JPH04367523A - ガラス体を作成する方法 - Google Patents

ガラス体を作成する方法

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JPH04367523A
JPH04367523A JP3356424A JP35642491A JPH04367523A JP H04367523 A JPH04367523 A JP H04367523A JP 3356424 A JP3356424 A JP 3356424A JP 35642491 A JP35642491 A JP 35642491A JP H04367523 A JPH04367523 A JP H04367523A
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JP
Japan
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preform
glass
dopant
solvent
porous
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Application number
JP3356424A
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English (en)
Inventor
Roger F Bartholomew
ロジャ− フランク バ−ソロミュウ
Andrea L Sadd
アンドレア ルイ−ズ サッド
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Corning Inc
Original Assignee
Corning Inc
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Filing date
Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0095Solution impregnating; Solution doping; Molecular stuffing, e.g. of porous glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/01433Reactant delivery systems for delivering and depositing additional reactants as liquids or solutions, e.g. for solution doping of the porous glass preform
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/30Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
    • C03B2201/34Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with rare earth metals, i.e. with Sc, Y or lanthanides, e.g. for laser-amplifiers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/80Feeding the burner or the burner-heated deposition site
    • C03B2207/85Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00Glass manufacturing
    • Y10S65/901Liquid phase reaction process

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は多孔質ガラスを溶液ド−
ピング(solution doping)によって光
ファイバ・プリフォ−ムを作成することに関する。
【0002】
【従来の技術】商業ベ−スとしては、光ファイバは一般
に0.7ミクロンから1.7ミクロンまでにわたるスペ
クトルの光領域の少なくとも一部分において損失が1d
B/km以下となるようにして通常作成されている。こ
のファイバはコアとクラッドよりなり、クラッドは少な
くとも一部分においてコアに関連した屈折率より低い屈
折率を有している。このような低損失光ファイバは主と
してシリカよりなるガラスで作成されている、すなわち
そのガラス組成は50%以上のシリカを含んでいる。
【0003】光ファイバを作成するために用いられるド
−パントはゲルマニアのような主要でかつ最も広く用い
られているド−パントである屈折率増加ド−パントと、
リンのような他のマイナ−なド−パント、他の屈折率増
加ド−パント、およびフッ素や臭素のような屈折率減少
ド−パントを含む。光ファイバでの使用を考えられる他
のド−パントとしては、Al、Zr、Nb、Ta、Ga
、In、Sn、Sb、Bi、4f希土類(原子番号57
−71)、およびアルカリ土類Be、Mg、Ca、Zn
、Sr、Cd、およびBaがある。これらのうち、ある
種の希土類をド−プした光ファイバがファイバ・レ−ザ
、アテネ−タ、センサ等を含む種々の用途において関心
を持たれている。
【0004】光ファイバは通常金属塩化物を酸化させる
ことによって作成される。塩化物が用いられるのは、比
較的低い温度で蒸発してそれらが酸化されるホットゾ−
ンに輸送できるからである。ここで「ホットゾ−ン」(
hot zone)というのは、ガラス形成反応物蒸気
が酸化されるガラスプリフォ−ム作成装置の領域を意味
する。四塩化ケイ素および四塩化ゲルマニウムに対して
通常用いられる蒸発技術としては、バブリング(bub
bling)、直接蒸発、およびフラッシュ蒸発がある
。商業的に用いられている他の塩化物として、塩化臭素
および塩化リンがるが、これらも室温で液体または気体
である。しかし、光導波路に使用できる他の幾つかの金
属酸化物があり、それらは室温では固体であり、沸騰す
るのではなくて昇華するものであってもよいし、なくて
もよい。このような性質のため、これらの材料を従来の
システムで輸送するのはほとんど不可能である。
【0005】反応ゾ−ンに輸送するのが容易でないかあ
るいはホットゾ−ンで作成中にガラス内に導入される場
合には十分な量で混入できないド−パントをガラスプリ
フォ−ム中に混入さてるために溶液ド−ピング技法が用
いられている。例えば、米国特許第3859073号お
よびエレクトロニクス・レタ−ズ、1987年3月26
日号、vol. 23、No. 7、pp.329−3
31におけるジェイ.イ−.タウンセンド外の「希土類
をド−プした光ファイバの作成のための溶液ド−ピング
技法」という刊行物を参照された。上記米国特許第38
59073号は多孔質プリフォ−ムが円筒状マンドレル
の外表面上に沈積されるいわゆる「外付け法」によって
作成されたプリフォ−ムに関するものである。上記タウ
ンセンド外の刊行物は多孔質被覆を基体チュ−ブの内表
面上に堆積させることができるいわゆる「内付け法」に
関するものである。
【0006】上記米国特許第3859073号によれば
、1種類以上の反応化合物が蒸気の形でバ−ナに輸送さ
れ、そして炎内で反応して全体にわたって連続した開放
微細孔の網状組織を有する多孔質プリフォ−ム形成する
ために沈積されるガラス粒子を生成する。このプリフォ
−ム内の粒子は、液体と接触しても分離したりあるいは
そのプリフォ−ムを崩壊させたりしないのに十分な程度
に互いに付着していなければならない。同時に、ド−パ
ント溶液を効果的に含浸させるためには連続した微細孔
の網状組織が必要とされる。従って、含浸時におけるプ
リフォ−ム内への液体の浸入を阻止するように粒子を稠
密にすることはできない。上記米国特許第385907
3号では、最適処理のための多孔率は約75%であり、
かつ60〜90%の範囲内の多孔率を有するプリフォ−
ムが有用であることを教示している。一般的なル−ルと
しては、微細孔の直径は10.0ミクロンと0.001
ミクロンの範囲内であると言われている。多孔質プリフ
ォ−ムは冷却されそしてド−パントを含んだ溶液に浸漬
され、それによって微細孔の少なくとも一部分がそれら
の微細孔内に固体として沈積するド−パント材料で充填
される。このようにして得られたガラス物品が光ファイ
バのコアまたは中心部分を形成すべきものである場合に
は、このガラス物品はクラッド材料を与えられ、そして
延伸されてファイバとなされる。そのクラッドはド−プ
されたガラス物品をクラッドガラスチュ−ブに挿入する
ことによってあるいはド−プされたガラス物品の外表面
上に付加的なクラッドガラス粒子を沈積させることによ
って付加することができる。
【0007】溶液ド−ピング技法ではド−パント成分の
水溶液またはアルコ−ル溶液を一般に用いている。おそ
らく内付け法で形成された多孔質被覆は多孔質領域が外
側シリカ壁で支持されているからこのような溶液の作用
に耐えることができる。しかし、光ファイバプリフォ−
ムが水溶液またはアルコ−ル溶液に多孔質プリフォ−ム
を浸漬することを含む方法によって作成されたものであ
る場合には、溶剤に浸漬中に崩壊したりあるいは乾燥時
プリフォ−ムの外側層に亀裂が生じたりして、プリフォ
−ムが使い物にならなくなることが多い。商業用として
はより大きいプリフォ−ムが好まれるが、このような大
きいプリフォ−ムは水またはアルコ−ルに浸漬中に破壊
する危険性がそれだけ大きくなる。このような破損は多
孔質光ファイバプリフォ−ムにおいて極めて大きい領域
を占めているシリカ表面に対する溶剤の水素結合から生
ずる応力によって生じうる。
【0008】
【本発明が解決しようとする課題】従って、本発明のひ
とつの目的はド−ピングされつつある多孔質ガラスプリ
フォ−ムに悪影響を与えない溶液ド−ピング技法を提供
することである。他の目的はガラスの初期生成じそのガ
ラス中に容易に混入されない希土類酸化物のようなある
種のド−パントを痕跡量より多く含んだ高シリカ含有光
ファイバを作成する方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも一部分が相互連結微細孔を有しているガラスプリフ
ォ−ムにド−パントを添加することによってガラス体が
作成される。この多孔質プリフォ−ムはOH基を有して
いない溶剤より主としてなる有機溶剤に溶解されたド−
パントの塩の溶液中に浸漬される。好ましい溶剤として
はOHのないものであり、コストおよび利用度の点でア
セトンが特に適している。この溶剤が除去され、そして
多孔質ガラスプリフォ−ムが熱処理によってコンソリデ
−ト(consolidate)され、少なくとも一部
分に上記ド−パントが分散された非多孔質のガラス体と
なされる。
【0010】上記ド−パントの塩がOHを含まない溶剤
に溶解しな場合には、その塩がまずそれを溶解して予備
溶液を作成するのに必要なだけの少量のOH含有溶剤に
溶解される。次にOHを含有しない溶剤が加えられて所
望の量の最終溶液が得られ、それに多孔質プリフォ−ム
が浸漬され得る。
【0011】本発明の方法は主としてシリカよりなるガ
ラスで形成される光ファイバを作成するのに特に適して
いる。好ましい実施例では、1種以上の反応化合物が炎
中に導入され、そこで酸化されてガラス粒子を生成し、
そしてその粒子が支持体上に沈積され、そこで互いに付
着して多孔質のガラスプリフォ−ムを形成する。この多
孔質ガラスプリフォ−ムを上述のようにド−パントの塩
の溶液に浸漬することによってこのプリフォ−ムにド−
パントが添加される。溶剤が除去されそして多孔質ガラ
スプリフォ−ムがコンソリデ−トされてそれの少なくと
も一部分にそのド−パントが分散された非多孔質のガラ
ス体となされた後で、そのガラス体から光ファイバが作
成される。
【0012】ファイバ延伸工程に先立って、ガラス体に
付加的なクラッドガラスを設けることができる。これは
例えばガラス体上にクラッドガラス粒子を沈積させるこ
とによって行うことができる。ガラス体上にクラッドガ
ラス粒子を沈積させる前に、そのガラス体を延伸してそ
れの直径を減少させてもよい。
【0013】
【実施例】本発明は基本的に、(a)粒子沈積、(b)
含浸、(c)溶剤除去、および(d)コンソリデ−ショ
ンの工程を含む。これらの工程で、含浸工程で供給され
たド−パントを少なくとも一部分含んだ非多孔質のガラ
ス体が得られる。このガラス体は通常円筒体の形をして
おり、この円筒体を直接延伸して光ファイバとすること
のできるし、あるいはそれに延伸母材を形成するための
付加的な材料を与えて、その延伸母材を延伸してファイ
バ]とすることもできる。上記円筒体はクラッドガラス
チュ−ブに挿入されるロッドであってもよく、あるいは
コアガラスのロッドが挿入されるチュ−ブであってもよ
い。他の実施例では、工程(a)はコアガラスのロッド
の表面上に粒子を沈積させることよりなる。工程(b)
、(c)および(d)が実施れた後に得られるプリフォ
−ムはド−パントを含有したガラスの付着層によって包
囲されたコアガラスロッドよりなる。このプリフォ−ム
を直接延伸してファイバにしてもよいし、あるいは延伸
工程の前に付加層を沈積してもよい。
【0014】粒子沈積工程は任意の処理形式であってよ
く、それによって加熱されたガラス粒子が沈積されて、
互いに付着して相互連結微細孔を有する多孔質ガラス被
覆を形成する粒子の集合(aggregation)ま
たは堆積(deposit)を形成する。この堆積は通
常処理のあとで光ファイバの少なくとも一部分を形成す
るようになされる。粒子沈積工程は通常前述した外付け
法または内付け法によって、あるいは米国特許第422
44046号に開示されている形式の軸付け法(axi
al process)によって行われる。
【0015】本発明の好ましい実施例によれば、含浸工
程はOH基を含まない有機溶剤に溶解されたド−パント
の塩を含んだ溶液に多孔質プリフォ−ムを浸漬すること
よりなる。このような溶剤の例としては、アセトン、メ
チルエチルケトン、3−ペンタノンおよび2−ペンタノ
ン、ならびにアセトアルデヒドおよびプロピオンアルデ
ヒドのようなアルデヒデド類がある。上記の方法で作成
される種類の微細孔質シリカは表面積が大きいため非常
に反応性が強い。水またはアルコ−ルのような溶剤中の
OH基がこのよのうなシリカを含んだプリフォ−ムの微
細孔内の表面に結合し、かつド−プしたプリフォ−ムが
乾燥するときに生ずる応力がプリフォ−ム破損の原因と
なると考えられる。希土類の硝酸塩がこのような溶剤に
溶解して溶液を作成することができることが認められた
。このような有機溶剤中のイオン物質の溶解度は予想で
きなかった。溶液中に1種類以上のド−パント化合物を
用いてコド−ピング(codoping)を実施できる
。プリフォ−ム、従って最終製品に沈積されるド−パン
トのレベルは溶液中のド−パント化合物の濃度によって
信頼可能に決定され得る。
【0016】硝酸アルミニウム、塩化エルビウム、塩化
アルミニウムのようなある種の塩はOHを含まない溶剤
には直接溶解しない。しかし、この種の塩はアルコ−ル
や水のようなOHを含んだ溶剤には溶解する。そのよう
な塩を溶解させるのに必要な程度に少量のOH含有溶剤
中にその塩を溶解させることによって適当な溶液が作成
され、そしてその後で所望の量にするためにOHを含ま
ない溶剤が添加される。本発明の目的のためには、OH
を含んだ溶剤が混合溶剤溶液の30容積%いかである。 このような混合溶剤溶液は乾燥時にプリフォ−ムを破損
することなしに多孔質ガラスプリフォ−ムにド−プする
ために用いることができた。
【0017】多孔質プリフォ−ム中にド−パント溶液が
導入された後で、その溶剤は除去、プリフォ−ムの微細
孔内にド−パント化合物の沈積物が残る。溶剤は十分に
揮発性であるかR、含浸されたプリフォ−ムを溶液から
取り出してそれを溶剤を蒸発させるのに十分な時間のあ
いだ大気中に保持するだけで乾燥が生ずる。この処理を
速くするためには、プリフォ−ムの表面に空気、好まし
くは熱風を吹掛ければよい。しかし、不均一な加熱を避
けるように注意しなければならない。この工程によって
プリフォ−ムの微細孔内にド−パント化合物が残される
【0018】コンソリデ−ション工程は含浸した多孔質
ガラスプリフォ−ムを溶融させあうりはコンソリデ−ト
させて非多孔質のガラス体とするための熱処理を含む。 この工程はガラス粒子が完全にコンソリデ−トする前に
その粒子を脱水するためにプリフォ−ムの微細孔に乾燥
ガスを流すことを含むのが有利である。
【0019】本発明は多孔質のシリカを含有したプリフ
ォ−ムが外付け法で作成される特定の実施例に関しても
説明される。
【0020】光ファイバのコア用母材が米国特許第44
86212号に開示されているのに類似した方法で作成
される。図1を参照すると、テ−パ付きマンドレルの大
径端部が隆起部12を有するガラスチュ−ブ11に挿入
されている。マンドレル10は米国特許第416522
3号に開示された形式のバ−ナに関して回転運動を直線
往復運動を行なわされる。反応化合物がバ−ナから放出
されるが、その反応化合物はバ−ナの炎内で酸化されて
ガラス粒子の流れ22を形成し、この流れがマンドレル
10に向けて送られる。補助バ−ナ23は沈積時に多孔
質ガラスプリフォ−ムの端部に向けて炎を送る。このよ
うな補助バ−ナを使用することが米国特許第48102
76号に教示されている。
【0021】コアガラス粒子の被覆28をマンドレル1
0上に沈積させるだけで多孔質コアプリフォ−ムを作成
することができる。しかし、図2示されているように被
覆28の表面上にクラッドガラス粒子の薄い被覆29を
沈積させることも有益である。各被覆28および29は
バ−ナ13に対してマンドレルを多数回移動させてガラ
ス粒子の複数の層を堆積させることによって形成される
。チュ−ブとプリフォ−ムとの間の結合を強めるために
隆起部12の近傍で付加的なバ−ナ通過を行うことがで
きる。
【0022】プリフォ−ム32が旋盤から取外され、そ
してマンドレルがチュ−ブ11から除去され、それによ
って多孔質プリフォ−ムに長手方向の孔31が残る。隆
起部12はチュ−ブ11をプリフォ−ムに付着させる。 そのチュ−ブがプリフォ−ムの一端部に残って爾後の処
理に対する支持を与える。
【0023】プリフォ−ム32は溶液をプリフォ−ムの
微細孔内に十分に浸透させるのに十分な時間のあいだ図
3に示されている態様で溶液33に浸漬される。プリフ
ォ−ム内に最大ド−パント濃度を得るために必要な浸漬
時間はプリフォ−ムのサイズおよび種類とそれの密度に
依存する。プリフォ−ムが軸線方向の孔31を有する場
合にはその孔とプリフォ−ムの外表面からプリフォ−ム
内に溶液が流れるので、浸漬時間が短縮される。5.5
mmと6.2mmの間でテ−パした内径を有し、外径が
43.18mm、密度が約0.43g/ccのプリフォ
−ムでは、最少浸漬時間は5時間であった。
【0024】図4の実施例では、溶液(矢印41)はチ
ュ−ブ11を通って孔31に流入する。この孔の端部は
プラグ43で塞がれているから、その溶液は矢印42に
よって示されているように多孔質プリフォ−ム中を流れ
る。この方法は半径方向に増大するド−パント濃度を生
ずる。
【0025】多孔質プリフォ−ムから溶剤が除去され、
そしてそのプリフォ−ムが脱水されかつコンソリデ−ト
されて図5の非多孔質ガラス体55を形成する。コンソ
リデ−ションは米国特許第4125388号の教示に従
って行われうる。多孔質プリフォ−ム32がコンソリデ
−ション用炉マッフル内にある間に、塩素を含んだガス
のような脱水ガスがチュ−ブ11を通ってプリフォ−ム
の孔31内に流入され、そしてマッフR中をフラッシン
グガス(flushing gas)が上方に流れる。
【0026】コアガラス領域の半径と全体の半径との比
が所望のファイバコア直径を与えるのに十分であれば、
コンソリデ−トしたプリフォ−ム55を延伸して直接光
ファイバにすることができる。あるいは、光ファイバを
延伸する前にプリフォ−ム55に付加的なクラッド材料
を与えてもよい。例えば、コンソリデ−トしたプリフォ
−ムをクラッドガラスのチュ−ブに挿入し、その複合体
を延伸して光ファイバを作成してもよい。
【0027】好ましい実施例では、プリフォ−ム55が
図5の装置に挿入され、そこでシリカロッド58の一端
部がプリフォ−ムの下端部に融着され、かつそのロッド
の他端部はモ−タで駆動されるトラクタ59によって係
合される。プリフォ−ムの下端部が下方に引張られるに
つれて、それの直径が減少し、脱気された孔56がコラ
ップス(collapse)し、そしてロッド60が延
伸される。 ロッド60から複数のセクション63が切断され、そし
て各セクション63が旋盤に装着され、そこでそのセク
ションは複合プリフォ−ム65を作成するために付加的
なクラッドガラス粒子64(図6)を沈積するためのマ
ンドレルとして機能する。各複合プリフォ−ムはコンソ
リデ−ション用炉マッフルに挿入され、そこで脱水され
そしてコンソリデ−トされて延伸用母材を形成し、その
母材が延伸されて光ファイバが作成される。
【0028】下記の実施例は光ファイバのコアに希土類
酸化物を混入させるために本発明の方法が用いられ得る
態様を示している。
【0029】アルミナマンドレル10(図1)がガラス
チュ−ブ11に挿入された。このマンドレルの外径はそ
れの107cmの長さにわたって5.5mmから6.5
mmまでテ−パしていた。マンドレル10の端部が旋盤
に取り付けられ、そこで回転運動と直線往復運動を与え
られた。バ−ナ13がマンドレル10から11.5cm
のところに配置された。補助バ−ナ23が沈積時に多孔
質ガラスプリフォ−ムの端部に向けて炎を送った。
【0030】バ−ナにガス・蒸気混合物を輸送するシス
テムは米国特許第4314837号に開示されているも
のと類似していた。第1の容器内では液体SiCl4が
40℃に維持され、そして第2の容器内ではGeCl4
が37℃に維持され、約20 psiの蒸気を発生した
。被覆28および29(図1および図2)の沈積時に、
第1および第2の容器から蒸気が計量され、そしてバ−
ナオフリフィス16に供給される前に酸素と予備混合さ
れた。バ−ナは25秒でマンドレルの29cmのセクシ
ョンを移動した。
【0031】多孔質プリフォ−ムの除去を容易にするよ
うにバ−ナが1回通過するあいだにマンドレル上にカ−
ボン粒子を沈積させるために、バ−ナに支持されたアセ
チレント−チが最初に用いられた。バ−ナ13に0.6
5 slpm(standard liters pe
r minute)の流量でGeCl4が流れている状
態で、そのバ−ナに1.0 slpmの流量で245分
のあいだSiCl4を流すことによって、GeO2を1
6.8重量%ド−プされたシリカガラス粒子の被覆28
が沈積された。 この操作の最後の10分間バ−ナにわずかに1.0sl
pmのSiCl4を流すことによって被覆29が形成さ
れた。このようにして得られたプリフォ−ムは長さが2
9cm、直径が43.2cmであり、そして平均密度は
約0.43g/cm3であった。プリフォ−ムが冷却さ
れ、そしてマンドレルがチュ−ブ11を通じて除去され
た。エルビウム・ナイトレ−ト・ペンタハイドレ−ト(
erbium nitrate pentahydra
te)を0.589グラム溶解したアセトンの溶液10
00 mlを含んだビ−カにプリフォ−ム32が浸漬さ
れた。Erをド−プした多孔質プリフォ−ムを1日間フ
ュ−ム・フ−ド(fume hood)内に配置し、そ
してその後で約90℃で約16時間加熱することによっ
て、そのプリフォ−ムから溶剤が蒸発された。さらに、
米国特許第4125388号の教示に従って脱水され、
そしてコンソリデ−トされた。マッフルの中央長手方向
領域で約1490℃の最高温度が生じた。コンソリデ−
ション処理時、塩素 26.5 sccm (stan
dard cubic centimeters pe
r minute)、ヘリウム 500 sccm お
よび酸素 50 slpm を含んだガス混合物が、マ
ンドレルを除去した後の中心孔内に流入された。ヘリウ
ム・フラッシング・ガスが 40 slpmの流量でマ
ッフルの底から上方に流された。プリフォ−ムがコンソ
リデ−ション用炉マッフル内に徐々に下降され、それに
よってコンソリデ−トしたプリフォ−ム55が形成され
た。
【0032】コンソリデ−トしたプリフォ−ムが延伸用
炉内に入れられ、そこでそれの孔が脱気された。管状体
の下端部が1900℃に加熱され、そして約15 cm
/min の速度で延伸されて5 mm の中実ガラス
コア・ロッドとなされ、このロッドが切断されてセクシ
ョンとなされた。これらのセクションのうちの1つが旋
盤に装着され、そこでこのセクションがマンドレルとし
て機能し、このマンドレル上にSiO2クラッドス−ト
が43.24 mm の外径となるまで沈積された。こ
のようにして得られた最終の多孔質プリフォ−ムが、1
490℃の最高温度を有するコンソリデ−ション用炉マ
ッフル内に徐々に挿入され、そこでコンソリデ−トされ
て延伸用母材となされた。コンソリデ−ション処理時に
、ヘリウム 40 slpm、塩素 0.5 slpm
 および酸素 0.550 slpm を含んだガス混
合物がマッフル中を流された。その延伸用母材は延伸炉
内に入れられ、そこでそれの先端部を約2100℃に加
熱され、そして125μmの外径を有するファイバが延
伸された。このファイバは延伸時に直径250μmのウ
レタン・アクリレ−ト被覆をコ−ティングされた。この
ファイバのコアの実効ステップインデックス半径は3.
2μmであった。このファイバのErをド−プされた領
域におけるEr2O3平均濃度は310 ppm(10
5 ppm Er3+)であった。
【0033】下記の相違点を除けば、Erをド−プした
ファイバを作成するために用いられた方法と類似した方
法が、エルビウムをド−プしたファイバ増幅器について
使用するのに適したYbをド−プした吸光ファイバを作
成するために用いられた。
【0034】長さ約70cm、外径63.22mmおよ
び平均密度約0.41g/ccの多孔質プリフォ−ムが
下記のようにして沈積された。バ−ナへのSiCl4の
流れは263分の期間に2.7 slpmと4.15 
slpmとの間で傾斜をつけられた。その期間のうち最
初の261分の間は、バ−ナへのGeCl4の流れは、
GeO2を9.7重量%ド−プされたSiO2よりなる
被覆28を形成するために0.24 slpmと0.3
6 slpmの間で傾斜を付けられた。この操作の最後
の2分間に薄いSiO2被覆29が沈積された。多孔質
プリフォ−ムが冷却され、マンドレルから取外され、そ
して硝化イッテリビウムを1グラム溶解したアセトンよ
りなる溶液を1000 ml含んだビ−カ内に浸漬され
た。Ybをド−プされた多孔質プリフォ−ムをフュ−ム
・フ−ド内に4日間配置し、そしてその後でこのプリフ
ォ−ムを約90℃で約16分間加熱するすることによっ
てこのプリフォ−ムから溶剤が除去された。次に、この
プリフォ−ムがコンソリデ−ション用炉マッフル内に徐
々に挿入され、そこで脱水され、そしてコンソリデ−ト
された。このマッフルの長手方向の中央領域で約149
0℃の最高温度が生じた。この処理時に、塩素70 s
ccmおよびヘリウム 1200 sccmを含んだガ
ス混合物が中心孔内にながされ、その間マッフルの底か
ら上方に40 lpmヘリウム・フラッシング・ガスが
流された。
【0035】コンソリデ−トしたプリフォ−ムが延伸用
炉内に配置され、そこでそれの孔が脱気された。管状体
の下端部が約1900℃に加熱され、そして延伸されて
5 mmの中実ガラスコア・ロッドが形成され、このロ
ッドがセクションを形成するために切断された。これら
のセクションのうちの1つが旋盤に装着され、そこでそ
れがマンドレルとしれ機能し、このマンドレル上にSi
O2クラッドス−トの被覆が53.5 mmの外径まで
沈積された。このようにして得られた最終の多孔質プリ
フォ−ムが、約1490℃の最高温度を有するコンソリ
デ−ション用炉マッフル内に徐々に挿入され、そこでコ
ンソリデ−トされて延伸用母材となされた。このコンソ
リデ−ション処理時に、ヘリウム20 slpmおよび
塩素200 sccmを含んだガス混合物がマッフルに
流された。この延伸用母材が延伸されて125μmの外
径を有するファイバを形成し、このファイバに直径25
0μmのウレタン・アクリレ−ト被覆が設けられた。こ
のファイバのコアの実効ステップインデックス半径は8
.2μmであった。このファイバのYbをド−プされた
領域におけるYb2O3の平均濃度は870 ppm(
290ppm Yb3+)であった。
【図面の簡単な説明】
【図1】マンドレルにガラス粒子の一連の被覆を添着さ
せる状態を示している。
【図2】マンドレルにガラス粒子の一連の被覆を添着さ
せる状態を示している。
【図3】溶液ド−ピング工程を概略的に示している。
【図4】溶液ド−ピング工程を概略的に示している。
【図5】コンソリデ−トしたプリフォ−ムからロッドを
延伸する状態を示す概略図である。
【図6】図5の方法で作成されたロッドにクラッドガラ
ス粒子の被覆を添着する状態を示している。
【符号の説明】
10    マンドレル 11    ガラスチュ−ブ 12    隆起部 22    ガラス粒子の流れ 23    補助バ−ナ 32    プリフォ−ム 31    長手方向の孔 43    プラグ 55    非多孔質ガラス体 60    ロッド 63    セクション 65    複合プリフォ−ム

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ガラス体を作成する方法において、相
    互連結微細孔を有する多孔質ガラスプリフォ−ムを、O
    H基を有しない溶剤より主としてなる有機溶剤に溶解さ
    れたド−パントの塩の溶液に浸漬することによって上記
    プリフォ−ムにド−パントを添加し、前記溶剤を除去し
    、そして前記多孔性ガラスプリフォ−ムを熱処理してコ
    ンソリデ−トさせ、少なくとも一部分に前記ド−パント
    を分散した非多孔質ガラス体とすることよりなるガラス
    体を作成する方法。
  2. 【請求項2】  前記溶液が前記溶剤に希土類塩を溶解
    したものよりなる請求項1の方法。
  3. 【請求項3】  前記溶液が前記溶剤に前記ド−パント
    の硝酸塩を溶解したものよりなる請求項1の方法。
  4. 【請求項4】  前記溶剤がケトンである請求項1の方
    法。
  5. 【請求項5】  前記溶剤がアセトンである請求項1の
    方法。
  6. 【請求項6】  前記溶剤がOH基を有しない有機溶剤
    である請求項1の方法。
  7. 【請求項7】  前記添加する工程が、初期溶液を作成
    するのにちょうど十分な量のOH含有有機溶剤に前記ド
    −パントを溶解し、その後で前記多孔質プリフォ−ムを
    浸漬する溶液を作成するのに十分な量のOHを含まない
    溶剤を前記初期溶液に加えることよりなる請求項1の方
    法。
  8. 【請求項8】  前記添加する工程が、加熱されたガラ
    ス粒子を支持体上に沈積させることよりなり、その支持
    体上で前記粒子が互いに付着して前記多孔質ガラスプリ
    フォ−ムを形成し、前記粒子は主としてシリカよりなる
    請求項1の方法。
  9. 【請求項9】  前記沈積させる工程が、1以上のの反
    応化合物を炎内に導入し、その炎内で前記反応化合物が
    酸化されてガラス粒子を形成し、このガラス粒子が前記
    支持体上に沈積されて前記多孔質ガラスプリフォ−ムを
    形成する請求項8の方法。
  10. 【請求項10】  前記非多孔質ガラス体から光ファイ
    バを形成する工程をさらに含む請求項9の方法。
  11. 【請求項11】  ガラス物品を作成する方法において
    、加熱されたガラス粒子を支持体上に沈積させ、この支
    持体上で前記ガラス粒子が互いに付着して相互連結微細
    孔を有する多孔質ガラスプリフォ−ムを形成し、OH基
    を有しない有機溶剤にド−パントの塩を溶解したものよ
    りなる溶液に前記多孔質ガラスプリフォ−ムを浸漬する
    ことによって前記ド−パントを前記プリフォ−ムに添加
    し、前記溶剤を除去し、前記多孔質ガラスプリフォ−ム
    を熱処理してコンソリデ−トさせ、少なくとも一部分に
    前記ド−パントを分散された非多孔質のガラス体を形成
    し、前記ガラス体から物品を形成することよりなるガラ
    ス物品を作成する方法。
  12. 【請求項12】  前記溶液が溶剤に希土類塩を溶解し
    たものよりなる請求項11の方法。
  13. 【請求項13】  前記溶剤がケトンである請求項11
    の方法。
  14. 【請求項14】  前記溶剤がアセトンである請求項1
    1の方法。
  15. 【請求項15】  前記沈積させる工程が、1以上のの
    反応化合物を炎内に導入し、その炎内で前記反応化合物
    が酸化されてガラス粒子を形成し、このガラス粒子が前
    記支持体上に沈積されて前記多孔質ガラスプリフォ−ム
    を形成する請求項11の方法。
  16. 【請求項16】  前記形成する工程が光ファイバを延
    伸することよりなる請求項11の方法。
  17. 【請求項17】  シリカを含有したガラス光ファイバ
    を作成する方法において、1以上の反応化合物を炎内に
    導入し、その炎内で前記反応化合物を酸化させてガラス
    粒子を生成させ、このガラス粒子Wこ支持体上に沈積さ
    せて相互連結微細孔を有する多孔質ガラスプリフォ−ム
    を形成し、OH基を有しない有機溶剤にド−パントの塩
    を溶解したものよりなる溶液に前記多孔質ガラスプリフ
    ォ−ムを浸漬してそれに前記ド−パントを添加し、前記
    溶剤を除去し、前記多孔質ガラスプリフォ−ムを熱処理
    してコンソリデ−トさせ、少なくとも一部分に前記ド−
    パントを分散された非多孔質ガラス体を形成し、前記ガ
    ラス体から光ファイバを形成することよりなるシリカを
    含有したガラス光ファイバを作成する方法。
  18. 【請求項18】  前記形成する工程が、前記ガラス体
    にクラッドガラスを与えかつそのようにして得られた複
    合体を延伸してファイバを形成することよりなる請求項
    17の方法。
  19. 【請求項19】  前記与える工程が、前記ガラス体上
    にクラッドガラス粒子を沈積させることよりなる請求項
    18の方法。
  20. 【請求項20】  前記与える工程が、前記ガラス体上
    に前記クラッドガラス粒子を沈積させる前に、前記ガラ
    ス体を延伸してそれの直径を減少させことを含む請求項
    19の方法。
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