JPH07323388A - レーザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 Ｘ軸とＹ軸方向の双方に対して１つの光反転
器を用いた簡単な構造で光路長を常に一定にすると共
に、移動する反射ミラーの減少により光出力の劣化を防
止して安定したレーザ加工を行うようにしたレーザ加工
装置を提供することにある。 【構成】 レーザ発振器３から出力されたレーザビーム
を複数の反射ミラー２３，２５，３１，３３，３７，４
１を備えた光反転器を介してＸ軸，Ｙ軸方向へ移動自在
なレーザ加工ヘッド２１に案内し、このレーザ加工ヘッ
ド２１の任意の移動により任意のレーザ加工を行うレー
ザ加工装置１にして、前記レーザ加工ヘッド２１のＸ
軸，Ｙ軸方向の移動に対して前記レーザ発振器３から前
記レーザ加工ヘッド２１までのレーザビームの光路長を
常に一定に維持すべく１つの光反転器３５を調整する光
路長調整手段４３を設けてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、レーザ発振器からレ
ーザ加工ヘッドまでのレーザビームの光路長を常に一定
にしてレーザ加工を行うレーザ加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ加工ヘッドがＸ軸，Ｙ軸方
向へ移動する光移動式のレーザ加工装置において、レー
ザ発振器からレーザ加工ヘッドまでのレーザビームの光
路長を常に一定する手段としては、例えば特公平１−５
５０７６号公報が知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の上記公報による光路長を常に一定にする手段は、レ
ーザ加工ヘッドがＸ軸，Ｙ軸方向へ移動した際に光路長
を一定にするためにＸ軸方向とＹ軸方向の２方向に移動
する２つの光反転器を設けた構造となっている。そのた
めに構造が複雑であると共に、大型レーザ加工装置はと
もかく、レーザ加工装置を小型化するためのデメリット
となっている。

【０００４】また、移動する光反転器に備えた反射ミラ
ーの数が多いと、反射ミラーによる光出力の劣化が大き
く安定したレーザ加工が行われないという問題がある。

【０００５】この発明の目的は、Ｘ軸方向とＹ軸方向の
双方に対して１つの光反転器を用いた簡単な構造で光路
長を常に一定にすると共に、移動する反射ミラーの減少
により光出力の劣化を防止して安定したレーザ加工を行
うようにしたレーザ加工装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
にこの発明のレーザ加工装置は、Ｘ軸方向へ移動自在な
Ｘ軸移動体を設けると共にこのＸ軸移動体にＹ軸方向へ
移動自在なＹ軸移動体を設け、このＹ軸移動体にレーザ
加工ヘッドを設け、レーザ発振器から出力されたレーザ
ビームを複数の反射ミラーを備えた光反転器を介して前
記レーザ加工ヘッドに案内し、このレーザ加工ヘッドの
任意の移動により任意のレーザ加工を行うレーザ加工装
置にして、前記レーザ加工ヘッドのＸ軸，Ｙ軸方向の移
動に対して前記レーザ発振器から前記レーザ加工ヘッド
までのレーザビームの光路長を常に一定に維持すべく１
つの光反転器を調整する光路長調整手段を設けてなるこ
とを特徴とするものである。

【０００７】前記レーザ加工装置において、前記光路長
調整手段が、前記Ｘ軸移動体にＹ軸方向へ移動可能に設
けられた第１移動体と、この第１移動体の一方部に一端
を固定すると共に複数の第１回転体を介して他端を前記
第１移動体の他方部に固定した第１連動材と、Ｘ軸方向
へ移動可能に設けられ前記１つの光反転器を備えた光反
転器移動体と、この光反転器移動体の一方に一端を固定
すると共に前記複数の第１回転体のうちの１つの第１回
転体の回転軸を共通した第１回転体の速度より１／２の
速度で回転する第２回転体を介して他端を前記光反転器
移動体の他方部に固定する第２連動材と、前記Ｙ軸移動
体の一方部に一端を固定すると共に他端を複数の第３回
転体を介して前記Ｙ軸移動体の他方部に固定する第３連
動材と、で構成されていることが望ましいものである。

【０００８】また、前記レーザ加工装置において、前記
光路長調整手段が、前記Ｘ軸移動体に移動可能に設けら
れると共にＹ軸移動体の移動量の１／２だけＹ軸方向へ
移動する第４回転体を備えた第２移動体と、前記１つの
光反転器を備えかつ第５回転体を有すると共に前記Ｘ軸
移動体の移動量の１／２だけＸ軸方向へ移動する光反転
器移動体と、前記レーザ発振器に一端を固定すると共に
他端を前記第４、第５回転体を介して前記Ｘ軸移動体に
固定する第４連動材と、前記光反転器移動体に一端を固
定すると共に他端を第６回転体を介して前記レーザ発振
器に固定する第５連動材と、前記Ｘ軸移動体に一端を固
定すると共に他端を前記第２移動体に備えられた第７回
転体を介して前記Ｙ軸移動体に固定する第６連動材と、
前記第５回転体に一端を固定すると共に他端を前記レー
ザ発振器に固定する第１弾機と、前記Ｘ軸移動体に一端
を固定すると共に他端を前記第２移動体に固定する第２
弾機と、で構成されていることが望ましいものである。

【０００９】前記請求項２のレーザ加工装置において、
第１，第３回転体が滑車、第２回転体がスプロケットで
あると共に、第１，第３連動材がワイヤ、第２連動材が
チェンであること、また前記請求項３のレーザ加工装置
において、第４，第５，第６，第７回転体が滑車である
と共に第４，第５，第６連動材がワイヤであることが望
ましいものである。

【００１０】

【作用】以上のようなレーザ加工装置とすることによ
り、Ｘ軸移動体をＸ軸方向へ、Ｙ軸移動体をＹ軸方向へ
移動せしめることにより、レーザ加工ヘッドがＸ軸，Ｙ
軸方向へ移動される。レーザ加工ヘッドがＸ軸，Ｙ軸方
向へ移動した際に光路長調整手段で１つの光反転器を調
整することによりＸ軸，Ｙ軸方向の光路長が調整されて
レーザ発振器からレーザ加工ヘッドまでの光路長が常に
一定に維持することができる。

【００１１】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。

【００１２】図１を参照するに、レーザ加工装置１は立
設されたレーザ発振器３を備えており、このレーザ発振
器３の前部にはＸ軸方向（図１において左右方向）へ延
伸した複数の平行なガイドレール５が敷設されていると
共にＸ軸方向へ延伸したボールねじ７が設けられてい
る。

【００１３】このボールねじ７の一端は前記レーザ発振
器３の前部における右側に取付けられた軸受９に回転自
在に支承されていると共に、ボールねじ９の他端は前記
レーザ発振器３の前部における左側に取付けられたＸ軸
駆動モータ１１に連結されている。また、Ｙ軸方向（図
１において前後方向）へ延伸したＸ軸移動体１３が前記
レーザ発振器３の前側に設けられ、Ｘ軸移動体１３の後
部が前記ガイドレール５に摺動自在に設けられていると
共に前記ボールねじ７に螺合されている。

【００１４】上記構成により、Ｘ軸駆動モータ１１を駆
動せしめると、ボールねじ７が回転されることによりＸ
軸移動体１３がガイドレール５に案内されてＸ軸方向へ
移動されることになる。

【００１５】前記Ｘ軸移動体１３右側壁にはＹ軸方向へ
延伸した複数のガイドレール１５が敷設されていると共
にＹ軸方向へ延伸した図示省略のボールねじが設けられ
ている。このボールねじの一端は前記Ｘ軸移動体１３の
後部に取付けられた図示省略の軸受に回転自在に支承さ
れていると共に、ボールねじの他端は前記Ｘ軸移動体１
３の前部に取付けられたＹ軸駆動モータ１７に連結され
ている。前記ガイドレール１５にはＹ軸移動体１９が摺
動自在に設けられていると共に、このＹ軸移動体１９は
ボールねじに螺合されている。前記Ｙ軸移動体１９には
集光レンズを備えたレーザ加工ヘッド２１が上下方向へ
移動可能に設けられている。

【００１６】上記構成により、Ｙ軸駆動モータ１７を駆
動せしめると、ボールねじが回転されることによりＹ軸
移動体１９がガイドレール１５に案内されながらＹ軸方
向へ移動されることになる。したがって、Ｘ軸移動体１
１、Ｙ軸移動体１７をＸ軸，Ｙ軸方向へ移動せしめるこ
とにより、レーザ加工ヘッド２１がＸ軸，Ｙ軸方向へ移
動されることとなる。

【００１７】前記レーザ発振器３の左側面には前後両端
部に４５度に角度を有して取付けられた第１，第２反射
ミラー２３，２５を備えた光反転器２７が取付けられて
いる。また、前記ガイドレール５にはＸ軸方向へ移動可
能な光反転器移動体２９が設けられており、この光反転
器移動体２９の例えば右上部における上下両端部には４
５度の角度を有して取付けられた第３，第４反射ミラー
３１，３３を備えた光反転器３５が設けられている。

【００１８】前記Ｘ軸移動体１３の右側における後部の
上端部には４５度の角度を有して取付けられた第５反射
ミラー３７を備えた光反転器３９が設けられている。ま
た、前記Ｙ軸移動体１９の上端部には４５度の角度を有
して取付けられた第６反射ミラー４１が備えられてい
る。

【００１９】上記構成により、Ｘ軸移動体１３、Ｙ軸移
動体１９がそれぞれＸ軸，Ｙ軸方向へ移動されることに
より、レーザ加工ヘッド２１がＸ−Ｙ平面において任意
の位置に移動位置決めされる。レーザ加工ヘッド２１が
移動位置決めされると、レーザ発振器３から出力された
レーザビームは第１反射ミラー２３、第２反射ミラー２
５、第３反射ミラー３１、第４反射ミラー３３、第５反
射ミラー３７および第６反射ミラー４１で折り曲げられ
てレーザ加工ヘッド２１内に備えられた集光レンズに集
光される。この集光レンズで集光されたレーザビームは
加工すべきワークに向けて照射されてワークに任意のレ
ーザ加工が行われることになる。

【００２０】前記レーザ発振器３から前記レーザ加工ヘ
ッド２１までのレーザビームの光路長を一定にするため
の光路長調整手段４３が設けられている。この光路長調
整手段４３としては、前記Ｘ軸移動体１３の上面にＹ軸
方向へ延伸したガイドレール４５が敷設されている。こ
のガイドレール４５にはＹ軸方向へ移動可能に第１移動
体としての例えばワイヤ移動体４７が設けられている。

【００２１】前記Ｘ軸移動体１３の後部における左側上
面、前記レーザ発振器３の前部における左，右側および
前記Ｘ軸移動体１３の後部における右側上面、さらには
前部における右，左側上面には、第１回転体としての例
えば複数の回転可能な滑車４９Ａ〜４９Ｆが設けられて
いる。しかも、前記ワイヤ移動体４７の後端には第１連
動材としての例えばワイヤ５１の一端が取付けられてい
ると共に、このワイヤ５１は前記滑車４９Ａ〜４９Ｆに
巻回され、ワイヤ５１の他端は前記ワイヤ移動体４７の
前端に取付けられている。

【００２２】前記レーザビーム発振器３の前部には前記
滑車４９Ａ〜４９Ｆのうちの１つの滑車４９Ｃの回転軸
５３には滑車４９Ｃの速度より１／２の速度で回転する
第２回転体としての例えばスプロケット５５Ａが回転可
能に設けられていると共に、第２回転体としての別のス
プロケット５５Ｂが回転可能に設けられている。しか
も、前記光反転器移動体２９の一端（右端）は第２連動
材としての例えばチェン５７の一端が取付けられている
と共に、チェン５７はスプロケット５５Ａ，５５Ｂに巻
回され、チェン５７の他端は光反転器移動体２９の他端
（左端）に取付けられている。

【００２３】前記Ｘ軸移動体１３上の前，下部における
上面には第３回転体としての例えば複数の滑車５９Ａ，
５９Ｂが回転可能に設けられている。しかも、前記Ｙ軸
移動体１９の左側にはブラケット６１が設けられてい
る。このブラケット６１の前端には第３連動材としての
例えばワイヤ６３Ａの一端が取付けられていると共にワ
イヤ６３Ａは前記滑車５９Ａに巻回され、ワイヤ６３Ａ
の他端は前記ワイヤ移動体４７の前端に取付けられてい
る。また、前記ワイヤ移動体４７の後端には第３連動材
としての例えばワイヤ６３Ｂの一端が取付けられている
と共にワイヤ６３Ｂは前記滑車５９Ｂに巻回され、ワイ
ヤ６３Ｂの他端は前記ブラケット６１の後端に取付けら
れている。

【００２４】上記構成により、Ｘ軸移動体１３がＸ軸方
向の＋方向側に移動すると、ワイヤ５１を介して滑車４
９Ｂ，４９Ｃが時計方向回りに回転し、滑車４９Ｃの回
転軸５３を介してスプロケット５５Ａが滑車４９Ｃの速
度より１／２の速度で同方向へ回転されるから、チェン
５７も同方向へ１／２の速度で走行（図１において左
行）される。したがって、光反転器移動体２９はＸ軸移
動体１３の移動量の１／２だけＸ軸方向の＋方向側へ移
動されることになる。すなわち、光反転器３５がＸ軸移
動体１３の移動量の１／２だけＸ軸方向の＋方向へ移動
されることとなるので、図３に示したたごとく、レーザ
発振器３からレーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に
一定に維持することができる。

【００２５】Ｘ軸移動体１３がＸ軸方向の一方向側へ移
動した際は、上述した動作と逆となり、光路長を常に一
定に維持することができる。

【００２６】Ｙ軸移動体１９がＹ方向の＋方向側へ移動
すると、Ｙ軸移動体１９に取付けられたブラケット６１
も同方向へ移動するので、ワイヤ６３Ａ，６３ＢがＹ軸
移動体１９と同方向に走行することにより、滑車５９
Ａ，５９Ｂが時計方向回りに回転する。するとワイヤ６
３Ａ，６３Ｂはワイヤ移動体４７、ブラケット６１に固
定されているので、ワイヤ移動体４７はＹ軸方向の一方
向側へＹ軸移動体１９と同じ移動量だけ移動する。ワイ
ヤ移動体４７にはワイヤ５１の両端が固定されているか
らワイヤ５１を介して滑車４９Ｃが時計方向廻りに回転
するので、スプロケット５５Ａが上述と同様に１／２だ
けの走行速度で回転するので、光反転器移動体３５がＹ
軸移動体１９の移動量の１／２だけＸ軸方向の＋方向側
に移動する。すなわち、光反転器移動体３５がＹ軸移動
体１３の移動量の１／２だけＸ軸方向の＋方向側へ移動
されることになるので図３に示したごとく、レーザ発振
器３からレーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に一定
に維持することができる。

【００２７】Ｙ軸移動体１９がＹ軸方向の一方向側へ移
動した際は、上述した動作と逆となり、光路長を常に一
定に維持することができる。

【００２８】したがって、Ｘ軸移動体１３がＸ軸方向の
＋方向側へ移動すると共にＹ軸移動体１９がＹ軸方向の
＋方向側あるいは−方向側へ移動しても、さらにＸ軸移
動体１３がＸ軸方向の一方向側へ移動すると共にＹ軸移
動体１９がＹ軸方向の＋方向側あるいは−方向側へ移動
しても、同様に上述の動作に基いて、レーザ発振器３か
らレーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に一定に保持
することができる。

【００２９】図２には図１に代る他の実施例が示されて
いる。図２において図１における部品と同じ部品には同
一符号を符して説明を省略する。

【００３０】図２において、光路長調整手段４３として
は、Ｘ軸移動体１３の前部側に第２移動体としての例え
ば滑車移動体６５が前記ガイドレール１５にＹ軸方向へ
移動可能に設けられている。前記動滑車移動体６５には
前記Ｙ軸移動体１９の移動量の１／２だけＹ軸方向へ移
動する第４回転体としての例えば複数の滑車６７Ａ，６
７Ｂが回転可能に設けられている。また、前記光反転器
移動体２９には第５回転体としての滑車６９が設けられ
ており、しかも前記光反転移動体２９はＸ軸移動体１３
の移動量の１／２だけＸ軸方向へ移動するように構成さ
れている。

【００３１】前記Ｘ軸移動体１３の後部における左側の
上面には固定ブロック７１が設けられており、この固定
ブロック７１の上下には複数の滑車７３Ａ，７３Ｂと滑
車７３Ｃ，７３Ｄが回転可能に設けられている。前記レ
ーザ発振器３には第４連動材しての例えばワイヤ７５の
一端が固定されていると共に、ワイヤ７５は滑車７３
Ａ，７３Ｂ，６７Ａ，６７Ｂ，７３Ｃ，７３Ｄおよび６
９を巻回して、ワイヤ７５の他端が前記Ｘ軸移動体１３
の後部における右端に固定されている。

【００３２】前記レーザ発振器３の前部右側寄りには第
６回転体としての例えば滑車７７が回転可能に設けられ
ている。前記反転器移動体２９の右側には第５連動材と
しての例えばワイヤ７９の一端が固定されていると共に
ワイヤ７９は前記滑車７７を介してワイヤ７９の他端が
前記レーザ発振器３に固定されている。

【００３３】前記動滑車移動体６５にはブラケット８１
が一体的に設けられていると共にこのブラケット８１に
は第７回転体としての例えば滑車８３が回転可能に設け
られている。前記Ｘ軸移動体１３は第６連動材としての
例えばワイヤ８５の一端が固定されていると共に、ワイ
ヤ８５は滑車８３を介してワイヤ８５の他端が前記Ｙ軸
移動体１９に固定されている。

【００３４】前記レーザ発振器３にはブラケット８７が
設けられており、このブラケット８７には第１弾機とし
ての例えば引っ張りバネ８９の一端が固定されていると
共に、引っ張りバネ８９の他端が前記レーザ発振器３の
前部に固定されている。前記Ｘ軸移動体１３にはブラケ
ット９１が設けられている。前記動滑車移動体６５には
第２弾機としての例えば引っ張りバネ９３の一端が固定
されていると共に引っ張りバネ９３の他端が前記ブラケ
ット９１に固定されている。

【００３５】上記構成により、Ｘ軸移動体１３がＸ軸方
向の＋方向側に移動すると、ワイヤ７５が同方向へ引っ
張られ光反転器移動体２９が図３に示したごとくＸ軸方
向の＋方向側にＸ軸移動体１３の移動量の１／２だけ移
動する。このとき、引っ張りバネ８９はＸ軸移動量の１
／４だけ伸びることになる。したがって、レーザ発振器
３からレーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に一定に
維持することができる。

【００３６】Ｘ軸移動体１３がＸ軸方向の一方向側へ移
動した際には、引っ張りバネ８９の作用により光反転器
移動体２９はＸ軸方向の一方向側にＸ軸移動体１３の移
動量の１／２だけ移動し、光路長を常に一定に維持する
ことができる。

【００３７】Ｙ軸移動体１９がＹ軸方向の一方向側へ移
動すると、ワイヤ８５が同方向へ引っ張られ、動滑車移
動体６５がＹ軸移動体１９の移動量の１／２だけＹ軸方
向の一方向側に移動する。この結果、ワイヤ７５がＸ軸
方向の一方向側へＹ軸移動体１９の移動量分だけたるむ
ため、引っ張りバネ８９の作用により光反転器移動体２
９がＹ軸移動量の１／２だけＸ軸方向の一方向側に移動
する。したがって、レーザ発振器３からレーザ加工ヘッ
ド２９までの光路長を常に一定に維持することができ
る。

【００３８】Ｙ軸移動体１９がＹ軸方向の＋方向側に移
動すると、引っ張りバネ９３の作用により動滑車６５が
Ｙ軸移動体１９の移動量の１／２だけＹ軸方向の＋方向
側へ移動する。この結果、ワイヤ７５がＹ軸方向の＋方
向側にＹ軸移動体１９の移動量だけ引っ張られるため、
光反転器移動体２９が図３に示したごとくＹ軸移動体１
９の移動量の１／２だけＸ軸方向の＋方向側に移動す
る。このとき、引っ張りバネ８９はＹ軸移動体１９の移
動量の１／４だけ伸びる。したがって、発振器３からレ
ーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に一定に維持する
ことができる。

【００３９】この実施例においても、Ｘ軸移動体１３が
Ｘ軸方向の＋方向側へ移動すると共にＹ軸移動体１９が
Ｙ軸方向の＋方向側あるいは−方向側へ移動しても、さ
らにＸ軸移動体１３がＸ軸方向の一方向側へ移動すると
共にＹ軸移動体１９がＹ軸方向の＋方向側あるいは一方
向側へ移動しても、同様に上述の動作に基いて、レーザ
発振器３からレーザ加工ヘッド２９までの光路長を常に
一定に維持することができる。

【００４０】したがって、Ｘ軸移動体１３をＸ軸方向
へ、Ｙ軸移動体１９をＹ軸方向へ移動せしめてレーザ加
工ヘッド２９がＸ軸，Ｙ軸方向へ移動した際に１つの光
反転器３５を簡単に構造により光反転移動体２９で移動
せしめることにより光路長を一定に維持することができ
る。しかも移動する反射ミラーが従来よりも減少するの
で光出力の劣化を防止して安定したレーザ加工を行うこ
とができる。

【００４１】なお、この発明は、上述した実施例に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。本実施例は第１，第３
回転体として滑車、第３回転体をスプロケット、第１，
第３連動材をワイヤ、第２連動材をチェンで、また、第
４，第５，第６，第７回転体を滑車、第４，第５，第６
連動材をワイヤで説明したが、第１〜第６連動材にロー
プを、第１〜第６回転体にベルトなどを用いても構わな
いものである。

【００４２】

【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、この発明によれば、Ｘ軸移動体をＸ軸方向
へ、Ｙ軸移動体をＹ軸方向を移動せしめてレーザ加工ヘ
ッドがＸ軸，Ｙ軸方向へ移動した際に、１つの光反転器
を簡単な構造による光路長調整手段で光路長を常に一定
に維持することができる。しかも移動する反射ミラーが
従来よりも減少するので光出力の劣化を防止して安定し
たレーザ加工を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のレーザ加工装置を実施する一実施例
の斜視図である。

【図２】図１に代る他の実施例の斜視図である。

【図３】この発明の光路長を一定にする動作の説明図で
ある。

【符号の説明】

１ レーザ加工装置 ３ レーザ発振器 １３ Ｘ軸移動体 １９ Ｙ軸移動体 ２１ レーザ加工ヘッド ２３，２５ 第１，第２反射ミラー ２９ 光反転器移動体 ３１，３３ 第３，第４反射ミラー ３５ 光反転器 ３７，４１ 第５，第６反射ミラー ４３ 光路長調整手段 ４７ ワイヤ移動体（第１移動体） ４９Ａ〜４９Ｆ 滑車（第１回転体） ５１ ワイヤ（第１連動材） ５５Ａ，５５Ｂ スプロケット（第２回転体） ５７ チェン（第２連動材） ５９Ａ，５９Ｂ 滑車（第３回転体） ６３Ａ，６３Ｂ ワイヤ（第３連動材）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ軸方向へ移動自在なＸ軸移動体を設け
   ると共にこのＸ軸移動体にＹ軸方向へ移動自在なＹ軸移
   動体を設け、このＹ軸移動体にレーザ加工ヘッドを設
   け、レーザ発振器から出力されたレーザビームを複数の
   反射ミラーを備えた光反転器を介して前記レーザ加工ヘ
   ッドに案内し、このレーザ加工ヘッドの任意の移動によ
   り任意のレーザ加工を行うレーザ加工装置にして、前記
   レーザ加工ヘッドのＸ軸，Ｙ軸方向の移動に対して前記
   レーザ発振器から前記レーザ加工ヘッドまでのレーザビ
   ームの光路長を常に一定に維持すべく１つの光反転器を
   調整する光路長調整手段を設けてなることを特徴とする
   レーザ加工装置。
2. 【請求項２】 前記光路長調整手段が、前記Ｘ軸移動体
   にＹ軸方向へ移動可能に設けられた第１移動体と、この
   第１移動体の一方部に一端を固定すると共に複数の第１
   回転体を介して他端を前記第１移動体の他方部に固定し
   た第１連動材と、Ｘ軸方向へ移動可能に設けられ前記１
   つの光反転器を備えた光反転器移動体と、この光反転器
   移動体の一方に一端を固定すると共に前記複数の第１回
   転体のうちの１つの第１回転体の回転軸を共通した第１
   回転体の速度より１／２の速度で回転する第２回転体を
   介して他端を前記光反転器移動体の他方部に固定する第
   ２連動材と、前記Ｙ軸移動体の一方部に一端を固定する
   と共に他端を複数の第３回転体を介して前記Ｙ軸移動体
   の他方部に固定する第３連動材と、で構成されているこ
   とを特徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。
3. 【請求項３】 前記光路長調整手段が、前記Ｘ軸移動体
   に移動可能に設けられると共にＹ軸移動体の移動量の１
   ／２だけＹ軸方向へ移動する第４回転体を備えた第２移
   動体と、前記１つの光反転器を備えかつ第５回転体を有
   すると共に前記Ｘ軸移動体の移動量の１／２だけＸ軸方
   向へ移動する光反転器移動体と、前記レーザ発振器に一
   端を固定すると共に他端を前記第４、第５回転体を介し
   て前記Ｘ軸移動体に固定する第４連動材と、前記光反転
   器移動体に一端を固定すると共に他端を第６回転体を介
   して前記レーザ発振器に固定する第５連動材と、前記Ｘ
   軸移動体に一端を固定すると共に他端を前記第２移動体
   に備えられた第７回転体を介して前記Ｙ軸移動体に固定
   する第６連動材と、前記第５回転体に一端を固定すると
   共に他端を前記レーザ発振器に固定する第１弾機と、前
   記Ｘ軸移動体に一端を固定すると共に他端を前記第２移
   動体に固定する第２弾機と、で構成されていることを特
   徴とする請求項１記載のレーザ加工装置。
4. 【請求項４】 第１，第３回転体が滑車、第２回転体が
   スプロケットであると共に、第１，第３連動材がワイ
   ヤ、第２連動材がチェンであることを特徴とする請求項
   ２記載のレーザ加工装置。
5. 【請求項５】 第４，第５，第６，第７回転体が滑車で
   あると共に第４，第５，第６連動材がワイヤであること
   を特徴とする請求項３記載のレーザ加工装置。