CN102844145A - 激光加工机的光路构造 - Google Patents

Abstract

一种激光加工机的光路构造，其从加工头（12）向工件（13）照射激光束而进行激光加工，具有：箱状的框体（1），其在一个较长表面上具有开口；导光单元（30），其包含：曲光组件（5a），其设置为可在框体（1）的长度方向上移动，该曲光组件（5a）具有曲光镜，该曲光镜使在框体（1）内行进的激光束向开口侧偏转；以及光路管（6a），其设置为从曲光组件（5a）向开口侧突出，该导光单元（30）将激光束向加工头（12）引导；密封部件（3），其由弹性体构成，设置在开口的边缘部；带状的移动部件（4），其固定在导光单元（30）上，可相对于密封部件（3）滑动而在长度方向上移动，在框体（1）外与密封部件（3）抵接而堵塞开口；以及驱动单元（7），其使移动部件（4）及导光单元（30）一体地在移动部件（4）的长度方向上移动。

Description

激光加工机的光路构造

技术领域

本发明涉及激光加工机，特别地，涉及光路移动形式的光扫描型激光加工机的光路构造。

背景技术

在二氧化碳激光加工机所代表的不使用光纤等传输部件的激光

加工机中，特别是使光学元件（曲光镜或加工透镜等）移动而进行加工的光扫描型加工机中，光路移动。因此，在这种激光加工机中，以保护移动部分的光路等为目的，在移动部分上设置折皱保护罩或伸缩部（伸缩机构）等（例如，参照专利文献1至3）。

将折皱保护罩或伸缩部应用于高输出二氧化碳激光加工机时，要求可承受高速的反复移动、伸缩量小、密闭度高、不产生粉尘、不进行呼吸（光路移动时没有空气出入）、耐外部粉尘、不会烧坏等。激光加工机高速化的进步显著，目前已有快速进给速度超过100m/分的装置，对高速反复移动的耐久性很重要。

另外，出于使装置紧凑而缩短整体的光路长度并提高加工稳定性的目的，要求伸缩量小。

为了恒定地保持传输的激光束的品质，通常，向光路内部注入清洁干燥的空气或氮气，使光路内成为压力高于0.5kPa（大约50mmAq）左右的加压状态，提高光路内部的清洁度，进而实现防止来自外部的粉尘的进入，因此，要求光路构造的密闭度高。

另外，对于在激光加工中产生的烟尘或溅射物等由热加工产生的蒸发飞散物、即来自外部的粉尘，必须防止其进入光路内。

光路构造本身不会产生粉尘，这一点不言而喻，但如果进行呼吸则会将外部的粉尘卷入，因此，为了减少注入量，要求不进行呼吸的构造。

要求不会发生光路内部的激光束扩散或偏离的情况，且不会由于来自配置在激光加工点附近的铝等高反射被加工物的二次反射光，向内外照射光束而导致烧损。

关于不使用折皱保护罩或伸缩部而使光路移动的光路构造，在专利文献4中公开了一种由环形带构成的装置，该环形带封闭管部的开口，并与移动台一体动作。

在专利文献5中，公开了一种在移动的环形带和防尘罩之间设置密封部的结构。

在专利文献6、7中，公开了下述结构，即，沿开口部将带部的长度方向两端固定，移动单元伴随移动而局部解除开口部的带部的封闭。

专利文献1：日本专利第3353059号公报

专利文献2：日本专利第3633117号公报

专利文献3：日本专利第4187482号公报

专利文献4：日本特开昭63-63595号公报

专利文献5：日本特开平05-77076号公报

专利文献6：日本特开2010-188424号公报

专利文献7：日本专利第4527415号公报

发明内容

关于光路构造中使用折皱保护罩或伸缩部，通常使用折皱保护罩，伸缩部被应用于在二氧化碳激光的情况通常是在清洁的环境中使用的低输出医疗仪器（激光手术刀等）。通常，折皱保护罩由合成纤维或塑料制造，但树脂本身会产生粉尘，密闭度低。为了提高密闭度，也进行了接合/粘接多层或使用气密性高的纤维等改进，但发生伸缩量增大的问题，或者由于伸缩引起的呼吸，特别是高速动作的情况下等，发生吸外部的粉尘或者发生破损等问题，因此，必须设置反折皱保护罩，或者设置缓冲罐，抑制容积变化的影响。

另外，为了防止烧损事故，尝试了在折皱保护罩内部设置金属制的反射板，或使用难燃性材料，或内置烧损检测的传感器等对策，但存在构造复杂而价格提高的问题。

关于不使用折皱保护罩或伸缩部而使光路移动的光路构造，专利文献4关于密封构造没有公开任何内容。因此，专利文献4中公开的发明不算是可以保持光路内部的气密的实用装置。

专利文献5中公开的发明，虽然密封了带部的外缘部，但容易在带部外侧附着粉尘。附着在带部外侧的粉尘会使密封部磨损/老化，因此，专利文献5公开的发明，在密闭性或气密性、寿命方面存在问题。而且，也很难在其外侧设置防尘罩，由支撑引导带部的辊对带部进行驱动的结构并非可以进行高速的反复动作的构造。

专利文献6、7中公开的发明，特别是保持开口部与由移动单元提起的带部的短边方向两端的气密的方法很难，且由于吸附带部的磁铁还会吸引铁等强磁体的粉尘，因此缺乏实用性。

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于得到一种激光加工机的光路构造，其可以高速反复进行光路的移动，基本没有伸缩量，具有高气密性，不进行呼吸，防止外部粉尘进入光路内或发生烧损。

为了解决上述课题、实现目的，本发明是一种激光加工机的光路构造，其从加工头向被加工物照射激光束而进行激光加工，其特征在于，具有：细长箱状的框体，其在一个长度面上具有开口；导光单元，其包含：曲光组件，其设置在框体内，可在框体的长度方向上移动，该曲光组件具有曲光镜，该曲光镜使在框体内在框体的长度方向上行进的激光束向开口侧偏转；以及光路管，其设置为从曲光组件向开口侧凸出，包覆通过曲光镜而向开口侧偏转的激光束的光路，该导光单元将通过光路管的激光束向加工头引导；密封部件，其由弹性体构成，设置在开口的边缘部；带状的移动部件，其在框体外与密封部件抵接而堵塞开口，该移动部件固定在导光单元上，通过相对于密封部件滑动，从而在堵塞开口的状态下，可在长度方向上移动；以及驱动单元，其使移动部件及导光单元一体地在移动部件的长度方向上移动。

发明的效果

根据本发明，实现下述效果，即，可以高速反复进行光路的移动，没有伸缩量，具有高气密性，不进行呼吸，可以防止外部粉尘进入光路内或发生烧损。

附图说明

图1是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式1的结构的图。

图2是激光加工机的光路构造的俯视图。

图3是开口的长度方向的边缘部的剖视图。

图4是表示导辊与移动部件的抵接状态的图。

图5是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式2的结构的图。

图6是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式3的结构的图。

图7是表示与刮片及辊与移动部件的抵接状态的图。

图8是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式4中的开口的长度方向的边缘部的剖视图。

具体实施方式

下面，根据附图，对本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式详细进行说明。此外，本发明并不受该实施方式限定。

实施方式1.

图1是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式1的结构的图。图2是激光加工机的光路构造的俯视图，将图1中的箭头Ⅱ设为视线方向。框体1由金属板等构成并密闭，以包覆光路整体。在框体1的底面沿着光路的移动部分上设置有开口2。密封部件3由具有弹性的橡胶材料等形成，且设置在开口2的周围内侧缘部。移动部件4由金属材料等形成为带状，滑动移动而与密封部件3抵接，以堵塞开口2。曲光组件（bend block）5a设置在框体1的内部，具有使激光束L偏转的曲光镜（bend mirror）。光路管6a安装在曲光组件5a上，包覆通过曲光镜向开口侧偏转的激光束L的光路，且贯穿移动部件4而向框体1外突出。在光路管6a上固定结合有移动部件4。在本实施方式中，曲光组件5a及光路管6a构成将激光束L向加工头12引导的导光单元30。曲光组件5b是设置在框体1内部的固定的曲光组件，与光路管6b连接。Z轴单元22具有加工头12，与光路管6a连接。Z轴单元22具有使加工头12在图示的Z轴方向上动作的功能，以在被加工物的工件13上聚焦。另外，Z轴单元22构成为，通过驱动单元7在图示的X轴方向上驱动而与曲光组件5a、光路管6a、加工头12一起移动。在这里，示出了驱动单元7为固定在Z轴单元22上的带状的结构，但只要可以将Z轴单元22、光路管6a、加工头12及曲光组件5a一体地平行移动，可以使用公知的任意结构。例如，可以在Z轴单元22上设置齿轮和驱动该齿轮的电动机，使其沿着齿条移动。另外，也可以是在Z轴单元22上设置直线电动机而使其移动的结构。

在框体1中设置有注入气体入口14、注入气体出口15及单向阀16。

对激光加工机的光路构造的动作进行说明。从未图示的激光振荡器射出的激光束L经由光路管6b向框体1内导入，通过曲光组件5b向X轴方向偏转，引导至曲光组件5a。

在曲光组件5a处，激光束L向Z轴方向偏转，经由光路管6a、Z轴单元22向加工头12传输，通过设置在加工头12内的加工透镜形成会聚激光束而向工件13照射。

如果Z轴单元22通过驱动单元7驱动而移动，则加工头12、光路管6a、曲光组件5a与其相伴也向X轴方向移动，与光路光6a固定结合的移动部件4也同样向X轴方向移动。此时，移动部件4保持与密封部件3抵接的状态滑动，因此，即使在加工头12移动中进行激光加工时，也可以保持保护激光束L的光路的框体1内的气密。

清洁干燥空气或氮气等作为注入气体P从注入气体入口14导入框体1内。导入框体1内的注入气体P在框体内循环后，从注入气体出口15经由单向阀16向大气释放。

移动部件4与密封部件3的抵接滑动部会在停止或动作过程中（即从头至尾），产生注入气体P的一定量的泄漏，因此，对注入气体P的流量和压力进行调整，以可以将框体1内的气压保持为略（0.5kPa左右）高于大气压。与使用折皱保护罩的装置同样地，通过将注入气体P的入口压力设为0.1至0.3MPa、将流量设为50至100NL/min左右，可以保持框体1内气压略高于大气压。

另外，在动作过程中，在移动部件4的框体1侧，密封部件3的外侧（与空气接触的部分）容易附着粉尘，附着于此的粉尘可能经由密封部件3进入框体1内部。为了防止这种情况，也可以在框体1的两端部设置防尘罩。

图3是开口2的长度方向的边缘部的剖视图，表示图2中的Ⅲ—Ⅲ剖面。导轨17a、17b隔着移动部件4设置在框体1的开口2的边缘部附近。虽然省略了图示，但在移动部件4的短边方向的相反侧也设置有导轨17a、17b及导辊18，这些构成移动部件4的引导单元8。图4是表示导辊18与移动部件4的抵接状态的图。如图4所示，导辊18设置为与移动部件4的短边方向端面抵接。

图3所示的螺钉19将与移动部件4抵接滑动的密封部件3固定在框体1的开口2的边缘部。在导轨17a、17b的对移动部件4进行引导的部分处，优选粘贴聚氨酯或聚四氟乙烯（氟橡胶）制胶带、或使用超高分子量的聚乙烯等自身具有润滑性的材料制造的胶带等，从而顺滑地对移动部件4进行引导。

在导辊18中使用不锈钢制的轴承，在移动部件4的移动方向上设置有多个。引导单元8在移动部件4的运动方向且在与X轴正交的Y轴方向（宽度方向）上由导轨17a、17b限制/引导移动范围，在Z轴方向（厚度方向）上由导辊18限制/引导。引导单元8使得移动部件4与密封部件3的抵接滑动动作更可靠。

另外，除了折皱保护罩之外，因激光束L而可能受到烧损的部分非常有限，因此相当于不会发生烧损，但通过沿密封部件3设置金属制的光束遮挡板21，可以更可靠地防止发生烧损。

密封部件3的前端（与移动部件4抵接的部分）形成为唇缘形状。通过使密封部件3的前端形成为唇缘形状，可以提高密封部件3的弹性并减少滑动阻力。另外，使密封部件3的前端形成为唇缘形状，可以提高气密性保持性。作为密封部件3的材料，可以使用天然橡胶、氯丁橡胶、氟橡胶、聚氨酯橡胶等各种橡胶。聚氨酯橡胶价格低且容易得到，耐磨性高且滑动阻力较小等机械特性也优良，并可以调整为期望的硬度而成型，因此适合作为密封部件3的材料。

移动部件4由厚度为0.05至0.35mm的具有弹性的不锈钢带形成。为了提高气密性，优选移动部件4也具有弹性。移动部件4如果过薄则容易破损，如果过厚则缺乏弯曲性而气密性降低或不易紧凑地收容移动部件4，因此，优选设为上述范围的厚度。此外，发明者们改变作为移动部件4使用的不锈钢带的厚度进行多种试验，其结果，确认在使用厚度为0.1mm、0.2mm、0.3mm的具有弹性的不锈钢带作为移动部件4的情况下，气密性或耐久性、移动部件4的抗弯性等各种性能都没有问题。在使用厚度为0.4mm的不锈钢带的情况下，移动部件4的弯曲性降低，作为移动部件4不合适。另外，厚度小于0.05mm的不锈钢钢带强度不足，作为移动部件4不合适。

由厚度为0.05mm左右的较薄材料形成的移动部件4，适合于激光输出小，小型且行程小的光路构造，由厚度达到0.35mm的较厚材料形成的移动部件4，适合于大型且行程大的光路构造。通过使用不锈钢带作为移动部件4，可以提高防锈性或抗弯性。另外，可以实现表面光滑的移动部件4。

如图1、图2所示，在框体1的移动部件4的移动方向两端部，设置卷出卷入装置9a、9b。在移动部件4向图1、图2中的右方向移动的情况下，卷出卷入装置9a进行卷入移动部件4的动作，卷出卷入装置9b进行卷出移动部件4的动作。在移动部件4向图1、图2中的左方向移动的情况下，卷出卷入装置9a进行卷出移动部件4的动作，卷出卷入装置9b进行卷入移动部件4的动作。

卷出卷入装置9a、9b可以使用发条等构成，但也可以使用伺服电动机对卷出卷入时的张力进行控制，或与作为移动部件4的驱动装置的驱动单元7联动而同步动作。

根据本实施方式，由于未使用折皱保护罩等伸缩部件，因此，不需要伸缩量。因此，具有本实施方式涉及的光路构造的激光加工机，可以缩短光路而进行稳定的激光加工。另外，可以紧凑地设计装置。而且，其为不会发生伴随光路动作的光路内的呼吸现象的状态，从而可以保持较高的气密性。而且，粉尘不会从外部进入框体内部，因此可以保持框体内始终为清洁的状态。而且，与激光束L接触的部分由金属材料构成，因此可以防止发生烧损。即，可以简单且便宜地提供高性能且安全的光路构造。

另外，移动部件的引导单元可靠地保证移动部件向正确的移动方向移动，因此可以实现气密性或防止粉尘进入性能稳定的可靠性高的光路构造。

另外，通过使用卷出卷入装置，从而可以保证将移动部件的两端可靠地收容在装置内，使光路构造紧凑。

实施方式2.

图5是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式2的结构的图。在本实施方式中，与实施方式1不同点在于，移动部件4构成为，其两端部连接/结合而成为环状，通过支撑辊10a至10d支撑在框体1的外部，与光路管6a一起移动。框体1或Z轴单元22等的结构与实施方式1相同。

各支撑辊10a至10d的相对于移动部件4的转动面成为中央部凸出的曲面，支撑辊10a至10d整体形成为中部膨胀的鼓状（皇冠状）。支撑辊10a至10d通过形成为鼓状，限制移动部件4不会向与移动方向正交的方向移动。由此，支撑辊10a至10d可以稳定地进行移动部件4的支撑及向移动方向的移动引导。另外，具有不会使移动部件4塑性变形的充分大的曲率。支撑辊10a至10d如果质量较轻，则可以追随移动部件4的移动速度变化，容易使旋转速度变化，因此防滑性优良。另外，在与移动部件4之间不易产生动摩擦，因此耐磨性也得到提高。另外，如果支撑辊10a至10d在转动面实施耐磨涂层（硬质镀铬层等）并进行研磨，则耐磨性优良。

通过将张紧辊23a、23b设置在适当的位置，即使移动部件4反复进行高速移动，移动部件4与支撑辊10a至10d也不易相对滑动。另外，对于支撑辊10a至10d中的至少一部分，也可以成为弹性支撑的结构，以可以在移动部件4的移动方向（X轴方向）或与其正交的方向（Y轴方向）略微移动。

此外，虽未图示，但也可以在框体1的开口2（在图5中未图示）及无密封部件3侧，在移动部件4向X轴方向移动的部分处，设置与图3所示的引导单元8相同的结构或简化的结构，对移动部件4进行引导。

根据本实施方式，容易使移动部件4高速反复移动，在光路的移动行程较长（例如大于或等于3m）的情况下，也可以使光路构造紧凑。另外，通过对支撑辊10a至10d进行弹性支撑，以使其可以在移动部件4的移动方向上移动，或在适当的位置设置张紧辊23a、23b，从而可以在移动部件4进行加减速动作时，防止移动部件4在移动方向上弯曲而发生动作不良，防止支撑辊10a至10d与移动部件4之间发生滑动而使二者磨损或破损。

实施方式3

图6是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式3的结构的图。与实施方式1的不同点在于，在框体1的移动部件4的移动方向的两端部设置刮片11和辊20。

刮片11设置为，抵接在移动部件4的与密封部件3抵接滑动侧（内侧）。辊20设置在刮片11的与移动部件4抵接的部分的相反侧（外侧）。图7是表示刮片11及辊20与移动部件4的抵接状态的图。如图7所示，刮片11及辊20在移动部件4的整个宽度范围内抵接。

刮片11的剖面如同汽车的雨刮器那样形成为具有唇缘的形状（箭头形状），伴随移动部件4的移动，刮片11的唇缘部分与移动部件4抵接而滑动。由此，附着在移动部件4内侧的粉尘由刮片11去除。同样地，附着在移动部件4外侧的粉尘由辊20去除。

此外，在这里以在框体1的两端各设置一对的刮片11和辊20的结构为例进行了说明，但也可以设置多对的刮片11及辊20。

根据本实施方式，可以利用刮片去除附着在移动部件4的特别是内侧的粉尘，因此可以防止附着在移动部件4上的粉尘被卷入框体1内部，确保框体1内部的气密性、清洁性，实现密封部件3的长寿命化。

实施方式4.

图8是表示本发明涉及的激光加工机的光路构造的实施方式4中的开口2的长度方向的边缘部的剖视图。在图8中，左侧是框体1的内侧，右侧是框体1的外侧。在本实施方式中，密封部件3由海绵状弹性体25a、和粘贴在海绵状弹性体25a上的树脂制胶带26a构成。此外，为了简化说明，省略图示密封部件3的支撑构造（安装构造），但密封部件3在开口2的周围内侧边缘部无间隙地安装在框体1上。

密封部件3设置为，以海绵状弹性体25a具有适量的收缩量的状态，使树脂制胶带25a与移动部件4抵接。

在隔着移动部件4的密封部件3的相反侧设置有按压部件24，该按压部件24由海绵状弹性体25b和粘贴在海绵状弹性体25b上的树脂制胶带26b构成。按压部件24设置为，在海绵状弹性体25b适量收缩的状态下，使树脂制胶带25b与移动部件4抵接。

由导轨17a、17b或导辊18构成的引导单元8与实施方式1相同。

密封部件3和按压部件24以恒定的弹力夹持移动部件4。在移动部件4移动时，安装在开口2的周围内侧边缘部的密封部件3保持框体1内的气密性。按压部件24保证移动部件4与密封部件3的树脂制胶带26a抵接。

作为海绵状弹性体25a、25b，可以使用乳胶海绵、包覆氯丁橡胶的乳胶海绵、氯丁海绵、硅海绵等。包覆氯丁橡胶的乳胶海绵价格低，且在富有弹性但耐久性不高的乳胶海绵上包覆耐久性高的氯丁橡胶，因此，适合作为海绵状弹性体25a、25b。

作为树脂制胶带26a、26b的材料，可以使用超高分子量聚乙烯、聚四氟乙烯、聚氨酯等。超高分子量聚乙烯市售而容易得到，且自润滑性高，因此摩擦系数小，机械强度或耐磨性高，因此适合作为树脂制胶带26a、26b的材料。如果举一个例子，使用不锈钢制带作为移动部件4，即使以移动速度100m/min反复抵接滑动大约1000小时，试验结果也基本看不到恶化或磨损。

在本实施方式中，密封部件具有设置在开口内侧的海绵状弹性体，因此，保证与移动部件的抵接。另外，具有树脂制胶带，因此可以减小与移动部件的滑动摩擦阻力且保持气密性。设置在外侧的按压部件由海绵状弹性体及树脂制胶带构成，因此，可以减小与移动部件的滑动摩擦阻力，并且保证移动部件的内侧密封部件与树脂制胶带的抵接。

通过由包覆有氯丁橡胶的乳胶海绵构成海绵状弹性体，从而海绵状弹性体不会恶化而长时间保持弹性力，因此，可以保证移动部件与树脂制胶带的抵接滑动。另外，以超高分子量聚乙烯作为材料的树脂制胶带摩擦系数较小，因此滑动阻力小，可以长时间保持与移动部件的抵接滑动部的气密性/密闭性。

在上述各实施方式中，以将开口2设置在框体1的底面的结构为例，但开口2也可以设置在框体1的侧面或上面。另外，将移动部件4固定在光路管6上的结构作为例子，但也可以使曲光组件5从开口2凸出，或使移动部件4进入框体1内而将移动部件4固定在曲光组件5上。

工业实用性

如上所述，本发明涉及的激光加工机的光路构造，在可以高速反复进行光路的移动，无伸缩量，具有高气密性，不进行呼吸，可以防止外部粉尘进入光路内或发生烧损这些方面有效，特别地，适用于光路移动量较大的大型光扫描型激光加工机。

标号的说明

1框体

2开口

3密封部件

4移动部件

5a、5b曲光组件

6a、6b光路管

7驱动单元

8引导单元

9a、9b卷出卷入装置

10a、10b、10c、10d支撑辊

11刮片

12加工头

13件

14注入气体入口

15注入气体出口

16单向阀

17a、17b导轨

18导辊

19螺钉

20辊

21光束遮挡板

22Z轴单元

23a、23b张紧辊

24按压部件

25a、25b海绵状弹性体

26a、26b树脂制带

30导光单元

L激光束

P注入气体

Claims (11)

1.一种激光加工机的光路构造，其从加工头向被加工物照射激光束而进行激光加工，

其特征在于，具有：

细长箱状的框体，其在一个较长表面上具有开口；

导光单元，其包含：曲光组件，其设置在所述框体内，可在该框体的长度方向上移动，该曲光组件具有曲光镜，该曲光镜使在所述框体内在该框体的长度方向上行进的激光束向所述开口侧偏转；以及光路管，其设置为从该曲光组件向所述开口侧凸出，且包覆通过所述曲光镜而向所述开口侧偏转的所述激光束的光路，该导光单元将通过该光路管的所述激光束向所述加工头引导；

密封部件，其由弹性体构成，设置在所述开口的边缘部；

带状的移动部件，其在所述框体外与所述密封部件抵接，堵塞所述开口，该移动部件固定在所述导光单元上，通过相对于所述密封部件滑动，从而在堵塞所述开口的状态下，可在长度方向上移动；以及

驱动单元，其使所述移动部件及所述导光单元一体地在所述移动部件的长度方向上移动。

2.根据权利要求1所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述框体具有引导单元，该引导单元对所述移动部件的宽度方向及厚度方向的移动进行限制。

3.根据权利要求1所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

在所述框体的长度方向的两端附近分别具有卷出卷入装置，该卷出卷入装置进行所述移动部件的卷出及卷入。

4.根据权利要求1所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述移动部件是使两端部接合的环状，配置为包围所述框体，通过设置在所述框体周围的支撑辊引导移动。

5.根据权利要求4所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述支撑辊弹性地设置，可在所述移动部件的移动方向上移动。

6.根据权利要求4所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

具有张紧辊，该张紧辊将所述移动部件的张力保持为恒定。

7.根据权利要求4所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述支撑辊为鼓状。

8.根据权利要求1所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

具有刮片，该刮片抵接在所述移动部件的与所述密封部件抵接侧的表面。

9.根据权利要求1所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述密封部件为聚氨酯橡胶制，与所述移动部件抵接的部分形成为唇缘形状，

所述移动部件为不锈钢带。

10.根据权利要求1至8任一项所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述密封部件由海绵状弹性体和树脂制胶带构成，该海绵状弹性体安装在所述开口的边缘部，该树脂制胶带粘贴在该海绵状弹性体上，

设置有按压部件，该按压部件是在海绵状弹性体上粘贴树脂制胶带而构成的，隔着所述移动部件与所述密封部件相对。

11.根据权利要求10所述的激光加工机的光路构造，其特征在于，

所述海绵状弹性体是包覆有氯丁橡胶的乳胶海绵，

所述树脂制胶带以超高分子量聚乙烯树脂为材料而构成。

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