JP2584551B2 - チタン材の表面硬化処理方法 - Google Patents

チタン材の表面硬化処理方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はチタン材の表面硬化処
理方法に関する。
【0002】
【従来技術】チタン材に適用されている表面硬化処理方
法には,イオンプレーティングに代表されるPVD(Ph
ysical Vapor Deposition )法やCVD(Chmical Vapo
r Deposition)法、あるいは真空加熱炉を用いた窒素ガ
スによる窒化処理方法などがある。これら従来方法の共
通した欠点として(1)バッチ処理方法に限定される、
(2)処理時間が長い割りに表面から深い硬化層が得ら
れない、(3)設備費が高価なうえに工数がかかる、
(4)以上の結果として表面硬化処理費用が非常に高価
である、などが挙げられる。
【0003】また硬質Crメッキ法などの適用も考えら
れるが、これをチタン材料に適用した場合には硬化層が
薄く、耐久性や安定性に問題を有している。
【0004】近年、上記の問題を解決すべく、種々の表
面硬化処理方法が提案されているが、いまだ十分な効果
が得られていないのが現状である。
【0005】例えば特開昭61−284559号公報に
は、表面酸化皮膜を形成させた後、真空中又は不活性ガ
ス中でチタン材を加熱し、表面酸化皮膜を消失させると
いう方法が開示されている。しかし、この方法では表面
は金属光沢を示すものの、一度表面に酸化皮膜を形成さ
せるため、表面がどうしても荒れてしまうという欠点が
ある。
【0006】また特開昭61−69956号公報には、
2 −O2 −N2 雰囲気中でチタン材を加熱することに
より表面硬化層を得る方法が提案されている。しかし、
この方法では、鉄鋼材料への浸炭処理方法(特開昭63
−72821号公報参照)をチタン材に適用する場合と
同様、チタン中に水素が含有されてしまい、後工程の脱
水素が必要不可欠になり、工程が複雑化するという欠点
を有している。
【0007】また、本願発明者らはすでにCaCO3
末を用いたパックプロセスによるチタン材の表面硬化処
理方法を提案している(特開昭63−195258)。
この方法は上記従来方法に比較して短時間処理により非
常に高い表面硬度と深い硬化層が得られる利点を有して
いる。しかしながら、(1)表面硬化処理温度がCaC
O3 粉末の分解温度である898℃以上に限定される、
(2)CaAO3 粉末をパックするために工数がかか
る、などの欠点を有している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明はかかる事情
に鑑みてなされたものであって、表面の荒れを伴うこと
なく、簡便に、深い硬化層が得られるチタン材の表面硬
化処理方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明は、上
記課題を解決するために、チタン材をCO2 ガスを含む
雰囲気で加熱処理し、チタン材表面でCO 2 が還元され
て生成した酸素と炭素とをチタン表面から内部に拡散さ
せることを特徴とするチタン材の表面硬化処理方法を提
供する。これにより、酸素及び炭素が固溶した深い表面
硬化層を得ることができる。
【0010】この場合のCO2 ガスはチタン材の表面で
還元され酸素、炭素源として働く。そして、この酸素、
炭素はいずれもチタン材に対し顕著な固溶硬化能を示
す。酸素及び炭素は、チタン材のα域、β域の両相にお
いて固溶度が十分高く、また両元素とも侵入型元素のた
めに拡散速度が著しく速いため、α域、β域のいずれの
温度域においても従来法と比較して著しく短時間の処理
により高い表面硬度と深い硬化層が得られることとな
る。
【0011】この場合に、加熱処理雰囲気は、CO2
スと、Ar,He及びN2 のうちの1種以上を含むガス
との混合ガス雰囲気であることが好ましい。Ar,H
e,N2 ガスはチタン材に対し不活性であるため、CO
2 ガスの分圧を下げ、CO2 ガスによるチタン材の過剰
酸化を防止し、表面荒れを防ぐ効果がある。これらの混
合ガスの成分組成は表面硬化特性及び表面荒れに影響は
及ぼさず、CO2 ガス分圧のみが表面硬化特性及び表面
荒れに影響を及ぼす。このため表面硬化処理後の表面粗
さRmax を、ショットなどの処理のみで使用可能な10
μm以下とするには、CO2 分圧を一定範囲にコントロ
−ルすることが必要であり、この値を1/2以下とする
ことが好ましい。
【0012】加熱はチタン材とCO2 ガスとを活性化
し、これらの間の反応を促進するために行う。従って、
高温度であるほど、CO2 ガスの分解が速く生じ、併せ
て酸素、炭素のチタン材中の拡散速度も速くなるため、
深い硬化層を得ることができる。実用的には10時間以
内の硬化処理でHv500以上の硬化層を深さ5μm以
上で形成することが好ましく、このような観点からは加
熱処理温度が700℃以上であることが要求される。
【0013】本発明の熱処理に際しては、気密性の高い
一般の熱処理炉(ピット炉や管状炉)、又は鋼の浸炭や
窒化処理に用いられている工業炉を利用することができ
るが、これらに限定されず種々の炉を使用することがで
きる。
【0014】加熱処理の実例を上げると、上述したピッ
ト炉、管状炉、又は工業炉の中にチタン材を挿入後、昇
温前にまずArやHe,N2 などのチタン材に対し不活
性なガスを連続的に吹き込んで炉内を置換した後、一定
のCO2 ガス分圧に制御された混合ガスに切り換え、昇
温、加熱硬化処理を行う。そして、加熱硬化処理後、処
理材を炉冷又は急冷する。この昇温、冷却過程や表面硬
化処理中(混合ガス中の不純物としての酸素)に過剰の
酸素が存在する場合、酸化により表面荒れが発生するこ
ととなり、したがって表面硬化処理後の表面粗さRmax
を、表面硬化処理後そのまま使用可能な5μm以下とす
るには、500℃以上の温度域での酸素分圧を1/10
以下とすることが好ましい。
【0015】上述したように、本発明におけるチタン材
の表面硬化の機構は、雰囲気ガス中のCO2 ガスがチタ
ン表面で反応して還元され、酸素と炭素とに分解し、こ
れらがチタン表面から内部に拡散し、これらが侵入型元
素であることから固溶強化によりチタン材の表面が硬化
することに基づいている。従って、処理温度の制約がな
く、前述したパックプロセスでは不可能であった898
℃以下での処理が可能である。特に純チタンの表面硬化
処理では結晶粒成長の抑制の観点から低温処理が望まし
いが、本法によってこれが可能となる。
【0016】なお、本発明におけるチタン材は、純チタ
ン、各種チタン合金、各種チタン基金属間化合物を総称
するものであり、このように材料による制限がないこと
も本発明の特徴である。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0018】実験に用いたチタン材はCP2種純チタン
とTi−6%Al−4%Vチタン合金であり、1mm板
厚、幅30mm、長さ50mmの板状サンプルの表面を
研削し、表面粗さRmax を2μm以下として供試材とし
た。表面硬化処理は管状炉又はピット炉を用いて行っ
た。いずれの炉もCO2 、Ar,He,N2 ,O2 の混
合ガスを使用することが可能であり、付属のガス分析装
置によりCO2 ガス等の濃度を測定した。
【0019】先ず、Ti−6%Al−4%V合金を80
0℃で3時間、CO2 +Ar雰囲気(CO2 分圧1/
4)で加熱し、表面硬化処理した場合の試料表面から板
厚方向の酸素と炭素の濃度分布をX線マイクロアナライ
ザ−で調査した。その結果を図1に示す。この図に示す
ように、表面部分において両元素とも著しく濃度が高く
なっており、表面側からこれらの元素が同時に侵入して
いることが確認された。
【0020】次に、純チタン(Cp2種チタン)をCO
2 分圧1/10及び1/20で、温度を800℃、95
0℃にて20分間乃至3時間加熱処理した際における、
表面から深さ方向の硬度分布(荷重5gの微小硬度計を
使用)を測定した。比較のため、従来の真空加熱炉にお
けるガス窒化法(800℃、30時間)を用いた場合に
ついても測定した。その結果を図2に示す。この図に示
すように、従来の真空加熱炉によるガス窒化法に比較し
て本発明の方法では極めて短時間の処理で、より深い硬
化層が得られていることが確認された。
【0021】図3は、同様の硬度分布を、Ti−6%A
l−4%V合金を本発明法により処理した場合について
示すものであり、この場合にも純チタンの場合と同様、
短時間処理で深い硬化層が得られることを示している。
【0022】次に、処理条件を種々変化させて実験を行
った結果について説明する。実験に用いたガスはC
2 、Ar,He,N2 ,O2 であり、CO2 ガス分圧
を1/20〜2/3、処理温度を300℃〜1000
℃、混合ガス中のO2 分圧を1/20〜1/5と変化さ
せた。このような処理材について、荷重5gの微小硬度
計による深さ方向の硬度分布、及び表面粗さ計による表
面粗さRmax を評価した。
【0023】(実験1)混合ガス中のO2 分圧を1/1
0とした条件下でCO2 ガス分圧を1/2に設定し、3
00℃〜1000℃で10時間加熱処理後、炉冷してサ
ンプルを作成した。その後、これらサンプルの深さ方向
の硬度分布を測定した。その結果を表1に示す。表1
中、硬化層の欄はHv500以上の硬化層が5μm以上
形成されたか否かを示すものであり、硬化層がこのよう
な条件を満足するものを○、満足しないものを×で示
す。
【0024】
【表1】
【0025】この表に示すように、700℃以上での加
熱処理によって、Hv500以上の硬化層が5μm以上
形成されることが確認された。
【0026】(実験2)混合ガス中のO2 分圧を1/1
0とした条件下でCO2 ガス分圧を1/20〜2/3と
変化させ、800℃で3時間加熱処理後、炉冷してサン
プルを作成した。その後、これらサンプルの硬度分布、
表面粗さを測定した。その結果を表2に示す。表2中、
硬化層の欄は、実験1と同様、Hv500以上の硬化層
が5μm以上形成されたか否かを示すものであり、表面
粗さの欄は、Rmax が10μm以下か否かを示すもので
あって、これを満たすものを○、満たさないものを×で
示す。
【0027】
【表2】
【0028】この表に示すように、CO2 分圧が1/2
0でも十分な硬化層が形成され、CO2 分圧が1/20
でも硬化処理が可能であることが確認された。また、C
2 分圧が1/2を超えた場合、表面粗さが10μm以
上と劣化することが確認された。
【0029】(実験3)混合ガスの酸素分圧を500℃
以上の温度範囲で1/5〜1/20と変化させ、CO2
分圧を1/2に設定して800℃で3時間加熱処理後、
炉冷してサンプルを作成した。その後、これらサンプル
の表面粗さを測定した。その結果を表3に示す。表3
中、表面粗さの欄は、Rmax が5μm以下か否かを示す
ものであって、これを満たすものを○、満たさないもの
を×で示す。
【0030】
【表3】
【0031】この表に示すように、500℃以上の温度
における混合ガスの酸素分圧が1/10以下の場合、R
max が5μm以下と極めて良好な表面状態が得られるこ
とが確認された。
【0032】
【発明の効果】この発明によれば、表面の荒れを伴うこ
となく、簡便に、深い硬化層が得られるチタン材の表面
硬化処理方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の方法を行った場合の試料表面から厚
さ方向の酸素及び炭素の濃度分布を示す図。
【図2】この発明の方法により処理された純チタン試料
及び比較例の試料における表面から深さ方向の硬度分布
を示す図。
【図3】この発明の方法により処理されたTi−6%A
l−4%V合金試料における表面から深さ方向の硬度分
布を示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大屋 廣茂 神奈川県厚木市上依知字上ノ原3012番地 3 大屋熱処理株式会社内 (72)発明者 伊藤 経教 神奈川県厚木市上依知字上ノ原3012番地 3 大屋熱処理株式会社内 (56)参考文献 特開 昭56−62959(JP,A) 特開 昭52−82642(JP,A) 特開 平2−153017(JP,A) 特開 平2−294461(JP,A) 特開 平2−251090(JP,A) 特開 平2−195255(JP,A) 特公 昭61−27468(JP,B1)

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】チタン材をCO2 ガスを含む雰囲気で加熱
    処理し、チタン材表面でCO 2 が還元されて生成した酸
    素と炭素とをチタン表面から内部に拡散させることを特
    徴とするチタン材の表面硬化処理方法。
  2. 【請求項2】 加熱処理雰囲気が、CO2 ガスと、A
    r,He及びN2 のうちの1種以上を含むガスとの混合
    ガス雰囲気であることを特徴とする請求項1に記載のチ
    タン材の表面硬化処理方法。
  3. 【請求項3】 加熱処理温度が700℃以上であること
    を特徴とする請求項1又は2に記載のチタン材の表面硬
    化処理方法。
  4. 【請求項4】 CO2 ガス分圧が1/2以下であること
    を特徴とする請求項1乃至3いずれか1項に記載のチタ
    ン材の表面硬化処理方法。
  5. 【請求項5】 500℃以上の温度域での酸素分圧が1
    /10以下であることを特徴とする請求項1乃至3いず
    れか1項記載のチタン材の表面硬化処理方法。
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