CN211577340U - 中测台用集成电路板夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种中测台用集成电路板夹持装置，包括由下至上依次排布的底座、承片台、探针台以及显微镜，探针台的顶壁设有检测孔，还包括安装在承片台底壁的支柱、等间距排列在支柱周壁上的支座、滑移设置在支座顶壁的调节块、位于在承片台上的抵板以及安装在底座上的气缸，气缸驱动支柱滑移至检测孔的下方，抵板上设有安装件固定在调节块的顶壁，支座上设有驱动调节块沿其轴向滑移的调节组件，若干抵板之间围合形成有夹持工件的定位空间，承片台的顶壁均布设有若干抽气孔，支柱内设有与抽气孔相连通的空腔，空腔内设有将工件固定在承片台顶壁的吸附件；该夹持装置方便、快速的对集成电路板定位，提高了检测精度和效率。

Description

中测台用集成电路板夹持装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片检测的技术领域，特别涉及一种中测台用集成电路板夹持装置。

背景技术

在半导体制造技术中，集成电路芯片在加工完成后需要进行测试，在对集成电路板上的晶圆的测试过程中，由于晶圆上芯片的面积很小，不能通过直接的方法与检测系统相连来测试其电气参数，一般引入探测卡来转接。

目前，一般通过中测台对集成电路板进行检测，中测台又称探针台，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能；在测试时，通过人工将集成电路板放置在承片台上，然后通过真空阀吸附固定，晶圆上的晶粒随着承片台有规格的移动并与探针接触，实现对晶粒各项指标的测试。

但是现有的中测台存在以下使用缺陷：集成电路板的上下片均采用人工操作，且承台片上没有对集成电路板定位，一般需要人工对集成电路板进行角度调整，由于人工操作存在误差，容易造成探针不在晶圆第一晶粒中心，导致随后的测试过程产生累积误差，严重时会使探针跑偏，降低了测试效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种中测台用集成电路板夹持装置，其优点是：方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种中测台用集成电路板夹持装置，包括由下至上依次排布的底座、承片台、探针台以及显微镜，所述探针台的顶壁设有检测孔，还包括安装在承片台底壁的支柱、等间距排列在支柱周壁上的支座、滑移设置在支座顶壁的调节块、位于在承片台上的抵板以及安装在底座上的气缸，所述气缸驱动支柱滑移至检测孔的下方，所述抵板上设有安装件固定在调节块的顶壁，所述支座上设有驱动调节块沿其轴向滑移的调节组件，若干所述抵板之间围合形成有夹持工件的定位空间，所述承片台的顶壁均布设有若干抽气孔，所述支柱内设有与抽气孔相连通的空腔，所述空腔内设有将工件固定在承片台顶壁的吸附件。

通过上述技术方案，检测前，将工件放置在承片台上；首先利用安装件将抵板与调节块相连；其次利用调节组件驱动调节块在支座上滑移，进而带动若干抵板相互靠近并紧抵在工件的周壁，实现了对工件的定位；然后利用吸附件，将工件稳定吸附在承片台上；最后启动气缸，驱动支柱滑移，使得承片台滑移至检测孔下方，便于对工件检测；采用上述结构构成的夹持装置，方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率。

本实用新型进一步设置为：所述安装件为L型杆、与L型杆的竖直端相连的插块，所述L型杆的水平端与抵板相连，所述调节块的顶壁设有供插块插入的插槽，所述插槽内设有用于固定插块的定位件。

通过上述技术方案，将插块插入插槽内，利用定位件可将插块固定；插槽的设置，以便将插块滑移至合适高度，进而将抵板移动至合适高度，可对不同厚度尺寸的工件定位，适用范围广。

本实用新型进一步设置为：所述定位件包括定位销以及设置在定位销外壁上的橡胶凸纹，所述调节块的侧壁沿其轴向等间距排列有与插槽相连通的定位孔，所述插块的侧壁设有定位槽，所述定位销由外至内依次插入定位孔、定位槽内，所述橡胶凸纹紧贴在定位孔的孔壁、定位槽的槽壁上。

通过上述技术方案，将定位销由外至内依次插入定位孔、定位槽内，同时橡胶凸纹紧贴在定位孔的孔壁、定位槽的槽壁上，进而可将插块稳定固定在插槽内；该定位方式，操作简单，方便人员更换不同尺寸规格的L型杆和橡胶凸纹，以便对不同尺寸规格的工件定位，适用范围广。

本实用新型进一步设置为：若干所述支座的顶壁沿其轴向设有与空腔相连通的滑槽，所述调节组件包括手柄、两排两两相对的第一丝杆和第二丝杆、滑移设置在滑槽内的滑块以及两交错设置在空腔内的连接轴，所述第一丝杆、第二丝杆分别转动设置在滑槽内并与滑块螺纹连接，两相对所述第一丝杆、两相对第二丝杆的螺纹旋向均为反向，两所述连接轴的两端均伸至滑槽内并与分别与两个第一丝杆的相对的一端、两个第二丝杆相对的一端相连，所述第一丝杆、第二丝杆的一端均伸出支座的端壁外并与手柄相连，所述手柄上设有锁紧件固定在支座的端壁。

通过上述技术方案，转动手柄，带动其中一个第一丝杆转动，通过连接轴带动另一个第一丝杆转动，由于2个第一丝杆的螺纹旋向反向，且滑槽对滑块的移动起到限位作用，进而带动两个相对的调节块相对移动；同时转动另一个手柄，2个第二丝杆转动，进而另外两个调节块相对移动，从而使得4个抵板相互靠近，并紧抵在工件的周壁，实现了对工件的定位，避免工件移动；该调节方式，方便操作，只需要人工转动手柄，且通过调节两个相对调节块之间的距离，可对不同尺寸规格的工件定位，有效的提高了检测精度和效率。

本实用新型进一步设置为：所述锁紧件包括分别滑移套设在第一丝杆和第二丝杆上的锁紧环、两相对设置在锁紧环侧壁上的锁紧块以及分别套设在第一丝杆和第二丝杆上的弹簧，所述弹簧的一端固定在锁紧环背离锁紧块的侧壁，所述弹簧的另一端固定在手柄的侧壁上，所述支座的端壁沿手柄的转动方向均布设有若干供锁紧块插入的锁紧槽。

通过上述技术方案，滑移锁紧环，使得锁紧块插入锁紧槽内，利用弹簧的弹性力，可将锁紧块紧抵在锁紧槽内，进而实现了对手柄的固定，避免第一丝杆和第二丝杆自转；锁紧槽沿手柄的转动方向等间距排列，以便第一丝杆和第二丝杆转动至合适角度时，可将锁紧块插入锁紧槽内进行定位；该锁紧方式，结构简单，方便操作。

本实用新型进一步设置为：所述吸附件包括气管、呈喇叭状设置的抽气罩以及位于底座一侧的抽气泵，所述气管的一端与抽气罩相连，所述气管的另一端延伸出支柱的侧壁外并与抽气泵相连，所述抽气罩的喇叭口朝向抽气孔。

通过上述技术方案，启动抽气泵进行抽气，由于抽气罩呈喇叭状设置，增大了抽气面积，使得工件与承片台之间的空气形成负压，可将工件固定在承片台上，进一步提高了对工件固定的稳定性。

本实用新型进一步设置为：所述第一丝杆、第二丝杆上沿其轴向设有限位槽，所述锁紧环的内环壁设有在限位槽内滑移的限位块。

通过上述技术方案，限位槽和限位块的配合，对锁紧环的移动起到限位和导向作用，实现了锁紧环分别与第一丝杆和第二丝杆的滑移连接。

本实用新型进一步设置为：所述抵板与工件相贴合的侧壁设有橡胶垫。

通过上述技术方案，橡胶垫的设置，加强了抵板与工件周壁之间贴合的紧密度，提高了对工件固定的稳定性。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、利用调节组件驱动调节块在支座上滑移，进而带动若干抵板相互靠近并紧抵在工件的周壁，实现了对工件的定位；然后利用吸附件，将工件稳定吸附在承片台上，提高了对工件固定的稳定性，该夹持装置，方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率；

2、将定位销由外至内依次插入定位孔、定位槽内，同时橡胶凸纹紧贴在定位孔的孔壁、定位槽的槽壁上，进而可将插块稳定固定在插槽内；该定位方式，操作简单，方便人员更换不同尺寸规格的L型杆和橡胶凸纹，以便对不同尺寸规格的工件定位，适用范围广；

3、同时转动两个手柄，带动两个第一丝杆转动、两个第二丝杆转动，进而带动4个相对的调节块相对移动，从而使得4个抵板相互靠近，并紧抵在工件的周壁，实现了对工件的定位，避免工件移动，提高了对工件检测的精度和效率。

附图说明

图1是本实施例的整体的结构示意图。

图2是用于体现支柱与调节组件、承片台、工件之间连接关系的爆炸结构示意图。

图3是用于体现图2中A部分的放大结构示意图。

图4是用于体现锁紧件的剖视结构示意图。

图5是用于体现定位件的剖视结构示意图。

附图标记：1、底座；2、承片台；3、探针台；4、显微镜；5、检测孔；6、支柱；7、支座；8、调节块；9、抵板；10、气缸；11、安装件；111、L型杆；112、插块；113、插槽；114、定位件；1141、定位销；1142、橡胶凸纹；1143、定位孔；1144、定位槽；12、调节组件；121、滑槽；122、滑块；123、手柄；124、第一丝杆；125、第二丝杆；126、连接轴；127、锁紧件；1271、锁紧环；1272、锁紧块；1273、弹簧；1274、锁紧槽；13、抽气孔；14、空腔；15、吸附件；151、气管；152、抽气罩；153、抽气泵；16、限位槽；17、限位块；18、橡胶垫；19、工件；20、调节口；21、定位空间；22、开口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：

一种中测台用集成电路板夹持装置，参照图1，包括由下至上依次排布的底座1、支柱6、承片台2、探针台3以及显微镜4，探针台3的中部设有检测孔5，承片台2上放置有待检测的工件19，底座1上设有驱动支柱6沿其长度方向滑移的气缸10，以便将承片台2移动至检测孔5下方，进而可对工件19进行检测，探测台的顶壁位于检测孔5的一侧设有开口22，便于人工将工件19放置在承片台2上。

参照图1和图2，承片台2的顶壁均布设有若干抽气孔13，支柱6的顶壁设有与抽气孔13相连通的空腔14，空腔14内设有将工件19固定在承片台2顶壁的吸附件15，吸附件15包括位于底座1一侧的气泵、设置在空腔14内的抽气罩152、与抽气罩152相连的气管151，气管151远离抽气罩152的一端伸出底座1的侧壁外并与气泵相连，抽气罩152呈喇叭状设置，抽气罩152的喇叭口朝向抽气孔13；检测前，先将工件19放置在承片台2上，然后启动抽气泵153进行抽气，抽气罩152呈喇叭状设置，增大了抽气面积，使得工件19与承片台2之间的空气形成负压，可将工件19固定在承片台2上。

参照图2，为进一步加强工件19位于承片台2上的稳定性，承片台2上为位于工件19的四周均设有抵板9，工件19呈矩形设置，4个抵板9之间围合形成有夹持工件19的定位空间21，支柱6的外壁沿其周向等间距排列有支座7，本实施例中，支座7的数量优选为4个，支座7的轴向均与支柱6的径向同向，承片台2呈圆盘状设置，支柱6和承片台2的径向同向，支座7的顶壁沿其轴向滑移设有调节块8，调节块8的顶壁设有用于固定抵板9的安装件11，支座7的顶壁设有驱动调节块8沿其轴向滑移的调节组件12，进而带动抵板9沿承片台2的径向方向滑移，使得四个抵板9紧抵在工件19的四周侧壁，实现了对工件19的定位；采用上述结构构成的夹持装置，方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率。

参照图2和图3，调节组件12包括手柄123、两排两两相对设置的第一丝杆124和第二丝杆125、分别与第一丝杆124和第二丝杆125螺纹连接的滑块122、两个上下交错设置的空腔14内的连接轴126，4个支座7的顶壁沿其轴向均设有与空腔14相连通的滑槽121，2个第一丝杆124和第二丝杆125分别转动设置在4个滑槽121内，滑块122在滑槽121内滑移，2个第一丝杆124的螺纹旋向方向，2个第二丝杆125的螺纹旋向反向，两个连接轴126的两端分别延伸至4个滑槽121内，两个连接轴126的两端分别与2个第一丝杆124相对的一端、2个第二丝杆125相对的一端相连，其中一个第一丝杆124和第二丝杆125的一端均伸出支座7的端壁外并与手柄123相连。

调节时，转动手柄123，带动其中一个第一丝杆124转动，通过连接轴126带动另一个第一丝杆124转动，由于2个第一丝杆124的螺纹旋向反向，且滑槽121对滑块122的移动起到限位作用，进而带动两个相对的调节块8相对移动；同时转动另一个手柄123，2个第二丝杆125转动，进而另外两个调节块8相对移动，从而使得4个抵板9相互靠近，并紧抵在工件19的周壁，实现了对工件19的定位，避免工件19移动；该调节方式，方便操作，只需要人工转动手柄123，且通过调节两个相对调节块8之间的距离，可对不同尺寸规格的工件19定位，有效的提高了检测精度和效率。

参照图3和图4，为第一丝杆124和第二丝杆125自转，手柄123上设有锁紧件127固定在支座7的端壁，锁紧件127包括分别滑移套设在第一丝杆124和第二丝杆125上的锁紧环1271、两相对设置在锁紧环1271侧壁上的锁紧块1272以及分别套设在第一丝杆124和第二丝杆125上的弹簧1273，弹簧1273的一端固定在锁紧环1271背离锁紧块1272的侧壁，弹簧1273的另一端固定在手柄123的侧壁上，支座7的端壁沿手柄123的转动方向均布设有若干供锁紧块1272插入的锁紧槽1274。

滑移锁紧环1271，使得锁紧块1272插入锁紧槽1274内，利用弹簧1273的弹性力，可将锁紧块1272紧抵在锁紧槽1274内，进而实现了对手柄123的固定，避免第一丝杆124和第二丝杆125自转；由于锁紧槽1274沿手柄123的转动方向等间距排列，以便第一丝杆124和第二丝杆125转动至合适角度时，可将锁紧块1272插入锁紧槽1274内进行定位；该锁紧方式，结构简单，方便操作。

参照图3和图4，为实现对锁紧块1272的滑移进行限位，第一丝杆124和第二丝杆125的外壁沿其轴向设有限位槽16，锁紧环1271的内环壁设有在限位槽16内滑移的限位块17，实现了锁紧环1271分别与第一丝杆124和第二丝杆125的滑移连接。

参照图3和图5，安装件11为L型杆111、与L型杆111的竖直端相连的插块112，L型杆111的水平端与抵板9相连，调节块8的顶壁设有供插块112插入的插槽113，插槽113内设有用于固定插块112的定位件114；安装时，将插块112插入插槽113内，利用定位件114可将插块112固定；插槽113的设置，以便将插块112滑移至合适高度，进而将抵板9移动至合适高度，以便对不同厚度尺寸的工件19（图2）定位，适用范围广。

参照图5，抵板9的侧壁设有橡胶垫18与工件19侧壁贴合，橡胶垫18的设置，加强了抵板9与工件19周壁之间贴合的紧密度，提高了对工件19（图2）固定的稳定性。

参照图5，定位件114包括定位销1141以及设置在定位销1141外壁上的橡胶凸纹1142，调节块8的侧壁沿其轴向等间距排列有定位孔1143，若干定位孔1143与插槽113相连通，插块112的侧壁设有定位槽1144；将插块112移动至合适高度后，将定位销1141由外至内依次插入定位孔1143、定位槽1144内，同时橡胶凸纹1142紧贴在定位孔1143的孔壁、定位槽1144的槽壁上，进而可将插块112稳定固定在插槽113内；该定位方式，操作简单，方便人员更换不同尺寸规格的L型杆111和橡胶凸纹1142，以便对不同尺寸规格的工件19（图2）定位，适用范围广。

工作过程：首先滑移插块112在插槽113内滑移至合适高度，将定位销1141由外至内依次插入定位孔1143、定位槽1144内，实现了插块112的固定；其次将工件19放置在承片台2上，同时转动两个手柄123，带动2个第一丝杆124和2个第二丝杆125转动，进而4个相对的调节块8相互靠近，实现了对工件19的定位；然后启动抽气泵153，利用抽气罩152抽气，可将工件19稳定固定在承片台2上；最后启动气缸10，驱动支柱6滑移，使得承片台2移动至检测孔5的下方，最终实现对工件19的检测。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种中测台用集成电路板夹持装置，包括由下至上依次排布的底座(1)、承片台(2)、探针台(3)以及显微镜(4)，所述探针台(3)的顶壁设有检测孔(5)，其特征在于：还包括安装在承片台(2)底壁的支柱(6)、等间距排列在支柱(6)周壁上的支座(7)、滑移设置在支座(7)顶壁的调节块(8)、位于在承片台(2)上的抵板(9)以及安装在底座(1)上的气缸(10)，所述气缸(10)驱动支柱(6)滑移至检测孔(5)的下方，所述抵板(9)上设有安装件(11)固定在调节块(8)的顶壁，所述支座(7)上设有驱动调节块(8)沿其轴向滑移的调节组件(12)，若干所述抵板(9)之间围合形成有夹持工件(19)的定位空间(21)，所述承片台(2)的顶壁均布设有若干抽气孔(13)，所述支柱(6)内设有与抽气孔(13)相连通的空腔(14)，所述空腔(14)内设有将工件(19)固定在承片台(2)顶壁的吸附件(15)。

2.根据权利要求1所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述安装件(11)为L型杆(111)、与L型杆(111)的竖直端相连的插块(112)，所述L型杆(111)的水平端与抵板(9)相连，所述调节块(8)的顶壁设有供插块(112)插入的插槽(113)，所述插槽(113)内设有用于固定插块(112)的定位件(114)。

3.根据权利要求2所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述定位件(114)包括定位销(1141)以及设置在定位销(1141)外壁上的橡胶凸纹(1142)，所述调节块(8)的侧壁沿其轴向等间距排列有与插槽(113)相连通的定位孔(1143)，所述插块(112)的侧壁设有定位槽(1144)，所述定位销(1141)由外至内依次插入定位孔(1143)、定位槽(1144)内，所述橡胶凸纹(1142)紧贴在定位孔(1143)的孔壁、定位槽(1144)的槽壁上。

4.根据权利要求1所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：若干所述支座(7)的顶壁沿其轴向设有与空腔(14)相连通的滑槽(121)，所述调节组件(12)包括手柄(123)、两排两两相对的第一丝杆(124)和第二丝杆(125)、滑移设置在滑槽(121)内的滑块(122)以及两交错设置在空腔(14)内的连接轴(126)，所述第一丝杆(124)、第二丝杆(125)分别转动设置在滑槽(121)内并与滑块(122)螺纹连接，两相对所述第一丝杆(124)、两相对第二丝杆(125)的螺纹旋向均为反向，两所述连接轴(126)的两端均伸至滑槽(121)内并与分别与两个第一丝杆(124)的相对的一端、两个第二丝杆(125)相对的一端相连，所述第一丝杆(124)、第二丝杆(125)的一端均伸出支座(7)的端壁外并与手柄(123)相连，所述手柄(123)上设有锁紧件(127)固定在支座(7)的端壁。

5.根据权利要求4所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述锁紧件(127)包括分别滑移套设在第一丝杆(124)和第二丝杆(125)上的锁紧环(1271)、两相对设置在锁紧环(1271)侧壁上的锁紧块(1272)以及分别套设在第一丝杆(124)和第二丝杆(125)上的弹簧(1273)，所述弹簧(1273)的一端固定在锁紧环(1271)背离锁紧块(1272)的侧壁，所述弹簧(1273)的另一端固定在手柄(123)的侧壁上，所述支座(7)的端壁沿手柄(123)的转动方向均布设有若干供锁紧块(1272)插入的锁紧槽(1274)。

6.根据权利要求1所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述吸附件(15)包括气管(151)、呈喇叭状设置的抽气罩(152)以及位于底座(1)一侧的抽气泵(153)，所述气管(151)的一端与抽气罩(152)相连，所述气管(151)的另一端延伸出支柱(6)的侧壁外并与抽气泵(153)相连，所述抽气罩(152)的喇叭口朝向抽气孔(13)。

7.根据权利要求5所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述第一丝杆(124)、第二丝杆(125)上沿其轴向设有限位槽(16)，所述锁紧环(1271)的内环壁设有在限位槽(16)内滑移的限位块(17)。

8.根据权利要求1所述的中测台用集成电路板夹持装置，其特征在于：所述抵板(9)与工件(19)相贴合的侧壁设有橡胶垫(18)。

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