JP2768175B2 - 半導体メモリ - Google Patents
半導体メモリInfo
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- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Dram (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
に多ビット並列入出力構成の半導体メモリに関する。
ためのリフレッシュが必要な随時読み出し書き込みが可
能なダイナミックRAM(以下DRAMという)におい
ては、特殊な用途向けの一部のものを除いて、その大部
分が、1ビットのみの入出力端子を持つ×1構成のも
の、又は4ビット並列の入出力端子をもつ×4構成のも
のであり、大容量化が進むにつれて、様々なテストモー
ドを内蔵するものが増えて来ている。
縮を目的とするものである。例えば、総ビット容量が1
メガビットから4メガビットへ移行する際に、1ビット
入出力構成品であれば、一般的なアクセス時間を80n
Sとし、その最小サイクル時間を150nSとすると、
全ビットのテストを、アドレスのインクリメント,ディ
クリメントを行い高レベル,低レベルのデータについ
て、書込み読み出しを行なうだけの単純なテストパター
ンを用いたとして、約1.4秒であったものが5.7秒
と4倍に増大する。さらに、種々の機能や特性をテスト
し、又、DRAM特有のリフレッシュ動作のテストや、
データホールド時間のテスト、そして、それらの組み合
わせを考えると、ビット数が4倍となる影響は、テスト
時間の大幅な増大を引き越こす基となってしまう。従来
のテストモードは、この様なビット数増大に伴うテスト
時間の増大に対して、内部動作を、×4,×8,×16
といった様な多ビット並列構成として並列テストを実行
し、実質的にテスト時間を削減するといった目的で様々
な工夫がなされている。
て、多ビット化があげられる。すなわち、小規模システ
ムでの利用等を考える場合、制御するCPU(中央制御
・演算装置)や信号線バスの構成に合わせて並列処理を
行ない、メモリの深さ方向をさほど必要としない場合等
に、入出力を多ビット並列構成として、処理速度の高速
化や、周辺回路及びメモリ回路自身の削減、省スペース
化をはかるという動きである。
ト,4メガビットのDRAMにおいては、×16構成の
品種が開発され、又、16メガビットDRAMの世代に
おいては×32構成やパリティビットを含む×36構成
のものなど、さらにこの傾向は顕著になりつつある。こ
のような従来の半導体メモリの一例を図8に示す。図8
において、mは16,32,36等である。
の半導体メモリは、大容量化に伴い、そのテスト時間短
縮や処理速度の高速化のために、多ビット並列入出力構
成を採る傾向にあるが、このような多ビット構成品に対
しては、従来の少数ビット並列入出力構成の半導体メモ
リをテストするメモリテスタでは、半導体メモリの入出
力端子に接続してデータの入出力を行なうI/Oピンカ
ードの入出力端子構成が×1,×4,最大でも×8に対
応するものがほとんどであり、多ビット構成、例えば×
16構成の半導体メモリには容易に対応できないという
問題点がある。また、メモリテスタとして高コストの多
ビット並列入出力構成のI/Oビンカードの増設は、メ
モリテスタ内部の高コスト化を招き、製造コストが増大
するという問題点があった。
ると共に、メモリテスタのコストの増大を抑えて製造コ
ストを低減することができる半導体メモリを提供するこ
とにある。
は、複ビットのデータを並列に書込みかつ読出すメモリ
セルアレイと、前記複数ビットのデータの外部回路との
中継をそれぞれ対応して行う複数の入出力端子と、これ
ら複数の入出力端子と前記メモリセルアレイとの間を接
続し前記複数ビットのデータをそれぞれ対応して伝達す
る複数のデータバスとを有する半導体メモリにおいて、
前記複数のデータバスをそれぞれ前記入出力端子側の第
1のデータバスと前記メモリセルアレイ側の第2のデー
タバスとに分割し、第1のテストモード制御信号に従っ
て、複数の前記第1のデータバスのうちの所定のデータ
バスにビットシリアルに伝達される複数のデータを順次
取込み保持しこの保持された複数ビットのデータを複数
の前記第2のデータバスに振り分けるテストモードライ
トレジスタ回路と、第2のテストモード制御信号に従っ
て、前記メモリセルアレイから読出された複数ビットの
データを複数の前記第2のデータバスから取込み前記テ
ストモードライトレジスタ回路に保持されているデータ
と比較しその比較結果を複数の前記第1のデータバスの
うちの所定のデータバスに伝達するテストモードリード
判定回路と、第3のテストモード制御信号に従って複数
の前記第1のデータバスと対応する第2のデータバスと
の間の接続,切断をそれぞれ制御する複数のテストスイ
ッチ回路と、外部からの制御信号に従ってテストモード
及び通常モードを判定し前記第1,第2及び第3のテス
トモード制御信号を発生するテストモード判定制御回路
とを有している。
説明する。
ク図である。
ータを並列に書込みかつ読出すメモリセルアレイ3と、
複数ビットのデータ(DT1〜DTm)の外部回路との
中継をそれぞれ対応して行う複数の入出力端子TM1〜
TMmと、複数ビットのデータDT1〜DTmをそれぞ
れ対応して伝達する複数の第1及び第2のデータバスD
B11〜DB1m,DB21〜DB2mと、入出力端子
TM1〜TMmで受けたデータDT1〜DTmを対応す
る第1のデータバス(DB11〜DB1m)に供給し第
1のデータバスDB11〜DB1mのデータを対応する
入出力端子(TM1〜TMm)に伝達する複数の入出力
バッファ11〜1mと、第2のデータバスDB21〜D
B2mのデータをそれぞれ対応して増幅しメモリセルア
レイ3に供給しメモリセルアレイ3から読出された複数
ビットのデータをそれぞれ対応して増幅し対応する第2
のデータバス(DB21〜DB2m)に伝達するリード
・ライト増幅器21〜2mと、テストモード制御信号Φ
s,Φe,Φts1に従って、複数の第1のデータバス
DB11〜DB1mのうちの所定のデータバス(この実
施例ではDB11)にビットシリアルに伝達される複数
のデータを順次取込み保持しこの保持されたデータを複
数の第2のデータバスDB21〜DB2mに振り分ける
シフトレジスタ型のテストモードライトレジスタ回路5
と、テストモード制御信号Φe,Φts1および制御信
号CASBに従って、メモリセルアレイ3から読出され
た複数のビットのデータを複数の第2のデータバスDB
21〜DB2mから取込みテストモードライトレジスタ
回路5に保持されているデータと比較しその比較結果を
複数の第1のデータバスDB11〜DB1mのうちの所
定のデータバス(この実施例ではDB11)に伝達する
テストモードリード判定回路6と、テストモード制御信
号Φts1に従って複数の第1のデータバスDB11〜
DB1mと対応する第2のデータバス(DB21〜DB
2m)との間の接続,切断をそれぞれ制御する複数のテ
ストスイッチ71〜7mと、外部からの制御信号RAS
B,CASB,WEB及びアドレス信号An,A(n+
1)に従ってテストモード及び通常モードを判定しテス
トモード制御信号Φs,Φe,Φts1を発生するテス
トモード判定制御回路4とを有する構成となっている。
4,テストモードライトレジスタ回路5,テストモード
リード判定回路6及びテストスイッチ71〜7mの具体
的回路例を図2〜図5に示す。また、図6にこの実施例
の動作を説明するための各部信号のタイミング図を示
す。
き込み、読み出しサイクルであり、サイクル(2)以降
テストモードに入る。本実施例では、従来のテストモー
ド同様に、ライトシービーアールタイミングにより、テ
ストモードに入るものとする。サイクル(2)におい
て、ライトシービーアール(以降WCBRと記す)のタ
イミング設定及び外部アドレスAn入力端子に対する電
源電圧以上の高電圧の印加によりテストモードに入り、
サイクル(3),(4)と各データバスDB21〜DB
2mのデータをテストモードライトレジスタ回路5に入
力するサイクルを実行し、さらにサイクル(5),
(6)において、ライトテストモードレジスタ回路5の
内容を各指定アドレスに対し書き込みを行ない、サイク
ル(7)において、各データバスDB21〜DB2mに
読み出したデータをテストモードライトレジスタ回路5
の保持内容Q1〜Qmと比較しテストモードリード判定
回路6により判定しその結果を入出力端子TM1に出力
する。最後にサイクル(8)においてWCBRタイミン
グ設定を行ないかつ外部アドレスA(n+1)入力端子
に対する高電圧印加によりテストモードを解除し、通常
モードとなる。各サイクルは、ここでは1回から2回と
しているが、必要な回数繰り返し実行すれば良い。
テストモードライトレジスタ回路5用のクロック信号及
び出力イネーブル信号、テストモード制御信号Φts1
はテストモード中高レベルを継続するテストモード活性
化信号である。
ドライトレジスタ回路の具体例を示す回路図である。
イトレジスタ回路5を、複数のフリップフロップFF1
〜FFmによるシフトレジスタで構成したが、この実施
例では、対応するラッチ信号(L1〜Lm)に従って複
数の第1のデータバスDB11〜DB1mのうちの所定
のデータバス(この実施例では例えばDB11)に伝達
されたデータを取込み保持する複数のラッチ回路521
〜52mとそれぞれ対応するラッチ信号L1〜Lmを発
生するデコード回路51とを含んだ構成としている。従
ってランダムなデータセットが可能となる。
出力端子のうちの所定の端子からビットシリアルに複数
ビットのデータ取込み保持し、この複数ビットのデータ
を並列にメモリセルアレイに伝達して書込み、メモリセ
ルアレイから読出された複数ビットのデータを、保持さ
れているデータと比較しその結果を複数の入出力端子の
うちの所定の端子から出力する構成としたので、多数ビ
ットの並列書込み読出しが可能となりテスト時間の短縮
をはかることができ、メモリテスタとのデータのやりと
りはビットシリアルに行うため、従来使用していた少数
ビット並列入出力構成のメモリテスタがそのまま使用で
き、従ってメモリテスタのコストが増大するのを抑え、
製造コストを低減することができる効果がある。
る。
回路の具体例を示す回路図である。
ジスタ回路の具体例を示す回路図である。
定回路の具体例を示す回路図である。
例を示す回路図である。
各部信号のタイミング図である。
る。
ある。
2m データバス FF1〜FFm フリップフロップ TM1〜TMm 入出力端子
Claims (3)
- 【請求項1】 複ビットのデータを並列に書込みかつ読
出すメモリセルアレイと、前記複数ビットのデータの外
部回路との中継をそれぞれ対応して行う複数の入出力端
子と、これら複数の入出力端子と前記メモリセルアレイ
との間を接続し前記複数ビットのデータをそれぞれ対応
して伝達する複数のデータバスとを有する半導体メモリ
において、前記複数のデータバスをそれぞれ前記入出力
端子側の第1のデータバスと前記メモリセルアレイ側の
第2のデータバスとに分割し、第1のテストモード制御
信号に従って、複数の前記第1のデータバスのうちの所
定のデータバスにビットシリアルに伝達される複数のデ
ータを順次取込み保持しこの保持された複数ビットのデ
ータを複数の前記第2のデータバスに振り分けるテスト
モードライトレジスタ回路と、第2のテストモード制御
信号に従って、前記メモリセルアレイから読出された複
数ビットのデータを複数の前記第2のデータバスから取
込み前記テストモードライトレジスタ回路に保持されて
いるデータと比較しその比較結果を複数の前記第1のデ
ータバスのうちの所定のデータバスに伝達するテストモ
ードリード判定回路と、第3のテストモード制御信号に
従って複数の前記第1のデータバスと対応する第2のデ
ータバスとの間の接続,切断をそれぞれ制御する複数の
テストスイッチ回路と、外部からの制御信号に従ってテ
ストモード及び通常モードを判定し前記第1,第2及び
第3のテストモード制御信号を発生するテストモード判
定制御回路とを有することを特徴とする半導体メモリ。 - 【請求項2】 テストモードライトレジスタ回路が、複
数のフリップフロップを含むシストレジスタ回路で構成
された請求項1記載の半導体メモリ。 - 【請求項3】 テストモードライトレジスタ回路が、対
応するラッチ信号に従って複数の第1のデータバスのう
ちの所定のデータバスに伝達されたデータを取込み保持
する複数のラッチ回路と、アドレス信号に従って前記複
数のラッチ回路とそれぞれ対応する前記ラッチ信号を発
生するデコード回路とを含んで構成された請求項1記載
の半導体メモリ。
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Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06295599A (ja) * | 1993-04-09 | 1994-10-21 | Nec Corp | 半導体記憶装置 |
JPH09161476A (ja) | 1995-10-04 | 1997-06-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ及びそのテスト回路、並びにデ−タ転送システム |
US5724358A (en) * | 1996-02-23 | 1998-03-03 | Zeitnet, Inc. | High speed packet-switched digital switch and method |
JP2850953B2 (ja) * | 1996-07-30 | 1999-01-27 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
US5966388A (en) | 1997-01-06 | 1999-10-12 | Micron Technology, Inc. | High-speed test system for a memory device |
US5996097A (en) * | 1997-04-28 | 1999-11-30 | International Business Machines Corporation | Testing logic associated with numerous memory cells in the word or bit dimension in parallel |
KR100230427B1 (ko) * | 1997-06-23 | 1999-11-15 | 윤종용 | 박막 트랜지스터용 액정표시장치 소스드라이버에서의 디코더 테스트방법 및 이를 이용한 디코더 테스트 제어장치 |
US6006347A (en) * | 1997-09-17 | 1999-12-21 | Cypress Semiconductor Corporation | Test mode features for synchronous pipelined memories |
US6115836A (en) * | 1997-09-17 | 2000-09-05 | Cypress Semiconductor Corporation | Scan path circuitry for programming a variable clock pulse width |
US5953285A (en) * | 1997-09-17 | 1999-09-14 | Cypress Semiconductor Corp. | Scan path circuitry including an output register having a flow through mode |
US5936977A (en) * | 1997-09-17 | 1999-08-10 | Cypress Semiconductor Corp. | Scan path circuitry including a programmable delay circuit |
US6018686A (en) * | 1997-10-31 | 2000-01-25 | Cypress Semiconductor Corp. | Electrically imprinting a semiconductor die with identifying information |
US6266789B1 (en) | 1997-11-17 | 2001-07-24 | I-Tech Corporation | Deep trace memory system for a protocol analyzer |
US6154872A (en) | 1997-11-20 | 2000-11-28 | Cypress Semiconductor Corporation | Method, circuit and apparatus for preserving and/or correcting product engineering information |
US6052319A (en) * | 1997-12-04 | 2000-04-18 | Cypress Semiconductor Corp. | Apparatus and method for controlling experimental inventory |
US6148279A (en) * | 1997-12-04 | 2000-11-14 | Cypress Semiconductor Corporation | Apparatus for recording and/or reading program history |
US6111800A (en) * | 1997-12-05 | 2000-08-29 | Cypress Semiconductor Corporation | Parallel test for asynchronous memory |
US6181615B1 (en) | 1998-03-30 | 2001-01-30 | Cypress Semiconductor Corporation | Circuitry, apparatus and method for embedding quantifiable test results within a circuit being tested |
US6209110B1 (en) | 1998-03-30 | 2001-03-27 | Cypress Semiconductor Corporation | Circuitry, apparatus and method for embedding a test status outcome within a circuit being tested |
US6915466B2 (en) | 1999-04-19 | 2005-07-05 | I-Tech Corp. | Method and system for multi-user channel allocation for a multi-channel analyzer |
US6507923B1 (en) | 1999-04-19 | 2003-01-14 | I-Tech Corporation | Integrated multi-channel fiber channel analyzer |
KR100541806B1 (ko) * | 1999-07-20 | 2006-01-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치의 병합 데이터 출력회로 및 그 방법 |
JP2001165998A (ja) * | 1999-12-10 | 2001-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体モジュール |
DE10124923B4 (de) * | 2001-05-21 | 2014-02-06 | Qimonda Ag | Testverfahren zum Testen eines Datenspeichers und Datenspeicher mit integrierter Testdatenkompressionsschaltung |
US20040049724A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-03-11 | Colin Bill | Built-in-self-test (BIST) of flash memory cells and implementation of BIST interface |
WO2004010437A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Built-in-self-test of flash memory cells |
KR100500442B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2005-07-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 이 장치의 테스트 방법 |
JP4400081B2 (ja) | 2003-04-08 | 2010-01-20 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
DE10337854A1 (de) * | 2003-08-18 | 2005-03-31 | Infineon Technologies Ag | Integrierter Speicher mit einer Testschaltung zum Funktionstest des Speichers |
US7251757B2 (en) * | 2003-12-02 | 2007-07-31 | International Business Machines Corporation | Memory testing |
JP2005346922A (ja) * | 2005-09-01 | 2005-12-15 | Renesas Technology Corp | 同期型半導体記憶装置 |
JP2008034081A (ja) | 2006-07-07 | 2008-02-14 | Elpida Memory Inc | 半導体記憶装置 |
JP2008165887A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Rohm Co Ltd | メモリリード回路、それを用いたメモリ装置 |
CN101692351B (zh) * | 2009-11-02 | 2012-12-12 | 华为技术有限公司 | 存储器测试方法及装置 |
JP5023208B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2012-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置及びそのテスト方法 |
CN103852725B (zh) | 2012-11-30 | 2018-05-01 | 凹凸电子(武汉)有限公司 | 用于估算电池剩余容量的设备、方法及系统 |
KR102086465B1 (ko) * | 2013-07-11 | 2020-03-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 그의 구동방법 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR890003488B1 (ko) * | 1986-06-30 | 1989-09-22 | 삼성전자 주식회사 | 데이터 전송회로 |
US4872168A (en) * | 1986-10-02 | 1989-10-03 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Integrated circuit with memory self-test |
KR880014482A (ko) * | 1987-05-27 | 1988-12-24 | 미다 가쓰시게 | 반도체 집적회로 장치 |
EP0389203A3 (en) * | 1989-03-20 | 1993-05-26 | Fujitsu Limited | Semiconductor memory device having information indicative of presence of defective memory cells |
US5258954A (en) * | 1989-06-30 | 1993-11-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory including circuitry for driving plural word lines in a test mode |
JP2780354B2 (ja) * | 1989-07-04 | 1998-07-30 | 富士通株式会社 | 半導体メモリ装置 |
JPH0387000A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
KR920005798A (ko) * | 1990-04-18 | 1992-04-03 | 미타 가쓰시게 | 반도체 집적회로 |
US5057819A (en) * | 1990-04-27 | 1991-10-15 | Valenti James J | Alarmed safety cushion |
US5224101A (en) * | 1990-05-16 | 1993-06-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Micro-coded built-in self-test apparatus for a memory array |
JP2956145B2 (ja) * | 1990-06-28 | 1999-10-04 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
US5265100A (en) * | 1990-07-13 | 1993-11-23 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Semiconductor memory with improved test mode |
US5072137A (en) * | 1990-08-17 | 1991-12-10 | Sgs-Thomson Microelectronics, Inc. | Semiconductor memory with a clocked access code for test mode entry |
JPH04178580A (ja) * | 1990-11-14 | 1992-06-25 | Ando Electric Co Ltd | 半導体メモリの故障自己診断装置 |
JP2549209B2 (ja) * | 1991-01-23 | 1996-10-30 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置 |
US5231605A (en) * | 1991-01-31 | 1993-07-27 | Micron Technology, Inc. | DRAM compressed data test mode with expected data |
JP3049343B2 (ja) * | 1991-11-25 | 2000-06-05 | 安藤電気株式会社 | メモリ試験装置 |
-
1992
- 1992-10-26 JP JP4287229A patent/JP2768175B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
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- 1993-10-22 US US08/139,717 patent/US5406566A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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