JPH04216476A - バーンイン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は半導体チップをバーン
インするバーンイン装置における、バーンイン実施前の
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
ト機構の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来のバーンイン装置におけるド
ライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテスト
方法を示す図であり、図４は従来のドライバーチェック
テスト方法及びコンタクトチェックテスト方法を示すフ
ローチャートである。図において、５はドライバー、６
はコンパレータ、７は装置側コネクターのドライバー信
号ピン、８は装置側コネクターのリターン信号ピン、９
はバーンインボード側コネクターのドライバー信号ピン
、１０はバーンインボード側コネクターのリターン信号
ピン、１１はバーンインボードである。また３はチェッ
クストローブ信号、４はドライバー５からバーンインボ
ード１１を介してコンパレータ６にまで伝送されるドラ
イバー波形、４ａはドライバー波形４がなまった場合の
波形、１２はコンパレータ６の判定レベル、１３はドラ
イバー５とバーンインボード１１とを結ぶドライバー信
号線、１４はバーンインボード１１とコンパレータ６と
を結ぶリターン信号線である。

【０００３】次に動作について説明する。まずステップ
１のドライバーレベルチェックテストで、バーンインボ
ード１１をバーンイン装置に挿入する前に、ドライバー
５よりドライバー波形４を出す。この場合バーンインボ
ード１１が未挿着で、バーンインボード側コネクターの
ドライバー信号ピン９と、バーンインボード側コネクタ
ーのリターン信号ピン１０とはバーンインボード１１上
でショート状態であるため、コンパレータ６よりチェッ
クストローブ信号３を発生させた場合のドライバー波形
４が、図３（ｂ）　における実線グラフの形状よりなま
ってＦＡＩＬと判定され、次へ進む。なまっていない場
合はＰＡＳＳと判定され、回路点検を要し、ステップ１
に戻る。

【０００４】続くステップ２で、バーンインボード１１
をバーンイン装置に挿入し、ドライバー５よりドライバ
ー波形４を出す。この波形４は、バーンイン装置側コネ
クターのドライバー信号ピン７まで伝送される。次のス
テップ３のコンタクトチェックテストにおいて、バーン
インボード１１が確実に挿入されていれば、バーンイン
ボード側コネクターのドライバー信号ピン９と、バーン
インボード側コネクターのリターン信号ピン１０とのバ
ーンインボード１１上でのショート状態が解消している
ことになり、ドライバー波形４はバーンイン装置側コネ
クターのリターン信号ピン８まで伝わる。更にこのドラ
イバー波形４はコンパレータ６まで伝送され、チェック
ストローブ信号３発生時点以前に判定レベル１２をクリ
アすればＰＡＳＳと判定され、バーンインがスタートす
る。

【０００５】もしバーンインボード１１の挿入が不完全
でステップ３にてＦＡＩＬと判定された場合、バーンイ
ンボード１１を挿抜し、ステップ２でのバーンインボー
ド１１の挿入動作を再び行う。このような挿入挿抜動作
を繰り返し、ある一定の回数（図４では３回と設定）未
満でＰＡＳＳと判定されればバーンインスタートとなる
が、その回数を越えるとバーンインボード１１を交換又
はドライバー５，コンパレータ６を点検するよう信号が
出力され、ステップ１へと戻る。

【０００６】以上のような過程を経て、バーンインボー
ド１１側コネクターのドライバー信号ピン９とリターン
信号ピン１０との間にオープン，ショートがない事と、
ドライバー５が正しい電圧レベルを保持しているかどう
かを確認する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のバーンイン装置
は以上のように構成されているので、バーンイン装置の
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
トの為に、バーンイン装置側とバーンインボード側とで
、ドライバー５からの波形４を入力するドライバー信号
ピン１本毎にコンパレータ６へ出力するためのリターン
信号ピンを１本ずつ設けなければならず、ドライバー５
のチャンネルが増えるにつれて信号ピン数が足りなくな
るという問題点があった。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、信号ピンの数を増やすことなく
ドライバーチェックテスト及びコンタクトチェックテス
トを行うことができるバーンイン装置を得ることを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係るバーンイ
ン装置は、バーンイン装置側のドライバーとバーンイン
ボードとを結ぶドライバー信号線を、バーンインボード
とバーンイン装置側のコンパレータとを結ぶリターン信
号線に直結させ、コンパレータがバーンインボード挿入
前後におけるバーンイン装置のドライバーの出力状態を
調べるドライバーチェックテスト及びコンタクトチェッ
クテストのための２つのチェックストローブ信号を有す
るものである。

【００１０】

【作用】この発明におけるバーンイン装置は、ドライバ
ー信号線をリターン信号線に直結させ、コンパレータが
チェックストローブ信号を２つ有しているので、信号ピ
ンを増やすことなくドライバーチェックテスト及びコン
タクトチェックテストを行うことができる。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例によるバーンイン装
置におけるドライバーチェックテスト及びコンタクトチ
ェックテスト方法を示す図、図２は本発明の一実施例に
よるバーンイン装置におけるドライバーチェックテスト
及びコンタクトチェックテスト方法を示すフローチャー
トであり、図において、図３と同一符号は同一部分を示
し、１はバーンインボード１１がバーンイン装置に挿入
されているかどうかをチェックする為のチェックストロ
ーブ信号（１）　、２はドライバー５の電圧レベルをチ
ェックするチェックストローブ信号（２）　、４ｂはチ
ェックストローブ信号１発生時において、点線グラフ状
の正常なドライバー信号波形４がなまって出力された場
合の波形、４ｃはチェックストローブ信号２発生時にお
いて、実線グラフ状の正常なドライバー信号波形４がな
まって出力された場合の波形である。

【００１２】また本実施例は、図１（ａ）　に示すよう
にドライバー信号線１３をリターン信号線１４に直結さ
せ、従来設けていた２本のリターン信号ピンを省略して
バーンインボード１１上でのショート状態をなくした上
で、チェックストローブ信号の発生時点でドライバー５
からの出力波形が呈する形状をコンパレータ６で判定す
ることによって、ドライバーチェックテスト及びコンタ
クトチェックテストを行うものである。

【００１３】次に動作について説明する。まずバーンイ
ンボード１１をバーンイン装置に挿入する前に、ステッ
プ１のドライバーレベルチェックテストとして、ドライ
バー５より波形４を出力し、このドライバー波形４をコ
ンパレータ６のチェックストローブ信号（１）　１によ
って判定する。バーンインボード１１が未挿着である場
合、ドライバー波形４は図１（ｂ）　における点線グラ
フの形状を呈し、コンパレータ６がＰＡＳＳ判定を出力
する。チェックストローブ信号（１）　１発生時点に波
形がなまり４ｂの形状を呈する場合は、コンパレータ６
がＦＡＩＬ判定を出力し、ドライバー５及びコンパレー
タ６を点検するようステップ１を繰り返す。続くステッ
プ２でのドライバーレベルチェックテストは、バーンイ
ンボード１１未装着状態で、チェックストローブ信号（
２）　２発生時点においてドライバー波形４が同図（ｂ
）　の実線グラフの形状を呈すれば、ドライバー５の出
力電圧レベルが正常でドライバー信号線１３，リターン
信号線１４にオープン，ショートはないとコンパレータ
６がＰＡＳＳ判定をする。しかし波形が４ｃ状ならば、
コンパレータ６はＦＡＩＬと判定して、ドライバー５及
びコンパレータ６を点検するよう信号を出力し、ステッ
プ２を繰り返す。

【００１４】ＰＡＳＳ判定後、次のステップ４のコンタ
クトチェックテストへ進む。ステップ３にてバーンイン
ボード１１をバーンイン装置に挿入した上で、ドライバ
ー５よりドライバー波形４を出力し、この波形４のコン
パレータ６のチェックストローブ信号（１）　１発生時
点での形状でバーンインボード１１が挿着完了している
かどうかを確認する。なまった波形４ｂが出力されると
、バーンインボード１１は未装着と判断されコンパレー
タ６よりＰＡＳＳ判定が出て、ステップ３でのバーンイ
ンボード１１の挿入挿抜を繰り返す。この繰り返し動作
が一定の回数（図２では３回と設定）を越える場合、バ
ーンインボード１１を交換すべく信号が出力され、ステ
ップ１まで戻る。逆に波形４が図１（ｂ）　の点線グラ
フの形状を呈すれば、ＦＡＩＬと判定されて次へ進む。

【００１５】最後のステップ５のコンタクトチェックテ
ストでは、チェックストローブ信号（２）　２発生時点
での判定にてドライバー５の電圧レベルが正常に出力さ
れているか、また信号線にオープン，ショートはないか
を確認する。波形が４ｃの形状の場合、ＦＡＩＬ判定と
なりバーンインボード１１の交換を指示し、図１（ｂ）
　の実線グラフ状ならＰＡＳＳと判定され、続いてバー
ンインがスタートとなる。なお、バーンインボード挿入
の前後においてチェックストローブ信号発生のタイミン
グは変化させないものとする。

【００１６】本実施例では上述のように、バーンイン装
置のドライバー５とバーンインボード１１とを結ぶドラ
イバー信号線１３を、バーンインボード１１とコンパレ
ータ６とを結ぶリターン信号線１４に直結させ、ドライ
バー５の出力を調べるドライバーチェックテスト及びコ
ンタクトチェックテストのための２つのチェックストロ
ーブ信号をコンパレータ６が有しており、バーンインボ
ード１１の挿入未挿入状態の確認とバーンインボード１
１挿入状態と抜き取られた状態でのドライバー５からの
出力電圧レベルとを、チェックストローブ信号発生時点
でのドライバー波形４のなまり方から判定するようにし
たので、多チャンネルのバーンイン装置においてもバー
ンイン装置側とバーンインボード側とで、ドライバー信
号ピン１本毎にリターン信号ピンを設けることなく従来
と同様のチェックができ、チェック後に精度の高いバー
ンインが可能になる。

【００１７】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ドライ
バー信号線をリターン信号線に直結させ、２つのチェッ
クストローブ信号をコンパレータが有するようにしたの
で、バーンイン装置側及びバーンインボード側にリター
ン信号ピンを設けることなく、チェックストローブ信号
発生時点での波形のなまり方の差によって判定する方法
でバーンイン装置のドライバーチェックテスト及びコン
タクトチェックテストを実施することができ、チェック
後に精度の高いバーンインが可能となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例によるバーンイン装置にお
けるドライバーチェックテスト及びコンタクトチェック
テスト方法を示す図。

【図２】この発明の一実施例によるバーンイン装置にお
けるドライバーチェックテスト及びコンタクトチェック
テスト方法を示すフローチャート図。

【図３】従来のバーンイン装置におけるドライバーチェ
ックテスト及びコンタクトチェックテスト方法を示す図
。

【図４】従来のバーンイン装置におけるドライバーチェ
ックテスト及びコンタクトチェックテスト方法を示すフ
ローチャート図。

【符号の説明】

１　　　　チェックストローブ信号（１）　２　　　　
チェックストローブ信号（２）　４　　　　ドライバー
波形 ４ａ，４ｂ　　　　チェックストローブ信号発生時点で
のなまったドライバー波形 ５　　　　ドライバー ６　　　　コンパレータ ７　　　　バーンイン装置側コネクタードライバー信号
ピン９　　　　バーンインボード側コネクタードライバ
ー信号ピン １１　　バーンインボード １２　　判定レベル １３　　ドライバー信号線 １４　　リターン信号線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　バーンイン装置のドライバーとバーン
   インボードとを結ぶドライバー信号線を、前記バーンイ
   ンボードと前記バーンイン装置のコンパレータとを結ぶ
   リターン信号線に直結させ、前記コンパレータは、前記
   バーンインボードを前記バーンイン装置へ挿入する前に
   行うドライバーチェックテストと、挿入後に行うコンタ
   クトチェックテストのための２つのチェックストローブ
   信号を有することを特徴とするバーンイン装置。