KR101427688B1 - 레이저 가공장치 및 가공방법 - Google Patents

레이저 가공장치 및 가공방법 Download PDF

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조광우
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Abstract

본 발명인 레이저 가공장치는 기판상에 형성된 박막층에 레이저빔을 조사하여 가공라인을 형성하고, 가공라인의 양측에 배치된 영역들을 절연시키는 레이저 가공장치에 관한 것으로서, 레이저 출력부와, 빔분할부와, 편광 변환부와, 편광자를 포함한다. 레이저 출력부는 선형편광의 레이저빔인 제1편광이 출력된다. 빔분할부는 레이저 출력부로부터 입사되는 하나의 제1편광을 2개의 제1편광으로 분할한다. 편광 변환부는 빔분할부에서 분할된 하나의 제1편광을, 제1편광의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광으로 변환한다. 편광자(polarizer)는 빔분할부에서 분할된 나머지 하나의 제1편광과 편광 변환부에서 변환된 제2편광이 입사되며, 제1편광 및 제2편광 모두를 박막층 측으로 전송한다.

Description

레이저 가공장치 및 가공방법{Laser manufacturing apparatus and method}
본 발명은 레이저 가공장치 및 가공방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레이저에서 유도된 주기적 표면구조를 제거하기 위한 레이저 가공장치 및 가공방법에 관한 것이다.
일반적으로 레이저를 이용한 재료의 가공은 산업 전반에 걸쳐서 적용 분야가 급속히 확대되어 가고 있다. 레이저가 갖고 있는 재료가공에서의 우수한 특성으로 인해 레이저 가공이 열처리, 용접, 드릴링 공정 등에서 기존의 공정을 대체하고 있으며, 이를 통한 품질 및 신뢰성 그리고 생산성 향상을 도모하고 있다.
도 1은 레이저에서 유도된 주기적 표면구조의 일례를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판(11) 상에 형성된 박막층(12)에 레이저빔(L)을 조사하면서 레이저빔(L)을 일 방향으로 이동시키면, 가공라인(PL) 상에 배치된 박막층을 제거할 수 있다. 그러나 펄스 듀레이션이 짧은 레이저빔(L)을 조사할 경우, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 가공라인(PL)에는 레이저빔의 편광 방향과 교차하는 방향으로 물결 패턴(R)이 형성된다. 이러한 물결 패턴(R)을 일반적으로 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)라고 부른다.
LIPSS에 의한 물결 패턴(R)은 마이크로 머신과 같은 작은 부품 작동 시에 두 물체 간의 표면장력으로 발생하는 응착력을 크게 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 마모를 줄여주고, 윤활제를 보관하는 작용 등 부품의 수명을 증가시키는 기능을 수행하므로, 재료 표면에 일부러 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되도록 하는 레이저 가공방법이 연구되고 있다.
그러나, 전기적인 절연을 목적으로 재료를 가공하는 경우, LIPSS에 의한 물결 패턴(R)은 위에서 설명한 순기능이 아닌 역기능을 초래하게 된다. 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 가공라인(PL) 상에 배치된 박막층(12)을 제거하여 박막층의 제1영역(12a)과 제2영역(12b)을 서로 전기적으로 절연시키고자 하는 경우, 레이저빔(L)이 조사된 후에도 기판(11) 표면에 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되어, 물결 패턴(R)에 의해 제1영역(12a)과 제2영역(12b)이 서로 전기적으로 연결될 수 있는 위험이 있다.
이와 같이 펄스 듀레이션이 짧은 레이저빔을 이용하여 재료를 가공할 때, 원하는 목적을 달성하기 위해서는 LIPSS에 의한 물결 패턴이 형성되지 않도록 가공 공정을 제어해야 하는 경우가 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 편광 방향이 서로 교차하는 2개의 레이저빔을 재료에 조사하여 LIPSS에 의한 물결 패턴이 형성되지 않도록 함으로써, 재료의 가공품질을 향상시킬 수 있는 레이저 가공장치 및 가공방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저 가공장치는, 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 레이저 가공장치이며, 선형편광의 레이저빔인 제1편광이 출력되는 레이저 출력부; 상기 레이저 출력부로부터 입사되는 하나의 제1편광을 2개의 제1편광으로 분할하는 빔분할부; 상기 빔분할부에서 분할된 하나의 제1편광을, 상기 제1편광의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광으로 변환하는 편광 변환부; 상기 빔분할부에서 분할된 나머지 하나의 제1편광과 상기 편광 변환부에서 변환된 제2편광이 입사되며, 시간차를 가지는 상기 제1편광과 상기 제2편광을 가공대상물 측으로 전송하는 편광자(polarizer); 및 상기 빔분할부와 상기 편광자 사이의 광경로로부터 멀어지거나 또는 상기 빔분할부와 상기 편광자 사이의 광경로에 가까워지는 방향으로, 상기 편광 변환부를 왕복이송시키는 이송유닛;을 포함하고, 상기 편광 변환부가 상기 이송유닛에 의해 왕복이송됨에 따라, 상기 제1편광과 상기 제2편광의 경로차가 변경되어 상기 제1편광과 상기 제2편광이 가공대상물에 조사되는 시간차가 변경되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 레이저 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 레이저 출력부에서 출력되는 레이저빔의 펄스 듀레이션이 피코초 영역 또는 펨토초 영역이다.
본 발명에 따른 레이저 가공장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 편광 변환부는 포켈스 셀(pockels cell) 또는 반파장판(half-wave plate)이다.
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한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저 가공방법은, 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 레이저 가공방법이며, 선형편광의 레이저빔인 제1편광을 2개의 제1편광으로 분할하는 빔분할단계; 상기 빔분할단계에서 분할된 하나의 제1편광을, 상기 제1편광의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광으로 변환하는 편광 변환단계; 상기 빔분할단계에서 분할된 나머지 하나의 제1편광과 상기 편광 변환단계에서 변환된 제2편광은 시간차를 가지며, 상기 제1편광과 상기 제2편광을 가공대상물 측으로 전송하는 전송단계; 및 상기 제1편광과 상기 제2편광이 가공대상물에 조사되는 시간차를 변경시키기 위하여, 상기 편광 변환단계에서 변환된 제2편광의 경로의 길이를 변경시키는 경로 변경단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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본 발명의 레이저 가공장치 및 가공방법에 따르면, 펄스 듀레이션이 짧은 레이저빔으로 인한 LIPSS의 물결 패턴이 재료 표면에 형성되지 않도록 하여, 재료의 가공품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 레이저 가공장치 및 가공방법에 따르면, 다양한 재료에 대하여 호환성 있게 대응하여 가공할 수 있다.
도 1은 레이저에서 유도된 주기적 표면구조의 일례를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 도 2의 레이저 가공장치의 이송유닛의 작동효과를 설명하기 위한 도면이고,
도 4는 도 2의 레이저 가공장치의 변형례를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 레이저 가공장치 및 가공방법의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 레이저 가공장치의 이송유닛의 작동효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 레이저 가공장치(100)는, 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 것으로서, 레이저 출력부(110)와, 빔분할부(120)와, 편광 변환부(130)와, 편광자(140)와, 이송유닛(미도시)을 포함한다.
본 발명의 레이저 가공장치(100)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(11) 상에 형성된 박막층(12)에 레이저빔(L)을 조사하여 가공라인(PL) 상의 박막층(12)을 제거하고, 가공라인(PL)의 양측에 배치된 영역(12a, 12b)들을 전기적으로 절연시키고자 하는 경우를 예로 들어 설명한다.
상기 레이저 출력부(110)는, 선형편광의 레이저빔인 제1편광(L1)이 출력된다. 제1편광(L1)은 P편광 또는 S편광 중 어느 하나가 될 수 있으며, 본 실시예에서는 제1편광(L1)이 P편광인 경우를 예로 들어 설명한다.
레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)에 의한 물결 패턴(R)은 펄스 듀레이션이 짧은 레이저빔(L)이 재료에 조사된 경우 형성된다. 본 발명은 이러한 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되는 구조에서 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)을 제거하기 위한 것이므로, 본 발명의 레이저 출력부(110)에서 출력되는 레이저빔의 펄스 듀레이션은 상대적으로 짧다.
따라서, 본 실시예의 레이저 출력부(110)에서 출력되는 레이저빔의 펄스 듀레이션이 피코초(picosecond) 영역 또는 펨토초(femtosecond) 영역인 것이 바람직하다.
상기 빔분할부(120)는 레이저 출력부(110)로부터 입사되는 하나의 제1편광(L1)을 2개의 제1편광(L1)으로 분할한다. 도 2를 참조하면, 빔분할부(120)로 입사되는 제1편광(L1) 중 일부는 투과되고, 나머지 일부는 반사된다. 투과된 제1편광(L1)은 후술할 편광자(140) 측으로 전송되고, 반사된 제1편광(L1)은 후술할 편광 변환부(130)로 전송된다.
투과된 제1편광(L1)과 반사된 제1편광(L1)의 파워 비율은 동일할 수도 있고, 재료의 가공 조건에 따라 파워 비율이 서로 다를 수도 있다. 재료의 특성에 따라 박막층(12)의 제거와 물결 패턴(R)의 제거에 동일한 파워의 레이저빔을 이용하는 방법뿐만 아니라 서로 다른 파워의 레이저빔을 이용하는 방법도 고려할 수 있다. 분할된 2개의 제1편광(L1)이 각각의 용도에 맞게 최적의 파워를 가지도록 최적의 분할 비율을 가지는 빔분할부(120)가 배치되는 것이 바람직하다.
상기 편광 변환부(130)는 빔분할부(120)에서 분할된 하나의 제1편광(L1)을, 제1편광(L1)의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광(L2)으로 변환한다. 본 실시예에서는 빔분할부(120)에서 반사된 제1편광(P편광)(L1)이 반사미러(101)를 경유하여 편광 변환부(130)에 입사되면, 제1편광(P편광)(L1)은 제1편광(L1)의 편광 방향과 직교하는 편광 방향을 가지는 제2편광(S편광)(L2)으로 변환된다.
본 실시예에서 편광 변환부(130)로는 포켈스 셀(pockels cell) 또는 파장판, 특히 반파장판(half-wave plate)이 이용될 수 있다.
상기 편광자(polarizer)(140)에는 빔분할부(120)에서 분할된 나머지 하나의 제1편광(L1)과 편광 변환부(130)에서 변환된 제2편광(L2)이 입사된다. 편광자(140)에 입사된 제1편광(L1)은 편광자(140)를 투과하여 진행하고 편광자(140)에 입사된 제2편광(L2)은 편광자(140)에 반사되어 진행하여, 제1편광(L1) 및 제2편광(L2) 모두가 가공대상물, 예컨대 박막층(12) 측으로 전송된다.
앞서 설명한 바와 같이, LIPSS에 의한 물결 패턴(R)은 레이저빔의 편광 방향과 교차하는 방향으로 형성된다. 본 발명에서는 이러한 물결 패턴(R)이 형성되는 것을 억제하기 위하여, 편광 방향이 직교하는 제1편광(L1)과 제2편광(L2)이 동시에 박막층(12)에 조사된다. 제1편광(L1)과 제2편광(L1) 중 제1편광(L1)에 의해 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되더라도 제1편광(L1)과 편광 방향이 직교하는 제2편광(L2)에 의해 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 제거될 수 있다.
따라서, 박막층(12)이 제거된 기판(11) 표면은 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되지 않은 깨끗한 상태로 유지될 수 있고, 가공라인(PL)을 경계로 양측의 영역(12a, 12b) 또한 전기적으로 완벽한 절연 상태를 유지할 수 있다.
상기 이송유닛(미도시)은 편광 변환부(130)를 직선으로 왕복이송시키는 것으로서, 편광 변환부(130)를 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)로부터 멀어지는 방향(A2) 또는 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)에 가까워지는 방향(A1)으로 이송시킨다.
기본적으로 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)의 경로는 빔분할부(120)를 투과하는 제1편광(L1)의 경로보다 길게 된다. 편광 변환부(130)의 위치가 고정되면 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)과 빔분할부(120)를 투과하는 제1편광(L1)의 경로차는 고정된다. 본 실시예에서는 이송유닛을 이용하여 편광 변환부(130)를 왕복이송함에 따라, 제1편광(L1)과 제2편광(L2)의 경로차를 변경할 수 있다.
도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 이송유닛을 이용하여 편광 변환부(130)를 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)에 가까워지는 방향(A1)으로 이송시키면, 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)의 경로가 상대적으로 짧아진다. 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)의 경로가 짧아짐에 따라, 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)과 빔분할부(120)를 투과하는 제1편광(L1)의 경로차(d1) 또한 작아진다.
반면에 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 이송유닛을 이용하여 편광 변환부(130)를 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)로부터 멀어지는 방향(A2)으로 이송시키면, 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)의 경로가 상대적으로 길어진다. 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)의 경로가 길어짐에 따라, 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)과 빔분할부(120)를 투과하는 제1편광(L1)의 경로차(d2) 또한 커진다.
이와 같이 편광 변환부(130)를 경유하는 제2편광(L2)과 빔분할부(120)를 투과하는 제1편광(L1)의 경로차를 변경함으로써, 다양한 재료의 특성에 따라 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)을 효과적으로 제거할 수 있다. 어느 재료의 경우에는 제2편광(L2)과 제1편광(L1)의 경로차가 작은 경우 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 잘 제거될 것이고, 다른 재료의 경우에는 제2편광(L2)과 제1편광(L1)의 경로차가 큰 경우 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 잘 제거될 것이다.
따라서, 이송유닛을 이용하여 편광 변환부(130)를 왕복이송시킴으로써, 가공되는 각각의 재료의 특성에 맞게 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 잘 제거되는 방향으로 제2편광(L2)과 제1편광(L1)의 경로차를 조정할 수 있다.
본 실시예의 이송유닛은 편광 변환부(130)를 직선이송시킬 수 있는 구성으로서, 회전모터와 볼스크류를 조합한 구성, 리니어 모터 등 통상의 기술자에게 잘 알려진 구성이 이용될 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하면서, 위와 같이 구성된 본 실시예의 레이저 가공장치(100)를 이용한 레이저 가공방법을 설명하기로 한다. 본 실시예의 레이저 가공방법은 빔분할단계와, 편광 변환단계와, 전송단계와, 경로 변경단계를 포함한다.
상기 빔분할단계는, 레이저 출력부(110)로부터 입사되는 선형편광의 레이저빔인 제1편광(L1)을 2개의 제1편광(L1)으로 분할한다. 빔분할부(120)를 이용하여 입사되는 제1편광(L1) 중 일부는 투과시키고, 나머지 일부는 반사시킨다.
상기 편광 변환단계는, 빔분할단계에서 분할된 하나의 제1편광(L1)을, 제1편광(L1)의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광(L2)으로 변환한다. 본 실시예에서는 빔분할부(120)에서 반사된 제1편광(P편광)(L1)이 반사미러(101)를 경유하여 편광 변환부(130)에 입사되면, 제1편광(P편광)(L1)은 제1편광(L1)의 편광 방향과 직교하는 편광 방향을 가지는 제2편광(S편광)(L2)으로 변환된다.
상기 전송단계는, 빔분할단계에서 분할된 나머지 하나의 제1편광(L1)과 편광 변환단계에서 변환된 제2편광(L2) 모두를 가공대상물인 박막층(12) 측으로 전송한다. 편광자(140)에 입사된 제1편광(L1)은 편광자(140)를 투과하여 진행하고 편광자(140)에 입사된 제2편광(L2)은 편광자(140)에 반사되어 진행하여, 제1편광(L1) 및 제2편광(L2) 모두가 박막층(12) 측으로 전송된다.
상기 경로 변경단계는, 편광 변환단계에서 변환된 제2편광(L2)의 경로의 길이를 변경시킨다. 이송유닛을 이용하여 편광 변환부(130)를 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)로부터 멀어지는 방향(A2) 또는 빔분할부(120)와 편광자(140) 사이의 광경로(BP)에 가까워지는 방향(A1)으로 왕복이송시킴으로써, 가공되는 각각의 재료의 특성에 맞게 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 잘 제거되는 방향으로 제2편광(L2)과 제1편광(L1)의 경로차를 조정할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 레이저 가공장치 및 가공방법은, 편광 방향이 서로 교차하는 2개의 편광을 재료에 조사함으로써, 펄스 듀레이션이 짧은 레이저빔으로 인한 LIPSS의 물결 패턴이 재료 표면에 형성되지 않도록 하여, 재료의 가공품질을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예의 레이저 가공장치 및 가공방법은, 이송유닛을 이용하여 편광 변환부를 왕복이송시켜 2개의 편광의 경로차를 조정함으로써, 다양한 재료에 대하여 호환성 있게 대응하여 가공할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 4는 도 2의 레이저 가공장치의 변형례를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2에 도시된 실시예에서는, 빔분할부를 투과된 제1편광은 편광자 측으로 전송되고, 빔분할부에서 반사된 제1편광은 편광 변환부 측으로 전송되었다. 그러나, 도 4에 도시된 바와 같이, 변형례의 레이저 가공장치(100')에서는 빔분할부에서 반사된 제1편광은 편광자 측으로 전송되고, 빔분할부를 투과한 제1편광은 편광 변환부 측으로 전송될 수도 있다.
한편, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예의 레이저 가공장치(200)는, 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 것으로서, 선형편광의 레이저빔을 원형편광의 레이저빔으로 변환하여 가공하는 것을 특징으로 한다. 레이저 가공장치(200)는 레이저 출력부(210)와, 편광 변환부(230)를 포함한다.
상기 레이저 출력부(210)는 선형편광의 레이저빔이 출력된다. 선형편광의 레이저빔(L3)은 P편광 또는 S편광 중 어느 하나가 될 수 있다.
상기 편광 변환부(230)는 레이저 출력부(210)로부터 입사되는 레이저빔(L3)을 원형편광의 레이저빔(L4)으로 변환하여 가공대상물 측으로 전송하며, 본 실시예에서 편광 변환부(230)로는 사분파장판(quarter-wave plate)이 이용될 수 있다.
편광 변환부(230)에 의해 원형편광으로 변환된 레이저빔(L4)에는 수직 성분과 수평 성분을 모두 포함하고 있다. 따라서, 박막층(12)이 제거된 기판(11) 표면은 LIPSS에 의한 물결 패턴(R)이 형성되지 않은 깨끗한 상태로 유지될 수 있고, 가공라인(PL)을 경계로 양측의 영역(12a, 12b) 또한 전기적으로 완벽한 절연 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 도 2 및 도 5에 도시된 실시예들에 있어서, 기판 상에 형성된 박막층에 레이저빔을 조사하여 박막층에 라인 가공을 수행하는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 기판의 한 포인트에 드릴링 가공을 수행하는 경우에도 본 발명의 가공장치 및 가공방법이 적용될 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
11 : 기판
12 : 박막층
100 : 레이저 가공장치
110 : 레이저 출력부
120 : 빔분할부
130 : 편광 변환부
140 : 편광자

Claims (8)

  1. 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 레이저 가공장치이며,
    선형편광의 레이저빔인 제1편광이 출력되는 레이저 출력부;
    상기 레이저 출력부로부터 입사되는 하나의 제1편광을 2개의 제1편광으로 분할하는 빔분할부;
    상기 빔분할부에서 분할된 하나의 제1편광을, 상기 제1편광의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광으로 변환하는 편광 변환부;
    상기 빔분할부에서 분할된 나머지 하나의 제1편광과 상기 편광 변환부에서 변환된 제2편광이 입사되며, 시간차를 가지는 상기 제1편광과 상기 제2편광을 가공대상물 측으로 전송하는 편광자(polarizer); 및
    상기 빔분할부와 상기 편광자 사이의 광경로로부터 멀어지거나 또는 상기 빔분할부와 상기 편광자 사이의 광경로에 가까워지는 방향으로, 상기 편광 변환부를 왕복이송시키는 이송유닛;을 포함하고,
    상기 편광 변환부가 상기 이송유닛에 의해 왕복이송됨에 따라, 상기 제1편광과 상기 제2편광의 경로차가 변경되어 상기 제1편광과 상기 제2편광이 가공대상물에 조사되는 시간차가 변경되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 출력부에서 출력되는 레이저빔의 펄스 듀레이션이 피코초 영역 또는 펨토초 영역인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 편광 변환부는 포켈스 셀(pockels cell) 또는 반파장판(half-wave plate)인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 레이저에서 유도된 주기적 표면구조(LIPSS, Laser Induced Periodic Surface Structures)를 제거하기 위한 레이저 가공방법이며,
    선형편광의 레이저빔인 제1편광을 2개의 제1편광으로 분할하는 빔분할단계;
    상기 빔분할단계에서 분할된 하나의 제1편광을, 상기 제1편광의 편광 방향과 교차하는 편광 방향을 가지는 제2편광으로 변환하는 편광 변환단계;
    상기 빔분할단계에서 분할된 나머지 하나의 제1편광과 상기 편광 변환단계에서 변환된 제2편광은 시간차를 가지며, 상기 제1편광과 상기 제2편광을 가공대상물 측으로 전송하는 전송단계; 및
    상기 제1편광과 상기 제2편광이 가공대상물에 조사되는 시간차를 변경시키기 위하여, 상기 편광 변환단계에서 변환된 제2편광의 경로의 길이를 변경시키는 경로 변경단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.
  8. 삭제
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