JP3188309B2 - 光増幅器用光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光増幅器用光ファイバ母材の製造方法Info
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- Lasers (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光増幅器用光ファイバ母
材、特には光増幅効率のすぐれた光増幅器用光ファイバ
母材およびその製造方法に関するものである。
材、特には光増幅効率のすぐれた光増幅器用光ファイバ
母材およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、ネオジム(Nd)、エルビウム(E
r)などの希土類元素をコアに添加した単一モード光フ
ァイバが開発され、これはインライン増幅器などとして
光通信の分野に利用され始めている。希土類元素を添加
した光ファイバを用いた光ファイバレーザー増幅器とし
ては、コアにエルビウムを添加した石英系単一モード光
ファイバを用い、半導体レーザーを励起光源として波長
1.55μmで光増幅を確認した例が報告されているが、こ
のようなレーザー活性化物質を添加した光ファイバを効
率的に利用するためには、光学的に効率よく励起光を入
射させると共に、これらの励起光を効率的に利用するフ
ァイバ構造が必要とされる。
r)などの希土類元素をコアに添加した単一モード光フ
ァイバが開発され、これはインライン増幅器などとして
光通信の分野に利用され始めている。希土類元素を添加
した光ファイバを用いた光ファイバレーザー増幅器とし
ては、コアにエルビウムを添加した石英系単一モード光
ファイバを用い、半導体レーザーを励起光源として波長
1.55μmで光増幅を確認した例が報告されているが、こ
のようなレーザー活性化物質を添加した光ファイバを効
率的に利用するためには、光学的に効率よく励起光を入
射させると共に、これらの励起光を効率的に利用するフ
ァイバ構造が必要とされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この光ファイバの入射
効率を上げる方法としては、コアを二重構造とし、その
中心部分のみにエルビウムをドープしてコアの中心部の
みに希土類元素を含有させる方法が提案されているが、
この方法では第2のコアに添加する酸化ゲルマニウムの
量が不足しているために、第2のコアの屈折率が第1の
コアの屈折率と同等かそれ以下であるためにその効果は
十分でないという欠点があった。
効率を上げる方法としては、コアを二重構造とし、その
中心部分のみにエルビウムをドープしてコアの中心部の
みに希土類元素を含有させる方法が提案されているが、
この方法では第2のコアに添加する酸化ゲルマニウムの
量が不足しているために、第2のコアの屈折率が第1の
コアの屈折率と同等かそれ以下であるためにその効果は
十分でないという欠点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した光増幅器用光ファイバ母材の製造方法に関す
るものであり、この光増幅器用光ファイバ母材は少なく
とも1種の希土類元素を含有し、純石英ガラスより高い
屈折率を有する石英ガラスからなる第1コア、その外側
に存在する希土類元素を含有しない石英ガラスからなる
第2コアならびにさらにその外側に存在する石英ガラス
からなるクラッド層とからなる光増幅器用光ファイバ母
材であって、第2コアの屈折率が第1コアの屈折率より
高く、かつ純石英ガラスの屈折率より 0.6〜 3.5%高い
値を有している。
を解決した光増幅器用光ファイバ母材の製造方法に関す
るものであり、この光増幅器用光ファイバ母材は少なく
とも1種の希土類元素を含有し、純石英ガラスより高い
屈折率を有する石英ガラスからなる第1コア、その外側
に存在する希土類元素を含有しない石英ガラスからなる
第2コアならびにさらにその外側に存在する石英ガラス
からなるクラッド層とからなる光増幅器用光ファイバ母
材であって、第2コアの屈折率が第1コアの屈折率より
高く、かつ純石英ガラスの屈折率より 0.6〜 3.5%高い
値を有している。
【0005】そして、この光増幅器用光ファイバ母材の
製造方法は、少なくとも1種の希土類元素を含有し、純
石英ガラスより高い屈折率を有する第1コア用石英ガラ
スロッドを回転させつつ、その外周に透明ガラス化後の
屈折率が第1コアの屈折率より高く、かつ純石英ガラス
の屈折率より0.6〜 3.5%高い値となるように、ゲルマ
ニウム化合物を含有する気体状ガラス原料の火炎加水分
解で生成したガラス微粒子を堆積させて第2コア用の多
孔質ガラス体を形成し、ついでこれを塩素含有ヘリウム
雰囲気中で焼結し透明ガラス化して、第1コアと第2コ
アを有するガラスロッドを作製し、つぎにその外周にク
ラッド用石英ガラス層を形成させる光増幅器用光ファイ
バ母材の製造方法であって、該第2コア用多孔質ガラス
体のかさ密度を0.35g/cm3〜0.90g/cm3 としてなること
を特徴とするものである。なお、塩素含有ヘリウム雰囲
気中における塩素濃度は 0.7〜 1.2容量%とするのが好
ましい。
製造方法は、少なくとも1種の希土類元素を含有し、純
石英ガラスより高い屈折率を有する第1コア用石英ガラ
スロッドを回転させつつ、その外周に透明ガラス化後の
屈折率が第1コアの屈折率より高く、かつ純石英ガラス
の屈折率より0.6〜 3.5%高い値となるように、ゲルマ
ニウム化合物を含有する気体状ガラス原料の火炎加水分
解で生成したガラス微粒子を堆積させて第2コア用の多
孔質ガラス体を形成し、ついでこれを塩素含有ヘリウム
雰囲気中で焼結し透明ガラス化して、第1コアと第2コ
アを有するガラスロッドを作製し、つぎにその外周にク
ラッド用石英ガラス層を形成させる光増幅器用光ファイ
バ母材の製造方法であって、該第2コア用多孔質ガラス
体のかさ密度を0.35g/cm3〜0.90g/cm3 としてなること
を特徴とするものである。なお、塩素含有ヘリウム雰囲
気中における塩素濃度は 0.7〜 1.2容量%とするのが好
ましい。
【0006】すなわち、本発明者らは光増幅効率のより
すぐれた光増幅器用光ファイバを開発すべく種々検討し
た結果、希土類元素を含有し、純石英ガラスより高い屈
折率を有する石英ガラスからなる第1コア、希土類元素
を含有しない石英ガラスからなる第2コアおよび石英ガ
ラスからなるクラッド層からなる光増幅器用光ファイバ
母材における第2コアの屈折率を第1コアの屈折率より
高いものとし、この第2コアの屈折率を純石英ガラスの
屈折率より 0.6〜 3.5%高いものとすると、その増幅効
率を向上させることができることを見出し、この光増幅
器用光ファイバの製造方法についての研究を進めて本発
明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
すぐれた光増幅器用光ファイバを開発すべく種々検討し
た結果、希土類元素を含有し、純石英ガラスより高い屈
折率を有する石英ガラスからなる第1コア、希土類元素
を含有しない石英ガラスからなる第2コアおよび石英ガ
ラスからなるクラッド層からなる光増幅器用光ファイバ
母材における第2コアの屈折率を第1コアの屈折率より
高いものとし、この第2コアの屈折率を純石英ガラスの
屈折率より 0.6〜 3.5%高いものとすると、その増幅効
率を向上させることができることを見出し、この光増幅
器用光ファイバの製造方法についての研究を進めて本発
明を完成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【0007】
【作用】本発明は光増幅器用光ファイバの製造方法に関
するものであり、これは上記したように希土類元素を含
有し、純石英ガラスより高い屈折率を有する石英ガラス
からなる第1コア、希土類元素を含有しないがゲルマニ
ウム化合物を含有する石英ガラスからなる第2コアおよ
び石英ガラスからなるクラッド層を有する光増幅器用光
ファイバ母材を製造するものであって、第2コアの屈折
率を第1コアの屈折率より高く、さらに、この第2コア
の透明ガラス化後の屈折率を純石英ガラスの屈折率より
0.6〜 3.5%高い値となり、かつかさ密度が0.35g/cm 3
〜0.90g/cm 3 となるように第2コア用の多孔質ガラス体
を形成し、これを塩素含有ヘリウム雰囲気中で焼結し透
明ガラス化して、この外周にクラッド層を形成させるこ
とを特徴とするものであるが、これによれば光増幅効率
の高いものを得ることができるという有利性が与えられ
る。
するものであり、これは上記したように希土類元素を含
有し、純石英ガラスより高い屈折率を有する石英ガラス
からなる第1コア、希土類元素を含有しないがゲルマニ
ウム化合物を含有する石英ガラスからなる第2コアおよ
び石英ガラスからなるクラッド層を有する光増幅器用光
ファイバ母材を製造するものであって、第2コアの屈折
率を第1コアの屈折率より高く、さらに、この第2コア
の透明ガラス化後の屈折率を純石英ガラスの屈折率より
0.6〜 3.5%高い値となり、かつかさ密度が0.35g/cm 3
〜0.90g/cm 3 となるように第2コア用の多孔質ガラス体
を形成し、これを塩素含有ヘリウム雰囲気中で焼結し透
明ガラス化して、この外周にクラッド層を形成させるこ
とを特徴とするものであるが、これによれば光増幅効率
の高いものを得ることができるという有利性が与えられ
る。
【0008】本発明の製造方法で得られる光増幅器用光
ファイバ母材は希土類元素を含有し、純石英ガラスより
高い屈折率を有する石英ガラスからなる第1コア、その
外側に存在する希土類元素を含有しない石英ガラスから
なる第2コア、およびさらにその外周に存在するクラッ
ド層とからなるものであるが、この第2コアを形成する
石英ガラスは希土類元素は含んでいないけれども酸化ゲ
ルマニウムを含有したものとされ、クラッド層を形成す
る石英ガラスは通常この酸化ゲルマニウムなども含まな
い純粋な石英ガラスからなるものとされる。
ファイバ母材は希土類元素を含有し、純石英ガラスより
高い屈折率を有する石英ガラスからなる第1コア、その
外側に存在する希土類元素を含有しない石英ガラスから
なる第2コア、およびさらにその外周に存在するクラッ
ド層とからなるものであるが、この第2コアを形成する
石英ガラスは希土類元素は含んでいないけれども酸化ゲ
ルマニウムを含有したものとされ、クラッド層を形成す
る石英ガラスは通常この酸化ゲルマニウムなども含まな
い純粋な石英ガラスからなるものとされる。
【0009】また、本発明による光増幅器用光ファイバ
母材では図2に示したように、希土類元素は含有しない
が酸化ゲルマニウムは含有する石英ガラスからなる第2
コアの屈折率が、希土類元素を含む石英ガラスからなる
第1コアの屈折率より高いものとされ、この第2コアの
屈折率はまたクラッド層を構成する純石英ガラスの屈折
率よりも 0.6〜 3.5%高い値をもつものとされるが、こ
れによれば波長利得特性を平坦化でき、また、この第1
コアの屈折率はさらに光を閉じ込める率を高くするため
に純石英ガラスの屈折率より高いものとされるというこ
とから従来公知のものに比べて、光増幅効果が上昇した
光増幅器用光ファイバ母材の得られることが確認され
た。
母材では図2に示したように、希土類元素は含有しない
が酸化ゲルマニウムは含有する石英ガラスからなる第2
コアの屈折率が、希土類元素を含む石英ガラスからなる
第1コアの屈折率より高いものとされ、この第2コアの
屈折率はまたクラッド層を構成する純石英ガラスの屈折
率よりも 0.6〜 3.5%高い値をもつものとされるが、こ
れによれば波長利得特性を平坦化でき、また、この第1
コアの屈折率はさらに光を閉じ込める率を高くするため
に純石英ガラスの屈折率より高いものとされるというこ
とから従来公知のものに比べて、光増幅効果が上昇した
光増幅器用光ファイバ母材の得られることが確認され
た。
【0010】本発明はまた上記したような光増幅器用光
ファイバ母材の製造方法に関するものであるが、これは
少なくとも1種の希土類元素を含有し、フッ素を含有し
ない石英ガラスロッドを用意し、これを垂直に保持して
回転させ、その外側に四塩化けい素と四塩化ゲルマニウ
ムの火炎加水分解で発生した酸化ゲルマニウムを含有す
るが希土類元素を含まないシリカ微粒子を堆積させてこ
こに多孔質ガラス体を形成させたのち、これを焼結し透
明ガラス化して第2コアとしての石英ガラスを形成させ
る。
ファイバ母材の製造方法に関するものであるが、これは
少なくとも1種の希土類元素を含有し、フッ素を含有し
ない石英ガラスロッドを用意し、これを垂直に保持して
回転させ、その外側に四塩化けい素と四塩化ゲルマニウ
ムの火炎加水分解で発生した酸化ゲルマニウムを含有す
るが希土類元素を含まないシリカ微粒子を堆積させてこ
こに多孔質ガラス体を形成させたのち、これを焼結し透
明ガラス化して第2コアとしての石英ガラスを形成させ
る。
【0011】なお、この多孔質ガラス体の形成は公知の
方法で行なえばよいが、これは例えば図1に示した方法
で行えばよい。図1はこの多孔質ガラス体製造装置の縦
断面図を示したものであるが、これは酸水素火炎バーナ
ー1にガラス原料としての四塩化けい素とドーバントと
なる四塩化ゲルマニウムおよび酸素、水素などの燃料用
制御ガスを送入してここに酸水素火炎5を形成させ、こ
れを第1コア材としての希土類元素含有石英ガラスロッ
ドにあてて、ここにこの火炎加水分解で発生した酸化ゲ
ルマニウムを含有するが希土類元素を含まないシリカ微
粒子を堆積させて多孔質ガラス体8を形成させればよ
い。
方法で行なえばよいが、これは例えば図1に示した方法
で行えばよい。図1はこの多孔質ガラス体製造装置の縦
断面図を示したものであるが、これは酸水素火炎バーナ
ー1にガラス原料としての四塩化けい素とドーバントと
なる四塩化ゲルマニウムおよび酸素、水素などの燃料用
制御ガスを送入してここに酸水素火炎5を形成させ、こ
れを第1コア材としての希土類元素含有石英ガラスロッ
ドにあてて、ここにこの火炎加水分解で発生した酸化ゲ
ルマニウムを含有するが希土類元素を含まないシリカ微
粒子を堆積させて多孔質ガラス体8を形成させればよ
い。
【0012】しかし、この多孔質ガラス体はそのかさ密
度が 0.35g/cm3未満では後記する脱水、ガラス化工程で
塩素ガスが多孔質ガラス層間に入り易く、酸化ゲルマニ
ウムが塩素ガスと反応しGeCl4 となってGeが揮発し易く
なり、屈折率が第1コアより低下してしまい、0.90g/cm
3 より高いと脱水、ガラス化工程で塩素ガスが多孔質ガ
ラス層間に入り難くなって脱水不足、脱水困難となり、
光伝送損失が大きくなるので、このカサ密度は0.35〜0.
90g/cm3 の範囲のものとすることが必要とされる。
度が 0.35g/cm3未満では後記する脱水、ガラス化工程で
塩素ガスが多孔質ガラス層間に入り易く、酸化ゲルマニ
ウムが塩素ガスと反応しGeCl4 となってGeが揮発し易く
なり、屈折率が第1コアより低下してしまい、0.90g/cm
3 より高いと脱水、ガラス化工程で塩素ガスが多孔質ガ
ラス層間に入り難くなって脱水不足、脱水困難となり、
光伝送損失が大きくなるので、このカサ密度は0.35〜0.
90g/cm3 の範囲のものとすることが必要とされる。
【0013】またこの多孔質ガラス母材は、ついで焼結
により透明ガラス化されるのであるが、これはこの焼
結、脱水を完全に行なわせるために、塩素を含有したヘ
リウム雰囲気で行なう必要がある。しかし、この塩素含
有ヘリウムガスにおける塩素濃度はこれが 0.7%未満で
は脱水が不完全となり、水酸基による吸収で損失が大き
くなるし、1.2%より高くするとゲルマニウムの揮発量
が大きくなって第2コアの屈折率をステップ状とするこ
とが困難となるので、これは 0.7〜 1.2%の範囲とする
ことが必要とされる。
により透明ガラス化されるのであるが、これはこの焼
結、脱水を完全に行なわせるために、塩素を含有したヘ
リウム雰囲気で行なう必要がある。しかし、この塩素含
有ヘリウムガスにおける塩素濃度はこれが 0.7%未満で
は脱水が不完全となり、水酸基による吸収で損失が大き
くなるし、1.2%より高くするとゲルマニウムの揮発量
が大きくなって第2コアの屈折率をステップ状とするこ
とが困難となるので、これは 0.7〜 1.2%の範囲とする
ことが必要とされる。
【0014】なお、この焼結は 1,400〜1,600 ℃で行な
えばよいが、この際の雰囲気を塩素を上記した 0.7〜
1.2%含有ヘリウム雰囲気とすればゲルマニウムの揮発
が少なくなるのでこの脱水、ガラス化で得られる第2コ
アとしての石英ガラス層は信号光を効率よく伝送できる
ものとなる。
えばよいが、この際の雰囲気を塩素を上記した 0.7〜
1.2%含有ヘリウム雰囲気とすればゲルマニウムの揮発
が少なくなるのでこの脱水、ガラス化で得られる第2コ
アとしての石英ガラス層は信号光を効率よく伝送できる
ものとなる。
【0015】このようにしてつくられた第1コア、第2
コアからなる石英ガラス体には、ついでこの第2コアの
外側に石英ガラスからなるクラッド層を設けることによ
って目的とする光増幅器用光ファイバ母材とされるので
あるが、この石英ガラスからなるクラッド層の形成は四
塩化けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子を第
2コア上に堆積させ、透明ガラス化するという公知の方
法で行なえばよい。
コアからなる石英ガラス体には、ついでこの第2コアの
外側に石英ガラスからなるクラッド層を設けることによ
って目的とする光増幅器用光ファイバ母材とされるので
あるが、この石英ガラスからなるクラッド層の形成は四
塩化けい素の火炎加水分解で発生したシリカ微粒子を第
2コア上に堆積させ、透明ガラス化するという公知の方
法で行なえばよい。
【0016】
【実施例】つぎに本発明の実施例をあげる。 実施例 エルビウム(Er)を800ppm、ゲルマニウム(Ge)を12%
添加した屈折率が1.478 である、直径10mmφ、長さ 200
mmの第1コアとしての希土類元素含有石英ガラスロッド
を図1に示した装置に設置し、この酸水素火炎バーナー
に四塩化けい素0.5 リットル/分、四塩化ゲルマニウム
0.5 リットル/分、酸素ガス 1.2リットル/分、水素ガ
ス 6.5リットル/分、アルゴンガス7リットル/分を送
って酸水素火炎を発生させ、この火炎加水分解で発生し
た、酸化ゲルマニウムは含有するが希土類元素は含有し
ないシリカ微粒子を希土類元素含有石英ガラスロッドに
堆積させて多孔質ガラス体を形成させたところ、この多
孔質ガラス体のかさ密度は0.40g/cm3 であった。
添加した屈折率が1.478 である、直径10mmφ、長さ 200
mmの第1コアとしての希土類元素含有石英ガラスロッド
を図1に示した装置に設置し、この酸水素火炎バーナー
に四塩化けい素0.5 リットル/分、四塩化ゲルマニウム
0.5 リットル/分、酸素ガス 1.2リットル/分、水素ガ
ス 6.5リットル/分、アルゴンガス7リットル/分を送
って酸水素火炎を発生させ、この火炎加水分解で発生し
た、酸化ゲルマニウムは含有するが希土類元素は含有し
ないシリカ微粒子を希土類元素含有石英ガラスロッドに
堆積させて多孔質ガラス体を形成させたところ、この多
孔質ガラス体のかさ密度は0.40g/cm3 であった。
【0017】ついで、この多孔質ガラス体については塩
素を1%含有するヘリウム雰囲気下に 1,450℃で脱水、
焼結し透明ガラス化して第2コアとなる石英ガラスとし
たところ、この第2コアの屈折率は 1.484を示したが、
これは第1コアとしての希土類元素含有石英ガラスの屈
折率より高いものであることから図2に示したような屈
折率分布を有するものであり、これはまた後記する純石
英ガラスからなるクラッド層の屈折率より1.78%屈折率
の高いものであることが確認された。
素を1%含有するヘリウム雰囲気下に 1,450℃で脱水、
焼結し透明ガラス化して第2コアとなる石英ガラスとし
たところ、この第2コアの屈折率は 1.484を示したが、
これは第1コアとしての希土類元素含有石英ガラスの屈
折率より高いものであることから図2に示したような屈
折率分布を有するものであり、これはまた後記する純石
英ガラスからなるクラッド層の屈折率より1.78%屈折率
の高いものであることが確認された。
【0018】また、この第1コア、第2コアからなる石
英ガラス体にはつぎに図1に示した装置を使用し、四塩
化けい素だけを使用してこの上にシリカ微粒子を堆積さ
せ、これを公知の方法で透明ガラス化してクラッド層を
形成させて、光増幅器用光ファイバ母材を作り、これを
線引きして直径 125μmの光増幅器用光ファイバを作製
してこのもののポンプパワー(mW)とゲイン(dB)との
関係を調べたところ、図4のA線に示したとおりの結果
が得られ、光増幅効率を求めたところ、これは3.29dB/
mW というものであった。
英ガラス体にはつぎに図1に示した装置を使用し、四塩
化けい素だけを使用してこの上にシリカ微粒子を堆積さ
せ、これを公知の方法で透明ガラス化してクラッド層を
形成させて、光増幅器用光ファイバ母材を作り、これを
線引きして直径 125μmの光増幅器用光ファイバを作製
してこのもののポンプパワー(mW)とゲイン(dB)との
関係を調べたところ、図4のA線に示したとおりの結果
が得られ、光増幅効率を求めたところ、これは3.29dB/
mW というものであった。
【0019】また、比較のために上記した実施例で使用
したものと同じ第1コアとしての希土類元素含有石英ガ
ラスの上に実施例におけるものと同一組成でかさ密度が
0.28g/cm 3 の第2コア作製のための多孔質ガラス母材を
作り、これを実施例と同じ方法で脱水・焼結して第2コ
アを作り、さらにこの上に公知の方法で石英ガラスから
なるクラッド層を形成して光増幅器用光ファイバ母材を
作製した。
したものと同じ第1コアとしての希土類元素含有石英ガ
ラスの上に実施例におけるものと同一組成でかさ密度が
0.28g/cm 3 の第2コア作製のための多孔質ガラス母材を
作り、これを実施例と同じ方法で脱水・焼結して第2コ
アを作り、さらにこの上に公知の方法で石英ガラスから
なるクラッド層を形成して光増幅器用光ファイバ母材を
作製した。
【0020】しかし、このものは第2コアの屈折率が第
1コアとしての希土類元素含有石英ガラスの屈折率より
低いもので図3に示したような屈折率分布をもつもので
あり、クラッド層としての石英ガラスよりは屈折率が0.
48%高い 1.465というものであることから、この光ファ
イバ母材から実施例と同じ方法で作った光増幅器用光フ
ァイバの光増幅効率は図4のB線のようになり、光増幅
効率を求めたところ、これが 2.07dB/mWであることか
ら、これは実施例のものにくらべて光増幅効率の悪いも
のであった。
1コアとしての希土類元素含有石英ガラスの屈折率より
低いもので図3に示したような屈折率分布をもつもので
あり、クラッド層としての石英ガラスよりは屈折率が0.
48%高い 1.465というものであることから、この光ファ
イバ母材から実施例と同じ方法で作った光増幅器用光フ
ァイバの光増幅効率は図4のB線のようになり、光増幅
効率を求めたところ、これが 2.07dB/mWであることか
ら、これは実施例のものにくらべて光増幅効率の悪いも
のであった。
【0021】
【発明の効果】本発明の光増幅器用光ファイバ母材の製
造方法は上記構成からなり、光増幅効率のよい光ファイ
バを得ることのできる光増幅器用光ファイバ母材を確実
かつ容易に製造することができる。
造方法は上記構成からなり、光増幅効率のよい光ファイ
バを得ることのできる光増幅器用光ファイバ母材を確実
かつ容易に製造することができる。
【図1】 本発明による、多孔質ガラス母材を製造する
ための製造装置の概略縦断面図を示したものである。
ための製造装置の概略縦断面図を示したものである。
【図2】 本発明の実施例で得られた光増幅器用光ファ
イバ母材の屈折率分布図を示したものである。
イバ母材の屈折率分布図を示したものである。
【図3】 本発明の比較例で得られた光増幅器用光ファ
イバ母材の屈折率分布図を示したものである。
イバ母材の屈折率分布図を示したものである。
【図4】 本発明の実施例、比較例で得られた光増幅器
用光ファイバの光増幅効率測定図を示したものである。
用光ファイバの光増幅効率測定図を示したものである。
1…酸水素火炎バーナー、 2…四塩化けい素、 3…四塩化ゲルマニウム、 4…燃料用制御ガス、 5…酸水素火炎、 6…石英ガラスロッド、 7…シリカ微粒子体、 8…多孔質ガラス母材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H01S 3/17 H01S 3/17 (72)発明者 高野 伸一 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (72)発明者 神屋 和雄 群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 平3−127032(JP,A) 特開 平4−21532(JP,A) 特開 平3−228846(JP,A) 特開 平1−145346(JP,A) 特開 平5−119222(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 37/018 C03B 37/014
Claims (2)
- 【請求項1】 少なくとも1種の希土類元素を含有し、
純石英ガラスより高い屈折率を有する第1コア用石英ガ
ラスロッドを回転させつつ、その外周に透明ガラス化後
の屈折率が第1コアの屈折率より高く、かつ純石英ガラ
スの屈折率より0.6〜 3.5%高い値となるように、ゲル
マニウム化合物を含有する気体状ガラス原料の火炎加水
分解で生成したシリカ微粒子を堆積させて第2コア用の
多孔質ガラス体を形成し、ついでこれを塩素含有ヘリウ
ム雰囲気中で焼結し透明ガラス化して、第1コアと第2
コアを有するガラスロッドを作製し、つぎにその外周に
クラッド用石英ガラス層を形成させる光幅器用光ファイ
バ母材の製造方法であって、該第2コア用多孔質ガラス
体のかさ密度を 0.35g/cm 3 〜0.90g/cm 3 としてなること
を特徴とする光増幅器用光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項2】 塩素含有ヘリウム雰囲気中における塩素
濃度が 0.7〜 1.2容量%である請求項1に記載した光増
幅器用光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16202292A JP3188309B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 光増幅器用光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16202292A JP3188309B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 光増幅器用光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06157064A JPH06157064A (ja) | 1994-06-03 |
JP3188309B2 true JP3188309B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=15746581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16202292A Expired - Fee Related JP3188309B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 光増幅器用光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3188309B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5940567A (en) * | 1998-02-20 | 1999-08-17 | Photon-X, Inc. | Optical fibers having an inner core and an outer core |
US8081667B2 (en) * | 2009-09-14 | 2011-12-20 | Gapontsev Valentin P | Single-mode high power multimode fiber laser system |
JP5779606B2 (ja) * | 2013-03-14 | 2015-09-16 | 株式会社フジクラ | 増幅用光ファイバ、及び、それを用いたファイバレーザ装置 |
US20220271494A1 (en) * | 2020-03-27 | 2022-08-25 | Fujikura Ltd. | Active element added-optical fiber, preform for active element added-optical fiber, resonator, and fiber laser device |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP16202292A patent/JP3188309B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH06157064A (ja) | 1994-06-03 |
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