JP2000246478A - 駆動部の防塵方法及びその装置、並びに前記防塵方法を用いたレーザ加工方法及びその装置 - Google Patents

駆動部の防塵方法及びその装置、並びに前記防塵方法を用いたレーザ加工方法及びその装置

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JP2000246478A
JP2000246478A JP11043848A JP4384899A JP2000246478A JP 2000246478 A JP2000246478 A JP 2000246478A JP 11043848 A JP11043848 A JP 11043848A JP 4384899 A JP4384899 A JP 4384899A JP 2000246478 A JP2000246478 A JP 2000246478A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高速駆動可能で、防火可能で、安価な構造
で、レーザ加工装置のキャレッジ等の駆動部を防塵す
る。 【解決手段】 加工ヘッド9を備えたキャレッジ7は本
体フレーム3に設けた駆動部5により左右方向に移動自
在である。キャレッジ7の走行範囲に開口部27を備え
た防塵カバー25でキャレッジ7の駆動部5の周囲が被
覆される。防塵カバー25の内部には平ベルト29がキ
ャレッジ7の移動に伴ってループ状に移動可能であり、
平ベルト29により防塵カバー25の開口部27が常時
被蓋される。レーザビームLBは防塵カバー25の内部
に設けたベンドミラーによりキャレッジ7を経て加工ヘ
ッド9のノズル11からワークテーブル上のワークに照
射されレーザ加工する。キャレッジ7の移動時には平ベ
ルト29が防塵カバー25の開口部27を被蓋しつつル
ープ状に移動するので、防塵カバー25内は常時密閉さ
れ確実に防塵される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工装置、
プラズマ加工機、パンチプレス等の工作機械における駆
動部の防塵方法及びその装置、並びに前記防塵方法を用
いたレーザ加工方法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の工作機械としての例えばレーザ加
工装置においては、レーザ発振器から出力されたレーザ
ビームが複数のベンドミラーで変向され、レーザ加工装
置の本体フレームに左右方向に移動自在に設けたキャレ
ッジを経て、このキャレッジに設けた加工ヘッド内部の
集光レンズで集束され、この集光されたレーザビームを
ノズルからワークテーブル上に載置されたワークに照射
して切断、穿孔、溶接等のレーザ加工が行われる。
【0003】なお、上記のキャレッジを支持するフレー
ムが前後方向に移動位置決めされるか、あるいはワーク
テーブル上に設けたワーククランプ装置により把持され
たワークが前後方向に移動位置決めされることにより、
上記のキャレッジの左右方向の移動位置決めと協働して
ワークの前後左右方向の移動位置決めが行われる。
【0004】キャレッジが左右方向に移動されるときに
は図8に示されているように本体フレーム側に固定され
た固定側ベンドミラー101で変向されたレーザビーム
LBはキャレッジに設けた可動ベンドミラー103によ
り変向されて加工ヘッド内へ導かれる。このとき、キャ
レッジの移動に伴って可動ベンドミラー103と固定側
ベンドミラー101との距離が変化するので、可動ベン
ドミラー103と固定側ベンドミラー101との間は図
8に示されているように密閉された可変式の光路として
例えば蛇腹式光路105が設けられ、この蛇腹式光路1
05内をレーザビームLBが通過するように構成されて
いる。
【0005】上記の蛇腹式光路105は図8及び図9に
示されているように蛇腹部107が本体フレームに設け
たガイドレールとしてのガイドパイプ109に走行自在
な複数のガイド体111で吊り下げられて移動自在に設
けられている。あるいは、上記の蛇腹部107が図10
に示されているように本体フレームに設けたガイドレー
ルとしてのサポートブラケット113に走行自在な複数
のガイド体115で吊り下げられて移動自在に設けられ
ている。
【0006】あるいは、上記の図8及び図9に示されて
いる蛇腹式光路105には、図11に示されているよう
にカウンタ蛇腹117を追加して軸移動による蛇腹内の
容積変化により空気流が光路内を図11の矢印で示され
ているように移動して隙間部等からのゴミの吸入などを
防ぐ構造のものもある。
【0007】また、工作機械において移動体119を走
行駆動せしめる駆動部としては、図12及び図13に示
されているように移動体119には例えばガイドレール
121の上を走行駆動するリニアガイド123が取り付
けられ、モータ125等の駆動手段により回転されるボ
ールネジ127が前記ガイドレール121と同方向に延
伸して設けられている。この移動体119にはボールネ
ジ127に螺合するナット部材129が設けられてい
る。
【0008】上記の駆動部としてのボールネジ127の
周囲を粉塵から保護するために、図12に示されている
ようにボールネジ127の周囲がリニアガイド用蛇腹1
31からなる防塵装置により被覆されている。このリニ
アガイド用蛇腹131は複数の支持体133間に連結さ
れており、支持体133はガイドローラ135により工
作機械のフレーム137上を走行可能に設けられてい
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の防塵
装置の蛇腹においては、例えば図8及び図9、あるいは
図10に示されている蛇腹式光路105では、ガイド体
111,115がガイドパイプ109またはサポートブ
ラケット113に引っかかるために蛇腹部107が破断
してしまうという問題点があった。
【0010】上記の理由から、従来の防塵装置の蛇腹で
は高速で移動することには限度があり高速駆動すること
が構造上難しいという問題点があった。
【0011】また、図11に示されているようにカウン
タ蛇腹117を追加した蛇腹式光路105では、装置的
にコストアップとなっていた。
【0012】また、図12及び図13に示されている駆
動部の防塵装置はリニアガイド用蛇腹131とフレーム
137との隙間から粉塵が侵入してしまうという問題点
があった。
【0013】また、従来の防塵装置の蛇腹は、難燃性、
自己消火性の材質を使用したとしてもレーザ加工やプラ
ズマ加工により発生するスパッタによって穴が開くとい
う問題点があった。
【0014】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、高速駆動可能で、防火可能
で、安価な駆動部の防塵方法及びその装置、並びに前記
防塵方法を用いたレーザ加工方法及びその装置を提供す
ることにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1によるこの発明の防塵方法は、移動体を走行
駆動せしめる駆動部の周囲を、前記移動体の走行可能な
開口部を備えた防塵カバーで被覆し、前記防塵カバーの
内部に帯状体を前記移動体に連動してループ状に移動せ
しめると共に前記帯状体により前記防塵カバーの開口部
を常時被蓋せしめることを特徴とするものである。
【0016】したがって、移動体は防塵カバーの開口部
より外側に突出した状態で移動され、防塵カバーの内部
は防塵カバーの開口部が帯状体により常時被蓋された状
態であるので駆動部は確実に防塵される。また、構造
上、耐久性があり、安価である。
【0017】請求項2によるこの発明のレーザ加工方法
は、レーザ加工装置の本体フレームに対して駆動部によ
り水平方向にキャレッジを移動せしめると共に、このキ
ャレッジに設けた加工ヘッドのノズルからレーザビーム
をワークテーブル上のワークに照射してレーザ加工する
レーザ加工方法において、前記キャレッジの走行範囲に
開口部を備えた防塵カバーで前記キャレッジの駆動部の
周囲を被覆し、前記防塵カバーの内部に帯状体をキャレ
ッジに連動してループ状に移動せしめると共に前記帯状
体により前記防塵カバーの開口部を常時被蓋せしめ、レ
ーザビームを前記防塵カバーの内部に設けたベンドミラ
ーにより前記キャレッジを経て加工ヘッドのノズルへ導
くことを特徴とするものである。
【0018】したがって、キャレッジが左右方向に移動
されるときには帯状体が防塵カバーの開口部を被蓋しつ
つループ状に移動するので、防塵カバー内は常時密閉さ
れた状態が保たれ、確実に防塵される。また、キャレッ
ジの移動に伴って固定されたベンドミラーと可動するベ
ンドミラーとの間の距離は変化するが、キャレッジが高
速駆動されても何の妨げもなくレーザビームLBが良好
な状態で通過する。
【0019】なお、構造上、耐久性があり、安価であ
り、また帯状体を金属製とすることができるので確実な
防火対策となる。
【0020】請求項3によるこの発明の駆動部の防塵装
置は、移動体を走行駆動せしめる駆動部の周囲を被覆す
る防塵カバーを設けると共にこの防塵カバーに前記移動
体を走行可能な開口部を設け、この防塵カバーの内部か
ら前記開口部を常時被蓋する帯状体をループ状に配設す
ると共に前記帯状体を前記移動体と共に移動可能に設け
てなることを特徴とするものである。
【0021】したがって、請求項1記載の作用と同様で
あり、移動体は防塵カバーの開口部より外側に突出した
状態で移動され、防塵カバーの内部は防塵カバーの開口
部が帯状体により常時被蓋された状態であるので駆動部
は確実に防塵される。また、構造上、耐久性があり、安
価である。
【0022】請求項4によるこの発明のレーザ加工装置
は、ワークテーブル上のワークをレーザ加工するノズル
を備えた加工ヘッドをキャレッジに設け、このキャレッ
ジを本体フレームに駆動部により水平方向に移動自在に
設けたレーザ加工装置において、前記キャレッジの駆動
部の周囲を被覆すると共にキャレッジを走行可能な開口
部を備えた防塵カバーを設け、この防塵カバーの内部か
ら前記開口部を常時被蓋する帯状体をループ状に配設す
ると共に前記帯状体を前記キャレッジと共に移動可能に
設け、前記防塵カバーの内部に外部からのレーザビーム
LBを前記キャレッジを経て加工ヘッドのノズルへ導く
ベンドミラーを設けてなることを特徴とするものであ
る。
【0023】したがって、請求項2記載の作用と同様で
あり、キャレッジが左右方向に移動されるときには帯状
体が防塵カバーの開口部を被蓋しつつループ状に移動す
るので、防塵カバー内は常時密閉された状態が保たれ、
確実に防塵される。また、キャレッジの移動に伴って固
定されたベンドミラーと可動するベンドミラーとの間の
距離は変化するが、キャレッジが高速駆動されても何の
妨げもなくレーザビームLBが良好な状態で通過する。
【0024】なお、構造上、耐久性があり、安価であ
り、また帯状体を金属製とすることができるので確実な
防火対策となる。
【0025】請求項5によるこの発明のレーザ加工装置
は、請求項4記載のレーザ加工装置において、前記帯状
体をループ状に掛回して保持する複数の回転体を防塵カ
バーの内部に設けると共に、前記帯状体を防塵カバーの
開口部を常時被蓋すべく前記帯状体にテンションを与え
る帯状体たわみ防止装置を設けてなることを特徴とする
ものである。
【0026】したがって、帯状体たわみ防止装置により
帯状体に常時テンションが与えられるので、防塵カバー
の開口部は帯状体により常時確実に被蓋される。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、本発明の駆動部の防塵方法
及びその装置、並びに前記防塵方法を用いたレーザ加工
方法及びその装置の実施の形態について、図面参照して
説明する。
【0028】図1を参照するに、本実施の形態に係わる
工作機械としての例えばレーザ加工装置1は、図示せざ
るレーザ発振器から出力されたレーザビームLBが複数
のベンドミラーBMで変向され、レーザ加工装置1の本
体フレーム3に駆動部5により左右方向(図1において
Y軸方向)に移動位置決め自在に設けられた移動体とし
ての例えばキャレッジ7を経て、このキャレッジ7に設
けた加工ヘッド9の内部の集光レンズ(図示省略)で集
束され、この集光されたレーザビームLBがノズル11
からワークテーブル(図示省略)の上に載置されたワー
クに照射して切断、穿孔、溶接等のレーザ加工が行われ
る。
【0029】なお、ワークをレーザ加工する際にワーク
の加工位置を移動位置決めする方法としては、例えば上
記のキャレッジ7をキャリア(図示省略)に左右方向
(図1においてY軸方向)に移動自在に設け、前記キャ
リアを前後方向(図1においてX軸方向)に移動位置決
め自在に設けることができる。あるいは、ワークテーブ
ル上に設けたワーククランプ装置により把持されたワー
クが前後方向に移動位置決めされることにより、上記の
キャレッジ7の左右方向の移動位置決めと協働してワー
クの加工位置に対する前後左右方向(X軸方向、Y軸方
向)の移動位置決めが行われるようにしても構わない。
【0030】図2及び図3を併せて参照するに、移動体
としてのキャレッジ7の駆動部5は、キャレッジ7の一
部を構成するキャレッジベース13が本体フレーム3の
側面に図2においてY軸方向に延伸して設けられたガイ
ドレール15に沿って移動自在なリニアガイド17を介
してY軸方向に移動自在に設けられている。このリニア
ガイド17の代りにガイドレール15を上下からカムフ
ォロワーでもって支持して移動させるようにしても構わ
ない。さらに、本体フレーム3の側面には磁石板19が
Y軸方向に延伸して設けられており、この磁石板19に
僅かな隙間を介して対向する位置にスライダ21がキャ
レッジベース13の側面に設けられている。上記のスラ
イダ21には電源に接続されている電磁石が設けられて
おり、スライダ21に通電されるとキャレッジベース1
3をY軸方向に走行駆動せしめるよう構成されている。
【0031】上記のキャレッジベース13の図1ないし
は図3において上面には逆L字状の加工ヘッド支持ビー
ム23が立設されており、この加工ヘッド支持ビーム2
3の側面には加工ヘッド9が設けられている。
【0032】上記のキャレッジ7の駆動部5の周囲を被
覆する防塵カバー25が本体フレーム3の側面に設けら
れており、防塵カバー25の図1において上面にはキャ
レッジ7の加工ヘッド支持ビーム23がY軸方向に移動
可能な開口部27を備えている。
【0033】また、上記の防塵カバー25の内部には、
開口部27を常時被蓋する帯状体としての例えば平ベル
ト29が図1においては本体フレーム3に軸承されてい
る回転体としての例えば4個のローラ31によりループ
状に支持された状態で配設されている。なお、平ベルト
29はキャレッジ7の加工ヘッド支持ビーム23の付け
根に連結されているのでキャレッジ7に連動してループ
状に移動可能に設けられている。
【0034】また、開口部27の端縁と平ベルト29の
上面との接触部の構造は、図3のIV部詳細を示した図4
(A)に示されているように防塵カバー25の内側にサ
ポートブラケット33が平ベルト29の内面にほぼ一定
間隔を設けて平行に取り付けられており、平ベルト29
の両面は上記のサポートブラケット33の上面に設けた
サポート用シール材35と防塵カバー25の開口部27
の端縁に設けたシール材37とで挟み込まれるようにし
て常時シールされている。
【0035】または、図4(B)に示されているよう
に、サポート用シール材35、シール材37を平ベルト
29にバネ38A,38Bの付勢力で付勢してシールす
るようにしてもよい。この場合、サポートブラケット3
3の隅に溝33Vを設けて平ベルト29より摩耗粉が出
た場合に収容できるようにしている。
【0036】さらに、図4(C)に示されているよう
に、防塵カバー25の外に別の防塵カバー25Aを設け
ると共に、バネ38C,38D,38Eをそれぞれ図に
示されているごとくに設けて、バネ38C,38D,3
8Eの付勢力の加減を操作することで、円滑に平ベルト
29を移動させることも可能である。
【0037】なお、上記の平ベルト29を支持する4個
のローラ31に換えて歯車であっても構わない。この場
合は平ベルト29の内側にはラック状の歯が設けられ
る。
【0038】あるいは、図5に示されているように平ベ
ルト29の内側にチェーン39を無端状に設けると共
に、図5において左右に2個のスプロケット41を本体
フレーム3に軸承し、この2個のスプロケット41に上
記のチェーン39を噛合するするように構成することも
できる。この構造では、キャレッジ7の移動時によるイ
ナーシャ(慣性力)の影響は殆ど受けないという点で効
果的である。
【0039】前述したローラ31や歯車やスプロケット
41等の回転体は少なくとも1つを回転駆動装置により
回転されるように設けることによって、移動体としての
キャレッジ7を駆動する駆動部5とすることができる。
【0040】さらに、図6に示されているような帯状体
たわみ防止装置43で平ベルト29の内側を例えばスプ
リング45の付勢力によりアーム47の先端に設けたロ
ーラ49で常時防塵カバー25に押しつけるように設け
ることもできる。あるいは、上記の帯状体たわみ防止装
置43は図5に示されているように平ベルト29の内側
をローラ49により下方へ押圧するか、あるいは図5の
2点鎖線で示されているように平ベルト29の外側をロ
ーラ49により上方へ押圧するか、いずれかの方法で平
ベルト29にテンションを与えてたわみを除去すること
もできる。
【0041】あるいは、帯状体たわみ防止装置43の他
の例としては、図7に示されているように固定ローラ5
1とテンションローラ53を用いて平ベルト29にテン
ションを与えて平ベルト29の上面を防塵カバー25の
開口部27の端縁に常時当接して被蓋するように構成し
ても構わない。
【0042】あるいは、帯状体たわみ防止装置43の他
の例としては、前述したローラ31や歯車やスプロケッ
ト41等の複数の回転体のうちの少なくとも1つを、平
ベルト29にテンションを与えることができるように回
転体の支軸を移動調整可能に設けることもできる。
【0043】図1を参照するに、図示せざるレーザ発振
器から発振されたレーザビームLBは防塵カバー25の
図1において右下側の側面に設けた第1固定ベンドミラ
ーBM1により防塵カバー25の内部に取り入れられ、
防塵カバー25の内部に固定された第2固定ベンドミラ
ーBM2を経てキャレッジベース13に固定された可動
ベンドミラー55により上方へ変向される。その後、レ
ーザビームLBは加工ヘッド支持ビーム23の内部を通
過して上部の第3、第4、第5固定ベンドミラーBM
3,BM4,BM5により変向されて加工ヘッド9内を
下方へ進行し、加工ヘッド9内の図示せざる集光レンズ
により集光されてノズル11から下方のワークへ照射さ
れる。
【0044】上記構成により、キャレッジ7がY軸方向
に移動されるときには平ベルト29が防塵カバー25の
開口部27を被蓋しつつループ状に移動するので、防塵
カバー25内は常時密閉された状態が保たれ、確実に防
塵される。また、キャレッジ7の移動に伴って第2固定
ベンドミラーBM2と可動ベンドミラー55間の距離は
変化するが、キャレッジ7が高速駆動されても何の妨げ
もなくレーザビームLBが良好な状態で通過する。
【0045】なお、上記の平ベルト29を金属製にすれ
ば、確実な防火対策となる。
【0046】なお、この発明は前述した発明の実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行うことにより
その他の態様で実施し得るものである。本実施の形態で
は工作機械としてレーザ加工装置を例にとって説明した
がプラズマ加工機やパンチプレス等の工作機械およびそ
の他の工作機械であっても構わない。
【0047】なお、前述した実施の形態ではレーザ加工
装置1における移動体としての例えばキャレッジ7の駆
動部5の防塵装置を説明したが、この防塵装置は幅広く
適用できる。
【0048】例えば工作機械の構造物の移動体を走行駆
動せしめる駆動部が、駆動モータにより回転駆動される
ボールねじに螺合するナット部材を備えた移動体を、ボ
ールねじの回転により往復移動せしめる構造である場合
で説明すると、上記の移動体が走行可能な開口部を備え
た防塵カバーでボールねじの周囲を被覆し、防塵カバー
の内部に平ベルトを移動体に連動してループ状に移動す
るように設けることができる。移動体は防塵カバーの開
口部より外側に突出した状態で移動することができ、防
塵カバーの内部は防塵カバーの開口部が平ベルトにより
常時被蓋された状態であるので粉塵の侵入を確実に防ぐ
ことができる。
【0049】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明か
ら理解されるように、請求項1の発明によれば、移動体
は防塵カバーの開口部より外側に突出した状態で移動す
ることができ、防塵カバーの内部は防塵カバーの開口部
が帯状体により常時被蓋された状態であるので粉塵の侵
入を確実に防ぐことができ駆動部は防塵される。また、
構造上、耐久性があり、安価である。
【0050】請求項2の発明によれば、キャレッジを左
右方向に移動するときには帯状体も防塵カバーの開口部
を被蓋しつつループ状に移動するので、防塵カバー内を
常時密閉された状態に保つことができ確実に防塵でき
る。また、キャレッジの移動に伴って固定されたベンド
ミラーと可動するベンドミラーとの間の距離は変化する
が、キャレッジが高速駆動されても何の妨げもなくレー
ザビームLBを良好な状態で通過させることができる。
【0051】なお、構造上、耐久性に富み、安価であ
り、また帯状体を金属製とすることができるので確実に
防火できる。
【0052】請求項3の発明によれば、請求項1記載の
効果と同様であり、移動体は防塵カバーの開口部より外
側に突出した状態で移動することができ、防塵カバーの
内部は防塵カバーの開口部が帯状体により常時被蓋され
た状態であるので粉塵の侵入を確実に防ぐことができ駆
動部は防塵される。また、構造上、耐久性があり、安価
である。
【0053】請求項4の発明によれば、請求項2記載の
効果と同様であり、キャレッジを左右方向に移動すると
きには帯状体も防塵カバーの開口部を被蓋しつつループ
状に移動するので、防塵カバー内を常時密閉された状態
に保つことができ確実に防塵できる。また、キャレッジ
の移動に伴って固定されたベンドミラーと可動するベン
ドミラーとの間の距離は変化するが、キャレッジが高速
駆動されても何の妨げもなくレーザビームLBを良好な
状態で通過させることができる。
【0054】なお、構造上、耐久性に富み、安価であ
り、また帯状体を金属製とすることができるので確実に
防火できる。
【0055】請求項5の発明によれば、帯状体たわみ防
止装置により帯状体にテンションを与えることができる
ので、防塵カバーの開口部を帯状体により常時確実に被
蓋できるために防塵カバーの内部を確実に防塵できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すもので、レーザ加工
装置のキャレッジの駆動部の防塵装置の斜視図である。
【図2】図1の正面図である。
【図3】図2におけるIII−III線に沿った断面図
である。
【図4】(A)は図3におけるIV矢視部の拡大詳細図
で、(B),(C)は(A)に代る他の例を示す図であ
る。
【図5】本発明の他の実施の形態を示すもので、レーザ
加工装置のキャレッジの駆動部の防塵装置の正面図であ
る。
【図6】図5における帯状体たわみ防止装置の一例を示
す詳細図である。
【図7】本発明の他の実施の形態を示すもので、レーザ
加工装置のキャレッジの駆動部の防塵装置の正面図であ
る。
【図8】従来のレーザ加工装置における蛇腹式光路の正
面図である。
【図9】図8におけるIX−IX線に沿った断面図であ
る。
【図10】図8におけるIX−IX線に沿った他の例を
示す断面図である。
【図11】従来のレーザ加工装置における他の例の蛇腹
式光路の正面図である。
【図12】従来の工作機械における駆動部の防塵装置の
正面図である。
【図13】図12におけるXIII−XIII線に沿っ
た断面図である。
【符号の説明】
1 レーザ加工装置 3 本体フレーム 5 駆動部 7 キャレッジ(移動体) 9 加工ヘッド 17 リニアガイド 25 防塵カバー 27 開口部 29 平ベルト(帯状体) 31 ローラ(回転体) 43 帯状体たわみ防止装置 45 スプリング 49 ローラ 53 テンションローラ 55 可動ベンドミラー BM1〜BM5 固定ベンドミラー

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 移動体を走行駆動せしめる駆動部の周囲
    を、前記移動体の走行可能な開口部を備えた防塵カバー
    で被覆し、前記防塵カバーの内部に帯状体を前記移動体
    に連動してループ状に移動せしめると共に前記帯状体に
    より前記防塵カバーの開口部を常時被蓋せしめることを
    特徴とする駆動部の防塵方法。
  2. 【請求項2】 レーザ加工装置の本体フレームに対して
    駆動部により水平方向にキャレッジを移動せしめると共
    に、このキャレッジに設けた加工ヘッドのノズルからレ
    ーザビームをワークテーブル上のワークに照射してレー
    ザ加工するレーザ加工方法において、 前記キャレッジの走行範囲に開口部を備えた防塵カバー
    で前記キャレッジの駆動部の周囲を被覆し、前記防塵カ
    バーの内部に帯状体をキャレッジに連動してループ状に
    移動せしめると共に前記帯状体により前記防塵カバーの
    開口部を常時被蓋せしめ、レーザビームを前記防塵カバ
    ーの内部に設けたベンドミラーにより前記キャレッジを
    経て加工ヘッドのノズルへ導くことを特徴とするレーザ
    加工方法。
  3. 【請求項3】 移動体を走行駆動せしめる駆動部の周囲
    を被覆する防塵カバーを設けると共にこの防塵カバーに
    前記移動体を走行可能な開口部を設け、この防塵カバー
    の内部から前記開口部を常時被蓋する帯状体をループ状
    に配設すると共に前記帯状体を前記移動体と共に移動可
    能に設けてなることを特徴とする駆動部の防塵装置。
  4. 【請求項4】 ワークテーブル上のワークをレーザ加工
    するノズルを備えた加工ヘッドをキャレッジに設け、こ
    のキャレッジを本体フレームに駆動部により水平方向に
    移動自在に設けたレーザ加工装置において、 前記キャレッジの駆動部の周囲を被覆すると共にキャレ
    ッジを走行可能な開口部を備えた防塵カバーを設け、こ
    の防塵カバーの内部から前記開口部を常時被蓋する帯状
    体をループ状に配設すると共に前記帯状体を前記キャレ
    ッジと共に移動可能に設け、前記防塵カバーの内部に外
    部からのレーザビームを前記キャレッジを経て加工ヘッ
    ドのノズルへ導くベンドミラーを設けてなることを特徴
    とするレーザ加工装置。
  5. 【請求項5】 前記帯状体をループ状に掛回して保持す
    る複数の回転体を防塵カバーの内部に設けると共に、前
    記帯状体を防塵カバーの開口部を常時被蓋すべく前記帯
    状体にテンションを与える帯状体たわみ防止装置を設け
    てなることを特徴とする請求項4記載のレーザ加工装
    置。
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