現時点で
設定されている補正値ΔＳ、つまり、補正値記憶手段と
してのレジスタＲに記憶されている補正値ΔＳと新たに
読み込まれた補正値ΔＳ′との差である補正変化量Δ
Ｓ″をΔＳ″＝ΔＳ′−Ｒの式に基いて算出する（ステ
ップＵ３）。
【００４４】次いで、光路長設定手段としてのＭＰＵ９
は、光路長調整手段としての反射鏡ａ２，ａ３を駆動す
るサーボモータＳＶｕのサーボ＆アンプＳＡｕに出力す
べき移動指令の値をΔＬ＝−ΔＳ″／２の式に基いて算
出すると共に（ステップＵ４）、この値ΔＬをサーボ＆
アンプＳＡｕに移動指令として出力し、サーボモータＳ
Ｖｕを駆動して反射鏡ａ２およびａ３を移動することに
より、これまで設定されていた光路長Ｌ′に補正変化量
ΔＳ″を加えた値、つまり、加工プログラムで与えられ
た最適の補正値ΔＳ′を基準長Ｌに加えた値である設定
光路長Ｌ′をレーザ発振器６と光学レンズ８との間に再
設定し（ステップＵ５）、更に、補正値更新手段として
のＭＰＵ９は、補正値記憶手段としてのレジスタＲに今
回読み込んだ補正値ΔＳ′の値を更新記憶させ（ステッ
プＵ６）、当該処理周期の「光路長再設定処理」を終了
する。
は、光路長調整手段としての反射鏡ａ２，ａ３を駆動す
るサーボモータＳＶｕのサーボ＆アンプＳＡｕに出力す
べき移動指令の値をΔＬ＝−ΔＳ″／２の式に基いて算
出すると共に（ステップＵ４）、この値ΔＬをサーボ＆
アンプＳＡｕに移動指令として出力し、サーボモータＳ
Ｖｕを駆動して反射鏡ａ２およびａ３を移動することに
より、これまで設定されていた光路長Ｌ′に補正変化量
ΔＳ″を加えた値、つまり、加工プログラムで与えられ
た最適の補正値ΔＳ′を基準長Ｌに加えた値である設定
光路長Ｌ′をレーザ発振器６と光学レンズ８との間に再
設定し（ステップＵ５）、更に、補正値更新手段として
のＭＰＵ９は、補正値記憶手段としてのレジスタＲに今
回読み込んだ補正値ΔＳ′の値を更新記憶させ（ステッ
プＵ６）、当該処理周期の「光路長再設定処理」を終了
する。
【００４５】そして、前述の「光路長固定処理」におけ
るタスクでは、以下、今回の「光路長再設定処理」で設
定された設定光路長Ｌ′を基準として前述と同様の処理
が繰り返し実行され、光路長制御手段としてのＭＰＵ９
が反射鏡ａ２およびａ３の位置を逐次移動して伝播経路
の長さを設定光路長の値Ｌ′に保持してレーザ加工が行
われることとなる。
るタスクでは、以下、今回の「光路長再設定処理」で設
定された設定光路長Ｌ′を基準として前述と同様の処理
が繰り返し実行され、光路長制御手段としてのＭＰＵ９
が反射鏡ａ２およびａ３の位置を逐次移動して伝播経路
の長さを設定光路長の値Ｌ′に保持してレーザ加工が行
われることとなる。
【００４６】加工プログラムを実行する間に光路長変更
指令や補正値ΔＳ′の値が再び読み込まれると、光路長
設定手段としてのＭＰＵ９は前記と同様にしてステップ
Ｕ１〜ステップＵ６までの「光路長再設定処理」を繰り
返し実行することとなるが、その時点で設定されている
補正値ΔＳ、即ち、補正値記憶手段としてのレジスタＲ
に記憶されている補正値ΔＳと新たに読み込まれた補正
値ΔＳ′との差である補正変化量ΔＳ″の値を求めて反
射鏡ａ２，ａ３を現在位置からインクリメンタル量で移
動させるようにしているので、光路長を最初に設定する
場合の様に各軸を基準位置に復帰させてからＵ軸を駆動
する必要はなく、加工の途中であっても光路長の再設定
を円滑に行うことができる。
指令や補正値ΔＳ′の値が再び読み込まれると、光路長
設定手段としてのＭＰＵ９は前記と同様にしてステップ
Ｕ１〜ステップＵ６までの「光路長再設定処理」を繰り
返し実行することとなるが、その時点で設定されている
補正値ΔＳ、即ち、補正値記憶手段としてのレジスタＲ
に記憶されている補正値ΔＳと新たに読み込まれた補正
値ΔＳ′との差である補正変化量ΔＳ″の値を求めて反
射鏡ａ２，ａ３を現在位置からインクリメンタル量で移
動させるようにしているので、光路長を最初に設定する
場合の様に各軸を基準位置に復帰させてからＵ軸を駆動
する必要はなく、加工の途中であっても光路長の再設定
を円滑に行うことができる。
【００４７】以上に述べたように、本実施例の光路長固
定装置によれば、加工プログラム中で新たな補正値Δ
Ｓ′を与えて光路長設定手段を再駆動することにより加
工条件に適した光路長Ｌ′を簡単に再設定することがで
きるので、一旦光路長を設定した後にワーク形状による
ワークの厚み変化が生じるような場合であっても常に最
適の光路長を維持してレーザ加工を行うことができる。
この実施例では「光路長固定処理」と「光路長再設定処
理」を別タスクの処理として説明したが、「光路長固定
処理」におけるステップＳ２の判別処理で光路長変更指
令の読み込みの有無を検出して「光路長再設定処理」に
おけるステップＵ２以下の処理を行わせるようにしても
良い。
定装置によれば、加工プログラム中で新たな補正値Δ
Ｓ′を与えて光路長設定手段を再駆動することにより加
工条件に適した光路長Ｌ′を簡単に再設定することがで
きるので、一旦光路長を設定した後にワーク形状による
ワークの厚み変化が生じるような場合であっても常に最
適の光路長を維持してレーザ加工を行うことができる。
この実施例では「光路長固定処理」と「光路長再設定処
理」を別タスクの処理として説明したが、「光路長固定
処理」におけるステップＳ２の判別処理で光路長変更指
令の読み込みの有無を検出して「光路長再設定処理」に
おけるステップＵ２以下の処理を行わせるようにしても
良い。
【００４８】
【発明の効果】本発明のレーザ加工機における光路長固
定装置は、加工ヘッドを各軸の方向に駆動するヘッド駆
動制御手段と伝播経路の光路長を伸縮する光路長調整手
段とを独立して駆動制御できるようにしたので、各部の
機械構成によって伝播経路の長さが限定されることがな
く、ワークの材質や厚み等の加工条件に対応して加工の
開始時または加工プログラムの実行中に、基準となる伝
播経路の長さを自由に設定および設定変更することがで
きる。また、加工ヘッドの移動位置に基づいてレーザ光
線の伝播経路の長さを一定の値に保つように、伝播経路
上に配設された只一つの光路長調整手段を駆動するよう
にしたから、従来のレーザ加工機のように各軸毎に多数
の反射鏡およびその駆動手段を配備して伝播経路の長さ
を調整する必要がなくなり、多数の軸で駆動される加工
ヘッドを備えたレーザ加工機に対しても構成を複雑化す
ることなくレーザ光線の減衰や発散等のエネルギーロス
を防止することができ、しかも、一旦設定または設定変
更された光路の長さを一定に保ったまま常に安定した加
工を続けることができる。
定装置は、加工ヘッドを各軸の方向に駆動するヘッド駆
動制御手段と伝播経路の光路長を伸縮する光路長調整手
段とを独立して駆動制御できるようにしたので、各部の
機械構成によって伝播経路の長さが限定されることがな
く、ワークの材質や厚み等の加工条件に対応して加工の
開始時または加工プログラムの実行中に、基準となる伝
播経路の長さを自由に設定および設定変更することがで
きる。また、加工ヘッドの移動位置に基づいてレーザ光
線の伝播経路の長さを一定の値に保つように、伝播経路
上に配設された只一つの光路長調整手段を駆動するよう
にしたから、従来のレーザ加工機のように各軸毎に多数
の反射鏡およびその駆動手段を配備して伝播経路の長さ
を調整する必要がなくなり、多数の軸で駆動される加工
ヘッドを備えたレーザ加工機に対しても構成を複雑化す
ることなくレーザ光線の減衰や発散等のエネルギーロス
を防止することができ、しかも、一旦設定または設定変
更された光路の長さを一定に保ったまま常に安定した加
工を続けることができる。
【図１】本発明の光路長固定装置を適用した一実施例の
レーザ加工機の要部を示すブロック図である。
レーザ加工機の要部を示すブロック図である。
【図２】光路長固定装置の他の配備例を示すブロック図
である。
である。
【図３】レーザ加工機の制御装置による「光路長設定処
理」の概略を示すフローチャートである。
理」の概略を示すフローチャートである。
【図４】レーザ加工機の制御装置による「光路長固定処
理」の概略を示すフローチャートである。
理」の概略を示すフローチャートである。
【図５】レーザ加工機の制御装置による「光路長再設定
処理」の概略を示すフローチャートである。
処理」の概略を示すフローチャートである。
１ レーザ加工機 ２ 制御装置 ５ 加工ヘッド ６ レーザ発振器 ７ レーザ光線（光路） ８ 集光手段としての光学レンズ ９ マイクロプロセッサ ａ１〜ａ６ 反射鏡 ａ２，ａ３ 光路長調整手段の一部を構成する２枚１組
の反射鏡 ＳＶｕ 光路長調整手段の一部を構成するサーボモータ
の反射鏡 ＳＶｕ 光路長調整手段の一部を構成するサーボモータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23K 26/00 - 26/08
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザ加工機本体に配備されたレーザ発
振器と該加工機本体に対し移動自在に装備された加工ヘ
ッドの集光手段との間を光学的な伝播経路で連絡した多
軸制御型のレーザ加工機において、前記加工ヘッドを各
軸の方向に駆動するヘッド駆動制御手段と、前記伝播経
路上の所定１箇所に設けられ加工ヘッドの移動と独立し
て伝播経路の光路長を伸縮する光路長調整手段と、該光
路長調整手段を駆動して前記伝播経路の長さを設定光路
長に設定する光路長設定手段と、前記加工ヘッドの移動
位置に基いて前記光路長調整手段を駆動して伝播経路の
長さが設定光路長となるように制御する光路長制御手段
とを備えたことを特徴とするレーザ加工機における光路
長固定装置。 - 【請求項２】 前記光路長設定手段は、前記ヘッド駆動
制御手段および光路長調整手段に基準位置復帰指令を出
力する復帰指令手段と、加工ヘッドを駆動する各軸の基
準位置および光路長調整手段の基準位置によって決まる
伝播経路の基準長に対する補正値を設定記憶する補正値
記憶手段とを備え、ヘッド駆動制御手段および光路長調
整手段からの基準位置復帰信号を受けて前記補正値記憶
手段に記憶した補正値に基いて光路長調整手段を駆動し
て設定光路長を設定する請求項１記載のレーザ加工機に
おける光路長固定装置。 - 【請求項３】 前記光路長設定手段は、加工ヘッドを駆
動する各軸の現在位置および光路長調整手段の現在位置
によって決まる伝播経路の現在長と設定光路長との差を
求め、この差に基いて前記伝播経路の長さが設定光路長
になるように前記光路長調整手段を駆動する請求項１記
載のレーザ加工機における光路長固定装置。 - 【請求項４】 加工プログラム上に設定された補正値を
読み込む補正値読み込み手段と、補正値読み込み手段で
読み込まれた補正値と前記補正値記憶手段に記憶されて
いる補正値との差を求めて補正変化量を算出する補正変
化量算出手段と、補正値読み込み手段で読み込まれた補
正値を前記補正値記憶手段に更新記憶する補正値更新手
段とを設けると共に、前記光路長設定手段は補正変化量
算出手段で算出された補正変化量に基いて光路長調整手
段を駆動して光路長を変更する請求項２記載のレーザ加
工機における光路長固定装置。 - 【請求項５】 前記光路長制御手段は加工ヘッドを駆動
する各軸毎の移動量の総和を算出する軸移動量算出手段
を備え、軸移動量算出手段で算出される各軸移動量の総
和と光路長調整手段で伸縮される光路長変化量との和が
零となるように光路長調整手段に逐次移動指令を出力し
て設定光路長を保持する請求項１，請求項２，請求項３
または請求項４記載のレーザ加工機における光路長固定
装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4146927A JP2789281B2 (ja) | 1991-09-26 | 1992-05-13 | レーザ加工機における光路長固定装置 |
| KR1019930701144A KR970006325B1 (ko) | 1991-09-26 | 1992-09-25 | 레이저 가공기에 있어서의 광로길이 고정장치 |
| DE69217476T DE69217476T2 (de) | 1991-09-26 | 1992-09-25 | System zum fixieren der länge eines optischen weges in einer laserbearbeitungsmaschine |
| EP92920396A EP0559916B1 (en) | 1991-09-26 | 1992-09-25 | Optical path length fixing system in laser processing machine |
| US08/064,102 US5406048A (en) | 1991-09-26 | 1992-09-25 | Optical path length fixing apparatus for a laser processing machine |
| PCT/JP1992/001223 WO1993005921A1 (en) | 1991-09-26 | 1992-09-25 | Optical path length fixing system in laser processing machine |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27350091 | 1991-09-26 | ||
| JP3-273500 | 1991-09-26 | ||
| JP4146927A JP2789281B2 (ja) | 1991-09-26 | 1992-05-13 | レーザ加工機における光路長固定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05154681A JPH05154681A (ja) | 1993-06-22 |
| JP2789281B2 true JP2789281B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=26477626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4146927A Expired - Fee Related JP2789281B2 (ja) | 1991-09-26 | 1992-05-13 | レーザ加工機における光路長固定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5406048A (ja) |
| EP (1) | EP0559916B1 (ja) |
| JP (1) | JP2789281B2 (ja) |
| KR (1) | KR970006325B1 (ja) |
| DE (1) | DE69217476T2 (ja) |
| WO (1) | WO1993005921A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3380416B2 (ja) * | 1997-02-05 | 2003-02-24 | 本田技研工業株式会社 | レーザ溶接装置 |
| US5897798A (en) * | 1997-06-04 | 1999-04-27 | Hmt Technology Corporation | Laser texturing apparatus employing a rotating mirror |
| CA2252308C (en) | 1998-10-30 | 2005-01-04 | Image Processing Systems, Inc. | Glass inspection system |
| US6633377B1 (en) | 2000-04-20 | 2003-10-14 | Image Processing Systems Inc. | Dark view inspection system for transparent media |
| US6501546B1 (en) * | 2000-05-05 | 2002-12-31 | Photon Dynamics Canada Inc. | Inspection system for edges of glass |
| US6512239B1 (en) | 2000-06-27 | 2003-01-28 | Photon Dynamics Canada Inc. | Stereo vision inspection system for transparent media |
| US6531680B2 (en) | 2001-04-06 | 2003-03-11 | W. A. Whitney Co. | Cube corner laser beam retroreflector apparatus for a laser equipped machine tool |
| JP4770057B2 (ja) | 2001-05-14 | 2011-09-07 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機及びレーザ加工方法 |
| DE50101445D1 (de) | 2001-08-18 | 2004-03-11 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh | Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von Werkstücken mittels eines Laserstrahls |
| JP4527415B2 (ja) | 2004-02-18 | 2010-08-18 | ヤマザキマザック株式会社 | レーザ加工機 |
| JP4409354B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2010-02-03 | 日酸Ｔａｎａｋａ株式会社 | レーザ加工機 |
| JP2005334925A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Yamazaki Mazak Corp | レーザ加工機における反射鏡の駆動軸制御装置 |
| US20060021977A1 (en) * | 2004-07-30 | 2006-02-02 | Menegus Harry E | Process and apparatus for scoring a brittle material incorporating moving optical assembly |
| US7382463B2 (en) * | 2005-01-28 | 2008-06-03 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for improving optical flatness in a path length control driver |
| JP4837381B2 (ja) * | 2006-01-10 | 2011-12-14 | 株式会社キーエンス | レーザーマーキング装置 |
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