JP2624377B2 - バーンイン装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体チップをバーン
インするバーンイン装置における、バーンイン実施前の
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
ト機構の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来のバーンイン装置におけるド
ライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテスト
方法を示す図であり、図４は従来のドライバーチェック
テスト方法及びコンタクトチェックテスト方法を示すフ
ローチャートである。図において、５はドライバー波形
を出力するドライバー、６は伝送された波形を受けるコ
ンパレータ、７は装置側コネクタのドライバー信号ピ
ン、８は装置側コネクタのリターン信号ピン、９はバー
ンインボード側コネクタのドライバー信号ピン、１０は
バーンインボード側コネクタのリターン信号ピン、１１
はバーンインボードである。また３はチェックストロー
ブ信号、４はドライバー５からバーンインボード１１を
介してコンパレータ６にまで伝送されるドライバー波
形、４ａはドライバー波形４がなまった場合の波形、１
２はコンパレータ６の判定レベル、１３はドライバー５
とバーンインボード１１とを結ぶドライバー信号線、１
４はバーンインボード１１とコンパレータ６とを結ぶリ
ターン信号線である。

【０００３】次に動作について説明する。まずステップ
１のドライバーレベルチェックテストで、バーンインボ
ード１１をバーンイン装置に挿入する前に、ドライバー
５よりドライバー波形４を出す。この場合バーンインボ
ード１１が未挿着で、バーンインボード側コネクタのド
ライバー信号ピン９と、バーンインボード側コネクタの
リターン信号ピン１０とはバーンインボード１１上でシ
ョート状態であるため、コンパレータ６よりチェックス
トローブ信号３を発生させた場合のドライバー波形４
が、コンパレータ６には入り込まないためＦＡＩＬと判
定され、次へ進む。バーンインボード未挿入時にＰＡＳ
Ｓと判定された場合は、ドライバー５とコンパレータ６
のショートと考えられ、回路点検を要し、ステップ１に
戻る。

【０００４】続くステップ２で、バーンインボード１１
をバーンイン装置に挿入し、ドライバー５よりドライバ
ー波形４を出す。この波形４は、バーンイン装置側コネ
クタのドライバー信号ピン７まで伝送される。次のステ
ップ３のコンタクトチェックテストにおいて、バーンイ
ンボード１１が確実に挿入されていれば、バーンインボ
ード側コネクタのドライバー信号ピン９と、バーンイン
ボード側コネクタのリターン信号ピン１０とのバーンイ
ンボード１１上でのショート状態であることにより、ド
ライバー波形４はバーンイン装置側コネクタのリターン
信号ピン８まで伝わる。更にこのドライバー波形４はコ
ンパレータ６まで伝送され、チェックストローブ信号３
発生時点以前に判定レベル１２をクリアすればＰＡＳＳ
と判定され、バーンインがスタートする。

【０００５】もしバーンインボード１１の挿入が不完全
でステップ３にてＦＡＩＬと判定された場合、バーンイ
ンボード１１を挿抜し、ステップ２でのバーンインボー
ド１１の挿入動作を再び行う。このような挿入挿抜動作
を繰り返し、ある一定の回数（図４では３回と設定）未
満でＰＡＳＳと判定されればバーンインスタートとなる
が、その回数を越えるとバーンインボード１１を交換又
はドライバー５，コンパレータ６を点検するよう信号が
出力され、ステップ１へと戻る。

【０００６】以上のような過程を経て、バーンインボー
ド１１側コネクタのドライバー５とコンパレータ６との
間にオープン，ショートがない事と、ドライバー５が正
しい電圧レベルを保持しているかどうかを確認する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のバーンイン装置
は以上のように構成されているので、バーンイン装置の
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
トの為に、バーンイン装置側とバーンインボード側と
で、ドライバー５からの波形４を入力するドライバー信
号ピン１本毎にコンパレータ６へ出力するためのリター
ン信号ピンを１本ずつ設けなければならず、ドライバー
５のチャンネルが増えるにつれて信号ピン数が足りなく
なるという問題点があった。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、信号ピンの数を増やすことなく
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
トを行うことができるバーンイン装置を得ることを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係るバーンイ
ン装置は、バーンイン装置のドライバーからのドライバ
ー信号線とバーンイン装置のコンパレータへのリターン
信号線とによりバーンイン装置とバーンインボードとを
結び、半導体装置のテストを行うバーンイン装置におい
て、上記ドライバー信号線は上記リターン信号線に直結
されており、上記コンパレータは、判定タイミングが可
変であり、ドライバーチェックテスト，および上記バー
ンイン装置側のコネクタドライバー信号ピンとバーンイ
ンボード側のコネクタドライバー信号ピンとの間のコン
タクトチェックテストのため、第１のストローブ信号を
受けてこのタイミングで判定した後、第２のストローブ
信号を受けてこのタイミングでも判定するようにしてな
るものである。

【００１０】

【作用】この発明におけるバーンイン装置は、ドライバ
ー信号線をリターン信号線に直結させ、コンパレータが
チェックストローブ信号を２つ有しているので、信号ピ
ンを増やすことなくドライバーチェックテスト及びコン
タクトチェックテストを行うことができる。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例によるバーンイン装
置におけるドライバーチェックテスト及びコンタクトチ
ェックテスト方法を示す図、図２は本発明の一実施例に
よるバーンイン装置におけるドライバーチェックテスト
及びコンタクトチェックテスト方法を示すフローチャー
トであり、図において、図３と同一符号は同一部分を示
し、１はバーンインボード１１がバーンイン装置に挿入
されているかどうかをチェックする為のチェックストロ
ーブ信号(1) 、２はドライバー５の電圧レベルをチェッ
クするチェックストローブ信号(2) である。点線で示す
４はドライバー５より入力されるドライバー波形であ
る。実線で示す４ｂは、正常なドライバー信号波形４が
バーンインボード挿着のため、なまって出力された場合
の波形である。２点鎖線で示す４ｃは、例えばドライバ
ー５又はコンパレータ６の不良のため、なまって出力さ
れた場合の波形である。

【００１２】また本実施例は、図１(a) に示すようにド
ライバー信号線１３をリターン信号線１４に直結させ、
従来設けていた２本のリターン信号ピンを省略してバー
ンインボード１１上でのショート状態をなくした上で、
チェックストローブ信号の発生時点でドライバー５から
の出力波形が呈する形状をコンパレータ６で判定するこ
とによって、ドライバーチェックテスト及びコンタクト
チェックテストを行うものである。

【００１３】次に動作について説明する。まずバーンイ
ンボード１１をバーンイン装置に挿入する前に、ステッ
プ１のドライバーレベルチェックテストとして、ドライ
バー５より波形４を出力し、このドライバー波形４をコ
ンパレータ６のチェックストローブ信号(1) １によって
判定する。即ちバーンインボード１１が未挿着である場
合、図１(b) に示すドライバー波形４を呈し、コンパレ
ータ６がＰＡＳＳ判定を出力する。チェックストローブ
信号(1) １発生時点に波形がなまり波形４ｂ又は波形４
ｃ等の形状を呈する場合は、コンパレータ６がＦＡＩＬ
判定を出力し、ドライバー５及びコンパレータ６を点検
するようステップ１を繰り返す。続くステップ２でのド
ライバーレベルチェックテストは、バーンインボード１
１未装着状態で、チェックストローブ信号(2) ２発生時
点においてドライバー波形が同図(b) の波形４の形状を
呈すれば、ドライバー５の出力電圧レベルが正常でドラ
イバー信号線１３，リターン信号線１４にオープン，シ
ョートはないとコンパレータ６がＰＡＳＳ判定をする。
しかし波形が波形４ｃ状ならば、コンパレータ６はＦＡ
ＩＬと判定して、ドライバー５及びコンパレータ６を点
検するよう信号を出力し、ステップ２を繰り返す。

【００１４】ＰＡＳＳ判定後、次のステップ４のコンタ
クトチェックテストへ進む。ステップ３にてバーンイン
ボード１１をバーンイン装置に挿入した上で、ドライバ
ー５よりドライバー波形４を出力し、この波形４のコン
パレータ６のチェックストローブ信号(1) １発生時点で
の形状でバーンインボード１１が挿着完了しているかど
うかを確認する。なまらない波形４が出力されると、バ
ーンインボード１１は未装着と判断されコンパレータ６
よりＰＡＳＳ判定が出て、ステップ３でのバーンインボ
ード１１の挿入挿抜を繰り返す。この繰り返し動作が一
定の回数（図２では３回と設定）を越える場合、バーン
インボード１１を交換すべく信号が出力され、ステップ
１まで戻る。逆に波形がなまった波形４ｂを呈すれば、
ＦＡＩＬと判定されて次へ進む。

【００１５】最後のステップ５のコンタクトチェックテ
ストでは、チェックストローブ信号(2) ２発生時点での
判定にてドライバー５の電圧レベルが正常に出力されて
いるか、また信号線にオープン，ショートはないかを確
認する。波形が波形４ｃの形状の場合、ＦＡＩＬ判定と
なりバーンインボード１１の交換を指示し、波形４ｂな
らＰＡＳＳと判定され、続いてバーンインがスタートと
なる。なお、バーンインボード挿入の前後においてチェ
ックストローブ信号発生のタイミングは変化させないも
のとする。

【００１６】本実施例では上述のように、バーンイン装
置のドライバー５とバーンインボード１１とを結ぶドラ
イバー信号線１３を、バーンインボード１１とコンパレ
ータ６とを結ぶリターン信号線１４に直結させ、ドライ
バー５の出力を調べるドライバーチェックテスト及びコ
ンタクトチェックテストのための２つのチェックストロ
ーブ信号をコンパレータ６が有しており、バーンインボ
ード１１の挿入未挿入状態の確認とバーンインボード１
１挿入状態と抜き取られた状態でのドライバー５からの
出力電圧レベルとを、チェックストローブ信号発生時点
でのドライバー波形４のなまり方から判定するようにし
たので、多チャンネルのバーンイン装置においてもバー
ンイン装置側とバーンインボード側とで、ドライバー信
号ピン１本毎にリターン信号ピンを設けることなく従来
と同様のチェックができ、チェック後に精度の高いバー
ンインが可能になる。

【００１７】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、バーン
イン装置のドライバーからのドライバー信号線とバーン
イン装置のコンパレータへのリターン信号線とによりバ
ーンイン装置とバーンインボードとを結び、半導体装置
のテストを行うバーンイン装置において、上記ドライバ
ー信号線は上記リターン信号線に直結されており、上記
コンパレータは、判定タイミングが可変であり、ドライ
バーチェックテスト，および上記バーンイン装置側のコ
ネクタドライバー信号ピンとバーンインボード側のコネ
クタドライバー信号ピンとの間のコンタクトチェックテ
ストのため、第１のストローブ信号を受けてこのタイミ
ングで判定した後、第２のストローブ信号を受けてこの
タイミングでも判定するようにしてなるものであるの
で、バーンイン装置側及びバーンインボード側にリター
ン信号ピンを設けることなく、チェックストローブ信号
発生時点での波形のなまり方の差によって判定する方法
でバーンイン装置のドライバーチェックテスト及びコン
タクトチェックテストを実施することができ、チェック
後に精度の高いバーンインが可能となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるバーンイン装置にお
けるドライバーチェックテスト及びコンタクトチェック
テスト方法を示す図。

【図２】この発明の一実施例によるバーンイン装置にお
けるドライバーチェックテスト及びコンタクトチェック
テスト方法を示すフローチャート図。

【図３】従来のバーンイン装置におけるドライバーチェ
ックテスト及びコンタクトチェックテスト方法を示す
図。

【図４】従来のバーンイン装置におけるドライバーチェ
ックテスト及びコンタクトチェックテスト方法を示すフ
ローチャート図。

【符号の説明】

１ チェックストローブ信号(1) ２ チェックストローブ信号(2) ４ ドライバー波形４ｂ，４ｃ なまったドライバー波形 ５ ドライバー ６ コンパレータ ７ バーンイン装置側コネクタドライバー信号ピン ９ バーンインボード側コネクタドライバー信号ピン １１ バーンインボード １２ 判定レベル １３ ドライバー信号線 １４ リターン信号線

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バーンイン装置のドライバーからのドラ
   イバー信号線とバーンイン装置のコンパレータへのリタ
   ーン信号線とによりバーンイン装置とバーンインボード
   とを結び、半導体装置のテストを行うバーンイン装置に
   おいて、 上記ドライバー信号線は上記リターン信号線に直結され
   ており、 上記コンパレータは、判定タイミングが可変であり、ド
   ライバーチェックテスト，および上記バーンイン装置側
   のコネクタドライバー信号ピンとバーンインボード側の
   コネクタドライバー信号ピンとの間のコンタクトチェッ
   クテストのため、第１のストローブ信号を受けてこのタ
   イミングで判定した後、第２のストローブ信号を受けて
   このタイミングでも判定するようにしてなることを特徴
   とするバーンイン装置。