CN106876306B - 一种气路分配机构及其分光设备 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 82
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 29
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- -1 acryl Chemical group 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67271—Sorting devices
Abstract
本发明公开了一种气路分配机构及其分光设备,包括固定架,滑动联接于固定架的擦拭组件;所述擦拭组件设有用于擦拭待清洁板的擦拭块;所述擦拭块设有直接与待清洁板接触的刮片;所述刮片与待清洁板运动方向成20°—90°倾斜角。本发明的透明转盘通过设于下方的自动擦拭机构将透明转盘的表面进行擦拭清洁。旋转动力件驱动透明转盘,且擦拭块对透明转盘擦拭清洁,擦拭收集到的杂物通过与真空气源联通的吸灰腔吸走。设有自动擦拭机构的本发明自动化程度高,清洁效率高,无需将透明转盘拆卸后清洁,清洁方式简易快捷。自动擦拭机构能及时的对透明转盘进行清洁,使检测的电子器件精度高,效率高。
Description
技术领域
本发明涉及电子器件检测设备技术领域,更具体地说是指一种气路分配机构及其分光设备。
背景技术
分光机是生产LED不可缺少的设备之一,用来对LED按照发出光的波长(颜色)、光强、电流电压大小进行分类筛选。
转盘部分是分光机主要机构之一,承载电子元器件的测试过程,承接着设备各主功能模块动作的流程以及各输入输出之间的层次关系,各主功能机构围绕转盘工位成递接关系逐次完成动作。
元器件的测试部位为引脚部位,一般底面均有引脚,部分元器件的引脚延展至侧面。按元器件测试方式区分,目前常用的转盘形式可分为夹测方式与底测方式两种。其中,元器件夹测方式,材料放置转盘吸嘴槽内,测试时利用元器件的侧面引脚进行测试,夹测方式存在局限性,对侧面无引脚的元器件无法实现测试。另一种,元器件底部引脚测试方式,测试前,先调试保证测试针对准转盘吸嘴过针孔位,以免偏位造成断针,测试时测试针须穿过转盘吸嘴,测试动作时间须加上测试针完全离开转盘时间,此测试方式调试、操作较难,效率低,探针寿命短,成本高。
还有,现有的转盘式分光机,结构庞大,检测效率低。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种气路分配机构及其分光设备。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种气路分配机构,包括联接气源的正负压集成块,与正负压集成块具有相对运动的承载组件;所述正负压集成块设有若干个与气源联通的气槽;所述气槽包括至少一个负压气槽,至少一个正压气槽;所述承载组件设有与气槽联通的若干个独立气孔;所述的独立气孔通过气槽通入负气压时,工件吸附固定于承载组件;通入正气压时,工件与承载组件分离。
其进一步技术方案为:所述的负压气槽通过正负压集成块设有的若干个进气孔与气源联通;所述负压气槽、正压气槽均近于承载组件一侧设置;所述正负压集成块固定联接于设有的固定块上,以使与旋转运动的承载组件具有相对运动。
其进一步技术方案为:所述的承载组件包括与正负压集成块具有相对运动且用于固定的工件的承载转盘,及与承载转盘同步旋转的透明转盘;所述承载转盘近于透明转盘一侧设有真空腔,且真空腔与所述正负压集成块设有的吸附气孔联通;所述承载转盘的真空腔通入负气压时,透明转盘吸附固定于承载转盘一侧。
其进一步技术方案为:所述的承载转盘与正负压集成块的联接处均布有若干个所述的独立气孔;旋转时,所述独立气孔依次与正负压集成块的负压气槽、正压气槽联通;所述承载转盘外周设有若干个开口朝外且通过下开口槽与独立气孔联通的定位槽;所述承载转盘与透明转盘吸附时,下开口槽与透明转盘形成吸附工件的气孔;所述独立气孔与负压气槽联通时,定位槽的朝内气流将工件往定位槽内侧吸附固定;独立气孔与正压气槽联通时,定位槽的朝外气流将工件与定位槽分离。
其进一步技术方案为:所述的负压气槽与正压气槽环向间隔布置;所述独立气孔环向均布于负压气槽、正压气槽的环向位置;所述承载转盘与正负压集成块相对运动,以使独立气孔与负压气槽或正压气槽交替接触。
其进一步技术方案为:还包括与正负压集成块联接的控制集成块;所述控制集成块设有若干个用于控制负压气槽或正压气槽通断的电磁阀。
一种带有气路分配机构分光设备,包括基座,上述的气路分配机构,及近于气路分配机构设置且用于检测电子器件的检测机构;所述气路分配机构的承载转盘与设于基座的主动力件传动联接;所述透明转盘设于承载转盘下方,且透明转盘与基座之间设有升降机构;所述工件为电子器件。
其进一步技术方案为:所述的升降机构包括与透明转盘旋转联接的安装板,固定联接于基座且用于安装板升降运动导向的导向柱,及固定于基座且用于提供安装板动力的升降动力件;所述升降动力件通过带动安装板朝上运动,透明转盘靠近承载转盘,以使真空腔能对透明转盘吸附固定;升降动力件通过带动安装板朝下运动,透明转盘与承载转盘分离。
其进一步技术方案为:还包括用于清洁透明转盘且设置于透明转盘下方的自动擦拭机构;所述透明转盘与承载转盘分离时,自动擦拭机构设有的擦拭动力件带动透明转盘旋转运动,且自动擦拭机构设有的擦拭块对透明转盘进行清洁。
其进一步技术方案为:所述的检测机构固定联接于安装板,以使检测机构设有的光学检测头与透明转盘相对位置不变。
本发明与现有技术相比的有益效果是:一种气路分配机构,通过正负压集成块与承载装盘的相互配合,以实现承载转盘对透明转盘、电子器件的吸附固定;本气路分配机构,结构紧凑,吸附效率高,便于维护。
一种分光设备,承载转盘通过真空将透明转盘吸附固定,同时也通过负气压将电子器件吸附固定在承载转盘的定位槽,以供检测机构对电子器件进行检测。本发明测量针直接与电子器件联接,延长测量针寿命;负气压将电子器件吸附固定,正气压将电子器件分离,提高了检测效率,降低电子器件的损坏率;光学检测头与电子器件距离短,提高了检测准确度。还有,本发明结构紧凑,工作状况稳定,检测过程简单。
附图说明
图1为本发明一种气路分配机构的俯视图及局部剖视图;
图2为图1的A—A的剖视图及局部放大图;
图3为本发明一种气路分配机构的正负压集成块的正视图;
图4为图3的B—B的剖视图;
图5为本发明一种气路分配机构的承载转盘的正视图;
图6为图5的C—C的剖视图及局部放大图;
图7为本发明一种分光设备的自动擦拭机构立体图;
图8为本发明一种分光设备的自动擦拭机构另一个视角立体图;
图9为本发明一种分光设备的自动擦拭机构侧视图及局部放大图;
图10为本发明一种分光设备的立体图;
图11为本发明一种分光设备的爆炸图;
图12为本发明一种分光设备的俯视图;
图13为图12的D—D的剖视图。
具体实施方式
为了更充分理解本发明的技术内容,下面结合具体实施例对本发明的技术方案进一步介绍和说明,但不局限于此。
如图1至图13所示,为本实施例的具体结构视图。
如图1至图6,一种气路分配机构100,包括联接气源的正负压集成块10,与正负压集成块10具有相对运动的承载组件20。正负压集成块10设有若干个与气源联通的气槽11。气槽11包括至少一个负压气槽111,至少一个正压气槽112。承载组件20设有与气槽11联通的若干个独立气孔21。独立气孔21通过气槽11通入负气压时,电子器件吸附固定于承载组件20;通入正气压时,电子器件与承载组件20分离。
负压气槽111通过正负压集成块10设有的若干个与气源联通进气孔13,且进气孔13设有气管接头19。负压气槽111、正压气槽112均近于承载组件20一侧设置。优选的,负压气槽111与多个进气孔13联通,正压气槽112与单个进气孔13联通。正负压集成块10固定联接于设有的固定块14上,以使与旋转运动的承载组件20具有相对运动。此外,固定块14固定于固定座15上。
优选的,固定的正负压集成块10与旋转的承载组件20之间设有密封件,避免漏气。
其中,承载组件20包括与正负压集成块10具有相对运动且用于固定的电子器件的承载转盘22,及与承载转盘22同步旋转的透明转盘23。承载转盘22近于透明转盘23一侧设有真空腔221,且真空腔221与正负压集成块10设有的吸附气孔12联通。承载转盘22的真空腔221通入负气压时,透明转盘23吸附固定于承载转盘22一侧,随着承载转盘22一同运动。真空腔221为圆环形的腔,并且通过径向的凹槽与吸附气孔12联通,以使承载转盘22对透明转盘23的吸附力更加均匀,吸附效果更加好。
优选的,进气孔13围绕于吸附气孔12外侧设置,且吸附气孔12设于正负压集成块10中心。吸附气孔12也相应的设有气管接头19。
承载转盘22与正负压集成块10的联接处均布有若干个独立气孔21(本实施例中,独立气孔21为32个,且均布于转盘上)。旋转时,独立气孔21依次与正负压集成块10的负压气槽111、正压气槽112联通。承载转盘22外周设有若干个开口朝外且通过下开口槽222与独立气孔21联通的定位槽223。承载转盘22与透明转盘23吸附时,下开口槽222与透明转盘23形成吸附电子器件的气孔。独立气孔21与负压气槽111联通时,定位槽223的朝内气流将电子器件往定位槽223内侧吸附固定;独立气孔21与正压气槽112联通时,定位槽223的朝外气流将电子器件与定位槽223分离。透明转盘23的半径大于承载转盘22,电子器件在外力的作用下,散落在承载转盘22外周的透明转盘23上,通过气孔的通入负压气体,吸附并固定在定位槽223上。电子器件在通电的情况下发光,光线透过透明转盘23,并使检测机构300的光学检测头检测到。下开口槽222、定位槽223通过径向的连接孔224与独立气孔21联通。连接孔224是从承载转盘22的边缘向独立气孔21延伸,工作时,用堵头将连接孔224外端堵住。
负压气槽111与正压气槽112环向间隔布置,在本实施例中,负压气槽111为2个且与多个进气孔13联通,正压气槽112也为2个且与单个进气孔13联通。负压气槽111与正压气槽112分布在正负压集成块10一侧表面形成360°的布置。正压气槽112与单个进气孔13联通,并且通入正气压用于将电子器件与承载转盘22分离。独立气孔21环向均布于负压气槽111、正压气槽112的环向位置。承载转盘22与正负压集成块10相对运动,以使独立气孔21与负压气槽111或正压气槽112交替接触。
还包括与正负压集成块10联接的控制集成块30。控制集成块30设有若干个用于控制负压气槽111或正压气槽112通断的电磁阀。具体的,每个进气孔13都与相应的电磁阀联通,相应的电磁阀与控制相应的进气孔13,以达到电磁阀控制负压气槽111或正压气槽112。吸附气孔12也与控制集成块30设有的电磁阀联通,控制真空腔221通入负气压,以使承载转盘22将透明转盘23吸附固定。另外的,控制集成块30固定联接于固定座15上。
具体的,透明转盘23的材质可以是玻璃、亚克力等透明材质做成。
由于检测电子器件是要通过透明转盘23,所以透明转盘23的光洁度是有着严格的要求。在生产的过程中,由于车间的会有漂浮有灰尘等杂物,这对透明转盘23的光洁度有极大的影响,如果透明转盘23的光洁度不够,会严重影响到电子器件的检测。所以,要针对透明转盘23设计一个能自动对透明转盘23上下表面清洁的自动擦拭机构400。
图7至图9所示,一种自动擦拭机构400,包括固定架41,滑动联接于固定架41的擦拭组件42。擦拭组件42设有用于擦拭透明转盘23的擦拭块421。擦拭块421设有直接与透明转盘23接触的刮片422。刮片422与透明转盘23运动方向成20°—90°倾斜角。
擦拭块421至少为二个,且相对设置。擦拭块421设于夹持动力件43上,以使擦拭块421具有相对运动。透明转盘23置于擦拭块421之间,并且擦拭块421相向运动,以使刮片422对透明转盘23上下表面接触,使透明转盘23旋转时,刮片422能对透明转盘23进行接触式的擦拭。
具体的,擦拭块421近于透明转盘23表面设有吸灰腔423,且吸灰腔423与设有的真空气源联通。吸灰腔423设于刮片422的倾斜角一侧,有利于负气压将擦拭收集的杂物吸走,达到清洁的目的。
还包括用于驱动透明转盘23运动的旋转动力件44。旋转动力件44与擦拭组件42固定联接,以使旋转动力件44、擦拭组件42均与固定架41滑动联接。旋转动力件44动力输出端设有驱动透明转盘23做旋转运动的驱动轮45。旋转动力件44为电机。驱动轮45的材质为聚氨酯。
固定架41设有滑动动力件46,滑动动力件46动力输出端设有固定板47。旋转动力件44、擦拭组件42均固定联接于固定板47。滑动动力件46驱动固定板47运动,以使旋转动力件44和擦拭组件42靠近或远离透明转盘23。即滑动动力件46带动固定板47运动,安装在固定板的旋转动力件44和擦拭组件42也随着固定板47运动。
滑动动力件46设于固定架41下方,且与固定板47固定联接。固定板47延伸至固定架41上端,且通过设有的滑轨48与固定架41滑动联接。旋转动力件44、夹持动力件43均固定联接于固定板47上侧。旋转动力件44的驱动轮、擦拭块421与透明转盘23同一平面设置。
优选的,滑动动力件46、夹持动力件43均为气缸。
于其他实施例中,刮片422为L型结构,透明转盘23转动一定的角度后,L型的刮片422在滑动动力件46的作用下向外滑动,以将收集到的杂物清理掉。L型结构的刮片422替代本实施例中的吸灰腔结构。
图10至13所示,一种带有气路分配机构分光设备,包括基座600,上述的气路分配机构100,及近于气路分配机构100设置且用于检测电子器件的检测机构300。气路分配机构100的承载转盘22与设于基座600的主动力件16传动联接。透明转盘23设于承载转盘22下方,且透明转盘23与基座600之间设有升降机构50。
具体的,承载转盘22通过设有的正负压集成块10与真空气源联通,且承载转盘22与设于基座600的主动力件16传动联接。透明转盘23设于承载转盘22正下方,且承载转盘22设有用于吸附透明转盘23的真空腔221。透明转盘23上升至最高点时,真空腔221对透明转盘23吸附固定与承载转盘22。
具体的,主动力件16通过主轴17与承载转盘22传动联接,且主轴17旋转联接于固定在基座600的连接座18内侧。优选的,主轴17通过深沟球轴承与连接座18旋转联接。
其中,分光设备还包括上述的自动擦拭机构400。透明转盘23为所述气路分配机构100设有的透明转盘23。透明转盘23与基座600之间设有升降机构50。自动擦拭机构400设于透明转盘23一侧,透明转盘23下降至最低点时,滑动动力件46作用于擦拭机构,以使擦拭块421对透明转盘23进行清洁。自动擦拭机构400用于清洁透明转盘23且设置于透明转盘23下方。透明转盘23与承载转盘22分离时,自动擦拭机构400设有的擦拭动力件带动透明转盘23旋转运动,且自动擦拭机构400设有的擦拭块421对透明转盘23进行清洁。
升降机构50包括与透明转盘23旋转联接的安装板51,固定联接于基座600且用于安装板51升降运动导向的导向柱52,及固定于基座600且用于提供安装板51动力的升降动力件53。升降动力件53通过带动安装板51朝上运动,透明转盘23靠近承载转盘22,以使真空腔221能对透明转盘23吸附固定;升降动力件53通过带动安装板51朝下运动,透明转盘23与承载转盘22分离。优选的,透明转盘23和安装板51之间还设有连接板54,透明转盘23固定联接于连接板54上,连接板54与安装板51之间通过轴承旋转联接。
具体的,透明转盘23通过交叉滚子轴承与升降机构50的安装板51旋转联接。连接座18从升降机构50内部穿过,且延伸至升降机构50上端的承载转盘22联接。
其中,透明装盘23与承载转盘22之间还设有导向板24,以使透明装盘23在真空腔221吸附的过程中能准确的固定于承载转盘22一侧,避免发生抖动等现象。
其中,检测机构300固定联接于安装板51,以使检测机构300设有的光学检测头与透明转盘23相对位置不变。
本实施例的工作过程,透明转盘23在升降机构50的作用下靠近承载转盘22,并通过承载转盘22的真空腔221对透明转盘23进行吸附固定。电子器件散落在吸附后的透明转盘23上,通过正负压集成块10的负压气槽111通入负气压,使承载转盘22上的独立气孔21通过定位槽223将电子器件进行吸附固定。同时,电子器件随着承载转盘22继续转动。当电子器件转动到光学检测头位置时,电子器件朝上的引脚与测试针连接通电,发光端朝下以使光学检测头方便对电子器件进行检测。检测完毕,电子器件继续随着承载转盘22转动,当独立气孔21与正压气槽112联通时,正压气体将电子器件与承载转盘22分离。
生产前或者生产过程中,透明转盘23都需要将表面的杂物清理干净,不然就会影响检测结果。自动擦拭机构400就是定时自动给透明转盘进行擦拭清洁。需要清理透明转盘23表面的杂物时,控制集成块30切断真空气源,在升降机构50的作用下,透明转盘23与承载转盘22分离,并且下降到设定的位置;滑动动力件46动作,将旋转动力件44、擦拭组件42靠近透明转盘23:旋转动力件44与透明转盘23的边缘接触并以摩擦力驱动透明转盘23,擦拭组件42的擦拭块421在夹持动力件43的作用下相对运动,与透明转盘23上下表面接触,不影响转动的情况下擦拭块421对透明转盘23施加一定压力;其中,旋转动力件44驱动透明转盘23旋转,擦拭块421对透明转盘23表面进行擦拭(旋转擦拭至少一圈),并且吸灰腔423联通真空气源,将擦拭收集到的杂物吸走。清洁完毕,自动擦拭机构400复位。
透明转盘通过设于下方的自动擦拭机构将透明转盘的表面进行擦拭清洁。旋转动力件驱动透明转盘,且擦拭块对透明转盘擦拭清洁,擦拭收集到的杂物通过与真空气源联通的吸灰腔吸走。设有自动擦拭机构的本发明自动化程度高,清洁效率高,无需将透明转盘拆卸后清洁,清洁方式简易快捷。自动擦拭机构能及时的对透明转盘进行清洁,使检测的电子器件精度高,效率高。
综上所述,本发明一种气路分配机构,通过正负压集成块与承载装盘的相互配合,以实现承载转盘对透明转盘、电子器件的吸附固定;本气路分配机构,结构紧凑,吸附效率高,便于维护。
一种气路分配机构及其分光设备,承载转盘通过真空将透明转盘吸附固定,同时也通过负气压将电子器件吸附固定在承载转盘的定位槽,以供检测机构对电子器件进行检测。本发明测量针直接与电子器件联接,延长测量针寿命;负气压将电子器件吸附固定,正气压将电子器件分离,提高了检测效率,降低电子器件的损坏率;光学检测头与电子器件距离短,提高了检测准确度。还有,本发明结构紧凑,工作状况稳定,检测过程简单。
上述仅以实施例来进一步说明本发明的技术内容,以便于读者更容易理解,但不代表本发明的实施方式仅限于此,任何依本发明所做的技术延伸或再创造,均受本发明的保护。本发明的保护范围以权利要求书为准。
Claims (3)
1.一种带有气路分配机构的分光设备,其特征在于,包括基座,气路分配机构,及近于气路分配机构设置且用于检测电子器件的检测机构;
其中,所述气路分配机构包括联接气源的正负压集成块,与正负压集成块具有相对运动的承载组件;所述正负压集成块设有若干个与气源联通的气槽;所述气槽包括至少一个负压气槽,至少一个正压气槽;所述承载组件设有与气槽联通的若干个独立气孔;所述的独立气孔通过气槽通入负气压时,工件吸附固定于承载组件;通入正气压时,工件与承载组件分离;
所述的负压气槽通过正负压集成块设有的若干个进气孔与气源联通;所述负压气槽、正压气槽均近于承载组件一侧设置;所述正负压集成块固定联接于设有的固定块上,以使与旋转运动的承载组件具有相对运动;所述负压气槽与多个进气孔联通,所述正压气槽与单个进气孔联通;
所述的承载组件包括与正负压集成块具有相对运动且用于固定的工件的承载转盘,及与承载转盘同步旋转的透明转盘;所述承载转盘近于透明转盘一侧设有真空腔,且真空腔与所述正负压集成块设有的吸附气孔联通;所述承载转盘的真空腔通入负气压时,透明转盘吸附固定于承载转盘一侧;所述真空腔为圆环形的腔,并且通过径向的凹槽与所述吸附气孔联通;
所述的承载转盘与正负压集成块的联接处均布有若干个所述的独立气孔;旋转时,所述独立气孔依次与正负压集成块的负压气槽、正压气槽联通;所述承载转盘外周设有若干个开口朝外且通过下开口槽与独立气孔联通的定位槽;所述承载转盘与透明转盘吸附时,下开口槽与透明转盘形成吸附工件的气孔;所述独立气孔与负压气槽联通时,定位槽的朝内气流将工件往定位槽内侧吸附固定;独立气孔与正压气槽联通时,定位槽的朝外气流将工件与定位槽分离;
所述的负压气槽与正压气槽环向间隔布置;所述独立气孔环向均布于负压气槽、正压气槽的环向位置;所述承载转盘与正负压集成块相对运动,以使独立气孔与负压气槽或正压气槽交替接触;
所述气路分配机构还包括与正负压集成块联接的控制集成块;所述控制集成块设有若干个用于控制负压气槽或正压气槽通断的电磁阀;每个进气孔都与对应的电磁阀联通,所述电磁阀用于控制相应的进气孔;所述吸附气孔还与所述电磁阀联通,所述电磁阀还用于控制所述吸附气孔;
所述气路分配机构的承载转盘与设于基座的主动力件传动联接;所述透明转盘设于承载转盘下方,且透明转盘与基座之间设有升降机构;所述工件为电子器件;
所述分光设备还包括用于清洁透明转盘且设置于透明转盘下方的自动擦拭机构;所述透明转盘与承载转盘分离时,自动擦拭机构设有的擦拭动力件带动透明转盘旋转运动,且自动擦拭机构设有的擦拭块对透明转盘进行清洁;
所述自动擦拭机构包括固定架,滑动联接于固定架的擦拭组件,所述擦拭组件设有用于擦拭透明转盘的擦拭块,所述擦拭块设有直接与透明转盘接触的刮片,所述刮片与透明转盘运动方向成20°-90°倾斜角;
所述擦拭块至少设有二个,且相对设置,擦拭块设于夹持动力件上,以致擦拭块之间可做相向运动;
所述擦拭块近于透明转盘表面设有吸灰腔,且吸灰腔设于刮片的倾斜角一侧,吸灰腔与真空气源联通。
2.根据权利要求1所述的一种带有气路分配机构的分光设备,其特征在于,所述的升降机构包括与透明转盘旋转联接的安装板,固定联接于基座且用于安装板升降运动导向的导向柱,及固定于基座且用于提供安装板动力的升降动力件;所述升降动力件通过带动安装板朝上运动,透明转盘靠近承载转盘,以使真空腔能对透明转盘吸附固定;升降动力件通过带动安装板朝下运动,透明转盘与承载转盘分离。
3.根据权利要求2所述的一种带有气路分配机构的分光设备,其特征在于,所述的检测机构固定联接于安装板,以使检测机构设有的光学检测头与透明转盘相对位置不变。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710209421.9A CN106876306B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 一种气路分配机构及其分光设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710209421.9A CN106876306B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 一种气路分配机构及其分光设备 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106876306A CN106876306A (zh) | 2017-06-20 |
CN106876306B true CN106876306B (zh) | 2024-03-29 |
Family
ID=59160607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710209421.9A Active CN106876306B (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 一种气路分配机构及其分光设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106876306B (zh) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108262716B (zh) * | 2018-03-30 | 2023-06-02 | 扬州美达灌装机械有限公司 | 一种气罐的阀门装配装置 |
CN108922863A (zh) * | 2018-07-03 | 2018-11-30 | 苏州映真智能科技有限公司 | 硅片吸取组件及硅片抓取机构 |
CN109677915B (zh) * | 2019-01-03 | 2021-04-06 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种转盘机构及应用其的自动化设备 |
EP4075154A4 (en) * | 2019-12-13 | 2024-01-10 | Shandong Caiju Electronic Tech Co Ltd | CHIP DETECTION DEVICE AND SYSTEM, AND CONTROL METHOD |
CN112093448B (zh) * | 2020-09-21 | 2022-06-24 | 萧县奥新农业科技有限公司 | 一种机电工程用机械设备的输送装置 |
CN112971524B (zh) * | 2021-03-16 | 2022-07-01 | 广东智源机器人科技有限公司 | 烹饪设备 |
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CN206864436U (zh) * | 2017-03-31 | 2018-01-09 | 深圳市华腾半导体设备有限公司 | 一种气路分配机构及其分光设备 |
-
2017
- 2017-03-31 CN CN201710209421.9A patent/CN106876306B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN106876306A (zh) | 2017-06-20 |
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