JP2517523Y2 - グレーチング板の持上装置及び清掃装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案はグレーチング板の持上装
置及び清掃装置に係り、特にクリーンルーム等の床面に
敷きつめられるグレーチング板の持上装置及び清掃装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体等の精密機器は製造の際に無塵環
境を必要とする為、クリーンルームで製造されている。
一般にクリーンルームの床面は、所定の大きさに形成さ
れた格子状のグレーチング板が敷きつめられており、こ
のグレーチング板によって天井面から吹き出された清浄
エアを床下チャンバに円滑に吸い込むことができる。こ
のグレーチング板は、クリーンルームの規模によっては
数千枚から数万枚の単位で使用されている。

【０００３】ところで、前記グレーチング板は、半導体
製造時に発塵した埃等がその下面等に付着するので定期
的に清掃が行われている。従来のグレーチング板の清掃
は、敷きつめられたグレーチング板を手作業で１枚づつ
床面から持ち上げてクリーンルームの外部に持ち運び、
グレーチング板に圧力エアを吹き付けて付着した前記埃
等を剥離除去したり、セーム皮等で拭いたりして清掃し
ている。そして、清掃したグレーチング板をクリーンル
ーム内に持ち運び、床面の取り出した部分に嵌め込んで
いる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、床面に
敷きつめられたグレーチング板を手作業で持ち上げるこ
とは多大な労力を要し、また、グレーチング板の枚数が
増えるほど、作業者が疲労困憊して清掃作業効率が悪化
するという欠点がある。本考案はこのような事情に鑑み
てなされたもので、床面に敷きつめられたグレーチング
板を１枚づつ効率良く持ち上げ、且つその場で清掃可能
なグレーチング板の持上装置及び清掃装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本考案は、前記目的を達成
する為に、格子状開口が形成されたグレーチング板を持
ち上げる持上装置であって、所定の大きさに形成された
格子状のグレーチング板が多数枚敷きつめられて形成さ
れた床面上を走行移動可能な移動台車と、前記移動台車
のその上端部が取り付けられたグレーチング板持上手段
と、前記グレーチング板持上手段の下端部に取り付けら
れた吸引吸着手段と、前記グレーチング板に形成された
格子状開口の上側から挿入して該グレーチング板を吊り
下げ可能に係止する係止具及び該グレーチング板の上側
に前記吸引吸着手段の吸引吸着面が一体的に形成される
プレートを備えた連結手段と、から成ることを特徴とす
る。

【０００６】

【作用】本考案によれば、先ず、移動台車を清掃対象グ
レーチング板（持ち上げ対象グレーチング板）の近傍に
移動する。次に、連結手段の連結具で前記持ち上げ対象
グレーチング板を連結手段に連結する。次いで、グレー
チング板持上手段の下端部に取り付けた吸着手段で前記
連結手段の上面を吸着する。そして、グレーチング板持
上手段を作動して前記グレーチング板を持ち上げる。こ
れにより、床面に敷きつめられたグレーチング板を手作
業に頼らず１枚づつ効率良く持ち上げることができる。

【０００７】次に、前記連結手段をグレーチング板に連
結する手順について説明する。先ず、プレート部材の各
開口部から各筒状体に遊嵌した複数本のねじ棒の下部に
固着したストッパ部材を、グレーチング板の格子状開口
部に挿通する。次に、ねじ棒を所定量回転させて、スト
ッパ部材をグレーチング板の下面に当接する。次いで、
各ねじ棒の締付ナットを締め付けて、グレーチング板を
前記筒状体とストッパ部材との間で挟持する。そして、
前記プレート部材の上面に前記吸着部材を吸着する。こ
れにより、グレーチング板を連結手段に確実に固定した
状態で持ち上げることができる。

【０００８】また、グレーチング板持上手段で持ち上げ
たグレーチング板を、前記移動台車に設けた洗浄箱に密
閉状態で収納し、そして、圧力エア供給手段から洗浄箱
に圧力エアを供給してグレーチング板に付着した埃等を
剥離除去する。これにより、グレーチング板をクリーン
ルームの外部に持ち運ぶことなく、クリーンルームの内
部で清掃することができるので、グレーチング板の清掃
を短時間で効率良く行うことができる。また、洗浄箱に
供給された前記圧力エアは、排気手段でエア中の埃等を
除去して排気する。これにより、グレーチング板の清掃
時に除去された埃等がクリーンルームに再飛散するのを
防止できる。

【０００９】一方、グレーチング板の清掃装置をグレー
チング板の持上装置とは別に設け、このグレーチング板
の持上装置で持ち上げられたグレーチング板を前記グレ
ーチング板の清掃装置で清掃するようにしても良い。即
ち、グレーチング板の清掃装置の移動台車に設けられた
洗浄箱内に、グレーチング板の持上装置で持ち上げられ
たグレーチング板を収納し、そして、このグレーチング
板を回転保持手段で保持する。そして、前記グレーチン
グ板に向けて圧力エア供給手段から圧力エアを供給し、
グレーチング板の一方面側に付着した埃等を除去する。
そして、グレーチング板の一方面側を清掃した後、前記
回転保持手段でグレーチング板を１８０°回転させて他
方面側を清掃する。尚、前記洗浄箱に供給された前記圧
力エアは、移動台車に設けられた排気手段で吸気され
て、エア中の埃等が除去された後、外部に排気される。

【００１０】

【実施例】以下添付図面に従って本考案に係るグレーチ
ング板の持上装置及び清掃装置の好ましい実施例につい
て詳説する。図１は本考案に係るグレーチング板の持上
装置１０の第１実施例が示されており、このグレーチン
グ板の持上装置１０は移動台車１２、スプリングバラン
サー１４、吸着パット１６、及び連結治具１８とから構
成される。

【００１１】前記移動台車１２は、その下部にキャスタ
２０、２０…が取り付けられて多数枚のグレーチング板
２２が敷きつめられて形成された床面２４上を走行移動
でき、且つその後部（図中右側）には移動台車１２を手
押しで移動させる手押アーム２６が固着される。また、
移動台車１２には、後述する真空ポンプ２８が搭載され
ている。

【００１２】前記移動台車１２の前部（図中左側）に
は、逆Ｌ字形状のアーム３０が立設され、このアーム３
０の先端部３０ａには、前述したスプリングバランサー
１４の上端部が固着される。スプリングバランサー１４
は、その下部に取り付けられた牽引ロープ３２を所定の
牽引力で巻き取ることができる。牽引ロープ３２の下端
部にはフック３４が固着され、このフック３４は支持板
３６に固着されたフック３８に掛けられている。前記支
持板３４の下面には、前述した吸着パット１６がその吸
着面１６ａを下方に向けて固着されている。この吸着パ
ット１６はホース４０を介して前述した真空ポンプ２８
に接続されており、真空ポンプ２８を作動することによ
り、前記連結治具２８のプレート４２を吸着することが
きる。尚、前記ホース４０の中途部分にはバルブ４４が
設けられており、このバルブ４４によって吸着パット１
６の吸着力を調整することができる。

【００１３】前記連結治具１８は図２に示すように、矩
形状に形成された前記プレート４２と、４本のねじ棒４
６、４６…を有している。前記ねじ棒４６、４６…は、
プレート４２の各コーナー部４２ａ、４２ａ…の近傍に
形成された開口部４８、４８…に遊嵌されると共に、各
開口部４８、４８…にその中空部が連通するようにプレ
ート４２の下面に固着された筒体５０、５０…にも遊嵌
されている。また、ねじ棒４６の下端部には、直方体に
形成されたストッパ部材５２がそれぞれ固着される。こ
のストッパ部材５２は、図１に示したグレーチング板２
２の図示しない格子状開口部に挿通可能な大きさで、且
つねじ棒４６を所定量回転させた際にグレーチング板２
２の下面２２ａに当接可能な大きさに形成される。尚、
前記ねじ棒４６には、締付ナット５４がそれぞれ螺合さ
れている。

【００１４】次に、前記の如く構成されたグレーチング
板の持上装置１０の作用について説明する。先ず、移動
台車１２を清掃対象グレーチング板（持ち上げ対象グレ
ーチング板）２２の近傍に移動し、連結治具１８を前記
持ち上げ対象グレーチング板２２に連結する。尚、この
時、連結治具１８は吸着パット１６から切り離された状
態にある。

【００１５】次に、前記連結治具１８をグレーチング板
２２に連結する手順を図２を参照しながら説明する。先
ず、ストッパ部材５２、５２…を図１に示すグレーチン
グ板２２の格子状開口部に挿通する。次に、前記ストッ
パ部材５２、５２…がそれぞれ挿通したところでねじ棒
４６、４６…を所定量回転させて、ストッパ部材５２、
５２…をグレーチング板２２の下面２２ａに当接する。
次いで、各ねじ棒４６、４６…の締付ナット５４、５４
…を締め付けて、グレーチング板２２を前記筒体５０、
５０…の各下端面とストッパ部材５２、５２…との間で
挟持する。これにより、グレーチング板２２を連結治具
１８に確実に固定することができる。

【００１６】次いで、連結治具１８をグレーチング板２
２に固定した後、図１に示すスプリングバランサー１４
の牽引ロープ３２を巻き戻して、吸着パット１６の吸着
面１６ａを連結治具１８のプレート４２の上面に当接す
る。そして、真空ポンプ２８を作動して連結治具１８の
上面を吸着する。そして、スプリングバランサー１４で
牽引ロープ３２を巻き取る。これにより、グレーチング
板２２を床面２４から持ち上げることができる。

【００１７】従って、本実施例のグレーチング板の持上
装置１０を使用することにより、床面２４に敷きつめら
れたグレーチング板２２を手作業に頼らず１枚づつ効率
良く持ち上げることができる。尚、持ち上げられた前記
グレーチング板２２は、グレーチング板の持上装置１０
とともに移動してきた図３、図４に示すグレーチング板
の清掃装置５６によって、グレーチング板２２に付着し
た埃等が除去される。グレーチング板の清掃装置５６の
移動台車５８には、清掃ボックス６０が搭載される。こ
の清掃ボックス６０内には、グレーチング板２２をその
上部に載置する３本の小径パイプ６２が具備されてい
る。また、清掃ボックス６０内には、その軸方向に複数
の圧力エア吹出孔６４、６４…が形成された棒状ノズル
６６、６６が配置され、この棒状ノズル６６、６６はブ
ロア装置６８に連結されている。従って、ブロア装置６
８を作動することにより、棒状ノズル６６、６６の圧力
エア吹出孔６４、６４…から吹き出さる圧力エアで、パ
イプ６２、６２上に載置されたグレーチング板２２に付
着した埃等を剥離除去することがきる。また、清掃ボッ
クス６０内に吹き出された圧力エアは、排気通路７０に
取り付けられた図示しないフイルタで圧力エア中の埃等
が除去されて排気される。

【００１８】このように、グレーチング板の清掃装置５
６を、グレーチング板の持上装置１０と共に使用するこ
とによって、グレーチング板２２をクリーンルームの外
部に持ち運ぶことなく、クリーンルームの内部で清掃す
ることができる。また、洗浄ボックス６０に供給された
前記圧力エアを、エア中の埃等を除去して排気するよう
にしたので、グレーチング板２２の清掃時に除去された
埃等がクリーンルームに再飛散するのを防止できる。

【００１９】図５には本考案に係るグレーチング板の持
上装置７２の第２実施例が示され、図１に示した第１実
施例と同一若しくは類似の部材について同一の符号を付
して説明する。移動台車１２の前部には、洗浄ボックス
７４が固着される。この洗浄ボックス７４は、その一対
の底板７６、７６がヒンジ７８、７８を支点として揺動
することによって底部が開閉可能に構成される。

【００２０】前記洗浄ボックス７４の上部には、エアシ
リンダ８０の上端部を支持したケース８２が固着され
る。前記エアシリンダ８０のシリンダロッド８４は、洗
浄ボックス７４の上面開口部７４ａに貫通配置され、そ
の先端部に吸着パット１６を支持する支持板３６が固着
されている。この吸着パット１６はホース４０を介して
真空ポンプ２８に接続され、真空ポンプ２８を作動する
ことにより図２に示した連結治具１８を吸着することが
できる。前記支持板３６、吸着パット１６、及び連結治
具１８は、洗浄ボックス７４内に収納されている。

【００２１】また、清掃ボックス７４内には、その軸方
向に複数の圧力エア吹出孔８６、８６…が形成された棒
状ノズル８８が配置され、この棒状ノズル８８は図示し
ないエア供給源に接続されている。一方、洗浄ボックス
７４の側面には排気通路９０が開口され、この排気通路
９０は移動台車１２側に形成された空気増幅器９２を介
して排気口９４に連通される。排気口９４は移動台車１
２の外部に開口されている。また、前記空気増幅器９２
と排気口９４との間には、エア中の埃等を除去するＨＥ
ＰＡフイルタ９６が設けられている。

【００２２】次に、前記の如く構成されたグレーチング
板の持上装置７２の作用について説明する。先ず、移動
台車１２を持ち上げ対象グレーチング板２２の近傍に移
動し、連結治具１８を前記持ち上げ対象グレーチング板
２２に連結する。尚、連結治具１８をグレーチング板２
２に連結する手順は、第１実施例と同様なので、その説
明は省略する。

【００２３】次に、連結治具１８をグレーチング板２２
に固定した後、清掃ボックス７４の底板７６、７６を開
放して図中二点鎖線で示す位置で固定する。そして、エ
アシリンダ８０のシリンダロッド８４を伸長して、吸着
パット１６の吸着面１６ａを連結治具１８のプレート４
２の上面に当接する。そして、真空ポンプ２８を作動し
て連結治具１８の上面を吸着する。そして、シリンダロ
ッド８４を収縮してグレーチング板２２を床面２４から
持ち上げ、図５に示した位置まで上昇したところで停止
する。

【００２４】次いで、前記底板７６、７６を閉じて清掃
ボックス７４を密閉状態にした後、図示しないエア供給
源を作動して棒状ノズル８８の圧力エア吹出孔８６、８
６…から圧力エアを吹き出し、グレーチング板２２に付
着した埃等を剥離除去する。清掃ボックス７４内に吹き
出された圧力エアは、空気増幅器９２に取り付けられた
ＨＥＰＡフイルタ９６で圧力エア中の埃等が除去されて
排気口９４から移動台車１２の外部に排気される。

【００２５】このように、第２実施例は、移動台車１２
に清掃ボックス７４を設け、グレーチング板２２を持ち
上げた状態で清掃するようにしたので、第１実施例と比
較してグレーチング板２２を効率良く短時間で清掃する
ことができる。また、洗浄ボックス７４に供給された前
記圧力エアを、エア中の埃等を除去して排気するように
したので、グレーチング板２２の清掃時に除去された埃
等がクリーンルームに再飛散するのを防止できる。

【００２６】更に、前記連結治具１８は、図２に示した
ように筒体５０、５０…の各下端面とストッパ部材５
２、５２…との間でグレーチング板２２を挟持するよう
にしたので、グレーチング板２２の上面２２ｂ（図５）
をプレート４２の下面に密着させずに固定できる。即
ち、連結治具１８は、グレーチング板２２の清掃エリア
を広くできるように工夫されている。

【００２７】図６には本考案に係るグレーチング板の清
掃装置１００の実施例が示される。図に於いて、このグ
レーチング板の清掃装置１００は、移動台車１０２上に
洗浄箱１０４と、空気清浄装置１０６等が配置されてい
る。前記洗浄箱１０４はグレーチング板２２を収納可能
な大きさに形成されると共に、その上部に洗浄箱１０４
を密閉可能な一対の扉１０８、１０８がヒンジ１１０、
１１０を介して開閉自在に取付けられている。前記扉１
０８、１０８は、洗浄箱１０４の外部から洗浄箱１０４
内を目視で観察できるように透明のアクリル板で形成さ
れている。

【００２８】また、洗浄箱１０４内には、グレーチング
板２２の回転保持機構１１２が配設される。この回転保
持保持機構１１２は、グレーチング固定レバー１１４を
回動することにより、前記グレーチング板２２を挟持部
材１１６でチャッキング保持することができ、且つグレ
ーチング回転ハンドル１１８を回動することによりグレ
ーチング板２２を保持した状態で図中矢印方向に回転さ
せることができる。

【００２９】一方、圧力エア吹出ノズル１２０が洗浄箱
１０４内の上部に取り付けられる。この圧力エア吹出ノ
ズル１２０は、図中左右方向に移動可能なパイプ１２
２、ホース１２４を介してエア調節装置１２６に接続さ
れており、このエア調節装置１２６は、図示しないエア
供給源から供給された圧力エア量を調節することができ
る。また、前記パイプ１２２の洗浄箱１０４の接続部分
には、フレキシブルチューブ１２７がパイプ１２２と洗
浄箱１０４の接続部分とを密閉するように取り付けられ
る。これにより、パイプ１２２が左右方向に往復移動し
た際に、洗浄箱１０４の前記接続部分から洗浄箱１０４
内のエアが洩れるのを防止することができる。尚、符号
１２８は、パイプ１２２を移動させる為の手動レバーで
ある。

【００３０】前記空気清浄装置１０６は、吸気口１３
０、エア増幅器１３２、第１フイルタ１３４、第２フイ
ルタ１３６、排気口１３８を有している。前記吸気口１
３０は、洗浄箱１０４の下部に形成される。また、前記
エア増幅器１３２は、駆動されることにより、洗浄箱１
０４内のエアを強制的に吸引可能で排出エアを増大させ
ることができる。

【００３１】前記第１フイルタ１３４は、エア増幅器１
３２を介して吸気されたエア中に含有した比較的大きな
埃を除去することができ、また、第２フイルタ１３６は
前記エア中に含有した比較的小さな埃を除去することが
できる。第２フイルタ１３６を通過したエアは、前記排
気口１３８を介して外部に放出される。次に、前記の如
く構成されたグレーチング板の清掃装置１００の作用に
ついて説明する。

【００３２】先ず、このグレーチング板の清掃装置１０
０を図１に示したグレーチング板の持上装置１０の近傍
に移動して、グレーチング板の持上装置１０で持ち上げ
られたグレーチング板２２を前記グレーチング板の清掃
装置１００で清掃する。即ち、グレーチング板の清掃装
置１００の洗浄箱１０４の扉１０８、１０８を開いて洗
浄箱１０４内に、グレーチング板の持上装置１０で持ち
上げられた図中二点鎖線で示すグレーチング板２２を収
納し、そして、このグレーチング板２２を回転保持機構
１１２で保持する。この時、圧力エア吹出ノズル１２０
は、グレーチング板２２の収納に邪魔にならないよう
に、パイプ１２２を移動して図中右方向に位置した状態
にある。

【００３３】次に、前記扉１０８、１０８を閉じた後、
圧力エア吹出ノズル１２０を適宜に移動して前記グレー
チング板２２に向けて圧力エアを供給し、グレーチング
板２２の上面側に付着した埃等を除去する。そして、グ
レーチング板２２の上面側を清掃した後、前記回転保持
機構１１２でグレーチング板２２を１８０°回転させて
下面側を清掃する。尚、前記洗浄箱１０４に供給された
前記圧力エアは、空気清浄装置１０６の吸気口１３０か
ら吸引されて、第１、第２のフイルタ１３４、１３６を
通過することにより、エア中の埃が除去されてクリーン
ルーム内に排出される。

【００３４】これにより、本実施例では、グレーチング
板２２をクリーンルームの外部に持ち運ぶことなく、ク
リーンルームの内部で清掃することができるので、グレ
ーチング板２２の清掃を短時間で効率良く行うことがで
きる。また、洗浄箱１０４に供給された前記圧力エア
を、空気清浄装置１０６でエア中の埃等を除去して胚珠
するようにしたので、グレーチング板２２の清掃時に除
去された埃等がクリーンルームに再飛散するのを防止で
きる。

【００３５】

【考案の効果】以上説明したように本考案に係るグレー
チング板の持上装置によれば、移動台車を持ち上げ対象
グレーチング板の近傍に移動し、連結手段の連結具で持
ち上げ対象グレーチング板を連結手段に連結し、グレー
チング板持上手段の吸着手段で連結手段の上面を吸着
し、そして、グレーチング板持上手段で前記グレーチン
グ板を持ち上げるようにした。これにより、床面に敷き
つめられたグレーチング板を手作業に頼らず１枚づつ効
率良く持ち上げることができる。

【００３６】また、前記連結手段をグレーチング板に連
結するには、複数本のねじ棒の下部に固着したストッパ
部材をグレーチング板の格子状開口部に挿通し、挿通し
たところでねじ棒を所定量回転させてストッパ部材をグ
レーチング板の下面に当接し、そして、各ねじ棒の締付
ナットを締め付けてグレーチング板を前記筒状体とスト
ッパ部材との間で挟持する。これにより、グレーチング
板を連結手段に確実に固定することができる。

【００３７】更に、グレーチング板持上手段で持ち上げ
たグレーチング板を、移動台車に設けた洗浄箱に密閉状
態で収納し、圧力エア供給手段から洗浄箱に圧力エアを
供給してグレーチング板に付着した埃等を剥離除去す
る。これにより、グレーチング板をクリーンルームの外
部に持ち運ぶことなく、クリーンルームの内部で清掃す
ることができるので、グレーチング板の清掃を短時間で
効率良く行うことができる。また、洗浄箱に供給された
前記圧力エアを、排気手段でエア中の埃等を除去して排
気するようにしたので、グレーチング板の清掃時に除去
された埃等がクリーンルームに再飛散するのを防止でき
る。

【００３８】一方、グレーチング板の清掃装置をグレー
チング板の持上装置とは別に設けて、グレーチング板の
持上装置で持ち上げられたグレーチング板を前記グレー
チング板の清掃装置で清掃するようにしても同様な効果
を奏する。即ち、グレーチング板の清掃装置の移動台車
に設けられた洗浄箱内に、グレーチング板の持上装置で
持ち上げられたグレーチング板を収納し、そして、この
グレーチング板を回転保持手段で保持する。そして、グ
レーチング板に向けて圧力エア供給手段から圧力エアを
供給し、グレーチング板の一方面側に付着した埃等を除
去し、そして、グレーチング板の一方面側を清掃した
後、前記回転保持手段でグレーチング板を１８０°回転
させて他方面側を清掃する。尚、前記洗浄箱に供給され
た前記圧力エアは、移動台車に設けられた排気手段で吸
気されて、エア中の埃等が除去された後、外部に排気さ
れるので、グレーチング板の清掃時に除去された埃等が
クリーンルームに再飛散するのを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るグレーチング板の持上装置の第１
実施例を示す正面図

【図２】本考案に係るグレーチング板の持上装置に適用
されたグレーチング板の連結治具の実施例を示す斜視図

【図３】グレーチング板の清掃装置の実施例を示す正面
図

【図４】図３に於ける右側面図

【図５】本考案に係るグレーチング板の持上装置の第２
実施例を示す断面図

【図６】本考案に係るグレーチング板の清掃装置の実施
例を示す断面図

【符号の説明】

１０…グレーチング板の持上装置 １２…移動台車 １４…スプリングバランサー １６…吸着パット １８…連結治具 ２２…グレーチング板 ２８…真空ポンプ ４２…プレート ４６…ねじ棒 ５０…筒体 ５２…ストッパ部材 ７４…清掃ボックス ８０…エアシリンダ ８４…シリンダロッド ８６…圧力エア吹出孔 ８８…ノズル １００…グレーチング板の清掃装置 １０４…洗浄箱 １０６…空気清浄装置 １２０…圧力エア吹出ノズル

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】格子状開口が形成されたグレーチング板を
   持ち上げる持上装置であって、 所定の大きさに形成された格子状のグレーチング板が多
   数枚敷きつめられて形成された床面上を走行移動可能な
   移動台車と、前記 移動台車のその上端部が取り付けられたグレーチン
   グ板持上手段と、前記 グレーチング板持上手段の下端部に取り付けられた
   吸引吸着手段と、前記グレーチング板に形成された格子状開口の上側から
   挿入して該グレーチング板を吊り下げ可能に係止する係
   止具及び該グレーチング板の上側に前記吸引吸着手段の
   吸引吸着面が一体的に形成されるプレートを備える連結
   手段と、 から成ることを特徴とするグレーチング板の持上装置。
2. 【請求項２】 前記グレーチング板持上手段で持ち上げら
   れたグレーチング板を密閉状態で収納する洗浄箱と、前記 洗浄箱に圧力エアを供給してグレーチング板に付着
   した埃等を剥離除去する圧力エア供給手段と、前記 洗浄箱に供給された圧力エアを吸気し、エア中の埃
   等を除去して排気する排気手段と、 を前記移動台車に設けたことを特徴とする請求項１記載
   のグレーチング板の持上装置。
3. 【請求項３】 所定の大きさに形成された格子状のグレー
   チング板が多数枚敷きつめられて形成された床面上を走
   行移動可能な移動台車と、前記 移動台車に設けられ、前記グレーチング板を密閉状
   態で収納する洗浄箱と、前記 洗浄箱に設けられ、収納された前記グレーチング板
   を回転可能に保持する回転保持手段と、前記 洗浄箱に移動可能に設けられ、前記回転保持手段で
   保持されたグレーチング板に向けて圧力エアを供給する
   圧力エア供給手段と、 前記移動台車に設けられ、前記洗浄箱に供給された前記
   圧力エアを吸気し、エア中の埃等を除去して排気する排
   気手段と、 から成ることを特徴とするグレーチング板の清掃装置。