TWI755133B - 聚醯亞胺薄膜之製造方法、由該方法製得的聚醯亞胺薄膜、及包含其的多層薄膜、可撓性金屬箔層壓板和電子部件 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種高黏著力及低介電特性之聚醯亞胺薄膜的製造方法，包括：製造聚醯胺酸溶液的步驟；針對前述聚醯胺酸溶液添加脫水劑及醯亞胺化催化劑而製造聚醯胺酸組合物的步驟；及將前述聚醯胺酸組合物在支撐體上製膜並在加熱爐中熱固化的步驟；前述熱固化步驟至少包括第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟，第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟各自的製程溫度範圍為100℃以上、550℃以下。

Description

聚醯亞胺薄膜之製造方法、由該方法製得的聚醯亞胺薄膜、及包含其的多層薄膜、可撓性金屬箔層壓板和電子部件

本發明係有關於一種兼具低介電特性及高黏著力特性之聚醯亞胺薄膜及其製造方法。

聚醯亞胺（Polyimide；PI）以剛性芳香族主鏈和化學穩定性非常優秀的醯亞胺環為基礎，係有機材料中具有最高水平耐熱性、耐藥品性、電氣絕緣性、耐化學性、耐氣候性的高分子材料。

特別是由於卓越的絕緣特性，即諸如低介電常數的優秀電氣特性，在電氣、電子甚至光學領域等作為高功能性高分子材料而倍受矚目。

最近，隨著電子製品的輕量化、小型化，正在活躍地開發高整合度、柔軟的薄型電路基板。

這種薄型電路基板趨於大量利用在具有優秀耐熱性、耐低溫性及絕緣特性且容易彎曲的聚醯亞胺薄膜上形成有包括金屬箔在內的電路的結構。

作為這種薄型電路基板，主要使用可撓性金屬箔層壓板，作為一個示例，包括使用薄銅板作為金屬箔的可撓性覆銅板（Flexible Copper Clad Laminate；FCCL）。此外，亦可將聚醯亞胺用作薄型電路基板的保護薄膜、絕緣薄膜等。

另一方面，最近隨著在電子設備中內置多樣功能，前述電子設備要求快速的運算速度和通訊速度，為了滿足這種要求，正在開發能夠以高頻實現高速通訊的薄型電路基板。

為了實現高頻高速通訊，需要即使在高頻下亦能夠維持電氣絕緣性的具有高阻抗（impedance）的絕緣體。阻抗與在絕緣體中形成的頻率及介電常數（Dielectric Constant；Dk）具有反比關係，因而即使在高頻下，為了維持絕緣性，介電常數亦應儘可能降低。

但是，就通常的聚醯亞胺而言，介電特性並未優秀到能夠在高頻通訊中維持充分絕緣特性的程度。

另外據悉，絕緣體越是具有低介電特性，在薄型電路基板中越能夠減少不希望的雜散電容（stray capacitance）和雜訊的發生，可很大程度上消除通訊延遲的原因。

因此，低介電特性的聚醯亞胺被認為是薄型電路基板效能中最重要的因素。

特別是就高頻通訊而言，必然發生聚醯亞胺導致的介電損耗（dielectric dissipation），介電損耗因數（Dielectric Dissipation Factor；Df）意味著薄型電路基板的電能浪費程度，與決定通訊速度的訊號傳遞延遲密切相關，因而儘可能低地保持聚醯亞胺的介電損耗因數，亦被認為是薄型電路基板效能中的重要因素。

另外，聚醯亞胺薄膜包含的潮氣越多，則介電常數越大，介電損耗因數越增加。就聚醯亞胺薄膜而言，由於優秀的固有特性，適合作為薄型電路基板材料，但相反亦會因具有極性的醯亞胺基而對潮氣相對脆弱，因而絕緣特性會低下。

因此，迫切需要開發一種在將聚醯亞胺特有的機械特性、熱特性及高黏著力的表面特性保持在既定水平的同時具有介電特性特別是低介電損耗因數的聚醯亞胺薄膜。

[先前技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1：韓國公開專利公報第10-2015-0069318號。

[所欲解決之課題]

因此，為了解決如上所述的問題，其目的在於提供一種兼具低介電特性及高黏著力特性之聚醯亞胺薄膜及其製造方法。

因此，本發明的實質目的在於提供其具體實施例。 [解決課題之方案]

旨在達成如上所述目的的本發明一種實施形態提供一種聚醯亞胺薄膜的製造方法，包括： 製造聚醯胺酸溶液的步驟； 針對前述聚醯胺酸溶液添加脫水劑及醯亞胺化催化劑而製造聚醯胺酸組合物的步驟；及 將前述聚醯胺酸組合物在支撐體上製膜並在加熱爐中熱固化的步驟。

前述熱固化步驟至少包括第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟，第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟各個的製程溫度範圍為100℃以上、550℃以下。

前述第一加熱步驟的製程溫度可為100℃以上、150℃以下，前述第二加熱步驟的製程溫度可為200℃以上、300℃以下，前述第三加熱步驟的製程溫度可為400℃以上、550℃以下。

另外，前述第一加熱步驟的製程時間可為超過5分鐘、15分鐘以下，前述第二加熱步驟的製程時間可為超過2分鐘、10分鐘以下，前述第三加熱步驟的製程時間可為超過2分鐘、10分鐘以下。

另一方面，前述聚醯胺酸溶液可包括二酐成分和二胺成分，前述二酐成分包含聯苯四甲酸二酐（BPDA）及均苯四甲酸二酐（PMDA），前述二胺成分包含間聯甲苯胺（m-tolidine）、二胺基二苯醚（ODA）及對苯二胺（PPD）。

以前述二酐成分的總含量100莫耳%為基準，前述聯苯四甲酸二酐的含量可為30莫耳%以上、50莫耳%以下，前述均苯四甲酸二酐的含量可為50莫耳%以上、70莫耳%以下。

另外，以前述二胺成分的總含量100莫耳%為基準，前述間聯甲苯胺的含量可為60莫耳%以上、80莫耳%以下，前述對苯二胺的含量可為10莫耳%以上、25莫耳%以下，前述二胺基二苯醚（ODA）的含量可為10莫耳%以上、25莫耳%以下。

作為前述脫水劑，可使用乙酸酐，作為前述醯亞胺化催化劑，可使用選自由異喹啉、β-甲基吡啶、吡啶、咪唑、2-咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-苯基咪唑、苯并咪唑組成之群的1種以上。

另外，前述聚醯亞胺薄膜可包含由2個以上的嵌段構成的共聚物。

本發明的另一實施形態提供一種根據前述製造方法製造的聚醯亞胺薄膜。

前述聚醯亞胺薄膜的黏著力可為1000 gf/cm以上，介電損耗因數（Df）可為0.004以下。

本發明的又一實施形態提供一種包括前述聚醯亞胺薄膜和可塑性樹脂層的多層薄膜及包括前述聚醯亞胺薄膜和導電性金屬箔的可撓性金屬箔層壓板。

本發明的又一實施形態提供一種包括前述可撓性金屬箔層壓板的電子部件。 [發明效果]

綜上所述，本發明藉由由特定成分及特定配比構成的聚醯亞胺薄膜及其製造方法，提供兼具低介電特性及高黏著特性的聚醯亞胺薄膜，從而可有用地應用於要求這些特性的多樣領域，特別是可撓性金屬箔層壓板等電子部件等。

下文按照本發明的「聚醯亞胺薄膜的製造方法」及「聚醯亞胺薄膜」的順序，更詳細地說明發明的實施形態。

在此之前，本說明書及申請專利範圍中使用的術語或詞語，不得限定為通常的或詞典的意義進行解釋，應立足於「發明人為了以最佳方法說明其自身的發明而可適當地定義術語的概念」的原則，只解釋為符合本發明的技術思想的意義和概念。

因此，本說明書中記載的實施例的構成，只不過是本發明最佳的一個實施例，並非全部代表本發明的技術思想，因此應理解為，在本發明申請時間點，會存在可取代它們的多樣均等物和變形例。

只要在文理上未明確表示不同，在本說明書中單數的表現包括複數的表現。在本說明書中，「包括」、「具備」或「具有」等術語是要指定實施的特徵、數字、步驟、構成要素或它們的組合的存在，應理解為不預先排除一個或其以上的其他特徵或數字、步驟、構成要素或它們的組合的存在或附加可能性。

在本說明書中，當藉由列舉範圍、較佳範圍或較佳上限值及較佳下限值而給出量、濃度、或其他值或參數時，與範圍是否獨立地公開無關，應理解為具體公開由任意一對的任意上側範圍界限值或較佳值及任意下側範圍界限值或較佳值形成的所有範圍。

數值的範圍在本說明書中提及時，只要未不同地敘述，其範圍係指包括其終點及其範圍內的所有整數和分數。本發明的範疇係指不限定為在定義範圍時提及的特定值。

在本說明書中，「二酐」係指包括其前體或衍生物，彼等在技術上可不為二酐，但儘管如此，與二胺反應而形成聚醯胺酸，該聚醯胺酸可再次變換成聚醯亞胺。

在本說明書中，「二胺」係指包括其前體或衍生物，彼等在技術上可不為二胺，但儘管如此，與二酐反應而形成聚醯胺酸，該聚醯胺酸可再次變換成聚醯亞胺。

本發明的聚醯亞胺薄膜的製造方法可包括：製造聚醯胺酸溶液的步驟；針對前述聚醯胺酸溶液添加脫水劑及醯亞胺化催化劑而製造聚醯胺酸組合物的步驟；及將前述聚醯胺酸組合物在支撐體上製膜並在加熱爐中熱固化的步驟；前述熱固化步驟至少可包括第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟，第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟各自的製程溫度範圍可為100℃以上、550℃以下。

特別是前述第一加熱步驟的製程溫度可為100℃以上、150℃以下，前述第二加熱步驟的製程溫度可為200℃以上、300℃以下，前述第三加熱步驟的製程溫度可為400℃以上、550℃以下。

較佳地，前述第一加熱步驟的製程溫度可為120℃以上、140℃以下，前述第二加熱步驟的製程溫度可為270℃以上、290℃以下，前述第三加熱步驟的製程溫度可為440℃以上、460℃以下。

前述第一加熱步驟的製程時間可為超過5分鐘、15分鐘以下，前述第二加熱步驟的製程時間可為超過2分鐘、10分鐘以下，前述第三加熱步驟的製程時間可為超過2分鐘、10分鐘以下。

較佳地，前述第一加熱步驟的製程時間可為6分鐘以上、12分鐘以下，前述第二加熱步驟的製程時間可超過2分鐘、5分鐘以下，前述第三加熱步驟的製程時間可為超過2分鐘、5分鐘以下。

前述第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟的製程溫度或製程時間超過或低於前述範圍時，介電損耗因數的值升高或黏著力低下，不適合用作用於在高頻率下減小傳輸損耗的聚醯亞胺薄膜。

在本發明中，聚醯胺酸的製造例如可有以下方法等： （1）方法，將二胺成分全量加入溶劑中，然後添加二酐成分使得與二胺成分實質上達到等莫耳並進行聚合； （2）方法，將二酐成分全量加入溶劑中，然後添加二胺成分使得與二酐成分實質上達到等莫耳並進行聚合； （3）方法，將二胺成分中一部分成分加入溶劑中後，針對反應成分，將二酐成分中一部分成分按約95~105莫耳%的比率混合後，添加剩餘二胺成分，接著添加剩餘二酐成分，使二胺成分及二酐成分實質上達到等莫耳並進行聚合； （4）方法，將二酐成分加入溶劑中後，針對反應成分，將二胺化合物中一部分成分按95~105莫耳%比率混合後，添加其他二酐成分，接著添加剩餘二胺成分，使二胺成分及二酐成分實質上達到等莫耳並進行聚合； （5）方法，在溶劑中使一部分二胺成分與一部分二酐成分反應而使得某一者過量，形成第一組合物，在又一溶劑中，使一部分二胺成分與一部分二酐成分反應而使得某一者過量，形成第二組合物後，混合第一組合物、第二組合物而完成聚合，此時，該方法在形成第一組合物時，若二胺成分過剩，則在第二組合物中，使二酐成分過量，在第一組合物中二酐成分過剩時，則在第二組合物中，使二胺成分過量，混合第一組合物、第二組合物，使得彼等之反應所使用的全體二胺成分和二酐成分實質上達到等莫耳並進行聚合。

不過，並非前述聚合方法只限定於以上示例，前述聚醯胺酸的製造當然可使用公知的任意方法。

聚醯亞胺薄膜的製造方法可分為熱醯亞胺化法、化學醯亞胺化法、熱醯亞胺化法及化學醯亞胺化法並用的複合醯亞胺化法等。

所謂前述熱醯亞胺化法，是不使用化學催化劑而利用熱風或紅外線乾燥器等熱源來誘導醯亞胺化反應的方法。

前述熱醯亞胺化法可將前述凝膠薄膜在100至600℃範圍的可變溫度下進行熱處理，使凝膠薄膜中存在的醯胺基實現醯亞胺化，詳細而言，可在200至500℃下，更詳細而言，可在300至500℃下進行熱處理，使凝膠薄膜中存在的醯胺基實現醯亞胺化。

不過，在形成凝膠薄膜的過程中，醯胺酸中一部分（約0.1莫耳%至10莫耳%）會被醯亞胺化，為此，可在50℃至200℃範圍的可變溫度下乾燥聚醯胺酸組合物，這亦可包括於前述熱醯亞胺化法的範疇。

就化學醯亞胺化法而言，可根據本行業公知的方法，利用脫水劑及醯亞胺化催化劑來製造聚醯亞胺薄膜。

本發明的聚醯亞胺薄膜的製造方法屬於複合醯亞胺化法，可向聚醯胺酸溶液投入脫水劑及醯亞胺化催化劑後加熱而製造聚醯亞胺薄膜。

在前述製造聚醯胺酸組合物的步驟中，作為前述脫水劑，發揮對聚醯胺酸的脫水閉環劑作用，可使用脂肪族酸酐、芳香族酸酐、N,N'-二烷基碳二亞胺、低級脂肪族鹵化物、鹵代低級脂肪族酸酐、芳基磺酸二鹵素、亞硫醯鹵化物等化合物。

特別是作為前述脫水劑，較佳使用乙酸酐。

作為前述醯亞胺化催化劑的示例，可例如脂肪族三級胺、芳香族三級胺、雜環三級胺等，只要是具有促進脫水劑的脫水閉環作用的效果的成分，任何成分均可使用。

特別是作為前述醯亞胺化催化劑，較佳使用選自由異喹啉、β-甲基吡啶、吡啶、咪唑、2-咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-苯基咪唑、苯并咪唑組成之群的1種以上。

在本發明的聚醯亞胺薄膜的製造方法中，前述聚醯胺酸溶液可包括二酐成分和二胺成分，前述二酐成分由聯苯四甲酸二酐（BPDA）及均苯四甲酸二酐（PMDA）構成，前述二胺成分由間聯甲苯胺（m-tolidine）、二胺基二苯醚（ODA）及對苯二胺（PPD）構成。

特別是以前述二酐成分的總含量100莫耳%為基準，前述聯苯四甲酸二酐的含量可為30莫耳%以上、50莫耳%以下，前述均苯四甲酸二酐的含量可為50莫耳%以上、70莫耳%以下。

較佳地，前述聯苯四甲酸二酐的含量可為35莫耳%以上、45莫耳%以下，前述均苯四甲酸二酐的含量可為55莫耳%以上、65莫耳%以下。

另外，以前述二胺成分的總含量100莫耳%為基準，前述間聯甲苯胺的含量可為60莫耳%以上、80莫耳%以下，前述對苯二胺的含量可為10莫耳%以上、25莫耳%以下，前述二胺基二苯醚的含量可為10莫耳%以上、25莫耳%以下。

較佳地，前述間聯甲苯胺的含量可為65莫耳%以上、75莫耳%以下，前述對苯二胺的含量可為10莫耳%以上、20莫耳%以下，前述二胺基二苯醚的含量可為10莫耳%以上、20莫耳%以下。

在本發明中，來源於聯苯四甲酸二酐的聚醯亞胺鏈具有被命名為電荷轉移複合物（Charge Transfer Complex；CTC）的結構，即，電子供體（electron donnor）與電子受體（electron acceptor）彼此接近配置的規則性直線結構，加強了分子間相互作用（intermolecular interaction）。

這種結構具有防止與水分的氫結合的效果，因而對降低吸潮率產生影響，可使降低聚醯亞胺薄膜吸潮性的效果實現最大化。

特別是可追加包含均苯四甲酸二酐作為前述二酐成分。均苯四甲酸二酐是具有相對剛性結構的二酐成分，在能夠對聚醯亞胺薄膜賦予適宜彈性方面值得推薦。

聚醯亞胺薄膜為了同時滿足適宜的彈性和吸潮率，二酐的含量比特別重要。例如，聯苯四甲酸二酐的含量比越減少，則越難以期待該CTC結構引起的低吸潮率。

另外，聯苯四甲酸二酐包含與芳香族部分相應的2個苯環，相反，均苯四甲酸二酐包含與芳香族部分相應的1個苯環。

在二酐成分中，均苯四甲酸二酐含量的增加，在以相同分子量為基準時，可理解為分子內的醯亞胺基增加，這可理解為在聚醯亞胺高分子鏈上，來源於前述均苯四甲酸二酐的醯亞胺基的比率，比來源於聯苯四甲酸二酐的醯亞胺基相對增加。

即，均苯四甲酸二酐含量的增加，即使針對全體聚醯亞胺薄膜，亦可視為醯亞胺基的相對增加，因此難以期待低吸潮率。

相反，若均苯四甲酸二酐的含量比減少，則剛性結構的成分相對減少，聚醯亞胺薄膜的機械特性會下降到希望的水平以下。

由於這種理由，前述聯苯四甲酸二酐含量超過前述範圍時，聚醯亞胺薄膜的機械物性低下，無法確保適合製造可撓性金屬箔層壓板的水平的耐熱性。

相反，當前述聯苯四甲酸二酐含量低於前述範圍或均苯四甲酸二酐的含量超過前述範圍時，難以達成適宜水平的介電常數、介電損耗因數及吸潮率，因而不推薦。

前述間聯甲苯胺特別是具有呈現疏水性的甲基，有助於聚醯亞胺薄膜的低吸潮特性，當低於前述範圍時，無法達成希望水平的低吸潮率，因而不推薦。來自間聯甲苯胺的低吸潮性有助於聚醯亞胺薄膜的低介電損耗因數。

另一方面，前述聚醯亞胺薄膜可包括由2個以上的嵌段構成的嵌段共聚物，特別是可包括2個嵌段。

為了前述熱固化，可使用IR固化爐。

在本發明中，可將如上所述的聚醯胺酸的聚合方法定義為任意（random）聚合方式，藉由如上所述的過程製造的本發明的從聚醯胺酸製造的聚醯亞胺薄膜，使降低介電損耗因數（Df）及吸潮率的本發明的效果實現最大化，在這方面可較佳適用。

不過，前述聚合方法由於前面說明的高分子鏈內的反復單位的長度製造得相對較短，因而會在發揮來源於二酐成分的聚醯亞胺鏈具有的各種優秀特性方面存在局限。因此，本發明尤其可較佳地利用的聚醯胺酸的聚合方法可為嵌段聚合方式。

另一方面，用於合成聚醯胺酸的溶劑不特別限定，只要是使聚醯胺酸溶解的溶劑，則任何溶劑均可使用，但較佳為醯胺類溶劑。

具體而言，前述溶劑可為有機極性溶劑，詳細而言，可為非質子極性溶劑（aprotic polar solvent），例如，可為選自由N,N-二甲基甲醯胺（DMF）、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯啶酮（NMP）、γ-丁內酯（GBL）、二甘醇二甲醚（Diglyme）組成之群的一種以上，但並非限定於此，可根據需要而單獨或組合2種以上使用。

在一個示例中，前述溶劑尤其可較佳使用N,N-二甲基甲醯胺及N,N-二甲基乙醯胺。

另外，在聚醯胺酸製造製程中，亦可出於改善滑動性、導熱性、耐電暈性、環硬度等薄膜各種特性的目的而添加填充材料。添加的填充材料不特別限定，作為較佳示例，可例如二氧化矽、氧化鈦、氧化鋁、氮化矽、氮化硼、磷酸氫鈣、磷酸鈣、雲母等。

填充材料的粒徑不特別限定，可根據需改質的薄膜特性和添加的填充材料種類來決定。一般而言，平均粒徑為0.05至100 μm，較佳為0.1至75 μm，更較佳為0.1至50 μm，尤其較佳為0.1至25 μm。

若粒徑低於該範圍，則難以表現出改質效果，若超過該範圍，則有極大損傷表面性或機械特性大幅下降的情形。

另外，對於填充材料的添加量亦不特別限定，根據需改質的薄膜特性或填充材料粒徑等決定即可。一般而言，填充材料的添加量相對於聚醯亞胺100重量份，為0.01至100重量份，較佳為0.01至90重量份，更較佳為0.02至80重量份。

若填充材料添加量低於該範圍，則難以表現出填充材料的改質效果，若超過該範圍，則存在薄膜機械特性受到極大損傷的可能性。填充材料的添加方法不特別限定，亦可使用公知的任何方法。

根據前述聚醯亞胺薄膜的製造方法而製造的聚醯亞胺薄膜的黏著力可為1000gf/cm以上，介電損耗因數（Df）可為0.004以下。

較佳地，薄膜的黏著力可為1100 gf/cm以上，介電損耗因數（Df）可為0.0035以下。

與此相關聯，當是全部滿足介電損耗因數（Df）及黏著力的聚醯亞胺薄膜時，不僅可用作可撓性金屬箔層壓板用絕緣薄膜，而且製造的可撓性金屬箔層壓板即使用作以10 GHz以上高頻傳輸訊號的電訊號傳輸電路，亦可確保其絕緣穩定性，訊號傳遞延遲亦可最小化。

全部具有前述條件的聚醯亞胺薄膜是迄今還不知道的新型聚醯亞胺薄膜，下文對介電損耗因數（Df）進行詳細說明。 [介電損耗因數]

「介電損耗因數」係指在分子的摩擦妨礙因交替電場引起的分子運動時被介電質（或絕緣體）所消滅的力。

介電損耗因數的值通常作為代表電荷損耗（介電損耗）容易性的指標而使用，介電損耗因數越高，電荷越容易損耗，相反，介電損耗因數越低，電荷會越難以損耗。即，介電損耗因數是功率損耗的尺度，介電損耗因數越低，功率損耗導致的訊號傳輸延遲越得到緩解，通訊速度越可保持更快。

這是作為絕緣薄膜的聚醯亞胺薄膜所強烈要求的事項，本發明的聚醯亞胺薄膜在10 GHz的極高頻率下，介電損耗因數可為0.004以下。

本發明提供一種包括上述聚醯亞胺薄膜和熱可塑性樹脂層的多層薄膜及包括上述聚醯亞胺薄膜和導電性金屬箔的可撓性金屬箔層壓板。

作為前述熱可塑性樹脂層，例如可應用熱可塑性聚醯亞胺樹脂層等。

正如以上所作的考查，本發明的聚醯亞胺薄膜全部滿足上述條件，因而不僅可用作可撓性金屬箔層壓板用絕緣薄膜，而且在高頻下亦可確保絕緣穩定性，訊號傳遞延遲亦可實現最小化。

作為使用的金屬箔，不特別限定，但在將本發明的可撓性金屬箔層壓板用於電子設備或電氣設備用途的情況下，例如可為包括銅或銅合金、不鏽鋼或其合金、鎳或鎳合金（亦包括42合金）、鋁或鋁合金的金屬箔。

在普通的可撓性金屬箔層壓板中，多使用稱為軋製銅箔、電解銅箔的銅箔，在本發明中亦可較佳使用。另外，在這些金屬箔表面亦可被覆防鏽層、耐熱性或黏合層。

在本發明中，對於前述金屬箔的厚度不特別限定，根據其用途，只要是能夠充分發揮功能的厚度即可。

本發明的可撓性金屬箔層壓板可為在前述聚醯亞胺薄膜的一面層壓有金屬箔或在前述聚醯亞胺薄膜的一面附加含有熱可塑性聚醯亞胺的黏合層，在前述金屬箔附著於黏合層的狀態下進行層壓的結構。

本發明還提供一種包括前述可撓性金屬箔層壓板作為電訊號傳輸電路的電子部件。前述電訊號傳輸電路可為以至少2 GHz高頻，詳細而言，以至少5 GHz高頻，更詳細而言，以至少10 GHz高頻傳輸訊號的電子部件。

前述電子部件例如可為可攜式終端用通訊電路、電腦用通訊電路或宇航用通訊電路，但並非限定於此。

下文藉由發明的具體實施例，更詳細說明發明的作用及效果。不過，這種實施例只不過是作為發明示例而提出的，並非發明的權利範圍由此限定。 [實施例1]

在使氮氣注入具備攪拌器及氮氣注入/排出管的500 ml反應器的同時投入NMP，將反應器的溫度設置為30℃後，作為二胺成分投入間聯甲苯胺70 mol%、對苯二胺15 mol%及二胺基二苯醚15 mol%，作為二酐成分投入聯苯四甲酸二酐40 mol%及均苯四甲酸二酐60 mol%並完全溶解，在氮氣氣氛下，將溫度加熱提高到40℃的同時持續攪拌120分鐘後，製造了23℃下的黏度為200,000 cP的第一聚醯胺酸。

在前述聚醯胺酸溶液（PAA）中，針對聚醯胺酸溶液添加1莫耳當量的作為醯亞胺化催化劑的異喹啉（IQ），與此同時，在聚醯胺酸溶液中一同添加2莫耳當量的乙酸酐（AA）和DMF。

然後，利用旋塗機，將消泡的聚醯亞胺前體組合物塗覆於玻璃基板後，在氮氣氣氛下及120℃溫度下乾燥30分鐘時間，製造凝膠薄膜，將前述凝膠薄膜連續在IR爐中，在130℃下熱固化、醯亞胺化10分鐘，在280℃下熱固化、醯亞胺化4分鐘，在450℃下熱固化、醯亞胺化4分鐘，獲得聚醯亞胺薄膜。

將獲得的聚醯亞胺薄膜浸漬（dipping）於蒸餾水，從玻璃基板剝離聚醯亞胺薄膜。 [實施例2及比較例1至4]

除了將實施例1中對聚醯胺酸的第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟的製程時間分別如下表1所示變更外，以與實施例1相同的方法製造了聚醯亞胺薄膜。 [表1]

	製程時間（分鐘）
製程溫度 編號	130℃	280℃	450℃
實施例1	10	4	4
實施例2	7	3	3
比較例1	5	2	2
比較例2	4	1.5	1.5
比較例3	3	1.2	1.2
比較例4	20	12	12

[實驗例1 介電損耗因數及黏著力評價]

針對實施例1及實施例2、比較例1至比較例4分別製造的聚醯亞胺薄膜，測量介電損耗因數、黏著力，將其結果顯示於下表2。 [（1）介電損耗因數測量]

介電損耗因數（Df）使用安捷倫（Agilent） 4294A歐姆表，放置可撓性金屬箔層壓板72小時時間進行測量。 [（2）黏著力測量]

黏著力是在聚醯亞胺薄膜的兩面放置Innoflex（1mil，環氧樹脂型，日本一能（Innox）製品），使1oz銅箔位於兩面，放置保護用PI薄膜，升溫到180℃後，利用30Mpa壓力進行熱壓附1小時。將薄膜截斷成15 mm寬度後，實施180˚剝離試驗（Peel test）。 [表2]

編號	Df	黏著力 （gf/cm）
實施例1	0.0035	1200
實施例2	0.0035	1150
比較例1	0.0035	950
比較例2	0.0040	700
比較例3	0.0050	400
比較例4	0.0060	600

如表2所示，可確認根據本發明實施例製造的聚醯亞胺薄膜，其介電損耗因數為0.004以下，不僅表現出顯著更低的介電損耗因數，而且黏著力亦為1000gf/cm 以上。

可知這種結果是藉由調節本發明中特定的成分、配比及製造方法各步驟的溫度範圍及製程時間而達成的。

相反，應用與實施例不同的製程時間的比較例1至4的聚醯亞胺薄膜，測量出比實施例更高的介電損耗因數及更低的黏著力。因此，可預計比較例難以用於以千兆單位的高頻傳輸訊號的電子部件。

以上參照本發明實施例進行了說明，但只要是本發明所屬領域的一般技藝人士，便可以所述的內容為基礎，在本發明的範疇內進行多樣應用及變形。

無。

無。

Claims (7)

1. 一種聚醯亞胺薄膜的製造方法，包括以下步驟：製造聚醯胺酸溶液的步驟；針對前述聚醯胺酸溶液添加脫水劑及醯亞胺化催化劑而製造聚醯胺酸組合物的步驟；及將前述聚醯胺酸組合物在支撐體上製膜並在加熱爐中熱固化的步驟；前述熱固化步驟至少包括第一加熱步驟、第二加熱步驟及第三加熱步驟，前述第一加熱步驟、前述第二加熱步驟及前述第三加熱步驟各自的製程溫度範圍為100℃以上和550℃以下，其中，前述第一加熱步驟的製程溫度為100℃以上和150℃以下，前述第二加熱步驟的製程溫度為200℃以上和300℃以下，且前述第三加熱步驟的製程溫度為400℃以上和550℃以下，其中，前述第一加熱步驟的製程時間為超過5分鐘和15分鐘以下，前述第二加熱步驟的製程時間為超過2分鐘和10分鐘以下，且前述第三加熱步驟的製程時間為超過2分鐘和10分鐘以下，其中，前述聚醯胺酸溶液包括二酐成分和二胺成分，前述二酐成分包含聯苯四甲酸二酐及均苯四甲酸二酐，且前述二胺成分包含間聯甲苯胺、二胺基二苯醚及對苯二胺，其中，以前述二酐成分的總含量100莫耳%為基準，前述聯苯四甲酸二酐的含量為30莫耳%以上和50莫耳%以下，且前述均苯四甲酸二酐的含量為50莫耳%以上和70莫耳%以下，其中，以前述二胺成分的總含量100莫耳%為基準，前述間聯甲苯胺的含量為60莫耳%以上和80莫耳%以下，前述對苯二胺的含量為10莫耳%以上和25莫耳%以下，且前述二胺基二苯醚的含量為10莫耳%以上和25莫耳%以下，及其中，前述脫水劑為乙酸酐，且前述醯亞胺化催化劑為選自由異喹啉、β- 甲基吡啶、吡啶、咪唑、2-咪唑、1,2-二甲基咪唑、2-苯基咪唑及苯并咪唑組成之群的1種以上。
2. 如請求項1所述之聚醯亞胺薄膜的製造方法，其中，前述聚醯亞胺薄膜包括由2個以上嵌段構成的共聚物。
3. 一種聚醯亞胺薄膜，係由如請求項1或2所述之製造方法所製造。
4. 如請求項3所述之聚醯亞胺薄膜，其中，前述聚醯亞胺薄膜的黏著力為1000gf/cm以上，且介電損耗因數為0.004以下。
5. 一種多層薄膜，包括如請求項4所述之聚醯亞胺薄膜；和熱可塑性樹脂層。
6. 一種可撓性金屬箔層壓板，包括如請求項4所述之聚醯亞胺薄膜；和導電性金屬箔。
7. 一種電子部件，包括如請求項6所述之可撓性金屬箔層壓板。