JP2558995B2 - 薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
薄膜トランジスタの製造方法Info
- Publication number
- JP2558995B2 JP2558995B2 JP4186475A JP18647592A JP2558995B2 JP 2558995 B2 JP2558995 B2 JP 2558995B2 JP 4186475 A JP4186475 A JP 4186475A JP 18647592 A JP18647592 A JP 18647592A JP 2558995 B2 JP2558995 B2 JP 2558995B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- amorphous
- sin
- film transistor
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
モーファスSi、Ti/アモーファスSiあるいはアモ
ーファスSiのドライエッチングを応用した液晶表示装
置における薄膜トランジスタの製造方法に関する。
にアモーファスSiを用いた薄膜トランジスタを使用し
ている液晶表示装置の製造は、アモーファスSi及びそ
れに重なる薄膜のパターン形成が必要である。なお、ア
モーファスSi上の薄膜としては、Ti,Mo,Cr等
があり、さらに低抵抗化の目的でAlを成膜する場合も
ある。これらの成膜は通常、薬液で化学的にエッチング
するか、フッ素系ガスを主成分としたドライエッチング
によって行われる。
での従来技術を使用して、アモーファスSi,Ti,A
lの順に成膜した場合のAl/Ti/アモーファスSi
のパターン形成を述べる(以後、多層膜については成膜
した順に/を用いて、3層膜の場合3/2/1、2層膜
の場合2/1と表記する)。
ス)8上にゲート電極1を形成後、ゲート絶縁層2とな
るSiN、半導体層3となるアモーファスSiとチャン
ネルストッパ4となるSiNを堆積し、チャンネルスト
ッパ4(SiN)を島状に加工後、n型不純物をドープ
した半導体層5のアモーファスSiとソース・ドレイン
となる金属膜としてTi(6)を堆積し、所望のレジス
トパターン9を形成する。
物をドープしたアモーファスSiを希フッ酸、(希フッ
酸+硝酸)あるいは(CF4+O2)のドライエッチング
で加工すると図2(B)に示すようになる。この場合、
上記の薬液、ガスとも下地膜となるゲート絶縁層2のS
iNをエッチングする。
レインとなる低抵抗金属膜としてのAl(7)を堆積
し、所望のレジストパターン10を再度形成する。ま
た、図2(C)に示すようにリン酸でAl(7)をエッ
チングする。
ジスタの形成工程を完了する。
術では、図2(B)の例のように一般的に用いられてい
る下地膜であるSiN,SiO2に対し良好な選択性を
得るのが困難である。また、等方エッチングとなるため
レジストからの後退量が大きく微細加工に不適であり、
断面形状も不連続なものとなって次工程で成膜される保
護膜の被覆性が悪くなる。さらに、Alを含めた多層膜
を加工する際、Alについてエッチング方法を変える必
要があり、工程が複雑化し製造コスト増につながる。
発明はチャンネル部にチャンネルストッパを介在したア
モーファスSi薄膜を用い、その下に絶縁膜としてSi
N,SiO 2 を用いている薄膜トランジスタのソース、
ドレイン電極を形成する製造方法であって、前記チャン
ネル部上にTiを成膜し、所望のレジストパターンを形
成し、その後BCl 3 ,Cl 2 の2種の混合ガスまたはB
Cl 3 ,Cl 2 ,N 2 の3種の混合ガスを使用し、その合
計の流量に対しCl 2 流量比を30%以下で、前記チャ
ンネルストッパ上の多層膜Ti/アモーファスSiをそ
の順にドライエッチングすることを特徴とする薄膜トラ
ンジスタの製造方法である。
用いることにより、SiN,SiO2のエッチングレー
トを低下させ、Al,Ti,アモーファスSiエッチン
グでの下地膜SiN,SiO2に対する良好な選択性を
得、さらに、N2を添加し圧力を制限することにより、
Al,Ti,アモーファスSi形状の異方性を達成し、
Cl2流量比30%以下で多層膜エッチングでの界面連
続性を得るものである。
1を参照して薄膜トランジスタの製造工程でのAl/T
i/アモーファスSiのソース・ドレインパターン形成
を述べる。
ス)8上にゲート電極1を形成後、ゲート絶縁層2とな
るSiN、半導体層3となるアモーファスSiとチャン
ネルストッパ4となるSiNを堆積し、チャンネルスト
ッパ4(SiN)を希フッ酸で島状に加工後、n型不純
物をドープした半導体層5(アモーファスSi)とソー
ス・ドレインとなる金属膜としてTi(6),Al
(7)を堆積し、所望のレジストパターン9を形成し
た。ここで、SiN,アモーファスSi,SiNはCV
D(Chemical Vapor Deposition)法で連続成膜を行
い、n+アモーファスSiの成膜もCVD法を用いた。
また、Ti,Alはスパッタ法で連続成膜を行った。
N2=420/90/360SCCMを圧力100mT
orrに制御し、13.56MHzの高周波電力120
0Wをチャンネルストッパ4上に印加した。エッチング
レートはAl,Ti,アモーファスSiおよびSiNに
ついて各々170nm/min,90nm/min,8
0nm/min,30nm/minとなり、1minの
オーバーエッチングを行った。このとき、Ti膜の柱状
構造に起因するアモーファスSiの残渣状のエッチング
残りはない。エッチング後の断面形状を図1(B)に示
す。チャンネルストッパ4(SiN)の膜減りは30〜
40nm程度である。
Tiにサイドエッチングが発生し、界面の連続性が失わ
れる。
タのソース・ドレインの形成を完了する。
ンジスタの製造工程でのTi/アモーファスSiの2層
のソース・ドレインパターン形成を述べる。なお、その
積層断面は、基本的に図1に示すAl/Ti/アモーフ
ァスSiの場合と同じであり、単にAl層がないだけで
あるので図面を省略する。
後、ゲート絶縁層となるSiN、半導体層となるアモー
ファスSiとチャンネルストッパとなるSiNを堆積
し、チャンネルストッパ(SiN)を希フッ酸で島状に
加工後、n型不純物をドープしたアモーファスSiとソ
ース・ドレインとなる金属膜としてのTiを堆積し、所
望のレジストパターンを形成した。ここで、SiN,ア
モーファスSi,SiNはCVD法で連続成膜を行い、
n+アモーファスSiの成膜もCVD法を用いた。ま
た、Tiはスパッタ法で成膜を行った。
240/30SCCMを圧力150mTorrに制御
し、13.56MHzの高周波電力1200Wをチャン
ネルストッパ4上に印加した。エッチングレートはT
i,アモーファスSiおよびSiNについて各々60n
m/min,60nm/min,17nm/minとな
り、1minのオーバーエッチングを行った。このと
き、Ti/アモーファスSiは滑らかな異方性断面形状
であり、Ti膜の柱状構造に起因するアモーファスSi
の残渣状のエッチング残りはない。チャンネルストッパ
(SiN)の膜減りは20nm程度である。またN2を
添加しても同様な特性が得られた。
Tiにサイドエッチングが発生し、界面の連続性が失わ
れる。
タのソース・ドレインの形成を完了する。
ンジスタの製造方法での半導体層アモーファスSiのみ
の単層のパターン形成を述べる。
絶縁層となるSiN、半導体層となるアモーファスSi
とチャンネルストッパとなるSiNを堆積し、チャンネ
ルストッパ(SiN)を希フッ酸で島状に加工後、n型
不純物をドープしたアモーファスSiを堆積し、所望の
レジストパターンを形成した。ここで、SiN,アモー
ファスSiおよびSiNはCVD法で連続成膜を行い、
n+アモーファスSiの成膜もCVD法を用いた。
240/30SCCMを圧力150mTorrに制御
し、13.56MHzの高周波電力900Wをチャンネ
ルストッパ4上に印加した。エッチングレートはアモー
ファスSi,SiNについて各々50nm/min,9
nm/minとなり、1minのオーバーエッチングを
行った。このとき、チャンネルストッパ(SiN)の膜
減りは10nm程度である。また、N2を添加しても同
様な特性が得られた。最後にレジストを除去して薄膜ト
ランジスタの半導体層アモーファスSiのパターン形成
を完了する。
のエッチングレートがSiNエッチングレートにほぼ等
しくなっており、下地絶縁膜がSiO2の場合について
も良好な選択性を得ることが可能である。
の所望のレジストパターン形成によりエッチングするも
ので、チャンネルストッパの下地膜SiN,SiO2に
対し良好な選択比で、レジストマスクからのシフトの無
い滑らかな連続断面形状を得る。本発明は薄膜トランジ
スタの微細化に極めて有効な技術であり、チャンネルス
トッパの残膜を厚くできることにより、薄膜トランジス
タの特性を向上する。また、多層膜の加工に対しては工
程を簡略化しコストを低く抑え、次に成膜する保護膜の
被覆性を改善することにより薄膜トランジスタの信頼性
も向上し得る。
ーファスSiのパターン形成の薄膜トランジスタの断面
図 (A)Al成膜後のレジストパターン形成状態 (B)(A)に続いてAl/Ti/アモーファスSiを
加工した状態
ファスSiのパターン形成の薄膜トランジスタの断面図 (A)Ti成膜後のレジストパターン形成状態 (B)(A)に続いて従来のエッチング方法でTi/ア
モーファスSiを加工後の状態 (C)(B)に続いてAl成膜後、再度レジストパター
ン形成を行い従来のエッチング方法でAlを加工した状
態
Claims (2)
- 【請求項1】 チャンネル部にチャンネルストッパを介
在したアモーファスSi薄膜を用い、その下に絶縁膜と
してSiN,SiO2を用いている薄膜トランジスタの
ソース、ドレイン電極を形成する製造方法であって、前
記チャンネル部上にTi,Alをその順に成膜し、所望
のレジストパターン形成し、その後BCl3,Cl2の2
種の混合ガスまたはBCl3,Cl2,N2の3種の混合
ガスを使用し、その合計の流量に対しCl2流量比を3
0%以下で、前記チャンネルストッパ上の多層膜Al/
Ti/アモーファスSiをその順にドライエッチングす
ることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 【請求項2】 チャンネル部にチャンネルストッパを介
在したアモーファスSi薄膜を用い、その下に絶縁膜と
してSiN,SiO2を用いている薄膜トランジスタの
ソース、ドレイン電極を形成する製造方法であって、前
記チャンネル部上にTiを成膜し、所望のレジストパタ
ーンを形成し、その後BCl3,Cl2の2種の混合ガス
またはBCl3,Cl2,N2の3種の混合ガスを使用
し、その合計の流量に対しCl2流量比を30%以下
で、前記チャンネルストッパ上の多層膜Ti/アモーフ
ァスSiをその順にドライエッチングすることを特徴と
する薄膜トランジスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4186475A JP2558995B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4186475A JP2558995B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0669236A JPH0669236A (ja) | 1994-03-11 |
JP2558995B2 true JP2558995B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=16189131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4186475A Expired - Lifetime JP2558995B2 (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2558995B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5527425A (en) * | 1995-07-21 | 1996-06-18 | At&T Corp. | Method of making in-containing III/V semiconductor devices |
KR100599963B1 (ko) * | 2000-12-12 | 2006-07-12 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 소스/드레인 메탈의 잔류방지를 위한 박막 트랜지스터 제조방법 |
KR101189271B1 (ko) | 2005-07-12 | 2012-10-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
KR101316634B1 (ko) * | 2006-09-29 | 2013-10-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 금속 배선의 제조 방법 및 표시 기판의 제조 방법 |
KR101373735B1 (ko) | 2007-02-22 | 2014-03-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 신호선의 제조 방법, 박막 트랜지스터 표시판 및 그의 제조방법 |
JP4586841B2 (ja) * | 2007-05-30 | 2010-11-24 | カシオ計算機株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
KR101667909B1 (ko) * | 2008-10-24 | 2016-10-28 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치의 제조방법 |
US8741702B2 (en) * | 2008-10-24 | 2014-06-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
JP6112886B2 (ja) * | 2013-02-01 | 2017-04-12 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ基板およびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04357832A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | エッチング方法および薄膜トランジスタの製造方法 |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP4186475A patent/JP2558995B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0669236A (ja) | 1994-03-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7554207B2 (en) | Method of forming a lamination film pattern and improved lamination film pattern | |
JP2558995B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP3538088B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
KR100404351B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
JP3199404B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
KR100675317B1 (ko) | 박막트랜지스터 및 그의 제조방법 | |
JP3009975B2 (ja) | シリコン薄膜のドライエッチング方法 | |
JP3425925B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2809153B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JPH01259565A (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JP2692914B2 (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP3097338B2 (ja) | コンタクトホールの形成方法 | |
JPH06104241A (ja) | アルミニウム電極のパターニング方法 | |
US6716760B2 (en) | Method for forming a gate of a high integration semiconductor device including forming an etching prevention or etch stop layer and anti-reflection layer | |
JPH0456168A (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JPH07106583A (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JPH10270703A (ja) | 液晶表示素子及びその製造方法 | |
KR100422808B1 (ko) | 매우 얇은 활성층을 가지는 박막 트랜지스터의 제조방법 | |
JPH08297299A (ja) | 薄膜トランジスタとこれを用いた液晶表示装置 | |
JPH04302435A (ja) | 薄膜トランジスタの製造方法 | |
JPH0645357A (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
JPH05206079A (ja) | 薄膜のドライエッチング方法 | |
JPS60224228A (ja) | アモルフアスシリコン薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP3148775B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH05291588A (ja) | 2層ポリシリコンゲートを有するトランジスタ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070905 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905 Year of fee payment: 13 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905 Year of fee payment: 13 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090905 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100905 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100905 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110905 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120905 Year of fee payment: 16 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120905 Year of fee payment: 16 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |