JP2022171524A - 基板保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記保持部に設けられ、前記基板を前記保持面に吸着させるための吸着孔と、
前記保持部に設けられる吸引流路及び給気流路と、を備え、
前記基板の前記保持面に対する吸着を解除するとき、前記給気流路から前記基板に向けて給気し、さらに前記吸引流路によって前記吸着孔近傍の空気を吸引する。
前記給気流路は、前記吸着孔の吸引流れ下流側の合流箇所で前記吸引流路に合流する。
2 保持部
21 保持面
3 吸着孔
4 吸引流路
41 真空排気部 42 吸引弁
5 給気流路
5a 合流箇所
51 気体供給部 52 給気弁 53 給気孔
6 リフトピン
7 溝
10 基板
b 肉厚
Claims (5)
- 基板が載置される保持面を有する保持部と、
前記保持部に設けられ、前記基板を前記保持面に吸着させるための吸着孔と、
前記保持部に設けられる吸引流路及び給気流路と、を備え、
前記基板の前記保持面に対する吸着を解除するとき、前記給気流路から前記基板に向けて給気し、さらに前記吸引流路によって前記吸着孔近傍の空気を吸引する、基板保持装置。
- 前記吸引流路は、前記吸着孔に接続されており、
前記給気流路は、前記吸着孔の吸引流れ下流側の合流箇所で前記吸引流路に合流する、請求項1記載の基板保持装置。
- 前記合流箇所は、前記吸着孔の近傍に設けられる、請求項2記載の基板保持装置。
- 前記給気流路における給気流量は、前記吸引流路における吸引流量より大きくなっている、請求項1~3のいずれか1つに記載の基板保持装置。
- 前記吸引流路の少なくとも1つは、前記基板を前記保持面から持ち上げるリフトピンが挿通されるピン孔を兼用している、請求項1~4のいずれか1つに記載の基板保持装置。
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JP2006229029A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
JP2016111093A (ja) * | 2014-12-03 | 2016-06-20 | サムコ株式会社 | 基板保持装置 |
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Patent Citations (3)
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