JP2022551343A - チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法 - Google Patents
チップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本出願は特許出願番号が201911284507.3、出願日が2019年12月13日、発明の名称が「チップ検出システム及び方法」の中国発明特許及び特許出願番号が201911284104.9、出願日が2019年12月13日、発明の名称が「チップ検出装置」の中国発明特許の優先権を主張する。
本発明は、快速で効率的な検出チップのチップ検出装置、チップ検出システム及び制御方法を提供することを技術課題としている。
本発明による技術的特徴と有益な効果をもっと明瞭に説明するために、以下に本発明の実施形態についてさらに詳しく説明する。
本発明は、支持プレート100と、支持プレート100の上部に設けられたプローブホルダー110と、プローブホルダー110を駆動して上下に運動させる第一駆動装置120と、及び支持プレート100に架設される検出テーブルと、を備えるチップ検出装置を提供する。
真空リング400に一つの負圧気孔が設けられ、この時メイン気孔211が所在する連通溝213は環状である。連通溝213の幅はメイン気孔211の直径以上である。
真空リング400に三つの負圧気孔401が設けられ、回転テーブル200がそのうちの一つのチップテストトレイ220まで回転して上部の水平面に位置する際に、そのうちの一つのメイン気孔211が上部の最高点に位置し、三つの負圧気孔401と上部のメイン気孔211及び上部メイン気孔211に隣接する二つのメイン気孔211は位置が対応することになり、即ち負圧気孔401は上部の三つのメイン気孔211と連通する。負圧気孔401は負圧のガスソースに接続されるか、或いはエアバルブによって負圧のガスソースと連通される。この時、メイン気孔211が所在する連通溝213は円弧状であり、二つの連通溝213間の間隔が負圧気孔401の半径より大きく、負圧気孔401の直径より小さい。
本発明はチップ検出システムをさらに提供し、図7に示すように、キャビネット600と、キャビネット600内に設けられるコントローラと、ローディングマニピュレータ910と、アンローディングマニピュレータ920と、ローディングマニピュレータ910の一側に設けられるチップトレイブラケット700と、アンローディングマニピュレータ920の一側に設けられる配布トレイ800と、を備える。ローディングマニピュレータ910とアンローディングマニピュレータ920はチップを吸着してピックアップするためのものである。ローディングマニピュレータ910とアンローディングマニピュレータ920の間にチップ検出装置が設けられ、ローディングマニピュレータ910はチップトレイブラケット700上のチップをチップ検出装置に置き、アンローディングマニピュレータ920はチップ検出装置上のチップを取り卸して相応の配布トレイ800の内部に置く。
昇降駆動装置550は昇降プラットフォーム510を持ち上げ、昇降プラットフォーム510は転送トレイ520を持ち上げ、転送トレイ520は検出デバイスの内部の検出が終わったチップトレイと検出デバイスの外部の検出されていないチップトレイをホールドアップしてチップトレイブラケット700から離脱する。
第三実施形態によるチップ検出システムの制御方法は以下の通りである。
昇降駆動装置550は昇降プラットフォーム510を持ち上げ、昇降プラットフォーム510は転送トレイ520を持ち上げ、転送トレイ520はキャビネット600の内部の既に検出が終わったチップトレイとキャビネット600の外部に位置する検出されていないチップトレイをホールドアップしてチップトレイブラケット700から離脱する。
アンローディングマニピュレータ920の真空サッカによりチップを吸着した後、アンローディングマニピュレータ920の真空サッカを回動して配布トレイ800の内部の傾斜なスケートボードを向けるようにする。
Claims (34)
- 支持プレート(100)と、2つの支持プレート(100)間に架設された検出テーブルと、支持プレート(100)に設けられて直線運動可能な第一駆動装置(120)と、検出テーブルの上部に設けられ、第一駆動装置(120)に接続されるプローブホルダー(110)と、を備えるチップ検出装置であって、
前記検出テーブルは、
柱体の構造であって、両端が支持プレート(100)に回動可能に接続される回転テーブル(200)と、
一端の端面は支持プレート(100)に固定的に接続され、他端の端面は回転テーブル(200)の端面と密閉且つ回動可能に接続される真空リング(400)と、
支持プレート(100)に設けられ、回転テーブル(200)を駆動して回動させる第二駆動装置(130)と、
少なくとも3グループに形成されて回転テーブル(200)の柱面に均一に分布され、各グループのチップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に配列されるチップテストトレイ(220)と、を備えており、
前記チップテストトレイ(220)にチップ配置溝(222)が設けられ、すべてのチップテストトレイ(220)のチップ配置溝(222)の底部が電気的に連通され、前記チップ配置溝(222)の底部の中央に吸着貫通孔(221)が設けられており、
前記回転テーブル(200)は、
回転テーブル(200)の軸方向に設けられてチップテストトレイ(220)と半径方向に対応に設けられており、真空リング(400)に近い一端が開放され、他端が閉鎖されたメイン気孔(211)と、
メイン気孔(211)とチップテストトレイ(220)の吸着貫通孔(221)を連通する分岐気孔(212)と、が設けられており、
前記真空リング(400)は負圧気孔(401)が設けられ、前記負圧気孔(401)の一方の孔口は回転テーブル(200)に対向して接する端面に位置すると共にメイン気孔(211)と同一な円周に位置し、前記負圧気孔(401)の他方の孔口は負圧のガスソースに接続するためのものであり、
前記負圧気孔(401)の孔口又はメイン気孔(211)の孔口に連通溝(213)が設けられ、連通溝(213)は負圧気孔(401)とメイン気孔(211)がずれる際に両者の連通を実現するチップ検出装置。 - 前記負圧気孔(401)は一つ形成され、相応に、前記連通溝(213)は環状に形成される請求項1に記載のチップ検出装置。
- 前記負圧気孔(401)は一つ形成され、前記真空リング(400)は正圧気孔(402)がさらに形成され、前記負圧気孔(401)は正圧気孔(402)と上下対称に設けられ、前記正圧気孔(402)は正圧のガスソースに接続するためのものであり、
相応に、前記連通溝(213)は真空リング(400)に設けられ、前記負圧気孔(401)が対応する連通溝(213)のラジアンは180度を超えており、正圧気孔(402)が対応する連通溝(213)のラジアンはD未満であり、D=360/n、そのうち、nはメイン気孔(211)の数である請求項1に記載のチップ検出装置。 - 前記負圧気孔(401)は三つ形成され、そのうちの一つのチップテストトレイ(220)が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔(401)と上部の三つのメイン気孔(211)の位置が対応し且つ連通され、
相応に、前記連通溝(213)はメイン気孔(211)の孔口に設けられ、連通溝(213)は円弧状であり、
或いは、メイン気孔(211)は連通溝(213)の断面と形状が同じであって何れも円弧状であり、メイン気孔(211)は連通溝(213)と一つの貫通孔を組み立てる請求項1に記載のチップ検出装置。 - 前記真空リング(400)は正圧気孔(402)がさらに設けられ、そのうちの一つのチップテストトレイ(220)が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔(401)と上部の三つのメイン気孔(211)は位置が対応し且つ連通され、正圧気孔(402)と下部のメイン気孔(211)は位置が対応し且つ連通されており、
前記正圧気孔(402)は正圧のガスソースに接続されるためのものである請求項4に記載のチップ検出装置。 - 前記検出テーブルの下部に設けられ、支持プレート(100)と着脱可能に接続されるフラッシュボックス(300)をさらに備える請求項1~5のいずれか1項に記載のチップ検出装置。
- 前記回転テーブル(200)は円柱体であり、前記チップテストトレイ(220)の長手方向は回転テーブル(200)の軸方向と同じであり、チップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に順に配列され、
或いは、前記回転テーブル(200)は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、前記チップテストトレイ(220)の長手方向は回転テーブル(200)の軸方向と同じであり、前記チップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に順に配列され、長手方向に複数行に設けられる請求項1~5のいずれか1項に記載のチップ検出装置。 - 前記回転テーブル(200)は円柱体であり、前記チップテストトレイ(220)の長手方向は回転テーブル(200)の軸方向と同じであり、チップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に順に配列されており、
或いは、前記回転テーブル(200)は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、前記チップテストトレイ(220)の長手方向は回転テーブル(200)の軸方向と同じであり、前記チップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に順に配列され且つ長手方向に複数行に設けられる請求項6に記載のチップ検出装置。 - 前記回転テーブル(200)は正六面柱体又は正八面柱体である請求項7に記載のチップ検出装置。
- 前記チップテストトレイ(220)は長手方向に複数行のチップ配置溝(222)が設けられる請求項8に記載のチップ検出装置。
- 前記チップテストトレイ(220)は導電層と絶縁層を備え、前記絶縁層は回転テーブル(200)に接触する請求項7に記載のチップ検出装置。
- 前記プローブホルダー(110)のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ(115)の内部に設けられ、前記キャビティ(115)はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放される請求項7に記載のチップ検出装置。
- 前記プローブホルダー(110)のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ(115)の内部に設けられ、前記キャビティ(115)はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放される請求項8に記載のチップ検出装置。
- 前記キャビティ(115)はプローブホルダー(110)とプローブホルダー(110)の周辺に設けられるフェンス(113)からなり、前記フェンス(113)又はプローブホルダー(110)にメイン保護気孔(111)と分散気孔(112)が設けられ、前記メイン保護気孔(111)の長手方向はプローブ配列の長手方向に平行し、前記分散気孔(112)はメイン保護気孔(111)とキャビティ(115)を連通し、前記メイン保護気孔(111)は正圧の不活性ガスソースに連通される請求項12に記載のチップ検出装置。
- 前記分散気孔(112)はプローブと同じ数に形成され、プローブの一側の各分散気孔(112)は一つのプローブのプローブヘッドに傾斜し、
前記フェンス(113)の下端からプローブホルダーの底面までの距離はプローブの下端からプローブホルダー(110)の底面までの距離よりやや短く、
或いは、前記フェンス(113)の上部はプローブホルダー(110)に上下にスライド可能に接続され、第一駆動装置(120)がプローブホルダー(110)を駆動してチップテストトレイ(220)へ下降する際に、フェンス(113)は一旦チップテストトレイ(220)に当接してキャビティ(115)の閉鎖度とキャビティ(115)内の不活性ガスの濃度を高め、前記プローブホルダー(110)が引き続き下降してチップに接触して検出を行う請求項14に記載のチップ検出装置。 - キャビネット(600)を備え、キャビネット(600)内には、コントローラと、ローディングマニピュレータ(910)と、アンローディングマニピュレータ(920)と、前記ローディングマニピュレータ(910)の一側に設けられるチップトレイブラケット(700)と、アンローディングマニピュレータ(920)の一側に設けられる配布トレイ(800)とが設けられたチップ検出システムであって、
前記ローディングマニピュレータ(910)とアンローディングマニピュレータ(920)間にチップ検出装置が設けられ、
前記チップ検出装置は、キャビネット(600)に固定的に接続される支持プレート(100)と、2つの支持プレート(100)間に架設される検出テーブルと、前記検出テーブルの上部に設けられるプローブホルダー(110)と、支持プレート(100)に設けられてプローブホルダー(110)を駆動して上下に運動させる第一駆動装置(120)と、支持プレート(100)に設けられて検出テーブルを駆動して回動させる第二駆動装置(130)と、を備え、
前記コントローラとローディングマニピュレータ(910)とアンローディングマニピュレータ(920)とチップ検出装置は電気的に接続され、前記コントローラはローディングマニピュレータ(910)を制御してチップトレイブラケット(700)上のチップを回動する検出テーブルに置き、チップが上部まで回動した際にプローブホルダー(110)が下降してチップについて検出し、前記コントローラはアンローディングマニピュレータ(920)を制御して検出テーブル上の検出が終わったチップを取り卸して対応の配布トレイ(800)の内部に置くチップ検出システム。 - 前記検出テーブルは、
柱体の構造であり、両端が支持プレート(100)に回動可能に接続される回転テーブル(200)と、
一端の端面が支持プレート(100)に固定的に接続され、他端の端面が回転テーブル(200)の端面に密閉且つ回動可能に接続される真空リング(400)と、を備え、
前記回転テーブル(200)はメイン気孔(211)が設けられ、前記メイン気孔(211)は回転テーブル(200)の軸方向に設けられており、前記メイン気孔(211)は真空リング(400)に近い一端が開放され、他端が閉鎖されており、前記メイン気孔(211)は少なくとも三つ形成されて円周方向に均一に分布されており、前記メイン気孔(211)の長手方向に均一に分布される分岐気孔(212)が設けられ、前記分岐気孔(212)の孔口は回転テーブル(200)の側面に開設されており、
前記回転テーブル(200)の側面にメイン気孔(211)に対応する位置にチップテストトレイ(220)が設けられ、前記チップテストトレイ(220)にチップ配置溝(222)が設けられ、すべてのチップテストトレイ(220)のチップ配置溝(222)の底部は電気的に連通され、前記チップ配置溝(222)の底部の中央に吸着貫通孔(221)が設けられ、前記吸着貫通孔(221)と分岐気孔(212)は位置が対応し且つ密閉的に連通されており、
前記真空リング(400)は負圧気孔(401)が設けられ、前記負圧気孔(401)の一方の孔口は回転テーブル(200)に対向して接する端面に位置し、且つメイン気孔(211)と同一の円周上に位置し、前記負圧気孔(401)の他方の孔口は吸気バルブによって負圧のガスソースに連通され、
前記負圧気孔(401)の孔口又はメイン気孔(211)の孔口に連通溝(213)が設けられ、連通溝(213)は負圧気孔(401)とメイン気孔(211)がずれる際に両者の連通を実現するためのものである請求項16に記載のチップ検出システム。 - 前記負圧気孔(401)は一つ形成され、相応に、前記連通溝(213)は環状である請求項17に記載のチップ検出システム。
- 前記負圧気孔(401)は三つ形成され、前記真空リング(400)は正圧気孔(402)がさらに設けられており、
そのうちの一つのチップテストトレイ(220)が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔(401)と上部の三つのメイン気孔(211)は位置が対応し且つ連通され、正圧気孔(402)と下部のメイン気孔(211)は位置が対応し且つ連通されており、
相応に、前記連通溝(213)はメイン気孔(211)の孔口に設けられ、前記連通溝(213)は円弧状であり、前記連通溝(213)の長さは二つのメイン気孔(211)間の間隔以下であり、
前記正圧気孔(402)は正圧のガスソースに接続されるためのものである請求項17に記載のチップ検出システム。 - 前記回転テーブル(200)は円柱体であり、或いは前記回転テーブル(200)は正多面柱体であり、前記正多面柱体は側面が少なくとも三つ形成されており、
前記チップテストトレイ(220)の長手方向は回転テーブル(200)の軸方向と同じであり、且つチップテストトレイ(220)は回転テーブル(200)の柱面の長手方向に順に配列される請求項17に記載のチップ検出システム。 - 各前記メイン気孔(211)はそれぞれ2グループのチップテストトレイ(220)に対応し、相応に、メイン気孔(211)は2グループの分岐気孔(212)が設けられてそれぞれ2グループのチップテストトレイ(220)の吸着貫通孔(221)に連通される請求項17に記載のチップ検出システム。
- 前記配布トレイ(800)は上部が開放されたボックスであり、配布トレイ(800)はチップ検出装置の右側に並んで設けられ、前記配布トレイ(800)の上部に傾斜なスケートボードが設けられる請求項16~21の何れか1項に記載のチップ検出システム。
- 前記検出テーブルの下部に設けられ、支持プレート(100)又はキャビネット(600)と着脱可能に接続されるフラッシュボックス(300)をさらに備える請求項22に記載のチップ検出システム。
- 前記プローブホルダー(110)のプローブは正圧の不活性ガスソースに連通するキャビティ(115)の内部に設けられ、前記キャビティ(115)はプローブのプローブヘッドが所在する一面が開放されており、
前記キャビティ(115)はプローブホルダー(110)とプローブホルダー(110)の周辺に設けられるフェンス(113)からなり、前記フェンス(113)又はプローブホルダー(110)にメイン保護気孔(111)と分散気孔(112)が設けられ、前記メイン保護気孔(111)の長手方向はプローブ配列の長手方向に平行し、前記分散気孔(112)はメイン保護気孔(111)とキャビティ(115)を連通し、前記メイン保護気孔(111)は正圧の不活性ガスソースと連通する請求項22に記載のチップ検出システム。 - 前記分散気孔(112)の長手方向はプローブの端部を指す請求項24に記載のチップ検出システム。
- 昇降プラットフォーム(510)、転送トレイ(520)、固定プラットフォーム(530)、回動駆動装置(540)と昇降駆動装置(550)を備える給料装置をさらに備え、前記チップトレイブラケット(700)の中央部に貫通する切り込みが設けられ、前記転送トレイ(520)は前記切り込みの内部に設けられており、
前記固定プラットフォーム(530)の中央部に上下に貫通するキャビティ(115)が設けられ、キャビティ(115)の周りに安定孔が設けられ、前記昇降プラットフォーム(510)の下部は前記安定孔に対応する位置に安定ロッド(511)が設けられ、前記安定ロッド(511)は前記安定孔にスライド可能に挿入され、前記昇降プラットフォーム(510)はキャビティ(115)に対応する位置に回転軸孔が設けられており、
前記転送トレイ(520)の下部にトレイ回動軸(521)が固定的に接続され、前記トレイ回動軸(521)の中央部は固定プラットフォーム(530)のキャビティと昇降プラットフォーム(510)の回転軸孔に挿入されて前記回転軸孔に回動可能に接続されており、
前記昇降駆動装置(550)は直線運動駆動装置であり、昇降駆動装置(550)は昇降プラットフォーム(510)に接続されて昇降プラットフォーム(510)を昇降駆動し、
前記回動駆動装置(540)は円周運動駆動装置であり、回動駆動装置(540)はトレイ回動軸(521)の下端に接続されて転送トレイ(520)を回動駆動し、
前記昇降駆動装置(550)と回動駆動装置(540)とコントローラは電気的に接続される請求項23または24に記載のチップ検出システム。 - 前記固定プラットフォーム(530)の上部にリミット分岐カラム(531)が設けられ、前記リミット分岐カラム(531)はチューブ状であり、前記リミット分岐カラム(531)のチューブキャビティは前記安定孔と上下に重なり合う請求項26に記載のチップ検出システム。
- 前記昇降駆動装置(550)は、滑り台(552)と、シリンダー(551)と、トップロッド(553)と、を備え、
前記滑り台(552)は固定プラットフォーム(530)に固定的に接続され、前記シリンダー(551)は滑り台(552)に設けられ、前記固定プラットフォーム(530)の内側に水平の変位溝が設けられており、
前記トップロッド(553)の上部は昇降プラットフォーム(510)の下部にヒンジ連結され、前記トップロッド(553)の下部はシリンダー(551)のプッシュロッドにヒンジ連結され、前記トップロッド(553)の下端に突起が設けられて前記変位溝の内部にスライド可能に設けられる請求項26に記載のチップ検出システム。 - 前記回動駆動装置(540)は、モーター(541)と、U形リンケージフレーム(542)と、回転軸固定ホルダー(543)と、を備え、
前記U形リンケージフレーム(542)の閉鎖端の中央部にリンケージシャフト(544)が設けられ、前記リンケージシャフト(544)は回転軸固定ホルダー(543)に接続されており、
前記トレイ回動軸(521)の下部がU形リンケージフレーム(542)の開口端の中央部に挿入して接続され、トレイ回動軸(521)の両側は直線ベアリング(545)によってU形リンケージフレーム(542)の2つの分岐にスライド可能に接続され、
前記モーター(541)はリンケージシャフト(544)を駆動して回動させ、さらにU形リンケージフレーム(542)によってトレイ回動軸(521)をドライブして回動させる請求項26に記載のチップ検出システム。 - ローディングマニピュレータ(910)は、水平移動モジュールと、水平移動モジュール上に設けられる上下移動モジュールと、上下移動モジュールの下端に設けられる回動モジュールと、を備え、回動モジュールに吸着モジュール(903)が設けられ、前記上下移動モジュールにエアバルブが設けられ、エアバルブの一端は吸着モジュール(903)と連通し、エアバルブの他端はガスソースに接続される請求項16に記載のチップ検出システム。
- アンローディングマニピュレータ(920)は、水平移動モジュールと、水平移動モジュールに設けられる上下移動モジュールと、上下移動モジュールの下端に設けられる回動モジュールと、を備え、回動モジュールに吸着モジュールが設けられ、前記上下移動モジュールにエアバルブが設けられており、エアバルブの一端は吸着モジュールに連通され、エアバルブの他端はガスソースに接続される請求項16に記載のチップ検出システム。
- 請求項16に記載のチップ検出システムに用いられる制御方法であって、
チップ検出システムを始動した後、真空リング(400)上の負圧気孔(401)の負圧のガスソースと正圧気孔(402)の正圧のガスソースをオンし、回動する回転テーブル(200)のメイン気孔(211)は真空リング(400)によってガスソースを取得するステップと、
ローディングマニピュレータ(910)がチップトレイの上部まで移動するように制御し、ローディングマニピュレータ(910)の真空サッカが下方を向けるように調整して、ローディングマニピュレータ(910)の真空サッカとチップトレイ上の一列のチップを対応させ、
ローディングマニピュレータ(910)は負圧のガスソースをオンし、ローディングマニピュレータ(910)の真空サッカがチップトレイ上のチップを吸着するまでローディングマニピュレータ(910)は下方に移動し、或いは、ローディングマニピュレータ(910)の真空サッカがチップに近づく際に負圧のガスソースをオンしてチップをローディングマニピュレータ(910)の真空サッカに吸着するまでローディングマニピュレータ(910)は下方に移動し、
制御ローディングマニピュレータ(910)が上方へ移動し且つ操作アーム(902)を回動させて、ローディングマニピュレータ(910)の真空サッカと回転テーブル(200)のチップテストトレイ(220)上のチップ配置溝(222)を対向させ、
チップをチップ配置溝(222)の内部に置くまでローディングマニピュレータ(910)を回転テーブル(200)へ移動するように制御し、ローディングマニピュレータ(910)の負圧のガスソースをオフするステップAと、
回転テーブル(200)の左側のチップ配置溝(222)を埋め込むまでステップAを繰り返すステップと、
前記回転テーブル(200)が一つの側面が水平面であり且つ上部に位置するまで回動し、プローブホルダー(110)を駆動して下降させるように第一駆動装置(120)を制御し、プローブホルダー(110)上のプローブをチップ配置溝(222)のチップに当接させ、
テスト工程を始動してチップテストを行い、
チップテストを完了した後テスト結果を記録し、プローブホルダー(110)を駆動して上昇させるように第一駆動装置(120)を制御するステップBと、
アンローディングマニピュレータ(920)の負圧のガスソースをオンし、回転テーブル(200)の右側のチップ配置溝(222)と対向するようにアンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカを調整し、
アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカが回転テーブル(200)上の検出を完了したチップを吸着するまで、アンローディングマニピュレータ(920)を回転テーブル(200)へ移動させ、前記アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカの真空度は回転テーブル(200)の真空度より大きく、
検出結果を読取り、検出結果に基づいてアンローディングマニピュレータ(920)を相応の配布トレイ(800)の上部まで移動させ、
アンローディングマニピュレータ(920)を下方へ移動させるように制御し、アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカが配布トレイ(800)の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ(920)の負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイ(800)の内部に置けられるステップCと、
吸着されない、或いはチップ配置溝(222)に係合されたチップが所在する回転テーブル(200)の側面が下部に位置する水平面に回動した際に、下部のメイン気孔(211)で流入された正圧のガスソースは残留のチップをフラッシュボックス(300)に排出するステップDと、
チップトレイ上の全てのチップが検出を完了した後、
昇降駆動装置(550)は昇降プラットフォーム(510)を持ち上げ、昇降プラットフォーム(510)は転送トレイ(520)を持ち上げ、転送トレイ(520)はキャビネット(600)の内部の検出が終わったチップトレイとキャビネット(600)の外部に位置する検出されていないチップトレイをホールドアップして、チップトレイブラケット(700)から離脱し、
回動駆動装置(540)は転送トレイ(520)を駆動して180度回動させ、キャビネット(600)の内部と外部のチップトレイの位置を交換し、
昇降駆動装置(550)は昇降プラットフォーム(510)を降ろし、昇降プラットフォーム(510)は転送トレイ(520)を降ろし、転送トレイ(520)はキャビネット(600)の外部の検出が終わっていないチップトレイをチップトレイブラケット(700)に置くステップEとを備えるチップ検出システムの制御方法。 - 前記配布トレイ(800)の上部に傾斜なスケートボードが設けられ、
前記ステップCにおいて、
アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカがチップを吸着した後、アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカを回動して配布トレイ(800)の内部の傾斜なスケートボードを向けるようにし、
アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカが配布トレイ(800)の上部に位置した後、アンローディングマニピュレータ(920)の負圧のガスソースをオフし、正圧のガスソースを切替え、チップは傾斜なスケートボードに置けた後配布トレイ(800)の内部へスライドする請求項32に記載のチップ検出システムの制御方法。 - 前記回転テーブル(200)は正六面柱体で、六つのメイン気孔(211)が設けられており、前記真空リング(400)に三つの負圧気孔(401)と一つの正圧気孔(402)が設けられ、そのうちの一つのチップテストトレイ(220)が上部の水平面に位置する際に、三つの負圧気孔(401)と上部の三つのメイン気孔(211)の位置が対応し且つ連通し、正圧気孔(402)と下部のメイン気孔(211)の位置が対応し且つ連通し、相応に、連通溝(213)はメイン気孔(211)の孔口に設けられ、前記連通溝(213)は円弧状であり、前記連通溝(213)の長さは二つのメイン気孔(211)間の間隔以下であり、前記正圧気孔(402)は正圧のガスソースに接続され、
メイン気孔(211)が回動する過程において前記連通溝(213)によってガスソースの流通を実現し、回動する過程においてメイン気孔(211)が異なる真空リング(400)の負圧気孔(401)及び正圧気孔(402)と連通されるように切り替え、
前記ステップCにおいて:
アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカが検出が終わったチップの近くまで移動するまでアンローディングマニピュレータ(920)が回転テーブル(200)へ移動する際に、検出が終わったチップに対応する負圧気孔(401)のガスソースをオフし、アンローディングマニピュレータ(920)の負圧のガスソースをオンしてチップを吸着し、
アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカがチップを吸着した後、その前にオフした負圧気孔(401)の負圧のガスソースを改めてオンして、アンローディングマニピュレータ(920)の真空サッカを対応の配布トレイ(800)に移動させた後、アンローディングマニピュレータ(920)の負圧のガスソースをオフすると、チップは配布トレイ(800)の内部に落ちる請求項32に記載のチップ検出システムの制御方法。
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