JP2022100240A - マイクロ集積回路の大規模テスト - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2020年12月23日に米国で出願された特許出願番号17/132,471の優先権を主張するものであり、その全内容は参照により本明細書に組み込まれる。
Claims (19)
- 複数のテストパッドおよび複数の読出パッドを含み、スクライブライン上に配置された第1テストエリアと、
前記スクライブライン上に1つずつ配置された複数のテストコントローラと、
複数の集積回路チップの列をテストするために、前記第1テストエリアに接触するように構成されたプローブと、を含み、
前記複数のテストコントローラの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々を列ごとにテストするように構成され、
前記プローブは、前記第1テストエリアに1回だけ接触し、
前記複数の読出パッドは、前記複数の集積回路チップの列の各々のテスト結果を列ごとに読み出すように構成されている、
基板上の複数のフレーム内の複数の集積回路チップをテストするために適用されるマイクロ集積回路の大規模テストシステム。 - 前記複数のテストパッドは、電源パッド、信号パッド、デジタルパッド、およびグランドパッドを含む、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数の読出パッドは、前記複数の集積回路チップの列の各々に結合され、前記複数の読出パッドの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々における集積回路チップの各々の1つに結合されている、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記電源パッド、前記信号パッド、前記デジタルパッド、および前記グランドパッドは、前記複数のテストコントローラのうち第1テストコントローラの両側に配置されるように2つのグループに分けられている、請求項2に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記電源パッド、前記信号パッド、前記デジタルパッド、および前記グランドパッドは、前記複数のテストコントローラのうち第1テストコントローラの同じ側に配置されている、請求項2に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々の1つの集積回路チップを同時にテストする、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々の1つの集積回路チップを順次テストするように構成されている、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数の読出パッドが第1フレームのテスト結果を読み出した後、前記プローブは前記第1フレームから第2フレームの第2テストエリアに移動するように構成され、前記プローブは第2フレームの前記複数の集積回路チップをテストするために第2テストエリアに接触し、前記プローブは前記第2テストエリアに1回だけ接触する、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記プローブが前記第1テストエリアに接触した後、前記複数のテストコントローラの各々は、ビルトインセルフテストによって各集積回路チップのテスト対象となる内部回路を活性化するように構成されている、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、ロジックコントローラおよび複数のシフトレジスタを含み、前記ロジックコントローラは前記複数のシフトレジスタに結合され、前記複数のシフトレジスタの各々は対応する集積回路チップに結合されている、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、ロジックコントローラ、複数のドライバ、およびシフトレジスタを含み、前記ロジックコントローラは、前記複数のドライバおよび前記シフトレジスタに結合され、前記複数のドライバの各々は、対応する集積回路チップに結合され、前記シフトレジスタは、次の列のテストコントローラに結合される、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- 前記複数のテストコントローラの各々と前記複数の集積回路チップの列の各々との間の接続ワイヤの材料は、金属、多結晶および酸化インジウムスズからなる群から選択される、請求項1に記載のマイクロ集積回路の大規模テストシステム。
- スクライブライン上に第1テストエリアを形成するステップであって、該第1テストエリアは、複数のテストパッドおよび複数の読出パッドを含むステップと、
前記スクライブライン上に複数のテストコントローラを形成するステップと、
プローブを用いて第1テストエリアに接触させ、複数の集積回路チップの列をテストするステップと、
前記複数のテストコントローラの各々によって、前記複数の集積回路チップの列の各々を列ごとにテストするステップと、
複数の読出パッドによって、複数の集積回路チップの列の各々のテスト結果を列ごとに読み出すステップと、を含み、
前記プローブは、前記第1テストエリアに1回だけ接触する、
基板上の複数のフレーム内の複数の集積回路チップをテストするために適用されるマイクロ集積回路の大規模テスト方法。 - 前記複数のテストパッドは、電源パッド、信号パッド、デジタルパッドおよびグランドパッドを含む、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
- 前記複数の読出パッドは、前記複数の集積回路チップの列の各々に結合され、前記複数の読出パッドの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々における集積回路チップの各々の1つに結合されている、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々の1つの集積回路チップを同時にテストする、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
- 前記複数のテストコントローラの各々は、前記複数の集積回路チップの列の各々の1つの集積回路チップを順次テストするように構成されている、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
- 前記プローブが前記第1テストエリアに接触した後、前記複数のテストコントローラの各々は、ビルトインセルフテストによって各集積回路チップのテスト対象となる内部回路を活性化するように構成されている、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
- 前記複数の読出パッドが第1フレームのテスト結果を読み出した後、前記プローブを前記第1フレームから第2フレームの第2テストエリアに移動させ、前記プローブは前記第2フレームの前記複数の集積回路チップをテストするために第2テストエリアに接触し、前記プローブは第2テストエリアに1回だけ接触する、請求項13に記載のマイクロ集積回路の大規模テスト方法。
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