JP2599511B2 - 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 - Google Patents
希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は希土類元素ド−プ石英ガ
ラスの製造方法、特には光ファイバレ−ザ−などに使用
される希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関する
ものである。
ラスの製造方法、特には光ファイバレ−ザ−などに使用
される希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】希土類元素をド−プした石英ガラスは光
機能を有していることから、光ファイバレ−ザ−、光増
幅器、センサ素子などとして使用されており、光通信シ
ステムにおける1.55μm 帯の光増幅器用エルビウムド−
プ石英ファイバにおいて、エルビウムとアルミニウムを
共ド−プすると増幅波長領域が拡大され、異なった波長
をもつ複数の信号光を一括して増幅することが可能とな
ることが知られている。
機能を有していることから、光ファイバレ−ザ−、光増
幅器、センサ素子などとして使用されており、光通信シ
ステムにおける1.55μm 帯の光増幅器用エルビウムド−
プ石英ファイバにおいて、エルビウムとアルミニウムを
共ド−プすると増幅波長領域が拡大され、異なった波長
をもつ複数の信号光を一括して増幅することが可能とな
ることが知られている。
【０００３】しかして、この種の石英ガラスの製造につ
いてはMCVD法による方法が知られている（特公表昭63-5
01711 号公報参照）が、これには希土類元素塩化物原料
を高温に加熱し蒸発させて反応系に供給するものである
ために、供給量の制御が困難であり、また大型の母材が
得られにくいという欠点がある。
いてはMCVD法による方法が知られている（特公表昭63-5
01711 号公報参照）が、これには希土類元素塩化物原料
を高温に加熱し蒸発させて反応系に供給するものである
ために、供給量の制御が困難であり、また大型の母材が
得られにくいという欠点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】また、この希土類元素
ド−プ石英ガラスの製造についてはけい素化合物の火炎
加水分解によって生成したシリカ微粒子を堆積して得た
多孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬させ
たのち、高温で焼結して透明ガラス化する方法も知られ
ており（特公表昭58-3980 号公報参照）、これによれば
溶液の濃度によってド−プ量が制御できるし、蒸気圧の
低い化合物にも適用できるという利点がある。
ド−プ石英ガラスの製造についてはけい素化合物の火炎
加水分解によって生成したシリカ微粒子を堆積して得た
多孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬させ
たのち、高温で焼結して透明ガラス化する方法も知られ
ており（特公表昭58-3980 号公報参照）、これによれば
溶液の濃度によってド−プ量が制御できるし、蒸気圧の
低い化合物にも適用できるという利点がある。
【０００５】しかしこれには多孔質ガラス母材を希土類
元素化合物およびアルミニウム化合物の溶液に浸漬させ
る際に吸着により母材の表面にアルミニウム化合物が蓄
積されたり、また浸漬後の乾燥後に毛細管現象によって
溶媒が多孔質ガラス母材の表面に移動するときに溶質も
同時に表面近傍に移動して母材表面付近にアルミニウム
化合物が過剰に蓄積されるために、これを高温で焼結し
ても表面付近がガラス化しなくなるという欠点がある。
元素化合物およびアルミニウム化合物の溶液に浸漬させ
る際に吸着により母材の表面にアルミニウム化合物が蓄
積されたり、また浸漬後の乾燥後に毛細管現象によって
溶媒が多孔質ガラス母材の表面に移動するときに溶質も
同時に表面近傍に移動して母材表面付近にアルミニウム
化合物が過剰に蓄積されるために、これを高温で焼結し
ても表面付近がガラス化しなくなるという欠点がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関
するものであり、これはけい素化合物の火炎加水分解に
よって生成したシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガラ
ス母材に希土類元素化合物およびアルミニウム化合物を
添加したのち、高温で焼結して透明ガラスする方法にお
いて、アルミニウム化合物の火炎加水分解で生成したア
ルミニウム酸化物をけい素化合物の火炎加水分解で発生
したシリカ微粒子と共に担体上に堆積してアルミニウム
酸化物を含有する多孔質ガラス母材を作成し、これを希
土類元素化合物の溶液に浸漬したのち、高温で焼結して
なることを特徴とするものである。
を解決した希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関
するものであり、これはけい素化合物の火炎加水分解に
よって生成したシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガラ
ス母材に希土類元素化合物およびアルミニウム化合物を
添加したのち、高温で焼結して透明ガラスする方法にお
いて、アルミニウム化合物の火炎加水分解で生成したア
ルミニウム酸化物をけい素化合物の火炎加水分解で発生
したシリカ微粒子と共に担体上に堆積してアルミニウム
酸化物を含有する多孔質ガラス母材を作成し、これを希
土類元素化合物の溶液に浸漬したのち、高温で焼結して
なることを特徴とするものである。
【０００７】すなわち、本発明者らは多孔質ガラス母材
の表面付近に偏析しているアルミニウム化合物を除去し
て透明な石英ガラスを得る方法について種々検討した結
果、多孔質ガラス母材へのアルミニウム化合物の添加は
多孔質ガラス母材の製造時におけるけい素化合物の火炎
加水分解のときにアルミニウム化合物を添加してその火
炎加水分解でアルミニウム酸化物を生成させ、このアル
ミニウム酸化物をけい素化合物の火炎加水分解で発生し
たシリカ微粒子と共に担体上に堆積して酸化アルミニウ
ムを含有する多孔質ガラス母材を作成し、ついでこの多
孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬して多
孔質ガラス母材に希土類元素化合物を添加すれば、これ
にはアルミニウム化合物が多孔質ガラス母材の表面に偏
析して過剰に蓄積されることもなくなるので、これを高
温で焼結すれば容易に透明ガラス化して希土類元素ド−
プ石英ガラスが得られることを見出し、このアルミニウ
ム化合物の火炎加水分解法によるド−プ方法についての
研究を進めて本発明を完成させた。以下にこれをさらに
詳述する。
の表面付近に偏析しているアルミニウム化合物を除去し
て透明な石英ガラスを得る方法について種々検討した結
果、多孔質ガラス母材へのアルミニウム化合物の添加は
多孔質ガラス母材の製造時におけるけい素化合物の火炎
加水分解のときにアルミニウム化合物を添加してその火
炎加水分解でアルミニウム酸化物を生成させ、このアル
ミニウム酸化物をけい素化合物の火炎加水分解で発生し
たシリカ微粒子と共に担体上に堆積して酸化アルミニウ
ムを含有する多孔質ガラス母材を作成し、ついでこの多
孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬して多
孔質ガラス母材に希土類元素化合物を添加すれば、これ
にはアルミニウム化合物が多孔質ガラス母材の表面に偏
析して過剰に蓄積されることもなくなるので、これを高
温で焼結すれば容易に透明ガラス化して希土類元素ド−
プ石英ガラスが得られることを見出し、このアルミニウ
ム化合物の火炎加水分解法によるド−プ方法についての
研究を進めて本発明を完成させた。以下にこれをさらに
詳述する。
【０００８】
【作用】本発明は希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００９】本発明はけい素化合物およびアルミニウム
化合物の火炎加水分解法によって生成したアルミニウム
酸化物を含むシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガラス
母材に希土類元素化合物を添加したのち、高温で焼結し
て透明ガラス化して石英ガラスとする方法に関するもの
である。
化合物の火炎加水分解法によって生成したアルミニウム
酸化物を含むシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガラス
母材に希土類元素化合物を添加したのち、高温で焼結し
て透明ガラス化して石英ガラスとする方法に関するもの
である。
【００１０】すなわち、従来公知の方法では火炎加水分
解法で得られた多孔質ガラス母材を希土類元素化合物と
アルミニウム化合物の溶液に浸漬して、多孔質ガラス母
材に希土類元素化合物およびアルミニウム化合物をド−
プしたのち、高温で焼結して透明ガラス化していたので
あるが、この場合には前記したように多孔質ガラス母材
の表面に過剰のアルミニウム化合物が蓄積されているた
めに焼結しても表面付近はガラス化しないという不利が
ある。
解法で得られた多孔質ガラス母材を希土類元素化合物と
アルミニウム化合物の溶液に浸漬して、多孔質ガラス母
材に希土類元素化合物およびアルミニウム化合物をド−
プしたのち、高温で焼結して透明ガラス化していたので
あるが、この場合には前記したように多孔質ガラス母材
の表面に過剰のアルミニウム化合物が蓄積されているた
めに焼結しても表面付近はガラス化しないという不利が
ある。
【００１１】しかし、本発明によってこのアルミニウム
化合物をその火炎加水分解法で生成したアルミニウム酸
化物として多孔質ガラス母材に添加すれば、アルミニウ
ム化合物が多孔質ガラス母材の表面に過剰に付着するこ
とができなくなるので、これを高温で焼結すればこのも
のを容易に透明ガラス化することができるとう有利性が
与えられる。
化合物をその火炎加水分解法で生成したアルミニウム酸
化物として多孔質ガラス母材に添加すれば、アルミニウ
ム化合物が多孔質ガラス母材の表面に過剰に付着するこ
とができなくなるので、これを高温で焼結すればこのも
のを容易に透明ガラス化することができるとう有利性が
与えられる。
【００１２】本発明における多孔質ガラス母材の製造は
けい素化合物の火炎加水分解で生成したシリカ微粒子を
担体上に堆積させるという公知の方法で行えばよい。し
たがって、これは光ファイバ用母材の製造方法としてよ
く知られているVAD 法やOVD法によって行えばよいが、
本発明においてはこの際、この酸水素火炎中にアルミニ
ウム化合物、例えば塩化アルミニウムを供給し、この火
炎加水分解で発生したアルミニウム酸化物をけい素化合
物の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に担体上
に堆積させて、アルミニウム酸化物を含有する多孔質ガ
ラス母材が製造される。
けい素化合物の火炎加水分解で生成したシリカ微粒子を
担体上に堆積させるという公知の方法で行えばよい。し
たがって、これは光ファイバ用母材の製造方法としてよ
く知られているVAD 法やOVD法によって行えばよいが、
本発明においてはこの際、この酸水素火炎中にアルミニ
ウム化合物、例えば塩化アルミニウムを供給し、この火
炎加水分解で発生したアルミニウム酸化物をけい素化合
物の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に担体上
に堆積させて、アルミニウム酸化物を含有する多孔質ガ
ラス母材が製造される。
【００１３】なお、この多孔質ガラス母材には溶液に浸
漬したときに微粒子間の凝集力が失なわれても破壊しな
いだけの機械的強度を有することが必要とされるので、
平均かさ密度が0.3g/cm3以上のものとすることが好まし
いが、これはまた希土類元素化合物の溶液が容易に拡散
運動するために平均かさ密度が1.0g/cm3以下のものとす
ることがよい。なお、この多孔質ガラス母材はシリカ単
独のものであってもよいが、これは光ファイバ用のド−
パントとしてよく知られているゲルマニア(GeO2)などを
含有するものであってもよく、さらには光導波路を形成
するのに必要な屈折率分布を有するものとしてもよい。
漬したときに微粒子間の凝集力が失なわれても破壊しな
いだけの機械的強度を有することが必要とされるので、
平均かさ密度が0.3g/cm3以上のものとすることが好まし
いが、これはまた希土類元素化合物の溶液が容易に拡散
運動するために平均かさ密度が1.0g/cm3以下のものとす
ることがよい。なお、この多孔質ガラス母材はシリカ単
独のものであってもよいが、これは光ファイバ用のド−
パントとしてよく知られているゲルマニア(GeO2)などを
含有するものであってもよく、さらには光導波路を形成
するのに必要な屈折率分布を有するものとしてもよい。
【００１４】本発明においてこの多孔質ガラス母材は希
土類元素化合物の溶液に含浸され、その内部にこの化合
物が浸透される。この希土類元素としてはネオジム、エ
ルビウム、ユ−ロピウム、セリウムなどが例示される
が、これはその２種類以上としてもよい。また、この化
合物としては塩化物、硝酸塩、硫酸塩などが用いられる
が、これらは溶剤に対して十分な溶解度を有するもので
あればよく、特にこれらに限定されるものではないが、
一般に入手が容易であること、また十分な溶解度をもつ
ことから塩化物とすることが好ましい。
土類元素化合物の溶液に含浸され、その内部にこの化合
物が浸透される。この希土類元素としてはネオジム、エ
ルビウム、ユ−ロピウム、セリウムなどが例示される
が、これはその２種類以上としてもよい。また、この化
合物としては塩化物、硝酸塩、硫酸塩などが用いられる
が、これらは溶剤に対して十分な溶解度を有するもので
あればよく、特にこれらに限定されるものではないが、
一般に入手が容易であること、また十分な溶解度をもつ
ことから塩化物とすることが好ましい。
【００１５】なお、ここに使用する溶剤は本質的に多孔
質ガラス母材と化学的に反応しないものであれば特に限
定されず、水溶液も使用することができるが、水の場合
は多孔質ガラス母材の微粒子内の凝集力を弱める作用が
強いので、これにはメタノ−ル、エタノ−ルが溶解度、
多孔質ガラス母材への作用そして乾燥速度の面から好ま
しいものとされる。
質ガラス母材と化学的に反応しないものであれば特に限
定されず、水溶液も使用することができるが、水の場合
は多孔質ガラス母材の微粒子内の凝集力を弱める作用が
強いので、これにはメタノ−ル、エタノ−ルが溶解度、
多孔質ガラス母材への作用そして乾燥速度の面から好ま
しいものとされる。
【００１６】このように希土類元素化合物およびアルミ
ニウム化合物の添加された多孔質ガラス母材は電気炉中
の高温で焼結して透明ガラス化されるのであるが、この
加熱はヘリウムなどのような不活性ガス雰囲気で行なう
ことがよく、これはまた脱水を目的としてハロゲンガス
を微量添加したものとしてもよいし、さらには酸化物へ
の転換を完全なものとするために酸素ガスを微量混合し
てもよいが、この温度は1,400 〜1,600 ℃とすればよ
く、これによれば目的とする希土類元素をド−プした石
英ガラスを容易に得ることができるという有利性が与え
られる。
ニウム化合物の添加された多孔質ガラス母材は電気炉中
の高温で焼結して透明ガラス化されるのであるが、この
加熱はヘリウムなどのような不活性ガス雰囲気で行なう
ことがよく、これはまた脱水を目的としてハロゲンガス
を微量添加したものとしてもよいし、さらには酸化物へ
の転換を完全なものとするために酸素ガスを微量混合し
てもよいが、この温度は1,400 〜1,600 ℃とすればよ
く、これによれば目的とする希土類元素をド−プした石
英ガラスを容易に得ることができるという有利性が与え
られる。
【００１７】
【実施例】つぎに本発明の実施例および比較例をあげ
る。 実施例１ 石英製同心多重管バ−ナ−に水素ガス4.0 リツトル／
分、酸素ガス9.0 リツトル／分を供給して酸水素火炎を
形成し、この中心に四塩化けい素および四塩化ゲルマニ
ウムをアルゴンガス0.205 リツトル／分、0.16リツトル
／分に同伴させ、また蒸発器に塩化アルミニウムを入れ
てこれをオイルバスで130 ℃に加熱し、ここに上記のガ
ラス形成用原料ガスを吹き込んでこれに塩化アルミニウ
ムガスを随伴させてバ−ナ−に供給し（図１参照）、VA
D 法でシリカガラス微粒子を出発材の軸方向に５時間堆
積、成長させて、外径が60mm、 長さ260mm、重さ136g、平
均かさ密度が0.178 g/cm3 の多孔質ガラス母材を作っ
た。
る。 実施例１ 石英製同心多重管バ−ナ−に水素ガス4.0 リツトル／
分、酸素ガス9.0 リツトル／分を供給して酸水素火炎を
形成し、この中心に四塩化けい素および四塩化ゲルマニ
ウムをアルゴンガス0.205 リツトル／分、0.16リツトル
／分に同伴させ、また蒸発器に塩化アルミニウムを入れ
てこれをオイルバスで130 ℃に加熱し、ここに上記のガ
ラス形成用原料ガスを吹き込んでこれに塩化アルミニウ
ムガスを随伴させてバ−ナ−に供給し（図１参照）、VA
D 法でシリカガラス微粒子を出発材の軸方向に５時間堆
積、成長させて、外径が60mm、 長さ260mm、重さ136g、平
均かさ密度が0.178 g/cm3 の多孔質ガラス母材を作っ
た。
【００１８】ついで、この多孔質ガラス母材を塩化エル
ビウム0.13重量％のメタノ−ル溶液に浸漬させ、多孔質
ガラス部材の内部まで塩化エルビウムを滲透させたの
ち、これを空気中で風乾させ、電気炉中でヘリウムガス
雰囲気下に1,470 ℃で 時間加熱処理したところ、透
明な石英ガラスが得られたが、このものはICP 法で分析
したところエルビウム90ppm、アルミニウムを2,800ppm含
有する希土類ド−プ石英ガラスであり、このものはEPMA
により測定したところ、エルビウム、アルミニウムでほ
ぼ均一にド−プされたものであった（図２，図３参
照）。
ビウム0.13重量％のメタノ−ル溶液に浸漬させ、多孔質
ガラス部材の内部まで塩化エルビウムを滲透させたの
ち、これを空気中で風乾させ、電気炉中でヘリウムガス
雰囲気下に1,470 ℃で 時間加熱処理したところ、透
明な石英ガラスが得られたが、このものはICP 法で分析
したところエルビウム90ppm、アルミニウムを2,800ppm含
有する希土類ド−プ石英ガラスであり、このものはEPMA
により測定したところ、エルビウム、アルミニウムでほ
ぼ均一にド−プされたものであった（図２，図３参
照）。
【００１９】なお、この石英ガラスをコアとし、フッ素
ド−プ石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プリフ
ォ−ムを作り、この光ファイバの光増進特性を測定した
ところ、1.4 μm 帯のポンプ光20mWで励起し、1.55μm
の信号光の増減ゲイン30dBを得た。
ド−プ石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プリフ
ォ−ムを作り、この光ファイバの光増進特性を測定した
ところ、1.4 μm 帯のポンプ光20mWで励起し、1.55μm
の信号光の増減ゲイン30dBを得た。
【００２０】実施例２ 実施例１における塩化アルミニウムを加熱するオイルバ
スの温度を150 ℃としたほかは実施例１と同じように処
理して多孔質ガラス母材を作り、これを塩化エルビウム
の0.12重量のメタノ−ル溶液に浸漬して多孔質ガラス母
材の内部にまで塩化エルビウムを浸透させ、これを空気
中で風乾させたのち、電気炉でヘリウムガス雰囲気下に
1,450 ℃で加熱処理したところ、透明石英ガラスが得ら
れたが、このものはICP 法による分析の結果、エルビウ
ムを145ppm、アルミニウムを14,200ppm 含有しているも
のであった。
スの温度を150 ℃としたほかは実施例１と同じように処
理して多孔質ガラス母材を作り、これを塩化エルビウム
の0.12重量のメタノ−ル溶液に浸漬して多孔質ガラス母
材の内部にまで塩化エルビウムを浸透させ、これを空気
中で風乾させたのち、電気炉でヘリウムガス雰囲気下に
1,450 ℃で加熱処理したところ、透明石英ガラスが得ら
れたが、このものはICP 法による分析の結果、エルビウ
ムを145ppm、アルミニウムを14,200ppm 含有しているも
のであった。
【００２１】ついで、この石英ガラスをコアとし、フッ
素ド−プした石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用
プリフォ−ムを作成し、この光ファイバでの光増進特性
を測定したところ、1.4μm 帯のポンプ光20mWで励起し、
1.55μm の信号光の増幅ゲイン30dBを得た。
素ド−プした石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用
プリフォ−ムを作成し、この光ファイバでの光増進特性
を測定したところ、1.4μm 帯のポンプ光20mWで励起し、
1.55μm の信号光の増幅ゲイン30dBを得た。
【００２２】
【発明の効果】本発明は希土類元素ド−プ石英ガラスの
製造方法に関するもので、これは前記したようにけい素
化合物の火炎加水分解によって生成したシリカ微粒子を
堆積して得た多孔質ガラス母材に希土類元素化合物およ
びアルミニウム化合物を添加したのち、高温で焼成して
透明ガラス化する方法において、アルミニウム化合物の
火炎加水分解で生成したアルミニウム酸化物をけい素化
合物の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に担体
上に堆積してアルミニウム酸化物を含有する多孔質ガラ
ス母材を作成し、これを希土類元素化合物の溶液に浸漬
したのち、高温で焼結してなることを特徴とするもので
ある。
製造方法に関するもので、これは前記したようにけい素
化合物の火炎加水分解によって生成したシリカ微粒子を
堆積して得た多孔質ガラス母材に希土類元素化合物およ
びアルミニウム化合物を添加したのち、高温で焼成して
透明ガラス化する方法において、アルミニウム化合物の
火炎加水分解で生成したアルミニウム酸化物をけい素化
合物の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に担体
上に堆積してアルミニウム酸化物を含有する多孔質ガラ
ス母材を作成し、これを希土類元素化合物の溶液に浸漬
したのち、高温で焼結してなることを特徴とするもので
ある。
【００２３】これによれば従来多孔質ガラス母材の高温
焼結時においてガラス化を妨害していた多孔質ガラス母
材表面に偏析していたアルミニウム化合物が火炎加水分
解ですでに多孔質ガラス母材中に含有されているので、
これをヘリウムのような不活性ガス雰囲気下に高温で焼
成すると、このものは容易に透明ガラス化されるので、
希土類元素ド−プ石英ガラスを容易に得ることができる
という有利性が与えられる。
焼結時においてガラス化を妨害していた多孔質ガラス母
材表面に偏析していたアルミニウム化合物が火炎加水分
解ですでに多孔質ガラス母材中に含有されているので、
これをヘリウムのような不活性ガス雰囲気下に高温で焼
成すると、このものは容易に透明ガラス化されるので、
希土類元素ド−プ石英ガラスを容易に得ることができる
という有利性が与えられる。
【図１】SiCl4、 GeCl4、 AlCl3 の火炎加水分解による多
孔質ガラス母材製造装置の縦断面図である。
孔質ガラス母材製造装置の縦断面図である。
【図２】本発明により得られた希土類元素ド−プ石英ガ
ラスのエルビウム含有量グラフである。
ラスのエルビウム含有量グラフである。
【図３】本発明により得られた希土類元素ド−プ石英ガ
ラスのアルミニウム含有量グラフである。
ラスのアルミニウム含有量グラフである。
フロントページの続き (72)発明者 田家 実 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 島田 忠克 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 神屋 和雄 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平３−252320（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】けい素化合物の火炎加水分解によって生成
したシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガラス母材に希
土類元素化合物およびアルミニウム化合物を添加したの
ち、高温で焼結して透明ガラス化する方法において、ア
ルミニウム化合物の火炎加水分解で生成したアルミニウ
ム酸化物をけい素化合物の火炎加水分解で発生したシリ
カ微粉末と共に担体上に堆積してアルミニウム酸化物を
含有する多孔質ガラス母材を作成し、これを希土類元素
化合物の溶液に浸漬したのち、高温で焼結してなること
を特徴とする希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3089744A JP2599511B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
| US07/858,045 US5246475A (en) | 1991-03-28 | 1992-03-26 | Method for preparing a fused silica glass body co-doped with a rare earth element and aluminum |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3089744A JP2599511B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04300219A JPH04300219A (ja) | 1992-10-23 |
| JP2599511B2 true JP2599511B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=13979270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3089744A Expired - Lifetime JP2599511B2 (ja) | 1991-03-28 | 1991-03-28 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5246475A (ja) |
| JP (1) | JP2599511B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5439495A (en) * | 1992-09-11 | 1995-08-08 | Olympus Optical Co., Ltd. | Solution doping of sol gel bodies to make graded index glass articles |
| US6289698B1 (en) * | 1996-08-02 | 2001-09-18 | Corning Incorporated | Method of making a fiber preform with increases in alumina concentration at radial distances |
| JP3617586B2 (ja) * | 1997-07-08 | 2005-02-09 | 株式会社東海 | バーナー用炎色部材の製造方法および炎色素材 |
| US6290735B1 (en) * | 1997-10-31 | 2001-09-18 | Nanogram Corporation | Abrasive particles for surface polishing |
| US6056868A (en) * | 1998-05-22 | 2000-05-02 | Cheah; Kok Wei | Rare earth doping of porous silicon |
| FI116469B (fi) * | 1998-10-05 | 2005-11-30 | Liekki Oy | Liekkiruiskutusmenetelmä ja -laitteisto monikomponenttilasin valmistamiseksi |
| DE19847161A1 (de) * | 1998-10-14 | 2000-04-20 | Degussa | Mittels Aerosol dotiertes pyrogen hergestelltes Siliciumdioxid |
| US20020173416A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-11-21 | Ellison Adam J. | Dispersal of optically active ions in glass |
| JP4158910B2 (ja) * | 2001-10-15 | 2008-10-01 | 古河電気工業株式会社 | 希土類元素添加ガラスの製造方法およびそれを用いた光増幅用ファイバ |
| CA2383160A1 (en) * | 2002-04-24 | 2003-10-24 | Groupe Minutia Inc. | Production of optical glass precursors in powder form containing nanocrystals |
| US20040226319A1 (en) * | 2003-05-15 | 2004-11-18 | Macchesney John Burnette | Chemical powder deposition method for the manufacture of optical fiber preforms and optical fibers |
| WO2005082801A2 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-09 | Corning Incorporated | Optical fiber and method for making such fiber |
| US7365037B2 (en) * | 2004-09-30 | 2008-04-29 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Quartz glass having excellent resistance against plasma corrosion and method for producing the same |
| WO2007049705A1 (ja) * | 2005-10-26 | 2007-05-03 | Fujikura Ltd. | 希土類添加コア光ファイバ及びその製造方法 |
| US20070240454A1 (en) | 2006-01-30 | 2007-10-18 | Brown David P | Method and apparatus for continuous or batch optical fiber preform and optical fiber production |
| FR2939246B1 (fr) * | 2008-12-02 | 2010-12-24 | Draka Comteq France | Fibre optique amplificatrice et procede de fabrication |
| FR2939522B1 (fr) * | 2008-12-08 | 2011-02-11 | Draka Comteq France | Fibre optique amplificatrice resistante aux radiations ionisantes |
| US9975802B2 (en) * | 2013-05-31 | 2018-05-22 | Corning Incorporated | Method for making low bend loss optical fiber preforms |
| CN103864292B (zh) * | 2014-02-28 | 2016-06-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 含氟低折射率Yb3+掺杂石英玻璃的制备方法 |
| US20150284286A1 (en) * | 2014-04-08 | 2015-10-08 | Corning Incorporated | Method for making preforms and optical fibers |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS583980A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-10 | エリス・テイ−・クレイトン | ポ−タブルな機械的メツキ装置及び該装置によるメツキ方法 |
| JPH0662311B2 (ja) * | 1988-12-07 | 1994-08-17 | シツプ‐ソシエタ・イタリアーナ・ペル・レセルチツイオ・デル・テレコミニカイオーニ・ピー・アー | シリカを基材としたファイバープリフォームのコアをドープする方法 |
| US5141549A (en) * | 1991-05-17 | 1992-08-25 | The Charles Stark Draper Laboratories | Method of fabricating rare earth doped planar optical waveguide for integrated optical circuit |
| US5151117A (en) * | 1991-06-14 | 1992-09-29 | Corning Incorporated | Solution doping of porous preforms |
-
1991
- 1991-03-28 JP JP3089744A patent/JP2599511B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-03-26 US US07/858,045 patent/US5246475A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5246475A (en) | 1993-09-21 |
| JPH04300219A (ja) | 1992-10-23 |
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