JP3191408B2 - 光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用母材の製造方法Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
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- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水分や不純物の混入の
少ない光増幅器等に使用する光ファイバ用母材の製造方
法に関する。
少ない光増幅器等に使用する光ファイバ用母材の製造方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】希土類元素等を含み、Ｆｅ，Ｃｕなどの
不純物あるいはＯＨ基の混入の少ない機能性石英ガラス
を製造する方法としては、いわゆるＭＣＶＤ法が知られ
ている。図２に示すＭＣＶＤ法の例としては、石英ガラ
スパイプ２１内にＳｉＣｌ4，Ｏ2及びＧｅＣｌ4からな
る原料ガスを導入し、熱源２６を往復移動させて前記パ
イプ２１の内壁にガラスの薄膜を堆積してコア層２２を
形成する。続いて、パイプ２１に隣接して設けられた副
チャンバ２４を副熱源２５により加熱して、ＮｄＣｌ3
またはＥｒＣｌ3などの副原料Ｍを気化し、これを前記
コア層２２に取込んで合成コア層２３を堆積し、その
後、中実化して光ファイバ用母材を作成していた。
不純物あるいはＯＨ基の混入の少ない機能性石英ガラス
を製造する方法としては、いわゆるＭＣＶＤ法が知られ
ている。図２に示すＭＣＶＤ法の例としては、石英ガラ
スパイプ２１内にＳｉＣｌ4，Ｏ2及びＧｅＣｌ4からな
る原料ガスを導入し、熱源２６を往復移動させて前記パ
イプ２１の内壁にガラスの薄膜を堆積してコア層２２を
形成する。続いて、パイプ２１に隣接して設けられた副
チャンバ２４を副熱源２５により加熱して、ＮｄＣｌ3
またはＥｒＣｌ3などの副原料Ｍを気化し、これを前記
コア層２２に取込んで合成コア層２３を堆積し、その
後、中実化して光ファイバ用母材を作成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来方法は、Ｏ
Ｈ基及び不純物の少ないガラス母材を作成できる利点を
有するが、希土類等を均一にあるいは高濃度に添加し制
御することが困難であった。一方、コア層を多孔質ガラ
スの状態で堆積させた後、この多孔質ガラス層に希土類
塩化物を含む溶液を含浸させ、乾燥後に透明化し中実化
する含浸法がある。この含浸法は希土類元素を高濃度に
かつ均一に添加できる利点があるが、ＯＨ基や不純物が
混入し低損失のファイバを得ることができなかった。
Ｈ基及び不純物の少ないガラス母材を作成できる利点を
有するが、希土類等を均一にあるいは高濃度に添加し制
御することが困難であった。一方、コア層を多孔質ガラ
スの状態で堆積させた後、この多孔質ガラス層に希土類
塩化物を含む溶液を含浸させ、乾燥後に透明化し中実化
する含浸法がある。この含浸法は希土類元素を高濃度に
かつ均一に添加できる利点があるが、ＯＨ基や不純物が
混入し低損失のファイバを得ることができなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の問題点
を解消するための光ファイバ用母材の製造方法に関する
ものであり、その特徴とするところは、ガラスパイプの
外周に該パイプの軸に沿って移動する熱源を配設し、該
パイプ内に少なくとも気相状のガラス原料とＯ2ガスを
送り込み、これを前記熱源によって加熱して反応させ、
該パイプの内面にＳｉＯ2の多孔質ガラス層を形成し、
該多孔質ガラス層に少なくとも可視光または赤外光を発
光する希土類からなる酸化物添加剤および／または酸化
物添加剤に変換しうる化合物を含有した溶液を含浸した
後に乾燥し、次いで、少なくともＯ2およびこれと反応
してガラスの屈折率を高めるドーパントの酸化物を生成
する金属塩化物とを、前記金属塩化物が分解して生成す
るＣｌ 2 の濃度が１〜３％となるよう、前記パイプ内に
送り込み、前記熱源によって加熱処理した後、前記多孔
質ガラス層を透明ガラス化し、続いて該パイプを中実化
する方法である。
を解消するための光ファイバ用母材の製造方法に関する
ものであり、その特徴とするところは、ガラスパイプの
外周に該パイプの軸に沿って移動する熱源を配設し、該
パイプ内に少なくとも気相状のガラス原料とＯ2ガスを
送り込み、これを前記熱源によって加熱して反応させ、
該パイプの内面にＳｉＯ2の多孔質ガラス層を形成し、
該多孔質ガラス層に少なくとも可視光または赤外光を発
光する希土類からなる酸化物添加剤および／または酸化
物添加剤に変換しうる化合物を含有した溶液を含浸した
後に乾燥し、次いで、少なくともＯ2およびこれと反応
してガラスの屈折率を高めるドーパントの酸化物を生成
する金属塩化物とを、前記金属塩化物が分解して生成す
るＣｌ 2 の濃度が１〜３％となるよう、前記パイプ内に
送り込み、前記熱源によって加熱処理した後、前記多孔
質ガラス層を透明ガラス化し、続いて該パイプを中実化
する方法である。
【０００５】さらに効果的にはガラスパイプ内に少なく
ともＯ2及びこれと反応してガラスの屈折率を高めるド
ーパントの酸化物を生成する金属塩化物とを、前記金属
塩化物が分解して生成するＣｌ 2 の濃度が１〜３％とな
るよう、送り込みながら多孔質ガラス層を透明ガラス化
することが好ましい。
ともＯ2及びこれと反応してガラスの屈折率を高めるド
ーパントの酸化物を生成する金属塩化物とを、前記金属
塩化物が分解して生成するＣｌ 2 の濃度が１〜３％とな
るよう、送り込みながら多孔質ガラス層を透明ガラス化
することが好ましい。
【０００６】
【作用】本発明の製造方法によれば、まず出発部材とな
る石英ガラスパイプの内壁面に気相化学堆積法により所
定の屈折率の石英ガラス層を形成する。ここで、石英ガ
ラスパイプは最終製品となる光ファイバを構成するから
極めて高純度であることが要求される。この堆積される
石英ガラス層はクラッドの一部を構成する場合もあり、
またコアの一部を構成する場合もある。これは光ファイ
バに要求される特性、用途に応じて決定される。
る石英ガラスパイプの内壁面に気相化学堆積法により所
定の屈折率の石英ガラス層を形成する。ここで、石英ガ
ラスパイプは最終製品となる光ファイバを構成するから
極めて高純度であることが要求される。この堆積される
石英ガラス層はクラッドの一部を構成する場合もあり、
またコアの一部を構成する場合もある。これは光ファイ
バに要求される特性、用途に応じて決定される。
【０００７】このように、石英ガラスパイプの内壁に直
接あるいはクラッドとなる石英ガラス層を形成した後
に、コア層となる多孔質ガラス層を堆積し、この層に溶
液を含浸させて所望の添加剤を添加する。含浸溶液は、
主に可視光あるいは赤外光を発光しうる希土類からなる
酸化物溶液またはガラス微粒子層を後で透明化するに際
し酸化物に変化する塩あるいは他の化合物の溶液でもよ
い。添加しようとする元素の塩化物、例えばＥｒＣ
ｌ3，ＮｄＣｌ3，ＴｍＣｌ3，ＰｒＣｌ3，ＹｂＣｌ3，
ＡｌＣｌ3などの水溶液、アルコールを用いることもで
きる。また、添加物元素のアルコキシドに水あるいはア
ルコールを加えて加水分解させた溶液でもよい。次い
で、Ｏ2及びこれと反応してガラスの屈折率を高めるド
ーパントの酸化物を生成する金属ハロゲン化物とを前記
ガラスパイプ内に導入し、これを加熱しながら酸化・脱
水処理（以下、加熱処理と略記する）して、前記含浸溶
液に含まれていたＦｅ，Ｃｕ等の不純物やＯＨ基を除去
する。
接あるいはクラッドとなる石英ガラス層を形成した後
に、コア層となる多孔質ガラス層を堆積し、この層に溶
液を含浸させて所望の添加剤を添加する。含浸溶液は、
主に可視光あるいは赤外光を発光しうる希土類からなる
酸化物溶液またはガラス微粒子層を後で透明化するに際
し酸化物に変化する塩あるいは他の化合物の溶液でもよ
い。添加しようとする元素の塩化物、例えばＥｒＣ
ｌ3，ＮｄＣｌ3，ＴｍＣｌ3，ＰｒＣｌ3，ＹｂＣｌ3，
ＡｌＣｌ3などの水溶液、アルコールを用いることもで
きる。また、添加物元素のアルコキシドに水あるいはア
ルコールを加えて加水分解させた溶液でもよい。次い
で、Ｏ2及びこれと反応してガラスの屈折率を高めるド
ーパントの酸化物を生成する金属ハロゲン化物とを前記
ガラスパイプ内に導入し、これを加熱しながら酸化・脱
水処理（以下、加熱処理と略記する）して、前記含浸溶
液に含まれていたＦｅ，Ｃｕ等の不純物やＯＨ基を除去
する。
【０００８】即ち、ガラスの屈折率を高める酸化物を生
成するハロゲン化物として、例えばＧｅＣｌ4とＯ2は熱
酸化反応によってＧｅＯ2とＣｌ2を生成する。生成した
Ｃｌ2はＦｅ，Ｃｕ等の不純物及びＯＨ基と反応して金
属塩化物及び塩酸となって揮散する。一方、ＧｅＯ2は
ガラスパイプ内面に堆積したガラス微粒子表面に析出す
るかあるいはパイプ内雰囲気中にＧｅＯガスとして存在
することによって、ガラス微粒子から揮散しようとする
ＧｅＯ2を低減する作用をする。さらに、この段階で表
面に析出したＧｅＯ2は先ず多孔質ガラス層の表面に固
溶し、徐々に内部へ拡散させることができる。
成するハロゲン化物として、例えばＧｅＣｌ4とＯ2は熱
酸化反応によってＧｅＯ2とＣｌ2を生成する。生成した
Ｃｌ2はＦｅ，Ｃｕ等の不純物及びＯＨ基と反応して金
属塩化物及び塩酸となって揮散する。一方、ＧｅＯ2は
ガラスパイプ内面に堆積したガラス微粒子表面に析出す
るかあるいはパイプ内雰囲気中にＧｅＯガスとして存在
することによって、ガラス微粒子から揮散しようとする
ＧｅＯ2を低減する作用をする。さらに、この段階で表
面に析出したＧｅＯ2は先ず多孔質ガラス層の表面に固
溶し、徐々に内部へ拡散させることができる。
【０００９】ここで、ＧｅＣｌ4が分解して生成するＣ
ｌ2の濃度は１〜３％程度、Ｏ2ガス濃度は１〜３０％程
度が望ましく、残りはＨｅ等の不活性ガスを併用する。
さらに、その後上述のガラスパイプを透明化し、中実化
するに際しても、ＧｅＣｌ4及びＯ2ガスを供給すること
によってドープしたＧｅＯ2の揮散を防ぐことができ
る。
ｌ2の濃度は１〜３％程度、Ｏ2ガス濃度は１〜３０％程
度が望ましく、残りはＨｅ等の不活性ガスを併用する。
さらに、その後上述のガラスパイプを透明化し、中実化
するに際しても、ＧｅＣｌ4及びＯ2ガスを供給すること
によってドープしたＧｅＯ2の揮散を防ぐことができ
る。
【００１０】
（実施例１） 図１は本発明の一実施例に係わる光ファ
イバ用母材の製造方法の説明図であり、１は石英ガラス
からなるパイプ、２はガラス旋盤の回転支持機構、３は
酸水素バーナからなる熱源、４は多孔質ガラス層、５は
回転方向を示す。まず、パイプ１の中にＳｉＣｌ4：５
０ｃｃ／分、ＧｅＣｌ4：５０ｃｃ／分、Ｏ2：５００ｃ
ｃ／分の割合で導入し、パイプ１を矢印５の方向（また
は反対方向）に回転させながら熱源３でパイプ内が１２
５０℃になるように加熱しながら軸方向に往復移動して
生成したガラス微粒子を堆積し、同時に溶融して所定の
厚さのガラス層を形成した。このガラス層はコアの一部
となる。
イバ用母材の製造方法の説明図であり、１は石英ガラス
からなるパイプ、２はガラス旋盤の回転支持機構、３は
酸水素バーナからなる熱源、４は多孔質ガラス層、５は
回転方向を示す。まず、パイプ１の中にＳｉＣｌ4：５
０ｃｃ／分、ＧｅＣｌ4：５０ｃｃ／分、Ｏ2：５００ｃ
ｃ／分の割合で導入し、パイプ１を矢印５の方向（また
は反対方向）に回転させながら熱源３でパイプ内が１２
５０℃になるように加熱しながら軸方向に往復移動して
生成したガラス微粒子を堆積し、同時に溶融して所定の
厚さのガラス層を形成した。このガラス層はコアの一部
となる。
【００１１】続いて、ＳｉＣｌ4、ＧｅＣｌ4及びＯ2は
上記と同じ割合でパイプ１に導入し、パイプ内が１００
０℃になるように加熱して、その内面にガラス微粒子を
堆積させ、多孔質のガラス層４を形成した。次いで、該
多孔質ガラス層４に、ＥｒＣｌ3が０．００１ｍｏｌ／
ｌのエチルアルコール溶液を含浸させ、２４Ｈｒ放置し
て乾燥した。さらに、前記パイプを再びガラス旋盤に装
着して、ＧｅＣｌ4：１５ｃｃ／分、Ｏ2：３００ｃｃ／
分、Ｈｅ：７００ｃｃ／分の割合で供給しながらパイプ
内を１０５０℃に加熱しながら酸化・脱水処理した。
上記と同じ割合でパイプ１に導入し、パイプ内が１００
０℃になるように加熱して、その内面にガラス微粒子を
堆積させ、多孔質のガラス層４を形成した。次いで、該
多孔質ガラス層４に、ＥｒＣｌ3が０．００１ｍｏｌ／
ｌのエチルアルコール溶液を含浸させ、２４Ｈｒ放置し
て乾燥した。さらに、前記パイプを再びガラス旋盤に装
着して、ＧｅＣｌ4：１５ｃｃ／分、Ｏ2：３００ｃｃ／
分、Ｈｅ：７００ｃｃ／分の割合で供給しながらパイプ
内を１０５０℃に加熱しながら酸化・脱水処理した。
【００１２】最後に、パイプ内のガス雰囲気は変えすに
内部温度を１３００℃に加熱して多孔質ガラス層を透明
がガラス化し、さらに１６００℃に加熱して中実化し
た。このようにして得られた母材はコア部とクラッド部
の屈折率差は３％であった。この母材を線引して得たフ
ァイバは波長１．３μｍにおける伝送損失が０．６７ｄ
Ｂ／ｋｍであった。また、Ｅｒの添加量は分析の結果８
００ｐｐｍであり、殆ど揮散の影響はみられなかった。
内部温度を１３００℃に加熱して多孔質ガラス層を透明
がガラス化し、さらに１６００℃に加熱して中実化し
た。このようにして得られた母材はコア部とクラッド部
の屈折率差は３％であった。この母材を線引して得たフ
ァイバは波長１．３μｍにおける伝送損失が０．６７ｄ
Ｂ／ｋｍであった。また、Ｅｒの添加量は分析の結果８
００ｐｐｍであり、殆ど揮散の影響はみられなかった。
【００１３】（実施例２） 実施例１と同じ工程で別の
母材を作成した。但し、パイプ１の内側にガラス微粒子
を堆積する際のガスの供給条件は、ＳｉＣｌ4：５０ｃ
ｃ／分、Ｏ2：５００ｃｃ／分とし、また、酸化・脱水
処理の条件はＧｅＣｌ4：１５ｃｃ／分、Ｏ2：３００ｃ
ｃ／分、Ｈｅ：２００ｃｃ／分の割合で供給した。その
他の条件は実施例１と同じである。このようにして得ら
れらた母材はコアとクラッドの屈折率差が２％であっ
た。この母材を線引して得られたファイバは波長１．３
μｍにおける伝送損失が０．６２ｄＢ／ｋｍであった。
また、Ｅｒの添加量は分析の結果８００ｐｐｍであり、
殆ど揮散の影響はみられなかった。
母材を作成した。但し、パイプ１の内側にガラス微粒子
を堆積する際のガスの供給条件は、ＳｉＣｌ4：５０ｃ
ｃ／分、Ｏ2：５００ｃｃ／分とし、また、酸化・脱水
処理の条件はＧｅＣｌ4：１５ｃｃ／分、Ｏ2：３００ｃ
ｃ／分、Ｈｅ：２００ｃｃ／分の割合で供給した。その
他の条件は実施例１と同じである。このようにして得ら
れらた母材はコアとクラッドの屈折率差が２％であっ
た。この母材を線引して得られたファイバは波長１．３
μｍにおける伝送損失が０．６２ｄＢ／ｋｍであった。
また、Ｅｒの添加量は分析の結果８００ｐｐｍであり、
殆ど揮散の影響はみられなかった。
【００１４】（比較例１） 実施例１の工程において、
酸化、脱水、透明化、中実化処理に際し、ＧｅＣｌ4及
びＯ2の代りにＣｌ2：３０ｃｃ／分とし、Ｈｅは１００
０ｃｃ／分とした。その他の条件は実施例１と同じであ
る。このようにして得られた母材は多孔質ガラス部分に
相当するコアのＧｅＯ2が殆ど揮散し、石英ガラスとほ
ぼ同じ比屈折率差であった。この母材を線引して得たフ
ァイバは波長１．３μｍにおける伝送損失が０．７８ｄ
Ｂ／ｋｍと大きく、またＥｒの添加量は分析の結果、検
出限界以下であった。
酸化、脱水、透明化、中実化処理に際し、ＧｅＣｌ4及
びＯ2の代りにＣｌ2：３０ｃｃ／分とし、Ｈｅは１００
０ｃｃ／分とした。その他の条件は実施例１と同じであ
る。このようにして得られた母材は多孔質ガラス部分に
相当するコアのＧｅＯ2が殆ど揮散し、石英ガラスとほ
ぼ同じ比屈折率差であった。この母材を線引して得たフ
ァイバは波長１．３μｍにおける伝送損失が０．７８ｄ
Ｂ／ｋｍと大きく、またＥｒの添加量は分析の結果、検
出限界以下であった。
【００１５】（比較例２） 実施例１の工程において、
酸化、脱水、透明化、中実化処理に際し、ＧｅＣｌ4の
代りにＣｌ2：３０ｃｃ／分を供給した。その他の条件
は実施例１と同じである。このようにして得られた母材
は多孔質ガラス部分に相当するコアにはＧｅＯ2が殆ど
揮散し、石英ガラスとほぼ同じ比屈折率差であった。こ
の母材を線引して得たファイバは波長１．３μｍにおけ
る伝送損失が０．７８ｄＢ／ｋｍと大きく、またＥｒの
添加量は分析の結果、約８００ｐｐｍであり、殆ど揮散
の影響はみられなかった。
酸化、脱水、透明化、中実化処理に際し、ＧｅＣｌ4の
代りにＣｌ2：３０ｃｃ／分を供給した。その他の条件
は実施例１と同じである。このようにして得られた母材
は多孔質ガラス部分に相当するコアにはＧｅＯ2が殆ど
揮散し、石英ガラスとほぼ同じ比屈折率差であった。こ
の母材を線引して得たファイバは波長１．３μｍにおけ
る伝送損失が０．７８ｄＢ／ｋｍと大きく、またＥｒの
添加量は分析の結果、約８００ｐｐｍであり、殆ど揮散
の影響はみられなかった。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明に係わる光フ
ァイバ用母材の製造方法によれば、Ｆｅ、Ｃｕ等の不純
物及びＯＨ基を効果的に除去することができ、また、含
浸した添加剤及び屈折率を高めるドーパントの揮散を防
止することができるので、低損失で光増幅率の高い機能
性ファイバ用母材を得ることができる。
ァイバ用母材の製造方法によれば、Ｆｅ、Ｃｕ等の不純
物及びＯＨ基を効果的に除去することができ、また、含
浸した添加剤及び屈折率を高めるドーパントの揮散を防
止することができるので、低損失で光増幅率の高い機能
性ファイバ用母材を得ることができる。
【図１】本発明の光ファイバ用母材の製造方法に係わる
一実施例の説明図である。
一実施例の説明図である。
【図２】従来の光ファイバ用母材の製造方法に係わる説
明図である。
明図である。
１：ガラスパイプ ２：ガラス旋盤の回転支持機槽 ３：熱源 ４：多孔質ガラス層 ５：回転方向
フロントページの続き (72)発明者 向後 隆司 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友 電気工業株式会社横浜製作所内 (56)参考文献 特開 平３−211504（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−154641（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−265537（ＪＰ，Ａ) 米国特許5058976（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/00 - 37/16
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラスパイプの外周に該パイプの軸に沿
って移動する熱源を配設し、該パイプ内に少なくとも気
相状のガラス原料とＯ2ガスを送り込み、これを前記熱
源によって加熱して反応させ、該パイプの内面にＳｉＯ
2の多孔質ガラス層を形成し、該多孔質ガラス層に少な
くとも可視光または赤外光を発光する希土類からなる酸
化物添加剤および／または酸化物添加剤に変換しうる化
合物を含有した溶液を含浸した後に乾燥し、次いで、少
なくともＯ2およびこれと反応してガラスの屈折率を高
めるドーパントの酸化物を生成する金属塩化物とを、前
記金属塩化物が分解して生成するＣｌ 2 の濃度が１〜３
％となるよう、前記パイプ内に送り込み、前記熱源によ
って加熱処理した後、前記多孔質ガラス層を透明ガラス
化し、続いて該パイプを中実化することを特徴とする光
ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項２】 ガラスパイプ内に少なくともＯ2及びこ
れと反応してガラスの屈折率を高めるドーパントの酸化
物を生成する金属塩化物とを、前記金属塩化物が分解し
て生成するＣｌ 2 の濃度が１〜３％となるよう、送り込
みながら多孔質ガラス層を透明ガラス化することを特徴
とする請求項１記載の光ファイバ用母材の製造方法。 - 【請求項３】 金属塩化物がＧｅＣｌ4であることを特
徴とする請求項１，２記載の光ファイバ用母材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14225892A JP3191408B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14225892A JP3191408B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05330842A JPH05330842A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3191408B2 true JP3191408B2 (ja) | 2001-07-23 |
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ID=15311148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14225892A Expired - Fee Related JP3191408B2 (ja) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191408B2 (ja) |
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| KR100521958B1 (ko) * | 2002-09-18 | 2005-10-14 | 엘에스전선 주식회사 | 수정화학기상증착법에 있어서 이중토치를 이용한 광섬유모재의 제조 방법 및 장치 |
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1992
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