JP4527415B2 - レーザ加工機 - Google Patents
レーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4527415B2 JP4527415B2 JP2004041240A JP2004041240A JP4527415B2 JP 4527415 B2 JP4527415 B2 JP 4527415B2 JP 2004041240 A JP2004041240 A JP 2004041240A JP 2004041240 A JP2004041240 A JP 2004041240A JP 4527415 B2 JP4527415 B2 JP 4527415B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light guide
- laser
- opening
- light
- close
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 34
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0876—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
- B23K26/0884—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/0869—Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
- B23K26/0892—Controlling the laser beam travel length
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
- B23K37/02—Carriages for supporting the welding or cutting element
- B23K37/0211—Carriages for supporting the welding or cutting element travelling on a guide member, e.g. rail, track
- B23K37/0235—Carriages for supporting the welding or cutting element travelling on a guide member, e.g. rail, track the guide member forming part of a portal
Description
移動可能に前記第1導光部(4)に配置されると共にレーザ光(L1)の反射位置が変更されることに基づきレーザ光の光路長を調整する第1反射手段(40)と、
該第1反射手段(40)に対向するように前記第2導光部(5)に支持されて、該第1反射手段(40)にて反射されたレーザ光(L3)を前記第2導光部(5)に導き入れる第2反射手段(41)と、を有し、
前記第2導光部(5)は、少なくとも一部分(50)が前記第1導光部(4)に近接した状態で前記第1の方向(X)に沿って移動駆動され、
前記第2反射手段(41)は、前記第2導光部(5)の側であって前記第1導光部に近接する部分(50)に支持されていて、該第2導光部(5)と連動的に移動駆動され、
前記第1導光部(4)には、前記第2導光部(5)が近接する側に前記第1の方向(X)に沿って第1開口部(4a)が形成され、
該第1開口部(4a)に沿うように第1ベルト部材(B1)が配置され、
前記第2導光部に、前記第1ベルト部材による前記第1開口部の閉塞を部分的に解除してレーザ光の取り込みを可能とする第1移動ユニット(50)を設け、
該第1ベルト部材(B1)は、前記第2導光部が近接する部分以外(X2)では前記第1開口部(4a)を閉塞するように配置され、前記第2導光部が近接する部分(X1)では、前記第1移動ユニットにより、前記第1開口部(4a)を閉塞しないように、前記第1導光部から離間した位置に配置されて前記第2導光部(5)へのレーザ光(L4)の導入を許容し、
前記第2反射手段(41)は、前記第1移動ユニット(50)に支持されて、前記第1導光部(4)の内部に突出する形で設けられており、
前記第1移動ユニット(50)には、反射ミラー(504)を、前記第1導光部(4)から離間した位置に配置された状態の第1ベルト部材(B1)の第1開口部側に、前記第2反射手段(41)から反射されたレーザ光を前記第2の方向(Y)に反射し得るように設け、
前記第1ベルト部材(B1)は、スチールベルトであり、前記第1開口部(4a)には、該開口部(4a)の両縁部に沿ってマグネット(43)を配置し、前記第2導光部(5)が近接する部分以外で前記第1ベルト部材(B1)と第1導光部(4)との間に隙間が生じないようにした、ことを特徴とする。
前記第2導光部(5)から前記レーザ加工ヘッド(3)へのレーザ光の導入は、前記レーザ加工ヘッド(3)と共に移動する第3反射手段(51)により行われる、ことを特徴とする。
該第2開口部(5a)に沿うように第2ベルト部材(B2)が配置され、
該第2ベルト部材(B2)は、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分以外(Y2)では前記第2開口部(5a)を閉塞するように配置され、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分(Y1)では前記第2開口部(5a)を閉塞しないように配置されて前記レーザ加工ヘッド(3)へのレーザ光の導入を許容し、
前記第2ベルト部材(B2)は、スチールベルトであり、前記第2開口部(5a)には、該開口部の両縁部に沿ってマグネット(43)を配置し、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分以外(Y 2 )で前記第2ベルト部材(B2)と第2導光部(5)との間に隙間が生じないようにした、ことを特徴とする。
・ 第1ベルト部材B1と密着するシール部材を、図6に符号42に示すように、開口部4aの両縁部に沿って配置する方法(図では片側の縁部に沿って配置されるもののみを示す)
・ 図6に符号43で示すように、第1開口部4aの両縁部に沿ってマグネットを配置すると共に、第1ベルト部材B1としてスチールベルトを用いる方法(図では片側の縁部に沿って配置されるもののみを示す)
のいずれか、或いは両方を採用して、ベルト部材B1と第1導光部4との間に隙間が生じないようにすると良い。シール部材42はウレタン製にすると良い。なお、図6に示すシール部材42やマグネット43は、導光空間4bを構成する部材(符号44で示す部材)自体に形成されてはおらず板状の部材45に形成されているが、部材44自体に形成しても良い。
・ 第2導光部5以外の部材で行うようにしても、
・ 第2導光部5で行うようにしても、
どちらでも良い。また、レーザ加工ヘッド3は、サドル(図2の符号6参照)を介して第2導光部5(或いは他の支持部材)に支持されるようにすると良い。
・ 第2導光部5の駆動手段として高出力のものを使用しなければならないという問題や、
・ 第2導光部5の移動時や停止時に大きな慣性力が作用してレーザ加工ヘッド3の位置が微妙にずれてしまい、加工精度が悪くなってしまうなどの問題や、
・ 更に、図に示すレーザ加工機では、第2導光部5が、ワークWを支持するワーク支持部9(及び、符号Tで示すテーブル)を跨ぐ形で略門形に設けられているので、該長尺状の第2導光部5には、自重による撓み変形が生じてしまうおそれが高く、そのような撓み変形が生じた場合には、レーザ加工ヘッド3の位置がずれ、レーザ加工精度が悪くなってしまうなどの問題、
がある。これに対し、本発明のように、第1反射手段40を第1導光部4(テーブルTの側方に設けられた第1導光部4)に配置した場合には第2導光部5を小型化・軽量化でき、第2導光部5の移動駆動をスムーズにすることができる。
2 レーザ光発生手段
3 レーザ加工ヘッド
4 第1導光部
4a 第1開口部
5 第2導光部
5a 第2開口部
40 第1反射手段
41 第2反射手段
51 第3反射手段
B1 第1ベルト部材
B2 第2ベルト部材
X 第1の方向
Y 第2の方向
Claims (3)
- レーザ光を発生させるレーザ光発生手段と、該レーザ光発生手段からのレーザ光を第1の方向に導く第1導光部と、該第1導光部からのレーザ光を第2の方向に導く第2導光部と、該第2導光部に近接して配置されると共に移動駆動されながら前記第1導光部及び前記第2導光部を通過してきたレーザ光をワークに照射するレーザ加工ヘッドと、を備えたレーザ加工機において、
移動可能に前記第1導光部に配置されると共にレーザ光の反射位置が変更されることに基づきレーザ光の光路長を調整する第1反射手段と、
該第1反射手段に対向するように前記第2導光部に支持されて、該第1反射手段にて反射されたレーザ光を前記第2導光部に導き入れる第2反射手段と、を有し、
前記第2導光部は、少なくとも一部分が前記第1導光部に近接した状態で前記第1の方向に沿って移動駆動され、
前記第2反射手段は、前記第2導光部の側であって前記第1導光部に近接する部分に支持されていて、該第2導光部と連動的に移動駆動され、
前記第1導光部には、前記第2導光部が近接する側に前記第1の方向に沿って第1開口部が形成され、
該第1開口部に沿うように第1ベルト部材が配置され、
前記第2導光部に、前記第1ベルト部材による前記第1開口部の閉塞を部分的に解除してレーザ光の取り込みを可能とする第1移動ユニットを設け、
該第1ベルト部材は、前記第2導光部が近接する部分以外では前記第1開口部を閉塞するように配置され、前記第2導光部が近接する部分では、前記第1移動ユニットにより、前記第1開口部を閉塞しないように、前記第1導光部から離間した位置に配置されて前記第2導光部へのレーザ光の導入を許容し、
前記第2反射手段は、前記第1移動ユニットに支持されて、前記第1導光部の内部に突出する形で設けられており、
前記第1移動ユニットには、反射ミラーを、前記第1導光部から離間した位置に配置された状態の第1ベルト部材の前記第1開口部側に、前記第2反射手段から反射されたレーザ光を前記第2の方向に反射し得るように設け、
前記第1ベルト部材は、スチールベルトであり、前記第1開口部には、該開口部の両縁部に沿ってマグネットを配置し、前記第2導光部が近接する部分以外で前記第1ベルト部材と第1導光部との間に隙間が生じないようにした、
ことを特徴として構成したレーザ加工機。
- 前記レーザ加工ヘッドは、前記第2導光部に近接した状態で前記第2の方向に沿って移動駆動され、
前記第2導光部から前記レーザ加工ヘッドへのレーザ光の導入は、前記レーザ加工ヘッドと共に移動する第3反射手段により行われる、
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工機。 - 前記第2導光部には、前記第2の方向に沿って第2開口部が形成され、
該第2開口部に沿うように第2ベルト部材が配置され、
該第2ベルト部材は、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分以外では前記第2開口部を閉塞するように配置され、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分では前記第2開口部を閉塞しないように配置されて前記レーザ加工ヘッドへのレーザ光の導入を許容し、
前記第2ベルト部材は、スチールベルトであり、前記第2開口部には、該開口部の両縁部に沿ってマグネットを配置し、前記レーザ加工ヘッドが近接する部分以外で前記第2ベルト部材と第2導光部との間に隙間が生じないようにした、
ことを特徴とする請求項2に記載のレーザ加工機。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004041240A JP4527415B2 (ja) | 2004-02-18 | 2004-02-18 | レーザ加工機 |
US11/054,628 US7220939B2 (en) | 2004-02-18 | 2005-02-09 | Laser beam machine |
EP05101104A EP1566235B1 (en) | 2004-02-18 | 2005-02-15 | Laser beam working machine with first and second beam guide portions for shortening the length of the optical path, the latter being held constant during laser processing |
DE602005003379T DE602005003379T2 (de) | 2004-02-18 | 2005-02-15 | Laserstrahl-Bearbeitungsmaschine mit erstem und zweitem Strahlführungsteil zum Verkürzen der Länge des optischen Weges, der gleichmässig während der Laserbearbeitung behalten wird |
CN200510007749XA CN1657221B (zh) | 2004-02-18 | 2005-02-16 | 激光加工机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004041240A JP4527415B2 (ja) | 2004-02-18 | 2004-02-18 | レーザ加工機 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010103080A Division JP4919525B2 (ja) | 2010-04-28 | 2010-04-28 | レーザ加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005230839A JP2005230839A (ja) | 2005-09-02 |
JP4527415B2 true JP4527415B2 (ja) | 2010-08-18 |
Family
ID=34709094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004041240A Expired - Lifetime JP4527415B2 (ja) | 2004-02-18 | 2004-02-18 | レーザ加工機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7220939B2 (ja) |
EP (1) | EP1566235B1 (ja) |
JP (1) | JP4527415B2 (ja) |
CN (1) | CN1657221B (ja) |
DE (1) | DE602005003379T2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5014614B2 (ja) * | 2005-10-26 | 2012-08-29 | ヤマザキマザック株式会社 | レーザ加工機光路系のシール装置 |
JP5014615B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-08-29 | ヤマザキマザック株式会社 | レーザ加工機光路系の防塵装置 |
JP4271696B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2009-06-03 | ヤマザキマザック株式会社 | レーザ加工機の自動工具交換装置 |
JP5222088B2 (ja) * | 2008-10-21 | 2013-06-26 | 株式会社ディスコ | 光学系、レーザ加工装置およびスキャン装置 |
CN102844145A (zh) * | 2010-11-29 | 2012-12-26 | 三菱电机株式会社 | 激光加工机的光路构造 |
CN102554464A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-11 | 上海团结普瑞玛激光设备有限公司 | 激光切割机的全行程光路补偿装置 |
US8927069B1 (en) | 2013-10-02 | 2015-01-06 | Eritek, Inc. | Method and apparatus for improving radio frequency signal transmission through low-emissivity coated glass |
DE102014213204A1 (de) * | 2014-07-08 | 2016-01-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Optimierte Bandführung innerhalb der Linearführung einer Sliding Gantry |
WO2016116147A1 (de) * | 2015-01-21 | 2016-07-28 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Strahlführungseinrichtung, euv-strahlungserzeugungsvorrichtung und verfahren zum einstellen eines strahldurchmessers und eines öffnungswinkels eines laserstrahls |
CN113727806B (zh) * | 2019-07-19 | 2022-09-09 | 山崎马扎克公司 | 激光加工机和激光加工机的保养方法 |
EP3892414A1 (de) * | 2020-04-06 | 2021-10-13 | Bystronic Laser AG | Laserbearbeitungsmaschine |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0333041U (ja) * | 1989-08-11 | 1991-04-02 | ||
JPH07323388A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-12 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP2000246478A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-12 | Amada Eng Center Co Ltd | 駆動部の防塵方法及びその装置、並びに前記防塵方法を用いたレーザ加工方法及びその装置 |
JP2000343268A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-12 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60199586A (ja) | 1984-03-22 | 1985-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
AU579292B2 (en) | 1985-03-26 | 1988-11-17 | Kuka Schweissanlagen & Roboter Gmbh | Rack drive |
US5051558A (en) | 1989-03-20 | 1991-09-24 | Sukhman Yefim P | Laser material processing apparatus and method therefore |
US4967053A (en) * | 1989-05-02 | 1990-10-30 | F.I.A. Futurologie Industrielle Automation Gmbh | Laser system |
US4972062A (en) * | 1989-05-02 | 1990-11-20 | F.I.A. Futurologie Industrielle Automation Gmbh | Laser system |
JPH04371382A (ja) | 1991-06-21 | 1992-12-24 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP3115648B2 (ja) * | 1991-08-06 | 2000-12-11 | 株式会社田中製作所 | レーザ加工機 |
JP2789281B2 (ja) | 1991-09-26 | 1998-08-20 | ファナック株式会社 | レーザ加工機における光路長固定装置 |
US5304773A (en) * | 1992-02-19 | 1994-04-19 | Trumpf Inc. | Laser work station with optical sensor for calibration of guidance system |
CN2178584Y (zh) * | 1993-11-09 | 1994-10-05 | 北京工业大学 | 可产生宽带激光束的转镜装置 |
US5560843A (en) * | 1994-07-13 | 1996-10-01 | Koike Sanso Kogyo Co., Ltd. | Frame construction and a machining device provided with it |
WO1999028798A2 (en) * | 1997-12-02 | 1999-06-10 | Lacent Technologies Inc. | Gantry-mounted laser nozzle and method for controlling laser positioning |
JPH11285886A (ja) | 1998-03-31 | 1999-10-19 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | レーザ加工装置 |
US6310317B1 (en) | 1999-11-04 | 2001-10-30 | Lillbacka Jetair Oy | Laser beam guide |
ATE258835T1 (de) | 2001-08-18 | 2004-02-15 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh | Werkzeugmaschine zum bearbeiten von werkstücken mittels eines laserstrahls |
-
2004
- 2004-02-18 JP JP2004041240A patent/JP4527415B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-02-09 US US11/054,628 patent/US7220939B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-15 EP EP05101104A patent/EP1566235B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-15 DE DE602005003379T patent/DE602005003379T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-16 CN CN200510007749XA patent/CN1657221B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0333041U (ja) * | 1989-08-11 | 1991-04-02 | ||
JPH07323388A (ja) * | 1994-06-03 | 1995-12-12 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
JP2000246478A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-12 | Amada Eng Center Co Ltd | 駆動部の防塵方法及びその装置、並びに前記防塵方法を用いたレーザ加工方法及びその装置 |
JP2000343268A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-12 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1657221A (zh) | 2005-08-24 |
DE602005003379D1 (de) | 2008-01-03 |
US20050178753A1 (en) | 2005-08-18 |
EP1566235B1 (en) | 2007-11-21 |
JP2005230839A (ja) | 2005-09-02 |
DE602005003379T2 (de) | 2008-05-08 |
US7220939B2 (en) | 2007-05-22 |
EP1566235A1 (en) | 2005-08-24 |
CN1657221B (zh) | 2010-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1657221B (zh) | 激光加工机 | |
US9784562B2 (en) | Measurement device for a laser processing system and a method for performing position measurements by means of a measurement beam on a workpiece | |
EP1837116B1 (en) | Laser welding apparatus for easily adjusting the laser focusing position on a workpiece | |
KR100745295B1 (ko) | 레이저 용접 장치, 레이저 용접 기기 및 레이저 용접 방법 | |
JP5864557B2 (ja) | 金属薄板部分をレーザ接合する方法および装置 | |
US7570407B2 (en) | Scanning mechanism, method of machining workpiece, and machine tool | |
KR20130002935A (ko) | 레이저광에 의한 워크 가공 장치 | |
US7238914B2 (en) | Laser processing method | |
JP4184288B2 (ja) | レーザ加工機 | |
TWI387502B (zh) | Laser processing device and laser processing method | |
JP4919525B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP2007313561A (ja) | 加工用ビーム照射装置の照射可能領域認識方法および照射可能領域認識装置並びに加工用ビーム照射装置の移動経路設定方法 | |
JP2006346698A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
TW201343298A (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP2013215755A (ja) | レーザ溶接方法、重ね溶接継手、及びレーザ溶接装置 | |
JP4491446B2 (ja) | 周辺露光装置およびその方法 | |
JP2008221254A (ja) | レーザ装置 | |
JP4491447B2 (ja) | レーザビーム・紫外線照射周辺露光装置およびその方法 | |
JP5320682B2 (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
JP4676161B2 (ja) | レーザ加工機 | |
JP4533874B2 (ja) | レーザビーム露光装置 | |
EP3831527A1 (en) | Laser machining device and laser machining method | |
JP4491445B2 (ja) | 周辺露光装置およびその方法 | |
JPH07204878A (ja) | レーザ加工機 | |
KR101309802B1 (ko) | 텔레센트릭 렌즈를 구비하는 2축 스캐너, 이를 채용한 레이저 가공 장치, 및 텔레센트릭 오차 보정 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100603 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4527415 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |