JP2022548222A - 多層ポリイミドフィルムおよびその製造方法 - Google Patents
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- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 title claims abstract description 97
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000012792 core layer Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000012024 dehydrating agents Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229920006259 thermoplastic polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 claims description 42
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical group CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims description 18
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 14
- QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 4-(4-amino-2-methylphenyl)-3-methylaniline Chemical group CC1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 1,4-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1 CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 3,5-diaminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(N)=CC(C(O)=O)=C1 UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- BCJIMAHNJOIWKQ-UHFFFAOYSA-N 4-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-4-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C2=C1C=CC=C2OC1=CC=CC2=C1C(=O)OC2=O BCJIMAHNJOIWKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 7
- ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 3-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=CN=C1 ITQTTZVARXURQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 6
- GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylimidazole Chemical compound CC1=NC=CN1C GIWQSPITLQVMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 22
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 21
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 10
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 10
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 9
- -1 aliphatic tertiary amines Chemical class 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 3
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- FUFJGUQYACFECW-UHFFFAOYSA-L calcium hydrogenphosphate Chemical compound [Ca+2].OP([O-])([O-])=O FUFJGUQYACFECW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001506 calcium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000389 calcium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011010 calcium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 235000019700 dicalcium phosphate Nutrition 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229920001002 functional polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000006798 ring closing metathesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H tricalcium bis(phosphate) Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/04—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B15/08—Layered products comprising a layer of metal comprising metal as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
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- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/20—Layered products comprising a layer of metal comprising aluminium or copper
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
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- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/26—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using curing agents
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
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- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G73/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing nitrogen with or without oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule, not provided for in groups C08G12/00 - C08G71/00
- C08G73/06—Polycondensates having nitrogen-containing heterocyclic rings in the main chain of the macromolecule
- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
- C08G73/1003—Preparatory processes
- C08G73/1007—Preparatory processes from tetracarboxylic acids or derivatives and diamines
- C08G73/1021—Preparatory processes from tetracarboxylic acids or derivatives and diamines characterised by the catalyst used
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- C08G73/10—Polyimides; Polyester-imides; Polyamide-imides; Polyamide acids or similar polyimide precursors
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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Abstract
Description
特に、優れた絶縁特性、すなわち低い誘電率のような優れた電気的特性により、電気、電子、光学分野などに至るまで高機能性高分子材料として注目されている。
最近、電子製品の軽量化、小型化に伴い、集積度が高くて柔軟な薄型回路基板が活発に開発されている。
このような薄型回路基板は、優れた耐熱性、耐低温性および絶縁特性を有しながらも屈曲が容易なポリイミドフィルム上に金属箔を含む回路が形成されている構造が多く活用される傾向にある。
このような薄型回路基板としては軟性金属箔積層板が主に用いられており、一例として、金属箔として薄い銅板を用いる軟性銅箔積層板(Flexible Copper Clad Laminate、FCCL)が含まれる。その他にも、ポリイミドを薄型回路基板の保護フィルム、絶縁フィルムなどに活用したりする。
軟性金属箔積層板の製造方法としては、例えば、(i)金属箔上にポリイミドの前駆体であるポリアミック酸を流延(cast)、または塗布した後、イミド化するキャスティング法、(ii)スパッタリングまたはめっきによってポリイミドフィルム上に直接金属層を設けるメタライジング法、および(iii)熱可塑性ポリイミドを介してポリイミドフィルムと金属箔とを熱と圧力で接合させるラミネート法などが挙げられる。
このうち、ラミネート法は、適用可能な金属箔の厚さ範囲がキャスティング法よりも広く、装置費用がメタライジング法よりも安価であるという点で利点がある。
ただし、ラミネート法の場合、通常、ポリイミドフィルムと金属箔との接着に熱可塑性樹脂を用いるため、この熱可塑性樹脂の熱融着性を発現させるために、300℃以上の熱をポリイミドフィルムに加える必要がある。
このような高温のラミネート工程でポリイミドフィルムの貯蔵弾性率が大きく低下する問題が発生するが、低い貯蔵弾性率の下では、ポリイミドフィルムが緩くなることで、ラミネート終了後にポリイミドフィルムが平坦な形態で存在しない可能性が高く、寸法安定性が低くなり、多層形態のポリイミドフィルムではそれぞれの層または金属箔が分離される分層現象が発生したりする。
一方、ラミネート工程の温度に比べてポリイミドフィルムのガラス転移温度が著しく低い場合にも寸法安定性が低くなり、これにより、ラミネート後、ポリイミドフィルムの外観品質が低下する恐れがあり、同じく、多層形態のポリイミドフィルムではそれぞれの層または金属箔が分離される分層現象が発生したりする。
したがって、上記の問題を解決して工程性を大きく改善するために、層間の界面接着力および銅箔との接着力が高くて分層現象が発生せず、弾性率などの機械的特性に優れて安定した回路の実現が可能なポリイミドフィルムおよびその効果的な製造方法の開発が必要なのが現状である。
以上の背景技術に記載された事項は発明の背景に対する理解のためのものであって、この技術の属する分野における通常の知識を有する者にすでに知られた従来技術でない事項を含むことができる。
そのため、本発明は、その具体的な実施例を提供することに実質的な目的がある。
また、コア層および前記スキン層は、ピロメリティックジアンハイドライド(pyromellitic dianhydride、PMDA)、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-benzophenonetetracarboxylic dianhydride、BTDA)、オキシジフタリックアンハイドライド(oxydiphthalic anhydride、ODPA)、および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-biphenyltetracarboxylic dianhydride、BPDA)からなるグループより選択された1種以上の二無水物酸成分と、
4,4’-ジアミノ-2,2’-ジメチルビフェニル(4,4’-diamino-2,2’-dimethylbiphenyl、m-tolidine)、3,5-ジアミノ安息香酸(3,5-diaminobenzoic acid、3,5-DABA)、パラフェニレンジアミン(p-phenylenediamine、PPD)、およびオキシジアニリン(4,4’-oxydianiline、ODA)からなるグループより選択された1種以上のジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化して得られる。
前記多層ポリイミドフィルムの前記コア層と前記スキン層との厚さ比は、6:4~9:1であってもよい。
前記多層ポリイミドフィルムの前記イミド化触媒は、キノリン、イソキノリン、β-ピコリン、ピリジン、イミダゾール、2-イミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、およびベンズイミダゾールからなるグループより選択された1種以上であり、前記脱水剤は、酢酸無水物であってもよいし、コア層とスキン層に含まれたイミド化触媒は、同一または異なっていてもよい。
前記多層ポリイミドフィルムの弾性率は、7GPa以上であり、前記多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力は、1.0kgf/cm2以上である。
前記多層ポリイミドフィルムは、前記コア層を形成するポリアミック酸溶液またはポリイミド樹脂と、前記スキン層を形成するポリアミック酸溶液またはポリイミド樹脂とを共押出するステップを含む製造方法により製造される。
これに先立ち、本明細書および特許請求の範囲に使われた用語や単語は、通常または辞書的な意味に限定して解釈されてはならず、発明者は自らの発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義できるという原則に則って本発明の技術的思想に符合する意味と概念で解釈されなければならない。
したがって、本明細書に記載された実施例の構成は、本発明の最も好ましい一つの実施例に過ぎず、本発明の技術的思想をすべて代弁するものではないので、本出願時点においてこれらを代替できる多様な均等物と変形例が存在し得ることを理解しなければならない。
本明細書において、単数の表現は文脈上明らかに異なって意味しない限り、複数の表現を含む。本明細書において、「含む」、「備える」または「有する」などの用語は、実施された特徴、数字、段階、構成要素またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、1つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、構成要素またはこれらを組み合わせたものの存在または付加の可能性を予め排除しないことが理解されなければならない。
本明細書において、量、濃度、または他の値またはパラメータが範囲、好ましい範囲または好ましい上限値および好ましい下限値の列挙として与えられる場合、範囲が別途に開示されるかに関係なく、任意の一対の任意の上側範囲の限界値または好ましい値、および任意の下側範囲の限界値または好ましい値で形成されたすべての範囲を具体的に開示すると理解されなければならない。
数値の範囲が本明細書において言及される場合、他に記述されなければ、その範囲はその終点およびその範囲内のすべての整数と分数を含むと意図される。本発明の範疇は、範囲を定義する時に言及される特定値に限定されないと意図される。
本明細書において、「二無水物酸」は、その前駆体または誘導体を含むと意図されるが、これらは、技術的には二無水物酸でないかも知れないが、それにもかかわらず、ジアミンと反応してポリアミック酸を形成するはずであり、このポリアミック酸は再度ポリイミドに変換される。
非熱可塑性ポリイミドを形成するために使用される二無水物酸成分としては、ピロメリティックジアンハイドライド(pyromellitic dianhydride、PMDA)、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-benzophenonetetracarboxylic dianhydride、BTDA)、オキシジフタリックアンハイドライド(oxydiphthalic anhydride、ODPA)、および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-biphenyltetracarboxylic dianhydride、BPDA)からなるグループより選択された1種以上を使用することができるが、これに限定されるものではない。
ジアミン成分としては、4,4’-ジアミノ-2,2’-ジメチルビフェニル(4,4’-Diamino-2,2’-dimethylbiphenyl、m-tolidine)、3,5-ジアミノ安息香酸(3,5-diaminobenzoic acid、3,5-DABA)、パラフェニレンジアミン(p-phenylenediamine、PPD)、およびオキシジアニリン(4,4’-oxydianiline、ODA)からなるグループより選択された1種以上を使用することができるが、これに限定されるものではない。
コア層とスキン層の非熱可塑性ポリイミド樹脂は、同一または異なっていてもよい。すなわち、コア層とスキン層を形成するポリイミド樹脂の二無水物酸成分とジアミン成分は、それぞれ同一または異なっていてもよく、同一の二無水物酸成分とジアミン成分が使用されるとしても各成分の組成比が異なっていてもよい。
コア層の片面および両面に、スキン層は、1層以上の多層に形成されてもよい。
コア層とスキン層との厚さ比は、6:4~9:1であることが好ましいが、これに限定されるものではない。コア層の厚さが6部未満であるか、9部を超える場合、誘電損失値が高くなり、スキン層の厚さが1部未満であるか、4部を超える場合には、接着力特徴が低下することがある。
本発明のコア層とスキン層は、いずれもイミド化触媒を含む。また、コア層は、脱水剤を含むが、スキン層は、脱水剤を含まない。
特に、キノリン、イソキノリン、β-ピコリン、ピリジン、イミダゾール、2-イミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、およびベンズイミダゾールからなるグループより選択された1種以上であることが好ましく、さらに好ましくは、イソキノリン、β-ピコリンのいずれか1種以上であってもよい。
これらの化合物は、単独で用いてもよく、2種以上を適宜組み合わせて用いてもよい。
これらの中でも、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物などが好ましく、酢酸無水物を用いることがさらに好ましいが、これに限定されるものではない。
ここで、コア層とスキン層に含まれたイミド化触媒は、それぞれ前記コア層およびスキン層に含まれた二無水物酸成分とジアミン成分の固形分対比0.1mol%超過1.2mol%未満含むことができる。
コア層とスキン層のイミド化触媒の含有量は、前記含有量範囲内でコア層とスキン層のイミド化速度を制御するために、互いに同一または異なって調節可能である。
例えば、コア層とスキン層のイミド化触媒の含有量を異なって調節する場合、コア層に含まれたイミド化触媒の含有量が、スキン層に含まれたイミド化触媒の含有量より多いか、または少なくてよい。
好ましくは、スキン層のイミド化速度を制御するために、スキン層に含まれたイミド化触媒は、スキン層に含まれた二無水物酸成分とジアミン成分の固形分対比0.2mol%~1.1mol%であってもよく、さらに好ましくは0.4mol%~1.0mol%であってもよい。
コア層と、コア層に積層されたスキン層とを含む多層ポリイミドフィルムにおいて、コア層にのみイミド化触媒が投入される場合、コア層とスキン層との界面密着特性が低下して、多層ポリイミドフィルムが分層されてフィルム特性が悪化する問題が発生した。
また、スキン層がイミド化触媒を0.1mol%以下で含む場合には、層間の界面接着力および銅箔との接着力が低くて製品への適用に適合しないだけでなく、弾性率が非常に低くなった。
スキン層が触媒を1.2mol%含む場合、イミド化速度の調節が難しくてコア層上のスキン層がまともに形成されなかった。
これに対し、コア層とスキン層ともにイミド化触媒を適量含ませてコア層とスキン層のイミド化速度を調節する場合、スキン層とコア層との界面密着力を改善できただけでなく、多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力も向上させることができ、優れた弾性率も維持することができた。特に、コア層とスキン層のイミド化が類似の速度で進行することが好ましい。
すなわち、脱水剤およびイミド化触媒が前記範囲を下回ると、化学的イミド化が不十分であり、焼成途中に破断したり、機械的強度が低下した。
また、それらの量が前記範囲を上回ると、イミド化が速く進行して、フィルム状にキャスティングすることが困難になった。
コア層とスキン層に使用されるイミド化触媒は、互いに同一または異なっていてもよく、好ましくは、同一のイミド化触媒を使用することができるが、これに限定されない。
コア層とスキン層が適宜調節された含有量のイミド化触媒を含み、コア層のみ脱水剤を含む多層ポリイミドフィルムは、弾性率が7GPa以上であり、多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力は1.0kgf/cm2以上であった。
また、多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力は、1.0kgf/cm2以上で、好ましくは1.5kgf/cm2以上であってもよい。
使用する金属箔としては特に限定されるものではないが、電子機器または電気機器の用途に本発明の軟性金属箔積層板を用いる場合には、例えば、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウムまたはアルミニウム合金を含む金属箔であってもよい。
特に、本発明の多層ポリイミドフィルムは、優れた弾性率と金属箔(特に、銅箔)との優れた接着力は、軟性金属箔積層板(特に、軟性銅箔積層板)の製造において有利であり、製造された軟性金属箔積層板の優れた特性の発現に寄与する。
すなわち、コア層を形成する第1ポリアミック酸溶液または前記第1ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第1ポリイミド樹脂、1種以上のイミド化触媒、および1種以上の脱水剤を含む第1溶液を用意する第1溶液用意ステップと、スキン層を形成する第2ポリアミック酸溶液または前記第2ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第2ポリイミド樹脂、1種以上のイミド化触媒を含み、脱水剤は含まない第2溶液を用意する第2溶液用意ステップと、共押出ダイを介して前記第1溶液と前記第2溶液とを共押出する共押出ステップと、前記共押出されて出た第1溶液と第2溶液を硬化する硬化ステップとを含む製造方法により製造される。
具体的には、本発明の多層ポリイミドフィルムを製造するために、第1ポリアミック酸溶液または第1ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第1ポリイミド樹脂である第1溶液を第1貯留槽に充填する第1充填ステップと、第2ポリアミック酸溶液または第2ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第2ポリイミド樹脂である第2溶液を第2貯留槽に充填する第2充填ステップと、第1貯留槽に連結された第1流路、第2貯留槽にそれぞれ連結された第2流路および第3流路が内部にそれぞれ形成された共押出ダイを介して第1溶液と第2溶液とを共押出する共押出ステップと、共押出されて出た第1溶液と第2溶液を硬化する硬化ステップとを含んで行われる。
一方、第1溶液として前記第1ポリアミック酸溶液を用い、第2溶液として前記第2ポリアミック酸溶液を用いる場合、硬化ステップの前に共押出されて出た第1溶液と第2溶液をイミド化するイミド化ステップをさらに含んで行われることが好ましい。
前記ポリアミック酸溶液を合成するための溶媒は特に限定されるものではなく、ポリアミック酸を溶解させる溶媒であればいかなる溶媒も使用可能であり、具体的には、溶媒は、有機極性溶媒であってもよく、詳しくは、非プロトン性極性溶媒(aprotic polar solvent)であってもよいし、好ましくは、アミド系溶媒であってもよい。例えば、N,N’-ジメチルホルムアミド(DMF)、N,N’-ジメチルアセトアミド、N-メチル-ピロリドン(NMP)、ガンマブチロラクトン(GBL)、ジグリム(diglyme)からなる群より選択された1つ以上であってもよいが、これに限定されるものではなく、必要に応じて単独でまたは2種以上組み合わせて使用可能である。一つの例において、溶媒は、N,N-ジメチルホルムアミドおよびN,N-ジメチルアセトアミドが好ましく使用できる。
前記ポリアミック酸の製造ステップにおいて、単量体の種類および所望するポリイミドフィルムの物性に応じてすべての単量体を一度に添加するか、または各単量体を順次に添加することができ、この場合、単量体間の部分的重合が起こり得る。
添加される充填材は特に限定されるものではないが、好ましい例としては、シリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化ケイ素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。
充填材の粒径は特に限定されるものではなく、改質すべきフィルム特性と添加する充填材の種類によって決定可能である。
一般的には、平均粒径が0.05~100μm、好ましくは0.1~75μm、さらに好ましくは0.1~50μm、特に好ましくは0.1~25μmであってもよい。
粒径がこの範囲を下回ると、改質効果が現れにくくなり、この範囲を上回ると、表面性を大きく損なったり、機械的特性が大きく低下する場合がある。
また、充填材の添加量についても特に限定されるものではなく、改質すべきフィルム特性や充填材粒径などによって決定可能である。
一般的に、充填材の添加量は、ポリイミド100重量部に対して0.01~100重量部、好ましくは0.01~90重量部、さらに好ましくは0.02~80重量部であってもよい。
充填材の添加量がこの範囲を下回ると、充填材による改質効果が現れにくく、この範囲を上回ると、フィルムの機械的特性が大きく損なわれる可能性がある。
充填材の添加方法は特に限定されるものではなく、公知のいかなる方法を用いてもよい。
化学イミド化法の一例として、40℃~300℃の温度範囲、好ましくは80℃~200℃、さらに好ましくは100℃~180℃に熱処理して脱水剤およびイミド化触媒を活性化させることにより、部分的に硬化および/または乾燥させて、自己支持性を有する中間体であるゲルを形成する。以後、支持体からゲルを剥離する工程、および前記ゲルをさらに加熱して、残りのアミック酸(amic acid)をイミド化し乾燥させる工程(以下、「焼成過程」ともいう)を含むことが好ましい。
複合イミド化法の一例として、ポリアミック酸溶液に脱水剤およびイミド化触媒を投入した後、80~200℃、好ましくは100~180℃で加熱して、部分的に硬化および乾燥した後に、200~400℃で5~400秒間加熱することにより、ポリイミド樹脂を得ることができる。
コア層のワニスとして、二無水物酸成分とジアミン成分としてそれぞれピロメリティックジアンハイドライド(pyromellitic dianhydride、PMDA)とオキシジアニリン(4,4’-oxydianiline、ODA)をDMF溶媒で1:1反応させて、固形分18.5%のポリアミック酸を製造した。
以後、ミキサにより、前記コア層のワニスの固形分対比1.5~4mol%の酢酸無水物(脱水剤)および0.1~1mol%のイソキノリン(イミド化触媒)が供給され、最終固形分が12.3重量%のコア層のワニスが多層ダイ(Multi-layer Die)に吐出される。
前記コア層のワニスの50重量%の比率で混合触媒(脱水剤として酢酸無水物(Acetic anhydride)、イミド化触媒としてイソキノリンまたはβ-ピコリンを含む)が供給され、最終固形分12.3重量%のコア層のワニスが多層ダイ(Multi-layer Die)に吐出される。
スキン層のワニスも、コア層のワニスと同一のモノマーを用いて、ポリアミック酸を製造した後、イミド化触媒として含有量が調整されたイソキノリンをDMFと混合して(ただし、スキン層のワニスの場合、脱水剤を含まない)、最終固形分をコア層のワニスと同一に12.3重量%に製造し、多層ダイ(Multi-layer Die)内に供給して、最終的にスキン/コア/スキン構造を有する3層構造の多層ポリイミドフィルムを共押出により製造した。
先に説明した製造例により製造しかつ、多層ポリイミドフィルムのスキン層のイミド化触媒の含有量を下記表1のように調節して、多層ポリイミドフィルムの弾性率と接着力を測定した。
コア層の場合、コア層のワニスの固形分対比2.7mol%の酢酸無水物(脱水剤)および0.4mol%のイソキノリン(イミド化触媒)を使用した。
本発明の多層ポリイミドフィルムの弾性率は、ASTM D882規定に基づいて測定した。
本発明の多層ポリイミドフィルムの銅箔との接着力は、両面に銅箔をラミネーションした軟性金属箔積層板上にInnoflex(1mil、Epoxy type、Innox製品)を置き、両面にPVCフィルムと保護用PIフィルムを置いて、160℃に昇温した後に、30分間10Kgf/cm2の圧力で熱圧着した。フィルムを13mmの幅に切って裁断した後に、180゜剥離試験(Peel test)を実施した。
一方、スキン層にイミド化触媒が全く含まれない場合(比較例1)、銅箔との接着力の測定中、コア層とスキン層とが分離される分層現象が発生し、弾性率も3.57GPaで、スキン層に適正量のイミド化触媒が含まれている実施例に比べて非常に低かった。
また、スキン層にイミド化触媒が0.1mol%含まれる場合(比較例2)、銅箔との接着力は0.2~0.3kgf/cm2で、スキン層に適正量のイミド化触媒が含まれている実施例に比べて非常に低く、弾性率(3.75GPa)も、比較例1に比べると一部向上したものの、非常に低い水準であった。
スキン層にイミド化触媒が過剰使用された比較例3(1.2mol%)および比較例4(1.5mol%)の場合、スキン層のイミド化速度の調節が難しくて製膜が適切になされていないので、多層ポリイミドフィルムがまともに形成されておらず、形成されたポリイミドフィルムの外観が非常に不良で製品として適用することができなかった。
Claims (15)
- 非熱可塑性ポリイミドを含有するコア層と、
前記コア層の片面または両面に積層された非熱可塑性ポリイミドを含有するスキン層とを含み、
前記コア層は、1種以上の脱水剤および1種以上のイミド化触媒を含み、
前記スキン層は、1種以上のイミド化触媒を含み、脱水剤を含まない、
多層ポリイミドフィルム。 - 前記スキン層のイミド化触媒は、前記スキン層に含まれた二無水物酸成分とジアミン成分の固形分対比0.1mol%超過1.2mol%未満含まれる、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 前記コア層および前記スキン層は、ピロメリティックジアンハイドライド(pyromellitic dianhydride、PMDA)、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-benzophenonetetracarboxylic dianhydride、BTDA)、オキシジフタリックアンハイドライド(oxydiphthalic anhydride、ODPA)、および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-biphenyltetracarboxylic dianhydride、BPDA)からなるグループより選択された1種以上の二無水物酸成分と、
4,4’-ジアミノ-2,2’-ジメチルビフェニル(4,4’-diamino-2,2’-dimethylbiphenyl、m-tolidine)、3,5-ジアミノ安息香酸(3,5-diaminobenzoic acid、3,5-DABA)、パラフェニレンジアミン(p-phenylenediamine、PPD)、およびオキシジアニリン(4,4’-oxydianiline、ODA)からなるグループより選択された1種以上のジアミン成分とを含むポリアミック酸溶液をイミド化して得られた、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。 - 前記コア層と前記スキン層との厚さ比は、6:4~9:1である、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 前記イミド化触媒は、キノリン、イソキノリン、β-ピコリン、ピリジン、イミダゾール、2-イミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、およびベンズイミダゾールからなるグループより選択された1種以上である、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 前記脱水剤は、酢酸無水物である、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 前記コア層と前記スキン層に含まれた前記イミド化触媒は、同一または異なる、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- 前記多層ポリイミドフィルムの弾性率は、7GPa以上であり、
前記多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力は、1.0kgf/cm2以上である、
請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。 - 前記多層ポリイミドフィルムは、前記コア層を形成するポリアミック酸溶液またはポリイミド樹脂と、前記スキン層を形成するポリアミック酸溶液またはポリイミド樹脂とを共押出するステップを含む製造方法により製造される、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルム。
- コア層を形成する第1ポリアミック酸溶液または前記第1ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第1ポリイミド樹脂、1種以上のイミド化触媒、および1種以上の脱水剤を含む第1溶液を用意する第1溶液用意ステップと、
スキン層を形成する第2ポリアミック酸溶液または前記第2ポリアミック酸溶液をイミド化して製造される第2ポリイミド樹脂、1種以上のイミド化触媒を含み、脱水剤は含まない第2溶液を用意する第2溶液用意ステップと、
共押出ダイを介して前記第1溶液と前記第2溶液とを共押出する共押出ステップと、
前記共押出されて出た前記第1溶液と前記第2溶液を硬化する硬化ステップとを含み、
前記コア層と前記スキン層は、非熱可塑性ポリイミドである、
多層ポリイミドフィルムの製造方法。 - 前記第1溶液として前記第1ポリアミック酸溶液を用い、
前記第2溶液として前記第2ポリアミック酸溶液を用いる場合、
前記硬化ステップの前に、前記共押出されて出た前記第1溶液と前記第2溶液をイミド化するイミド化ステップを含む、請求項10に記載の多層ポリイミドフィルム製造方法。 - 前記スキン層のイミド化触媒は、前記スキン層に含まれた二無水物酸成分とジアミン成分の固形分対比0.1mol%超過1.2mol%未満含まれる、請求項10に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。
- 前記第1ポリアミック酸溶液および前記第2ポリアミック酸溶液は、ピロメリティックジアンハイドライド(pyromellitic dianhydride、PMDA)、ベンゾフェノンテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-benzophenonetetracarboxylic dianhydride、BTDA)、オキシジフタリックアンハイドライド(oxydiphthalic anhydride、ODPA)、および3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボキシリックジアンハイドライド(3,3’,4,4’-biphenyltetracarboxylic dianhydride、BPDA)からなるグループより選択された1種以上の二無水物酸成分と、
4,4’-ジアミノ-2,2’-ジメチルビフェニル(4,4’-Diamino-2,2’-dimethylbiphenyl、m-tolidine)、3,5-ジアミノ安息香酸(3,5-diaminobenzoic acid、3,5-DABA)、パラフェニレンジアミン(p-phenylenediamine、PPD)、およびオキシジアニリン(4,4’-oxydianiline、ODA)からなるグループより選択された1種以上のジアミン成分とを含む、
請求項10に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。 - 前記イミド化触媒は、キノリン、イソキノリン、β-ピコリン、ピリジン、イミダゾール、2-イミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、およびベンズイミダゾールからなるグループより選択された1種以上であり、
前記脱水剤は、酢酸無水物である、
請求項10に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。 - 前記多層ポリイミドフィルムの弾性率は、7GPa以上であり、
前記多層ポリイミドフィルムと銅箔との接着力は、1.5kgf/cm2以上である、
請求項10に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2019-0112533 | 2019-09-11 | ||
KR1020190112533A KR102248979B1 (ko) | 2019-09-11 | 2019-09-11 | 다층 폴리이미드 필름 및 이의 제조방법 |
PCT/KR2019/013956 WO2021049707A1 (ko) | 2019-09-11 | 2019-10-23 | 다층 폴리이미드 필름 및 이의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022548222A true JP2022548222A (ja) | 2022-11-17 |
JP7489451B2 JP7489451B2 (ja) | 2024-05-23 |
Family
ID=74865803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022515800A Active JP7489451B2 (ja) | 2019-09-11 | 2019-10-23 | 多層ポリイミドフィルムおよびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11752744B2 (ja) |
JP (1) | JP7489451B2 (ja) |
KR (1) | KR102248979B1 (ja) |
CN (1) | CN114340898A (ja) |
WO (1) | WO2021049707A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2019
- 2019-09-11 KR KR1020190112533A patent/KR102248979B1/ko active IP Right Grant
- 2019-10-23 WO PCT/KR2019/013956 patent/WO2021049707A1/ko active Application Filing
- 2019-10-23 US US17/641,879 patent/US11752744B2/en active Active
- 2019-10-23 JP JP2022515800A patent/JP7489451B2/ja active Active
- 2019-10-23 CN CN201980100108.9A patent/CN114340898A/zh active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114340898A (zh) | 2022-04-12 |
US20220324213A1 (en) | 2022-10-13 |
KR20210031055A (ko) | 2021-03-19 |
KR102248979B1 (ko) | 2021-05-07 |
JP7489451B2 (ja) | 2024-05-23 |
US11752744B2 (en) | 2023-09-12 |
WO2021049707A1 (ko) | 2021-03-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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