JPH0585759A - 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 - Google Patents
希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法Info
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- JPH0585759A JPH0585759A JP27208491A JP27208491A JPH0585759A JP H0585759 A JPH0585759 A JP H0585759A JP 27208491 A JP27208491 A JP 27208491A JP 27208491 A JP27208491 A JP 27208491A JP H0585759 A JPH0585759 A JP H0585759A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
- C03B2201/31—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明は光ファイバレ−ザ−、光増幅器、セ
ンサ−素子などに有用とされる希土類元素ド−プ石英ガ
ラスを容易に、かつ確実に得る希土類元素ド−プ石英ガ
ラスの製造方法の提供を目的とするものである。 【構成】 本発明による希土類元素ド−プ石英ガラスの
製造方法は、酸水素火炎に四塩化けい素または四塩化け
い素と四塩化ゲルマニウムを供給し、その火炎加水分解
によって生成したシリカ微粒子またはシリカ微粒子とゲ
ルマニア微粒子を堆積して得た多孔質ガラス母材を高温
で焼結し、透明ガラス化する石英ガラスの製造方法にお
いて、希土類元素化合物を四塩化けい素または四塩化ゲ
ルマニウムに溶解させ、シリカ微粒子またはゲルマニア
微粒子の堆積と同時に希土類元素をド−プすることを特
徴とするものである。
ンサ−素子などに有用とされる希土類元素ド−プ石英ガ
ラスを容易に、かつ確実に得る希土類元素ド−プ石英ガ
ラスの製造方法の提供を目的とするものである。 【構成】 本発明による希土類元素ド−プ石英ガラスの
製造方法は、酸水素火炎に四塩化けい素または四塩化け
い素と四塩化ゲルマニウムを供給し、その火炎加水分解
によって生成したシリカ微粒子またはシリカ微粒子とゲ
ルマニア微粒子を堆積して得た多孔質ガラス母材を高温
で焼結し、透明ガラス化する石英ガラスの製造方法にお
いて、希土類元素化合物を四塩化けい素または四塩化ゲ
ルマニウムに溶解させ、シリカ微粒子またはゲルマニア
微粒子の堆積と同時に希土類元素をド−プすることを特
徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は希土類元素ド−プ石英ガ
ラスの製造方法、特には光ファイバレ−ザ−、光増幅
器、センサ−素子などに有用とされる希土類元素ド−プ
石英ガラスの製造方法に関するものである。
ラスの製造方法、特には光ファイバレ−ザ−、光増幅
器、センサ−素子などに有用とされる希土類元素ド−プ
石英ガラスの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】希土類元素ド−プ石英ガラスは光機能を
有していることから、光ファイバレ−ザ−、光増幅器、
センサ−素子などとして使用されている。しかして、こ
の種の石英ガラスの製造は従来からMCVD法による方法が
知られている（特表昭63-501711 号公報参照）が、これ
は希土類元素酸化物を高温に加熱して蒸発させて反応系
に供給するものであるため、これには供給量の制御が困
難であり、また大型の母材が得られにくいという欠点が
ある。
有していることから、光ファイバレ−ザ−、光増幅器、
センサ−素子などとして使用されている。しかして、こ
の種の石英ガラスの製造は従来からMCVD法による方法が
知られている（特表昭63-501711 号公報参照）が、これ
は希土類元素酸化物を高温に加熱して蒸発させて反応系
に供給するものであるため、これには供給量の制御が困
難であり、また大型の母材が得られにくいという欠点が
ある。
【０００３】他方、この希土類元素ド−プ石英ガラスの
製造については、ガラス形成原料としてのけい素化合物
を酸水素火炎中に送り、この火炎加水分解で生成したシ
リカ微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を作り、この多
孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬して希
土類元素化合物を多孔質ガラス母材に含浸させ、ついで
これを高温で焼結し、透明ガラス化するという方法が提
案されており（特公昭58-3980 号公報参照）、これには
溶液の濃度によってド−プ量が制御できるし、蒸気圧の
低い化合物にも適用できるという利点があるけれども、
しかしこれには多孔質ガラス母材を希土類元素化合物の
溶液に浸漬し、乾燥する際に毛細管現象によって溶媒が
多孔質ガラス母材の表面に移動するときに溶質も同時に
移動してこれが表面近くに蓄積されるために、得られた
ガラスにド−パントの濃度分布ができてしまい、極端な
場合には表面と内部での熱膨張係数の差によってこれが
割れてしまうという問題点があり、これにはまた焼結、
ガラス化のときに希土類元素化合物の一部が揮散してし
まい、所望のド−プ量をもつものが得られなくなるとい
う欠点もある。
製造については、ガラス形成原料としてのけい素化合物
を酸水素火炎中に送り、この火炎加水分解で生成したシ
リカ微粒子を堆積して多孔質ガラス母材を作り、この多
孔質ガラス母材を希土類元素化合物の溶液に浸漬して希
土類元素化合物を多孔質ガラス母材に含浸させ、ついで
これを高温で焼結し、透明ガラス化するという方法が提
案されており（特公昭58-3980 号公報参照）、これには
溶液の濃度によってド−プ量が制御できるし、蒸気圧の
低い化合物にも適用できるという利点があるけれども、
しかしこれには多孔質ガラス母材を希土類元素化合物の
溶液に浸漬し、乾燥する際に毛細管現象によって溶媒が
多孔質ガラス母材の表面に移動するときに溶質も同時に
移動してこれが表面近くに蓄積されるために、得られた
ガラスにド−パントの濃度分布ができてしまい、極端な
場合には表面と内部での熱膨張係数の差によってこれが
割れてしまうという問題点があり、これにはまた焼結、
ガラス化のときに希土類元素化合物の一部が揮散してし
まい、所望のド−プ量をもつものが得られなくなるとい
う欠点もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そのため、これについ
てはド−プ原料の融点以下の温度に保持された酸化雰囲
気内において多孔質ガラス母材中のド−プ原料を酸化す
る工程を付加することも提案されている（特公昭63-601
21号公報参照）が、希土類塩化物を酸化して酸化物に完
全に転換させることは難しく、酸化雰囲気で熱処理して
もかなりの希土類塩化物が残留するためにこれがガラス
工程で揮散し、揮散せずにガラス中に取り込まれたとし
ても塩化物の状態ではガラスネットワ−クの中に入るこ
とができず、微少結晶として分離してしまうので、ガラ
スが白濁した状態となり、光伝送損失の原因となるし、
レ−ザ−発振効率も低いものになるという不利がある。
てはド−プ原料の融点以下の温度に保持された酸化雰囲
気内において多孔質ガラス母材中のド−プ原料を酸化す
る工程を付加することも提案されている（特公昭63-601
21号公報参照）が、希土類塩化物を酸化して酸化物に完
全に転換させることは難しく、酸化雰囲気で熱処理して
もかなりの希土類塩化物が残留するためにこれがガラス
工程で揮散し、揮散せずにガラス中に取り込まれたとし
ても塩化物の状態ではガラスネットワ−クの中に入るこ
とができず、微少結晶として分離してしまうので、ガラ
スが白濁した状態となり、光伝送損失の原因となるし、
レ−ザ−発振効率も低いものになるという不利がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関
するものであり、これは酸水素火炎中に四塩化けい素を
供給し、その火炎加水分解によって生成したシリカ微粒
子を堆積して得た多孔質ガラス母材を高温で焼結し、透
明ガラス化する石英ガラスの製造方法において、希土類
元素化合物を四塩化けい素中に溶解させ、シリカ微粒子
の堆積と同時に希土類元素をド−プすることを特徴とす
るものである。
を解決した希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法に関
するものであり、これは酸水素火炎中に四塩化けい素を
供給し、その火炎加水分解によって生成したシリカ微粒
子を堆積して得た多孔質ガラス母材を高温で焼結し、透
明ガラス化する石英ガラスの製造方法において、希土類
元素化合物を四塩化けい素中に溶解させ、シリカ微粒子
の堆積と同時に希土類元素をド−プすることを特徴とす
るものである。
【０００６】すなわち、本発明者らは希土類元素ド−プ
石英ガラスの効果的な製造方法について種々検討した結
果、希土類元素化合物を予じめ四塩化けい素に溶解させ
ておき、この四塩化けい素を酸水素火炎中で火炎加水分
解させればこれに含まれている希土類元素化合物も火炎
加水分解されて希土類元素酸化物となり、これが四塩化
けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に析
出担体上に堆積されるので、ここに得られる多孔質ガラ
ス母材が希土類元素酸化物を含んだものとなり、これを
高温で焼結し、透明ガラス化して得られる石英ガラスは
希土類元素でド−プされたものになるということを見出
し、これは四塩化けい素をド−パントとなる四塩化ゲル
マニウムと共に火炎加水分解させるときにもこの希土類
元素化合物を四塩化けい素または四塩化ゲルマニウムに
溶解させておけば同じ効果の得られることを確認して本
発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
石英ガラスの効果的な製造方法について種々検討した結
果、希土類元素化合物を予じめ四塩化けい素に溶解させ
ておき、この四塩化けい素を酸水素火炎中で火炎加水分
解させればこれに含まれている希土類元素化合物も火炎
加水分解されて希土類元素酸化物となり、これが四塩化
けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子と共に析
出担体上に堆積されるので、ここに得られる多孔質ガラ
ス母材が希土類元素酸化物を含んだものとなり、これを
高温で焼結し、透明ガラス化して得られる石英ガラスは
希土類元素でド−プされたものになるということを見出
し、これは四塩化けい素をド−パントとなる四塩化ゲル
マニウムと共に火炎加水分解させるときにもこの希土類
元素化合物を四塩化けい素または四塩化ゲルマニウムに
溶解させておけば同じ効果の得られることを確認して本
発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００７】
【作用】本発明は希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方
法に関するものであり、これは四塩化けい素または四塩
化けい素と四塩化ゲルマニウムの火炎加水分解で多孔質
ガラス母材を作り、これを溶融ガラス化して石英ガラス
を製造する方法において、この四塩化けい素または四塩
化ゲルマニウムに予じめ希土類元素化合物を溶解させて
おくことを要旨とするものである。
法に関するものであり、これは四塩化けい素または四塩
化けい素と四塩化ゲルマニウムの火炎加水分解で多孔質
ガラス母材を作り、これを溶融ガラス化して石英ガラス
を製造する方法において、この四塩化けい素または四塩
化ゲルマニウムに予じめ希土類元素化合物を溶解させて
おくことを要旨とするものである。
【０００８】本発明における石英ガラスの製造は公知の
方法にしたがって四塩化けい素または四塩化けい素とド
−パントとしての四塩化ゲルマニウムとを酸水素火炎中
に供給し、その火炎加水分解によって発生したシリカ微
粒子またはシリカ微粒子とゲルマニア微粒子を担体上に
堆積させて多孔質ガラス母材を作り、ついでこれを高温
で焼結し、透明ガラス化するという方法で行なわれる
が、このものは光導電路を形成するのに必要な屈折率分
布を有するものとしてもよい。
方法にしたがって四塩化けい素または四塩化けい素とド
−パントとしての四塩化ゲルマニウムとを酸水素火炎中
に供給し、その火炎加水分解によって発生したシリカ微
粒子またはシリカ微粒子とゲルマニア微粒子を担体上に
堆積させて多孔質ガラス母材を作り、ついでこれを高温
で焼結し、透明ガラス化するという方法で行なわれる
が、このものは光導電路を形成するのに必要な屈折率分
布を有するものとしてもよい。
【０００９】しかし、本発明はこの石英ガラスを希土類
元素でド−プされたものとするということから、この四
塩化けい素または四塩化ゲルマニウムは希土類元素化合
物が添加され、この希土類元素化合物が四塩化けい素ま
たは四塩化ゲルマニウムに溶解されたものとされる。こ
こに使用される希土類元素化合物はネオジム、エルビウ
ム、ユ−ロピウム、セリウムなどの塩化物、硝酸塩、硫
酸塩などとすればよいが、これらは四塩化けい素、四塩
化ゲルマニウムに十分な溶解度をもつものとすることが
必要とされるということからは一般に入手が容易であ
り、溶解度も大きい塩化物とすることがよい。
元素でド−プされたものとするということから、この四
塩化けい素または四塩化ゲルマニウムは希土類元素化合
物が添加され、この希土類元素化合物が四塩化けい素ま
たは四塩化ゲルマニウムに溶解されたものとされる。こ
こに使用される希土類元素化合物はネオジム、エルビウ
ム、ユ−ロピウム、セリウムなどの塩化物、硝酸塩、硫
酸塩などとすればよいが、これらは四塩化けい素、四塩
化ゲルマニウムに十分な溶解度をもつものとすることが
必要とされるということからは一般に入手が容易であ
り、溶解度も大きい塩化物とすることがよい。
【００１０】なお、四塩化けい素または四塩化ゲルマニ
ウムに添加、溶解される希土類元素化合物の量は目的と
する希土類元素ド−プ石英ガラスに含有されるべき希土
類元素の量に対応すればよく、この希土類元素ド−プ石
英ガラスにおける希土類元素ド−プ量は通常20〜1,000p
pmとされるので、四塩化けい素または四塩化ゲルマニウ
ムに添加される希土類元素化合物の添加量は四塩化けい
素、四塩化ゲルマニウムの１〜５容量％とすればよい。
ウムに添加、溶解される希土類元素化合物の量は目的と
する希土類元素ド−プ石英ガラスに含有されるべき希土
類元素の量に対応すればよく、この希土類元素ド−プ石
英ガラスにおける希土類元素ド−プ量は通常20〜1,000p
pmとされるので、四塩化けい素または四塩化ゲルマニウ
ムに添加される希土類元素化合物の添加量は四塩化けい
素、四塩化ゲルマニウムの１〜５容量％とすればよい。
【００１１】この希土類元素化合物を溶解した四塩化け
い素または四塩化ゲルマニウムはガス状として酸水素火
炎中に供給されるのであるが、これに溶解されている希
土類元素化合物も蒸気圧によってガス状となり酸水素火
炎に供給されるので、これも酸水素火炎中での火炎加水
分解によって希土類元素酸化物となり、これが四塩化け
い素の火炎加水分解で発生するシリカ微粒子または四塩
化ゲルマニウムの火炎加水分解で発生するゲルマニア微
粒子と共に担体上に堆積される。
い素または四塩化ゲルマニウムはガス状として酸水素火
炎中に供給されるのであるが、これに溶解されている希
土類元素化合物も蒸気圧によってガス状となり酸水素火
炎に供給されるので、これも酸水素火炎中での火炎加水
分解によって希土類元素酸化物となり、これが四塩化け
い素の火炎加水分解で発生するシリカ微粒子または四塩
化ゲルマニウムの火炎加水分解で発生するゲルマニア微
粒子と共に担体上に堆積される。
【００１２】したがって、このようにして得られた多孔
質ガラス母材は希土類元素酸化物を含んだものとなるの
で、これを常法にしたがって高温で焼結し、透明ガラス
化して得られる石英ガラスは希土類元素でド−プされた
ものになる。なお、透明ガラス化はヘリウムガス雰囲気
とすることが好ましいが、これは脱水の目的においてハ
ロゲンガスを微量混合してもよいし、酸化物への転換を
より完全なものとするために酸素ガスを微量混合したも
のとしてもよい。
質ガラス母材は希土類元素酸化物を含んだものとなるの
で、これを常法にしたがって高温で焼結し、透明ガラス
化して得られる石英ガラスは希土類元素でド−プされた
ものになる。なお、透明ガラス化はヘリウムガス雰囲気
とすることが好ましいが、これは脱水の目的においてハ
ロゲンガスを微量混合してもよいし、酸化物への転換を
より完全なものとするために酸素ガスを微量混合したも
のとしてもよい。
【００１３】
【実施例】つぎに本発明の実施例をあげる。 実施例１ 石英製同心多重管バ−ナ−に水素ガス5.0 リットル／
分、酸素ガス9.0 リットル／分を供給して酸水素火炎を
形成させ、この火炎中心に四塩化けい素に対し、２容量
％の塩化エルビウムを添加溶解させた四塩化けい素をア
ルゴンガス0.205リットル／分のキヤリアガスに同伴し
て供給すると共に、四塩化ゲルマニウムをアルゴンガス
0.16リットル／分のキヤリアガスに同伴して供給し、こ
の四塩化けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子
と四塩化ゲルマニウムの火炎加水分解で発生したゲルマ
ニア微粒子を出発材の軸方向に堆積成長させたところ、
５時間後に外径60mm、 長さ260mm 、重さ136g、 平均かさ
密度0.178g/cm3の多孔質シリカ母材が得られた。
分、酸素ガス9.0 リットル／分を供給して酸水素火炎を
形成させ、この火炎中心に四塩化けい素に対し、２容量
％の塩化エルビウムを添加溶解させた四塩化けい素をア
ルゴンガス0.205リットル／分のキヤリアガスに同伴し
て供給すると共に、四塩化ゲルマニウムをアルゴンガス
0.16リットル／分のキヤリアガスに同伴して供給し、こ
の四塩化けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子
と四塩化ゲルマニウムの火炎加水分解で発生したゲルマ
ニア微粒子を出発材の軸方向に堆積成長させたところ、
５時間後に外径60mm、 長さ260mm 、重さ136g、 平均かさ
密度0.178g/cm3の多孔質シリカ母材が得られた。
【００１４】ついで、多孔質ガラス母材を電気炉中でヘ
リウムガス雰囲気に、1,470 ℃で加熱処理して透明ガラ
ス化したところ、透明な石英ガラスが得られたが、この
石英ガラスをＩＣＰ法で分析した結果、これはエルビウ
ムを50ppm 含有しており、またEPMAによる測定の結果、
このものはエルビウムがほぼ均一にド−プされているも
のであることが判った。なお、この石英ガラスをコアと
し、石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プリフォ
−ムを作り、その光ファイバの光増幅特性を測定したと
ころ、このものは 1.4μm 帯のポンプ光18mWで励起し、
1.55μm の信号光の増幅ゲインについて30dBという結果
が得られた。
リウムガス雰囲気に、1,470 ℃で加熱処理して透明ガラ
ス化したところ、透明な石英ガラスが得られたが、この
石英ガラスをＩＣＰ法で分析した結果、これはエルビウ
ムを50ppm 含有しており、またEPMAによる測定の結果、
このものはエルビウムがほぼ均一にド−プされているも
のであることが判った。なお、この石英ガラスをコアと
し、石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プリフォ
−ムを作り、その光ファイバの光増幅特性を測定したと
ころ、このものは 1.4μm 帯のポンプ光18mWで励起し、
1.55μm の信号光の増幅ゲインについて30dBという結果
が得られた。
【００１５】実施例２ 塩化エルビウムを四塩化けい素に添加せず、四塩化ゲル
マニウムに添加することし、四塩化ゲルマニウムに対し
５容量％の酸化エルビウムを添加し、溶解させたものと
したほかは、実施例１と同方法で多孔質ガラス母材を作
り、これを電気炉中においてヘリウムガス雰囲気下に1,
470 ℃で加熱処理して透明ガラス化して石英ガラスを作
った。
マニウムに添加することし、四塩化ゲルマニウムに対し
５容量％の酸化エルビウムを添加し、溶解させたものと
したほかは、実施例１と同方法で多孔質ガラス母材を作
り、これを電気炉中においてヘリウムガス雰囲気下に1,
470 ℃で加熱処理して透明ガラス化して石英ガラスを作
った。
【００１６】ついで、この石英ガラスをＩＣＰ法で分析
したところ、これはエルビウムを30ppm 含有しているも
のであることが確認されたが、つぎにこの石英ガラスを
コアとし、石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プ
リフォ−ムを作り、この光ファイバの光増幅特性を測定
したところ、このものは 1.4μm 帯のポンプ光20mWで励
起し、1.55μm の信号光の増幅ゲインについて30dBを示
した。
したところ、これはエルビウムを30ppm 含有しているも
のであることが確認されたが、つぎにこの石英ガラスを
コアとし、石英ガラスをクラッドとして光ファイバ用プ
リフォ−ムを作り、この光ファイバの光増幅特性を測定
したところ、このものは 1.4μm 帯のポンプ光20mWで励
起し、1.55μm の信号光の増幅ゲインについて30dBを示
した。
【００１７】
【発明の効果】本発明は希土類元素ド−プ石英ガラスの
製造方法に関するものであり、これは前記したように酸
水素火炎中に四塩化けい素を供給し、その火炎加水分解
によって生成したシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガ
ラス母材を高温で焼結し、透明ガラスする石英ガラスの
製造方法において、希土類元素化合物を四塩化けい素中
に溶解させ、シリカ微粒子の堆積と同時に希土類元素を
ド−プすることを特徴とするものであるが、これによれ
ば希土類元素化合物が酸水素火炎中での火炎加水分解で
希土類元素酸化物となり、これがシリカ微粒子と共に担
体上に堆積されるので、この多孔質ガラス母材が希土類
でド−プされたものとなり、これを透明ガラス化して得
られる石英ガラスも希土類元素が均一にド−プされたも
のとなるので、希土類元素でド−プ石英ガラスを容易に
かつ確実に得ることができるという有利性が与えられ
る。
製造方法に関するものであり、これは前記したように酸
水素火炎中に四塩化けい素を供給し、その火炎加水分解
によって生成したシリカ微粒子を堆積して得た多孔質ガ
ラス母材を高温で焼結し、透明ガラスする石英ガラスの
製造方法において、希土類元素化合物を四塩化けい素中
に溶解させ、シリカ微粒子の堆積と同時に希土類元素を
ド−プすることを特徴とするものであるが、これによれ
ば希土類元素化合物が酸水素火炎中での火炎加水分解で
希土類元素酸化物となり、これがシリカ微粒子と共に担
体上に堆積されるので、この多孔質ガラス母材が希土類
でド−プされたものとなり、これを透明ガラス化して得
られる石英ガラスも希土類元素が均一にド−プされたも
のとなるので、希土類元素でド−プ石英ガラスを容易に
かつ確実に得ることができるという有利性が与えられ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０２Ｆ 1/35 7246−2Ｋ Ｈ０１Ｓ 3/07 8934−4Ｍ (72)発明者 田 家 実 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内 (72)発明者 神 屋 和 雄 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越化 学工業株式会社精密機能材料研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 酸水素火炎中に四塩化けい素を供給し、
その火炎加水分解によって生成したシリカ微粒子を堆積
して得た多孔質ガラス母材を高温で焼結し、透明ガラス
化する石英ガラスの製造方法において、希土類元素化合
物を四塩化けい素中に溶解させ、シリカ微粒子の堆積と
同時に希土類元素をド−プすることを特徴とする希土類
元素ド−プ石英ガラスの製造方法。 - 【請求項２】 酸水素火炎中に四塩化けい素と四塩化ゲ
ルマニウムを供給し、火炎加水分解によって生成したシ
リカ微粒子およびゲルマニア微粒子を堆積して得た多孔
質ガラス母材を高温で焼結し、透明ガラス化する石英ガ
ラスの製造方法において、希土類元素化合物を四塩化け
い素または四塩化ゲルマニウムに溶解させ、シリカ微粒
子およびゲルマニア微粒子の堆積と同時に希土類元素を
ド−プすることを特徴とする希土類元素ド−プ石英ガラ
スの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27208491A JPH0585759A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27208491A JPH0585759A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0585759A true JPH0585759A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=17508868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27208491A Pending JPH0585759A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 希土類元素ド−プ石英ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0585759A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103864292A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-06-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 含氟低折射率Yb3+掺杂石英玻璃的制备方法 |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP27208491A patent/JPH0585759A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103864292A (zh) * | 2014-02-28 | 2014-06-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 含氟低折射率Yb3+掺杂石英玻璃的制备方法 |
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