JP2582592C - - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば光ファイバレーザ、増幅器、光ファイバセンサ等の機能性フ
ァイバ等、光機能素子を得るための光ファイバ母材を製造する方法に関するもの
である。 （従来技術及びその問題点） 光機能素子の一例として機能性ファイバがある。この機能性ファイバとは、例
えば光ファイバレーザや光ファイバ増幅器や光ファイバセンサ等であり、通常の
光ファイバのコアに希土類元素をドーピングしたものである。このような希土類
元素等をドーピングした光ファイバの母材の製造方法として、従来、例えば特開
昭62-59535号公報に記載されているように、VAD法により母材を製造するに際し
て、１気圧を超える添加剤含有雰囲気ガス中で多孔質母材を焼結して透明ガラス
化することにより希土類元素等をドーピングする方法があった。また浸漬による
方法が特開昭56-73638号公報に記載されている。 しかしながら、このような従来の方法では、いずれにしても高濃度に希土類元
素をドーピングすることができないという不都合があった。 （問題を解決するための手段） 上記問題点を解決するため、本発明の光機能素子用光ファイバ母材の製造方法
は、VAD法により、石英より屈折率の高いガラス微粒子の半焼結体である多孔質 母材を作製し、この多孔質母材に希土類アルコール溶液を含浸させ、これを乾燥
させてアルコールを蒸発させた後、焼結することによりガラス化してコラロッド
を作製し、ついで純粋石英クラッド層を合成するものである。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づいて、説明する。 第１図は本発明の一実施例における光機能素子用光ファイバ母材の製造方法の
工程説明図で、本実施例では希土類元素としてNd(ネオジム)をドーピングした単
一モード光ファイバのコア(コアロッド)を製造する。まず、工程１において、周
知のVAD法(Vaper Phase Axial Deposition)によりガラス微粒子の半焼結体で
ある多孔質母材(スート)を作製する。このとき、屈折率制御のためにGeO2等を添
加することも可能である。次に工程２において、NdCl3(塩化ネオジム)のメタノ
ール溶液に前記多孔質母材を室温にて24時間程度浸漬する。なお、希土類塩化物
はアルコールに溶けやすいので、この溶液は容易に作製できる。次に工程３にお
いて、前記多孔質母材を室温にて１週間程度放置し、メタノールを蒸発させる。
これにより、多孔質母材にNdCl3が沈着する。次に工程４において、通常の1500
℃程度のHe(ヘリウム)雰囲気条件にて焼結し、透明ガラス化を行う。これにより
光ファイバのコア（コアロッド）が完成する。 以上の手順により、外径10mm、長さ200mmのコアロッドを、NdCl3メタノール溶
液の濃度を種々に変えた多数製作した。そして溶液の濃度とNdのドープ量との関
係を調べたところ、第２図のような結果が得られた。すなわち、溶液の濃度が大
きいほどドープ量も大きくなり、ほぼ２重量％の濃度の時に最大20000p.p.m.ま
での高濃度ドーピングが可能であった。これ以上のドープ量では、透明ガラス化
が困難であった。なお、ドープ量は波長0.8μmの光の吸光度より求めた。また、
作製したコアロッドの両端のドープ量の変動を調べた結果、10％以内に収まって
おり、均一にドーピングされていることが確認された。 次に、上記コアロッドのうち、2000p.p.m.の濃度にドーピングされたコアロッ
ド(比屈折率差ΔＮ＝0.8％)に純粋石英クラッド層を被せ、これを延伸・細径化
してコアロッドの径が約１mm、外径が20mmとなるように純粋石英クラッド層を合
成して光ファイバ母材を作製し、その屈折率分布を調べたところ、第３図のよう
であった。さらにこの光ファイバ母材から、コア径5.0 μmの光ファイバを作製 して損失波長特性を調べたところ、第４図のようであった。すなわち第４図(Ａ)
のように、波長0.4〜1.0 μmの範囲では高濃度のNdによる吸収が見られた。第４
図(Ｂ)のように、波長1.0〜1.2 μmの範囲では3dB/km以下の低損失値を示してお
り、使用したメタノールの影響は全く認められなかった。 このように、VAD法と含浸法との有機的な組合わせより、希土類元素が極めて
高濃度にしかも均一にドーピングされた光機能素子用光ファイバ母材を製造でき
る。したがってこの光ファイバ母材を用いて例えば単一モードの光ファイバを製
作することにより、高濃度ドーピングのしかも低損失の光ファイバを得ることが
でき、さらにはこの光ファイバを光ファイバレーザとして用いることにより、高
濃度ドーピングが可能であることから発振効率が向上し、小型化を実現できる。
特に本実施例の場合、NdCl3メタノール溶液の濃度をNdCl3の重量％で0.5〜2にす
ることにより、ドーピングの濃度を10000〜20000p.p.m.程度の極めて高い濃度に
することができ、非常に好ましい。 （別の実施例） 上記実施例においては、ドーピングする希土類元素としてNdを用いた例につい
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のいかなる希土類元
素をドーピングする場合であっても本発明を用いることができる。 また上記実施例においては、アルコールとしてメタノールを用いた例について
説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のいかなるアルコール
を用いてもよい。 （発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、VAD法により、石英より屈折率の高い
ガラス微粒子の半焼結体である多孔質母材を作製し、この多孔質母材に希土類ア
ルコール溶液を含浸させ、これを乾燥させてアルコールを蒸発させた後、焼結す
ることによりガラス化してコアロッドを作製し、ついで純粋石英クラッド層を合
成するので、VAD法と含浸法との有機的な組合わせにより、希土類元素が極めて
高濃度にしかも均一にドーピングされた光機能素子用光ファイバ母材を製造でき
る。したがってこの光ファイバ母材を用いて例えば単一モードの光ファイバを製
作することにより、高濃度ドーピングのしかも低損失の光ファイバを得ることが でき、さらにはこの光ファイバを光ファイバレーザとして用いることにより、高
濃度ドーピングが可能であることから発振効率が向上し、小型化を実現できる。
ァイバ等、光機能素子を得るための光ファイバ母材を製造する方法に関するもの
である。 （従来技術及びその問題点） 光機能素子の一例として機能性ファイバがある。この機能性ファイバとは、例
えば光ファイバレーザや光ファイバ増幅器や光ファイバセンサ等であり、通常の
光ファイバのコアに希土類元素をドーピングしたものである。このような希土類
元素等をドーピングした光ファイバの母材の製造方法として、従来、例えば特開
昭62-59535号公報に記載されているように、VAD法により母材を製造するに際し
て、１気圧を超える添加剤含有雰囲気ガス中で多孔質母材を焼結して透明ガラス
化することにより希土類元素等をドーピングする方法があった。また浸漬による
方法が特開昭56-73638号公報に記載されている。 しかしながら、このような従来の方法では、いずれにしても高濃度に希土類元
素をドーピングすることができないという不都合があった。 （問題を解決するための手段） 上記問題点を解決するため、本発明の光機能素子用光ファイバ母材の製造方法
は、VAD法により、石英より屈折率の高いガラス微粒子の半焼結体である多孔質 母材を作製し、この多孔質母材に希土類アルコール溶液を含浸させ、これを乾燥
させてアルコールを蒸発させた後、焼結することによりガラス化してコラロッド
を作製し、ついで純粋石英クラッド層を合成するものである。 （実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づいて、説明する。 第１図は本発明の一実施例における光機能素子用光ファイバ母材の製造方法の
工程説明図で、本実施例では希土類元素としてNd(ネオジム)をドーピングした単
一モード光ファイバのコア(コアロッド)を製造する。まず、工程１において、周
知のVAD法(Vaper Phase Axial Deposition)によりガラス微粒子の半焼結体で
ある多孔質母材(スート)を作製する。このとき、屈折率制御のためにGeO2等を添
加することも可能である。次に工程２において、NdCl3(塩化ネオジム)のメタノ
ール溶液に前記多孔質母材を室温にて24時間程度浸漬する。なお、希土類塩化物
はアルコールに溶けやすいので、この溶液は容易に作製できる。次に工程３にお
いて、前記多孔質母材を室温にて１週間程度放置し、メタノールを蒸発させる。
これにより、多孔質母材にNdCl3が沈着する。次に工程４において、通常の1500
℃程度のHe(ヘリウム)雰囲気条件にて焼結し、透明ガラス化を行う。これにより
光ファイバのコア（コアロッド）が完成する。 以上の手順により、外径10mm、長さ200mmのコアロッドを、NdCl3メタノール溶
液の濃度を種々に変えた多数製作した。そして溶液の濃度とNdのドープ量との関
係を調べたところ、第２図のような結果が得られた。すなわち、溶液の濃度が大
きいほどドープ量も大きくなり、ほぼ２重量％の濃度の時に最大20000p.p.m.ま
での高濃度ドーピングが可能であった。これ以上のドープ量では、透明ガラス化
が困難であった。なお、ドープ量は波長0.8μmの光の吸光度より求めた。また、
作製したコアロッドの両端のドープ量の変動を調べた結果、10％以内に収まって
おり、均一にドーピングされていることが確認された。 次に、上記コアロッドのうち、2000p.p.m.の濃度にドーピングされたコアロッ
ド(比屈折率差ΔＮ＝0.8％)に純粋石英クラッド層を被せ、これを延伸・細径化
してコアロッドの径が約１mm、外径が20mmとなるように純粋石英クラッド層を合
成して光ファイバ母材を作製し、その屈折率分布を調べたところ、第３図のよう
であった。さらにこの光ファイバ母材から、コア径5.0 μmの光ファイバを作製 して損失波長特性を調べたところ、第４図のようであった。すなわち第４図(Ａ)
のように、波長0.4〜1.0 μmの範囲では高濃度のNdによる吸収が見られた。第４
図(Ｂ)のように、波長1.0〜1.2 μmの範囲では3dB/km以下の低損失値を示してお
り、使用したメタノールの影響は全く認められなかった。 このように、VAD法と含浸法との有機的な組合わせより、希土類元素が極めて
高濃度にしかも均一にドーピングされた光機能素子用光ファイバ母材を製造でき
る。したがってこの光ファイバ母材を用いて例えば単一モードの光ファイバを製
作することにより、高濃度ドーピングのしかも低損失の光ファイバを得ることが
でき、さらにはこの光ファイバを光ファイバレーザとして用いることにより、高
濃度ドーピングが可能であることから発振効率が向上し、小型化を実現できる。
特に本実施例の場合、NdCl3メタノール溶液の濃度をNdCl3の重量％で0.5〜2にす
ることにより、ドーピングの濃度を10000〜20000p.p.m.程度の極めて高い濃度に
することができ、非常に好ましい。 （別の実施例） 上記実施例においては、ドーピングする希土類元素としてNdを用いた例につい
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のいかなる希土類元
素をドーピングする場合であっても本発明を用いることができる。 また上記実施例においては、アルコールとしてメタノールを用いた例について
説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他のいかなるアルコール
を用いてもよい。 （発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、VAD法により、石英より屈折率の高い
ガラス微粒子の半焼結体である多孔質母材を作製し、この多孔質母材に希土類ア
ルコール溶液を含浸させ、これを乾燥させてアルコールを蒸発させた後、焼結す
ることによりガラス化してコアロッドを作製し、ついで純粋石英クラッド層を合
成するので、VAD法と含浸法との有機的な組合わせにより、希土類元素が極めて
高濃度にしかも均一にドーピングされた光機能素子用光ファイバ母材を製造でき
る。したがってこの光ファイバ母材を用いて例えば単一モードの光ファイバを製
作することにより、高濃度ドーピングのしかも低損失の光ファイバを得ることが でき、さらにはこの光ファイバを光ファイバレーザとして用いることにより、高
濃度ドーピングが可能であることから発振効率が向上し、小型化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例における光機能素子用光ファイバ母材の製造方法の
工程説明図、第２図は第１図の工程により得られた光ファイバ母材の希土類アル
コール溶液濃度と希土類ドープ量との関係の説明図、第３図は同光ファイバ母材
の屈折率分布の説明図、第４図は同光ファイバ母材により制作された光ファイバ
の損失波長特性の説明図である。
工程説明図、第２図は第１図の工程により得られた光ファイバ母材の希土類アル
コール溶液濃度と希土類ドープ量との関係の説明図、第３図は同光ファイバ母材
の屈折率分布の説明図、第４図は同光ファイバ母材により制作された光ファイバ
の損失波長特性の説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 VAD法により、石英より屈折率の高いガラス微粒子の半焼結体で
ある多孔質母材を作製し、この多孔質母材に希土類アルコール溶液を含浸させ、
これを乾燥させてアルコールを蒸発させた後、焼結することによりガラス化して
コアロッドを作製し、ついで純粋石英クラッド層を合成することを特徴とする光
機能素子用光ファイバ母材の製造方法。 【請求項２】 多孔質母材に含侵させる希土類アルコール溶液として、NdCl3を0
.5〜2重量％含んだメタノールを用いる特許請求の範囲第１項に記載の光機能素
子用光ファイバ母材の製造方法。
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