JP2639310B2 - Xyステージ - Google Patents
XyステージInfo
- Publication number
- JP2639310B2 JP2639310B2 JP5191040A JP19104093A JP2639310B2 JP 2639310 B2 JP2639310 B2 JP 2639310B2 JP 5191040 A JP5191040 A JP 5191040A JP 19104093 A JP19104093 A JP 19104093A JP 2639310 B2 JP2639310 B2 JP 2639310B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving table
- scale
- actuators
- parallel
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はXYステージ、特に、高
速位置決めを目的とするXYステージに関する。
速位置決めを目的とするXYステージに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のXYステージは、図2に示すよう
に、ベース1と、ベース1上に一次元ベアリング10を
介して支持された下軸テーブル11と、前記下軸テーブ
ル11を駆動するボイスコイルモータ12と、前記下軸
テーブル11の位置を測定すリニアエンコーダ13と、
前記下軸テーブル11上に一次元ベアリング14を介し
て支持された上軸テーブル15と、前記上軸テーブル1
5を駆動するボイスコイルモータ16と、前記上軸テー
ブル15の位置を測定するリニアエンコーダ17と各リ
ニアエンコーダ13,17からの情報を基に各ボイスコ
イルモータ12,16を駆動する制御部9を含んで構成
される。
に、ベース1と、ベース1上に一次元ベアリング10を
介して支持された下軸テーブル11と、前記下軸テーブ
ル11を駆動するボイスコイルモータ12と、前記下軸
テーブル11の位置を測定すリニアエンコーダ13と、
前記下軸テーブル11上に一次元ベアリング14を介し
て支持された上軸テーブル15と、前記上軸テーブル1
5を駆動するボイスコイルモータ16と、前記上軸テー
ブル15の位置を測定するリニアエンコーダ17と各リ
ニアエンコーダ13,17からの情報を基に各ボイスコ
イルモータ12,16を駆動する制御部9を含んで構成
される。
【0003】従来の2次元位置決めテーブルは、与えら
れたステージの2次元移動目標座標(下軸方向、上軸方
向)に対し、下軸方向には下軸ボイスコイルモータ12
を、上軸方向には上軸ボイスコイルモータ16を各リニ
アエンコーダ13,17の情報に基づいて制御部9(詳
細省略)により独立にフィードバック制御することによ
り、動作を行う。
れたステージの2次元移動目標座標(下軸方向、上軸方
向)に対し、下軸方向には下軸ボイスコイルモータ12
を、上軸方向には上軸ボイスコイルモータ16を各リニ
アエンコーダ13,17の情報に基づいて制御部9(詳
細省略)により独立にフィードバック制御することによ
り、動作を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のXYステージで
は、一軸ステージを二段積みにした構成となっているた
め軽量化が困難で高速化に限界があるという問題点があ
った。
は、一軸ステージを二段積みにした構成となっているた
め軽量化が困難で高速化に限界があるという問題点があ
った。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明のXYステージ
は、ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内
で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テ
ーブルと、前記移動テーブルに作用し動作方向が平行な
2個のアクチュエータと、前記移動テーブルに作用し前
記2個のアクチュエータと動作方向が直交する1個のア
クチュエータと、前記移動テーブルの位置及び回転角度
を測定する計測手段と、前記計測手段からの情報をもと
に回転角度が発生している場合には平行する2個のアク
チュエータを駆動して回転角度が0となるよう制御し、
位置が目標値と異なる場合には前記動作方向の平行な2
個のアクチュエータのうちの1個及び直交する1個のア
クチュエータを駆動して制御する制御部とを含んで構成
される。
は、ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内
で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テ
ーブルと、前記移動テーブルに作用し動作方向が平行な
2個のアクチュエータと、前記移動テーブルに作用し前
記2個のアクチュエータと動作方向が直交する1個のア
クチュエータと、前記移動テーブルの位置及び回転角度
を測定する計測手段と、前記計測手段からの情報をもと
に回転角度が発生している場合には平行する2個のアク
チュエータを駆動して回転角度が0となるよう制御し、
位置が目標値と異なる場合には前記動作方向の平行な2
個のアクチュエータのうちの1個及び直交する1個のア
クチュエータを駆動して制御する制御部とを含んで構成
される。
【0006】
【実施例】次に本発明に付いて図面を参照して説明す
る。
る。
【0007】図1は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。図1に示すXYステージは、ベース1と、ベース1
上にベース1面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢が
とれるように2次元空気軸受け2にて支持された移動テ
ーブル3と、移動テーブル3にその合力がベース面と平
行な平面内で直行方向及び回転方向に作用するように配
置した3個のボイスコイルモータ4,5,6と、移動テ
ーブル3のY方向移動範囲に渡る長さの目盛りをX方向
移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリ
ニアスケール7及びX方向移動範囲に渡る長さの目盛り
をY方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成
されるリニアスケール8,9と、リニアスケール7,
8,9からの情報を基に三つのボイスコイルモータ4,
5,6を駆動する制御部(図示省略)を含んで構成され
る。本発明のXYステージは、与えられたステージの2
次元移動目標座標に対し、制御部により各リニアスケー
ル7,8,9の情報に基づいて移動テーブル3の位置姿
勢を算出して比較し、ボイスコイルモータ4,5,6を
同時にフィードバック制御することにより動作を行う。
る。図1に示すXYステージは、ベース1と、ベース1
上にベース1面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢が
とれるように2次元空気軸受け2にて支持された移動テ
ーブル3と、移動テーブル3にその合力がベース面と平
行な平面内で直行方向及び回転方向に作用するように配
置した3個のボイスコイルモータ4,5,6と、移動テ
ーブル3のY方向移動範囲に渡る長さの目盛りをX方向
移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリ
ニアスケール7及びX方向移動範囲に渡る長さの目盛り
をY方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成
されるリニアスケール8,9と、リニアスケール7,
8,9からの情報を基に三つのボイスコイルモータ4,
5,6を駆動する制御部(図示省略)を含んで構成され
る。本発明のXYステージは、与えられたステージの2
次元移動目標座標に対し、制御部により各リニアスケー
ル7,8,9の情報に基づいて移動テーブル3の位置姿
勢を算出して比較し、ボイスコイルモータ4,5,6を
同時にフィードバック制御することにより動作を行う。
【0008】
【発明の効果】以上説明した様に本発明のXYステージ
は、一軸ステージを段積みにする代わりに、二次元ベア
リング、二次元位置姿勢センサを採用して平面構成と
し、3つのアクチュエータで駆動することにより、軽量
化・高剛性化による高速化が容易という効果を有する。
は、一軸ステージを段積みにする代わりに、二次元ベア
リング、二次元位置姿勢センサを採用して平面構成と
し、3つのアクチュエータで駆動することにより、軽量
化・高剛性化による高速化が容易という効果を有する。
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】従来の一例を示す斜視図である。
1 ベース 2 二次元ベアリング 3 テーブル 4〜6 ボイスコイルモータ 7〜9 リニアスケール 10 制御部
Claims (4)
- 【請求項1】 ベースと、前記ベース上にベース面と平
行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように支持さ
れた移動テーブルと、前記移動テーブルに作用し動作方
向が平行な2個のアクチュエータと、前記移動テーブル
に作用し前記2個のアクチュエータと動作方向が直交す
る1個のアクチュエータと、前記移動テーブルの位置及
び回転角度を測定する計測手段と、前記計測手段からの
情報をもとに回転角度が発生している場合には平行する
2個のアクチュエータを駆動して回転角度が0となるよ
う制御し、位置が目標値と異なる場合には前記動作方向
の平行な2個のアクチュエータのうちの1個及び直交す
る1個のアクチュエータを駆動して制御する制御部とを
含むことを特徴とするXYステージ。 - 【請求項2】 平面案内が平面静圧軸受けである請求項
1記載のXYステージ。 - 【請求項3】 前記アクチュエータが前記移動テーブル
に固定され前記ベース面と平行な平面内に巻かれたコイ
ルと、前記ベース面に垂直方向の磁界を有し前記コイル
とコイルのテーブル移動に伴う移動範囲をカバーする磁
気回路とで構成されるボイスコイルモータである請求項
1記載のXYステージ。 - 【請求項4】 前記位置及び姿勢計測手段が、測定方向
に直交する目盛りを有するメインスケールと、メインス
ケールに対向する発光部と受光部を有する読み取りヘッ
ドとを含んで構成される光学式リニアスケールであっ
て、前記読み取りヘッドが測定方向に対して直交方向に
移動可能で、前記メインスケールが測定方向に対して直
交方向に前記移動範囲に渡る長さの目盛りを有する請求
項1記載のXYステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5191040A JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Xyステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5191040A JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Xyステージ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0746818A JPH0746818A (ja) | 1995-02-14 |
JP2639310B2 true JP2639310B2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=16267891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5191040A Expired - Lifetime JP2639310B2 (ja) | 1993-08-02 | 1993-08-02 | Xyステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2639310B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4691326B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2011-06-01 | Hoya株式会社 | 像ブレ補正装置 |
JP4647273B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-03-09 | Hoya株式会社 | ステージ駆動機構 |
TWI476065B (zh) * | 2012-11-01 | 2015-03-11 | Univ Southern Taiwan Sci & Tec | 共平面平台機構 |
CN111307436B (zh) * | 2020-03-09 | 2022-01-25 | 西南交通大学 | 一种隔离振动传递的往复式摩擦学行为研究试验台 |
CN111307437B (zh) * | 2020-03-09 | 2021-11-23 | 西南交通大学 | 一种实现振动解耦的旋转式摩擦学行为模拟试验台 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA1187924A (en) * | 1981-11-12 | 1985-05-28 | Herbert E. Resnicow | Controlled electric drive (ced) device |
JPS6091337U (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | 株式会社 東京精密 | X,yテ−ブルの駆動機構 |
JPS61293149A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-23 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
JP3050974U (ja) * | 1998-01-28 | 1998-08-07 | 合泰半導體股▲ふん▼有限公司 | メモリセル複数ビットデータ保存装置 |
-
1993
- 1993-08-02 JP JP5191040A patent/JP2639310B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0746818A (ja) | 1995-02-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970325 |