JPS6358195A - 直動載物台 - Google Patents
直動載物台Info
- Publication number
- JPS6358195A JPS6358195A JP61203042A JP20304286A JPS6358195A JP S6358195 A JPS6358195 A JP S6358195A JP 61203042 A JP61203042 A JP 61203042A JP 20304286 A JP20304286 A JP 20304286A JP S6358195 A JPS6358195 A JP S6358195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air slider
- linear
- stage
- linear motion
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明は、気体を潤滑剤とする直動型静圧軸受（以下エ
アースライダと略称する）とその運動方向に推力を与え
るアクチュエータとからなる直動−軸の載物台（以下ス
テージと略称する）において、エアースライダの静圧面
の一部にアクチュエータを形成することにより自ら推力
を得ることができるステージを構成し、位置精度の向上
と装置の小型化を図るものである。
アースライダと略称する）とその運動方向に推力を与え
るアクチュエータとからなる直動−軸の載物台（以下ス
テージと略称する）において、エアースライダの静圧面
の一部にアクチュエータを形成することにより自ら推力
を得ることができるステージを構成し、位置精度の向上
と装置の小型化を図るものである。
本発明は、エアースライダに直動アクチュエータを内蔵
せしめた直動ｆ２装台に関する。
せしめた直動ｆ２装台に関する。
直動型のエアースライダは、非接触、低摩擦かつ高精度
の直進運動を実現できることから、精密な位置合わせを
必要とする半導体製造装置のＸ−Ｙテーブルや、高速性
を要求される直交座標ロボット等に用いられている。
の直進運動を実現できることから、精密な位置合わせを
必要とする半導体製造装置のＸ−Ｙテーブルや、高速性
を要求される直交座標ロボット等に用いられている。
しかし、このエアースライダはあくまで直進案内機構で
あり、自ら運動方向の推力を発生することは出来ない。
あり、自ら運動方向の推力を発生することは出来ない。
このため、別に直進アクチュエ〜り（例えばりニアモー
タや回転モータとボールねじの組み合わせ）を設けてこ
のエアースライダを駆動する必要がある。
タや回転モータとボールねじの組み合わせ）を設けてこ
のエアースライダを駆動する必要がある。
第３図は従来のエアースライダを用いた直動ステージの
斜視図を示す。図において、１ａと１ｂは互いに平行配
置されたエアースライダで回転モータ１ｃおよび送りね
じ１ｄと共に矢印Ｙ方向の一部ステージ１を構成し、こ
の−軸ステージ１の上に直交するように重ねた一本のエ
アースライダ２ａと回転モータ２ｂおよび送りねじ２ｃ
とから矢印Ｘ方向の一部ステージ２を構成し、平面内の
自由度を得る直交Ｘ−Ｙステージの例である。
斜視図を示す。図において、１ａと１ｂは互いに平行配
置されたエアースライダで回転モータ１ｃおよび送りね
じ１ｄと共に矢印Ｙ方向の一部ステージ１を構成し、こ
の−軸ステージ１の上に直交するように重ねた一本のエ
アースライダ２ａと回転モータ２ｂおよび送りねじ２ｃ
とから矢印Ｘ方向の一部ステージ２を構成し、平面内の
自由度を得る直交Ｘ−Ｙステージの例である。
第４図は二本のエアースライダ３と４を直交させて重ね
合わせ、Ｘ方向はりニアモータ３ａと３ｂで駆動し、Ｙ
方向はりニアモータ４ａと４ｂで駆動して第３図と同じ
く平面内の自由度を得る直交ｘ−ｙステージの例である
。
合わせ、Ｘ方向はりニアモータ３ａと３ｂで駆動し、Ｙ
方向はりニアモータ４ａと４ｂで駆動して第３図と同じ
く平面内の自由度を得る直交ｘ−ｙステージの例である
。
従来のエアースライダを用いた直動ステージには、必ず
アクチュエータを付設して駆動する必要がある。
アクチュエータを付設して駆動する必要がある。
従来のエアースライダを用いた直動ステージでは自ら推
力を発生しないため、必ず推力を発生する機構が必要で
あった。
力を発生しないため、必ず推力を発生する機構が必要で
あった。
例えば、第３図に示すように回転モータと送りねじを用
いて推力を得る方法では、送りねじの回転軸に垂直な面
内での偏心がエアースライダの真直度を低下させていた
。また、これを防ぐため送りねじのナツトとエアースラ
イダ部分の間に弾性を持たせた接合器を用いているもの
もあるが、この弾性によりステージを閉ループ制御した
場合に発振を起こし易いという欠点があった。
いて推力を得る方法では、送りねじの回転軸に垂直な面
内での偏心がエアースライダの真直度を低下させていた
。また、これを防ぐため送りねじのナツトとエアースラ
イダ部分の間に弾性を持たせた接合器を用いているもの
もあるが、この弾性によりステージを閉ループ制御した
場合に発振を起こし易いという欠点があった。
また、第４図のようにリニアモータを用いて推力を得る
方法では、アクチュエータを外付けする際の調整が必要
であり、かつ装置全体が大型になるという欠点があった
。
方法では、アクチュエータを外付けする際の調整が必要
であり、かつ装置全体が大型になるという欠点があった
。
本発明は上記従来の欠点に鑑みて創作されたもので、ス
テージの位置精度の向上と装置の小型化が可能な直動ス
テージの提供を目的とする。
テージの位置精度の向上と装置の小型化が可能な直動ス
テージの提供を目的とする。
本発明の直動ステージはエアースライダの静圧面の一部
にリニアモータの固定磁極面を組み込んだ構造となって
いる。なお、リニアモータの固定子と可動子との吸引力
によるエアースライダの偏りを防止し、かつ十分な駆動
力を得るために対向する位置にもリニアモータを形成し
ている。
にリニアモータの固定磁極面を組み込んだ構造となって
いる。なお、リニアモータの固定子と可動子との吸引力
によるエアースライダの偏りを防止し、かつ十分な駆動
力を得るために対向する位置にもリニアモータを形成し
ている。
本発明の直動ステージはエアースライダの静圧面の一部
に磁極面を形成しているため、エアースライダのみで推
力を発生させることができ、新たに他のアクチュエータ
を外付けする必要がない。
に磁極面を形成しているため、エアースライダのみで推
力を発生させることができ、新たに他のアクチュエータ
を外付けする必要がない。
このためアクチュエータとエアースライダの位置合わせ
の調節が不要で、がっ装置の小型化が可能となる。
の調節が不要で、がっ装置の小型化が可能となる。
また、接触する部分がないためメンテナンスフリーで、
かつ摩耗等の経時変化がない。さらに駆動時にも塵埃を
だす可能性が小さいのでクリーンルーム内でも使用でき
る。
かつ摩耗等の経時変化がない。さらに駆動時にも塵埃を
だす可能性が小さいのでクリーンルーム内でも使用でき
る。
第１図は本発明の実施例の斜視図を示す。図において、
５はエアースライダの固定部でエアースライダのガイド
レールとなる。６はエアースライダの可動部であって図
示しない気体圧入機構を有する。７はリニアモータの可
動子であって鉄心７ａと駆動コイル７ｂとから構成され
ている。
５はエアースライダの固定部でエアースライダのガイド
レールとなる。６はエアースライダの可動部であって図
示しない気体圧入機構を有する。７はリニアモータの可
動子であって鉄心７ａと駆動コイル７ｂとから構成され
ている。
８はエアースライダの静圧面であり、その対向面に整列
された複数の固定磁極歯９ａと９ｂとからなるリニアモ
ータの固定子９が前記リニアモータ可動子７に対向設置
されている。リニアモータの可動子７は固定磁極歯９ｂ
に対向する図示しない裏側にも設けられている。
された複数の固定磁極歯９ａと９ｂとからなるリニアモ
ータの固定子９が前記リニアモータ可動子７に対向設置
されている。リニアモータの可動子７は固定磁極歯９ｂ
に対向する図示しない裏側にも設けられている。
駆動コイル７ｂに信号を印加することによりエアースラ
イダの可動部６の直動位置制御を行うことができ、かつ
駆動信号による吸引力は固定磁極歯９ａ、 ９ｂの対向
設置により相殺され、円滑に駆動することができる。
イダの可動部６の直動位置制御を行うことができ、かつ
駆動信号による吸引力は固定磁極歯９ａ、 ９ｂの対向
設置により相殺され、円滑に駆動することができる。
第２図は本発明の他の実施例の斜視図を示す。
図において、１０はＴ字型のエアースライダの固定部で
あって、その−面にリニアパルスモータの固定磁極歯１
１を設けている。１２はエアースライダの可動部であっ
て、図示しない気体圧入機構を有する。１３はリニアパ
ルスモークの可動子を示し鉄心１４と駆動コイル１５と
から構成されている。
あって、その−面にリニアパルスモータの固定磁極歯１
１を設けている。１２はエアースライダの可動部であっ
て、図示しない気体圧入機構を有する。１３はリニアパ
ルスモークの可動子を示し鉄心１４と駆動コイル１５と
から構成されている。
駆動コイル１５に位置決め用のパルス信号を印加するこ
とによりエアースライダの可動部１２の直動位置制御を
行うことができる。この実施例ではリニアパルスモーク
を使用しているため、エアースライダの可動部１２の位
置検出を行うリニアエンコーダ等の素子が不要となり、
簡単に位置決め制御が可能となる。
とによりエアースライダの可動部１２の直動位置制御を
行うことができる。この実施例ではリニアパルスモーク
を使用しているため、エアースライダの可動部１２の位
置検出を行うリニアエンコーダ等の素子が不要となり、
簡単に位置決め制御が可能となる。
なお、本発明の直動載物台によれば、リニアモータある
いはリニアパルスモークの可動子はエアースライダから
でる気体によって冷却されるため、駆動コイルの発熱に
よる変形も防止できる。さらにエアースライダによる直
動案内が非常に高精度であるため、リニアモータ固定子
と可動子のギャップを狭くすることができ、小型のりニ
アモータでも強力な駆動力を得ることができる。
いはリニアパルスモークの可動子はエアースライダから
でる気体によって冷却されるため、駆動コイルの発熱に
よる変形も防止できる。さらにエアースライダによる直
動案内が非常に高精度であるため、リニアモータ固定子
と可動子のギャップを狭くすることができ、小型のりニ
アモータでも強力な駆動力を得ることができる。
以上詳細に説明したように本発明の直動載置台によれば
、送りねじ等の推進機構が不要となり、かつエアースラ
イダに推進機構を内蔵せしめるため、ステージの位置精
度の向上と装置の小型化が可能となる。
、送りねじ等の推進機構が不要となり、かつエアースラ
イダに推進機構を内蔵せしめるため、ステージの位置精
度の向上と装置の小型化が可能となる。
第１図は本発明実施例の斜視図、
第２図は本発明の他の実施例の斜視図、第３図は従来の
直動ステージの斜視図、第４図は従来のりニアモータ使
用の直動ステージの斜視図を示す。 図において、５はエアースライダの固定部、６はエアー
スライダの可動部、７はリニアモータの可動子、９はリ
ニアモータの固定子をそれぞれ示す。
直動ステージの斜視図、第４図は従来のりニアモータ使
用の直動ステージの斜視図を示す。 図において、５はエアースライダの固定部、６はエアー
スライダの可動部、７はリニアモータの可動子、９はリ
ニアモータの固定子をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 固定部（５）と可動部（６）とから構成され、気体にて
摺動可能に支持してなる直動型静圧軸受において、前記
固定部（５）に固定磁極歯を備えるとともに、可動部（
６）に摺動を制御する可動子を内蔵し、前記可動部（６
）に載物台を設けたことを特徴とする直動載物台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203042A JPS6358195A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | 直動載物台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203042A JPS6358195A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | 直動載物台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6358195A true JPS6358195A (ja) | 1988-03-12 |
Family
ID=16467382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203042A Pending JPS6358195A (ja) | 1986-08-28 | 1986-08-28 | 直動載物台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6358195A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082012A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Bunka Shutter Co Ltd | 可撓式分割防潮板 |
-
1986
- 1986-08-28 JP JP61203042A patent/JPS6358195A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082012A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Bunka Shutter Co Ltd | 可撓式分割防潮板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4104810B2 (ja) | 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置 | |
| US5731641A (en) | Linear motor driven vertical lift stage | |
| JPS6115560A (ja) | リニアステツプモ−タ | |
| JPH03245932A (ja) | 移動案内装置 | |
| KR100473924B1 (ko) | 반도체 제조장치에 있어서의 ｘｙ테이블 | |
| US11156276B2 (en) | Linear-rotary actuator | |
| US5648690A (en) | Motor system generating orthogonal movement in a single plane | |
| JPS6358195A (ja) | 直動載物台 | |
| JP3687362B2 (ja) | ２軸移動装置 | |
| JPH08323567A (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JP3299629B2 (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JPS61112216A (ja) | 非接触駆動形平面移動台 | |
| JP2003028973A (ja) | ステージ装置 | |
| EP0267416A2 (en) | Contactless transport device | |
| JPS6120003B2 (ja) | ||
| JPH0516167B2 (ja) | ||
| JP2913535B2 (ja) | テーブルの縦横移動機構 | |
| JPH03293586A (ja) | 位置決めテーブル装置 | |
| KR100264394B1 (ko) | 6축초정밀위치결정기구 | |
| JPS639939B2 (ja) | ||
| JPH03178746A (ja) | 二次元可動ステージ装置 | |
| JPH086747B2 (ja) | 検査装置 | |
| JPS62182692A (ja) | Ｘｙステ−ジ | |
| JP3042474B2 (ja) | Ｘｙステージ | |
| JPS6155707A (ja) | ２軸位置決め装置 |