JP2022007909A - 感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及び単量体化合物の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
下記式(1)で表される構造単位Aを含む樹脂と、
下記式(2-1)で表される感放射線性酸発生剤及び下記式(2-2)で表される感放射線性酸発生剤からなる群より選択される少なくとも1種の感放射線性酸発生剤と、
溶剤と
を含む感放射線性樹脂組成物に関する。
R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。
R3は酸解離性基又は非酸解離性基である。ただし、R3が1つ存在する場合、R3は酸解離性基であり、R3が複数存在する場合、複数のR3のうちの少なくとも1つは酸解離性基である。R3が複数存在する場合、複数のR3は互いに同一又は異なる。
R41は水素原子又は酸の作用で脱保護される保護基である。R41が複数存在する場合、複数のR41は互いに同一又は異なる。
R51は、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、フッ素化アルキル基、アルコキシカルボニルオキシ基、アシル基又はアシロキシ基である。R51が複数存在する場合、複数のR51は互いに同一又は異なる。
n1は0~2の整数であり、m1は1~8の整数であり、m2は1~8の整数であり、m3は0~6の整数である。ただし、2≦m1+m2+m3≦2n1+5を満たす。)
n2は1~5の整数である。
Rf1及びRf2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又はフルオロアルキル基である。ただし、n2が1である場合、Rf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基である。n2が2~5である場合、複数存在するRf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基であり、複数存在するRf1及びRf2は互いに同一又は異なる。
L1は2価の連結基である。
R5aは、環構造を有する1価の有機基である。
X1 +は、1価のオニウムカチオンである。
上記式(2-2)中、
R5bは、1価の有機基である。
X2 +は、正電荷を有する原子が環構造を形成する原子でない1価のオニウムカチオンである。)
当該感放射線性樹脂組成物を基板上に直接又は間接に塗布してレジスト膜を形成する工程と、
上記レジスト膜を露光する工程と、
露光された上記レジスト膜を現像液で現像する工程と
を含むパターン形成方法に関する。
ホルミルヒドロキシ芳香族カルボン酸と酸解離性基構造を有するアルコールとを反応させてエステル体を合成する工程を含み、
さらに、上記エステル体のヒドロキシ基を保護する工程と上記エステル体のホルミル基をアルケンに変換する工程とを任意の順で含む単量体化合物の製造方法に関する。
本実施形態に係る感放射線性樹脂組成物(以下、単に「組成物」ともいう。)は、樹脂、感放射線性酸発生剤及び溶剤を含む。上記組成物は、本発明の効果を損なわない限り、他の任意成分を含んでいてもよい。
樹脂は、構造単位Aを含む重合体の集合体である(以下、この樹脂を「ベース樹脂」ともいう。)。ベース樹脂は、構造単位A以外に、(メタ)アクリル酸エステル系単量体に由来する構造単位B、フェノール性水酸基を有する構造単位C、極性基を有する構造単位D、ラクトン構造等を含む構造単位E等を含んでいてもよい。以下、各構造単位について説明する。
R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。
R3は酸解離性基又は非酸解離性基である。ただし、R3が1つ存在する場合、R3は酸解離性基であり、R3が複数存在する場合、複数のR3のうちの少なくとも1つは酸解離性基である。R3が複数存在する場合、複数のR3は互いに同一又は異なる。
R41は水素原子又は酸の作用で脱保護される保護基である。R41が複数存在する場合、複数のR41は互いに同一又は異なる。
R51は、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、フッ素化アルキル基、アルコキシカルボニルオキシ基、アシル基又はアシロキシ基である。R51が複数存在する場合、複数のR51は互いに同一又は異なる。
n1は0~2の整数であり、m1は1~8の整数であり、m2は1~8の整数であり、m3は0~6の整数である。ただし、2≦m1+m2+m3≦2n1+5を満たす。
フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等のアラルキル基などが挙げられる。
メチル基、エチル基、プロピル基等の1級のアルキル基;
シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の2級のシクロアルキル基;
1-アダマンチル基等の3級シクロアルキル基;
シクロペンチルメチル基、シクロヘキシルメチル基等の1級のシクロアルキル基;
メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基等のアルコキシアルキル基;
トリフルオロメチル基、トリフルオロエチル基、ヘキサフルオロプロピル基等のフルオロアルキル基;
アセチル基、プロピオニル基等のアシル基;
フェニル基等のアリール基等が挙げられる。これらの中で、2級のシクロアルキル基、アルコキシアルキル基が好ましい。
構造単位Aを与える単量体化合物の製造方法について、上記式(A-1)で表される構造単位に対応する単量体化合物であって、ヒドロキシ基がアセチル基で保護された化合物を代表に説明する。合成スキームは以下のとおりである。
構造単位Bは、(メタ)アクリル酸エステル系単量体に由来する構造単位である。ベース樹脂が構造単位Bを含むことで、当該感放射線性樹脂組成物のレジスト膜の感度やCDU性能、解像度をより向上させることができるとともに、良好なパターン形成性を得ることができる。
上記樹脂は、下記式(5)で表される構造単位Cをさらに含むことが好ましい。
Rαは、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。
LCAは、単結合、-COO-*又は-O-*である。*は芳香環側の結合手である。
R42及びR52は、上記式(1)のR41及びR51とそれぞれ同義である。
n3は0~2の整数であり、m3は1~8の整数であり、m4は0~8の整数である。ただし、1≦m3+m4≦2n3+5を満たす。)
ベース樹脂は、上記構造単位A~構造単位C以外に極性基又はイオン性官能基を有する構造単位Dを適宜含んでいてもよい。極性基としては、例えば、フッ素原子、アルコール性水酸基、カルボキシ基、シアノ基、ニトロ基、スルホンアミド基等を挙げることができる。構造単位Dの中で、フッ素原子を有する構造単位、アルコール性水酸基を有する構造単位及びカルボキシ基を有する構造単位が好ましく、フッ素原子を有する構造単位及びアルコール性水酸基を有する構造単位がより好ましい。イオン性官能基にはアニオン性基、カチオン性基があり、アニオン性基としてはスルホン酸アニオンを有する基が好ましく、カチオン性基としてはスルホニウムカチオンを有する基が好ましい。
構造単位(II)は、ラクトン構造、環状カーボネート構造及びスルトン構造からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む構造単位である。ベース樹脂は、構造単位Eをさらに有することで、現像液への溶解性を調整することができ、その結果、当該感放射線性樹脂組成物は、解像性等のリソグラフィー性能を向上させることができる。また、ベース樹脂から形成されるレジストパターンと基板との密着性を向上させることができる。
ベース樹脂たる樹脂は、例えば、各構造単位を与える単量体を、ラジカル重合開始剤等を用い、適当な溶剤中で重合反応を行うことにより合成できる。
GPCカラム:G2000HXL 2本、G3000HXL 1本、G4000HXL 1本(以上、東ソー製)
カラム温度:40℃
溶出溶剤:テトラヒドロフラン
流速:1.0mL/分
試料濃度:1.0質量%
試料注入量:100μL
検出器:示差屈折計
標準物質:単分散ポリスチレン
本実施形態の感放射線性樹脂組成物は、他の樹脂として、上記ベース樹脂よりもフッ素原子の質量含有率が大きい樹脂(以下、「高フッ素含有量樹脂」ともいう。)を含んでいてもよい。上記感放射線性樹脂組成物が高フッ素含有量樹脂を含有する場合、上記ベース樹脂に対してレジスト膜の表層に偏在化させることができ、その結果、レジスト膜表面の状態やレジスト膜中の成分分布を所望の状態に制御することができる。
高フッ素含有量樹脂は、上述のベース樹脂の合成方法と同様の方法により合成することができる。
上記感放射線性樹脂組成物は、末端に環構造を有する感放射線性酸発生剤(以下、「感放射線性酸発生剤1」ともいう。)及び正電荷を有する原子が環構造を形成する原子でない1価のオニウムカチオンを有する感放射線性酸発生剤(以下、「感放射線性酸発生剤2」ともいう。)からなる群より選択される少なくとも1種を含む。感放射線性樹脂組成物における感放射線性酸発生剤の含有形態としては、それ単独で低分子化合物として存在する形態でも、重合体の一部として組み込まれた形態でも、これらの両方の形態でもよいものの、単独で低分子化合物として存在する形態が好ましい。
n2は1~5の整数である。
Rf1及びRf2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又はフルオロアルキル基である。ただし、n2が1である場合、Rf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基である。n2が2~5である場合、複数存在するRf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基であり、複数存在するRf1及びRf2は互いに同一又は異なる。
L1は2価の連結基である。
R5aは、環構造を有する1価の有機基である。
X1 +は、1価のオニウムカチオンである。
シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、シクロヘプタン構造、シクロオクタン構造、シクロノナン構造、シクロデカン構造、シクロドデカン構造等の単環のシクロアルカン構造;
シクロペンテン構造、シクロヘキセン構造、シクロヘプテン構造、シクロオクテン構造、シクロデセン構造等の単環のシクロアルケン構造;
ノルボルナン構造、アダマンタン構造、トリシクロデカン構造、テトラシクロドデカン構造等の多環のシクロアルカン構造;
ノルボルネン構造、トリシクロデセン構造等の多環のシクロアルケン構造などを挙げることができる。
ペンタノラクトン構造、ヘキサノラクトン構造、ノルボルナンラクトン構造等のラクトン構造;
ペンタノスルトン構造、ヘキサノスルトン構造、ノルボルナンスルトン構造等のスルトン構造;
オキサシクロペンタン構造、オキサシクロヘプタン構造、オキサノルボルナン構造等の酸素原子含有複素環構造;
アザシクロペンタン構造、アザシクロヘキサン構造、ジアザビシクロオクタン構造等の窒素原子含有複素環構造;
チアシクロペンタン構造、チアシクロヘキサン構造、チアノルボルナン構造のイオウ原子含有複素環構造などを挙げることができる。
R5bは、1価の有機基である。
X2 +は、正電荷を有する原子が環構造を形成する原子でない1価のオニウムカチオンである。
フラン、ピラン、ベンゾフラン、ベンゾピラン等の酸素原子含有芳香族複素環構造;
ピロール、イミダゾール、ピリジン、ピリミジン、ピラジン、インドール、キノリン、イソキノリン、アクリジン、フェナジン、カルバゾール等の窒素原子含有芳香族複素環構造;
チオフェン等の硫黄原子含有芳香族複素環構造;
チアゾール、ベンゾチアゾール、チアジン、オキサジン等の複数のヘテロ原子を含有する芳香族複素環構造等が挙げられる。
オキシラン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、ジオキソラン、ジオキサン等の酸素原子含有脂環複素環構造;
アジリジン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン等の窒素原子含有脂環複素環構造;
チエタン、チオラン、チアン等の硫黄原子含有脂環複素環構造;
モルホリン、1,2-オキサチオラン、1,3-オキサチオラン等の複数のヘテロ原子を含有する脂環複素環構造;
ラクトン構造、環状カーボネート構造及びスルトン構造等が挙げられる。
当該感放射線性樹脂組成物は、必要に応じて、酸拡散制御剤を含有してもよい。酸拡散制御剤は、露光により感放射線性酸発生剤から生じる酸のレジスト膜中における拡散現象を制御し、非露光領域における好ましくない化学反応を抑制する効果を奏する。また、得られる感放射線性樹脂組成物の貯蔵安定性が向上する。さらに、レジストパターンの解像度がさらに向上すると共に、露光から現像処理までの引き置き時間の変動によるレジストパターンの線幅変化を抑えることができ、プロセス安定性に優れた感放射線性樹脂組成物が得られる。
本実施形態に係る感放射線性樹脂組成物は、溶剤を含有する。溶剤は、少なくとも樹脂及び感放射線性酸発生剤、並びに所望により含有される添加剤等を溶解又は分散可能な溶剤であれば特に限定されない。
iso-プロパノール、4-メチル-2-ペンタノール、3-メトキシブタノール、n-ヘキサノール、2-エチルヘキサノール、フルフリルアルコール、シクロヘキサノール、3,3,5-トリメチルシクロヘキサノール、ジアセトンアルコール等の炭素数1~18のモノアルコール系溶剤;
エチレングリコール、1,2-プロピレングリコール、2-メチル-2,4-ペンタンジオール、2,5-ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、トリプロピレングリコール等の炭素数2~18の多価アルコール系溶剤;
上記多価アルコール系溶剤が有するヒドロキシ基の一部をエーテル化した多価アルコール部分エーテル系溶剤等が挙げられる。
ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジブチルエーテル等のジアルキルエーテル系溶剤;
テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン等の環状エーテル系溶剤;
ジフェニルエーテル、アニソール(メチルフェニルエーテル)等の芳香環含有エーテル系溶剤;
上記多価アルコール系溶剤が有するヒドロキシ基をエーテル化した多価アルコールエーテル系溶剤等が挙げられる。
シクロペンタノン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等の環状ケトン系溶剤:
2,4-ペンタンジオン、アセトニルアセトン、アセトフェノン等が挙げられる。
N-メチルホルムアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、アセトアミド、N-メチルアセトアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルプロピオンアミド等の鎖状アミド系溶剤等が挙げられる。
酢酸n-ブチル、乳酸エチル等のモノカルボン酸エステル系溶剤;
ジエチレングリコールモノ-n-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコール部分エーテルアセテート系溶剤;
γ-ブチロラクトン、バレロラクトン等のラクトン系溶剤;
ジエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート系溶剤;
ジ酢酸プロピレングリコール、酢酸メトキシトリグリコール、シュウ酸ジエチル、アセト酢酸エチル、乳酸エチル、フタル酸ジエチル等の多価カルボン酸ジエステル系溶剤が挙げられる。
n-ヘキサン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;
ベンゼン、トルエン、ジ-iso-プロピルベンセン、n-アミルナフタレン等の芳香族炭化水素系溶剤等が挙げられる。
上記感放射線性樹脂組成物は、上記成分以外にも、その他の任意成分を含有していてもよい。上記その他の任意成分としては、例えば、架橋剤、偏在化促進剤、界面活性剤、脂環式骨格含有化合物、増感剤等を挙げることができる。これらのその他の任意成分は、それぞれ1種又は2種以上を併用してもよい。
架橋剤は2つ以上の官能基を有する化合物であり、一括露光工程後のベーク工程において、酸触媒反応により(1)重合体成分において架橋反応を引き起こし、(1)重合体成分の分子量を増加させることで、パターン露光部の現像液に対する溶解度を低下させるものである。上記官能基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、ヒドロキシメチル基、アルコキシメチル基、エポキシ基、ビニルエーテル基等を挙げることができる。
偏在化促進剤は、上記高フッ素含有量樹脂をより効率的にレジスト膜表面に偏在させる効果を有するものである。上記感放射線性樹脂組成物にこの偏在化促進剤を含有させることで、上記高フッ素含有量樹脂の添加量を従来よりも少なくすることができる。従って、上記感放射線性樹脂組成物のリソグラフィー性能を維持しつつ、レジスト膜から液浸媒体への成分の溶出をさらに抑制したり、高速スキャンにより液浸露光をより高速に行うことが可能になり、結果としてウォーターマーク欠陥等の液浸由来欠陥を抑制するレジスト膜表面の疎水性を向上させることができる。このような偏在化促進剤として用いることができるものとしては、例えば、比誘電率が30以上200以下で、1気圧における沸点が100℃以上の低分子化合物を挙げることができる。このような化合物としては、具体的には、ラクトン化合物、カーボネート化合物、ニトリル化合物、多価アルコール等を挙げることができる。
界面活性剤は、塗布性、ストリエーション、現像性等を改良する効果を奏する。界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンn-オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn-ノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のノニオン系界面活性剤;市販品としては、KP341(信越化学工業製)、ポリフローNo.75、同No.95(以上、共栄社化学製)、エフトップEF301、同EF303、同EF352(以上、トーケムプロダクツ製)、メガファックF171、同F173(以上、DIC製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム製)、アサヒガードAG710、サーフロンS-382、同SC-101、同SC-102、同SC-103、同SC-104、同SC-105、同SC-106(以上、旭硝子工業製)等を挙げることができる。上記感放射線性樹脂組成物における界面活性剤の含有量としては、樹脂100質量部に対して通常2質量部以下である。
脂環式骨格含有化合物は、ドライエッチング耐性、パターン形状、基板との接着性等を改善する効果を奏する。
1-アダマンタンカルボン酸、2-アダマンタノン、1-アダマンタンカルボン酸t-ブチル等のアダマンタン誘導体類;
デオキシコール酸t-ブチル、デオキシコール酸t-ブトキシカルボニルメチル、デオキシコール酸2-エトキシエチル等のデオキシコール酸エステル類;
リトコール酸t-ブチル、リトコール酸t-ブトキシカルボニルメチル、リトコール酸2-エトキシエチル等のリトコール酸エステル類;
3-〔2-ヒドロキシ-2,2-ビス(トリフルオロメチル)エチル〕テトラシクロ[4.4.0.1(2,5).1(7,10)]ドデカン、2-ヒドロキシ-9-メトキシカルボニル-5-オキソ-4-オキサ-トリシクロ[4.2.1.0(3,7)]ノナン等を挙げることができる。上記感放射線性樹脂組成物における脂環式骨格含有化合物の含有量としては、樹脂100質量部に対して通常5質量部以下である。
増感剤は、感放射線性酸発生剤等からの酸の生成量を増加する作用を示すものであり、上記感放射線性樹脂組成物の「みかけの感度」を向上させる効果を奏する。
上記感放射線性樹脂組成物は、例えば、樹脂、感放射線性酸発生剤及び溶剤と、必要に応じてその他の任意成分とを所定の割合で混合することにより調製できる。上記感放射線性樹脂組成物は、混合後に、例えば、孔径0.05μm程度のフィルター等でろ過することが好ましい。上記感放射線性樹脂組成物の固形分濃度としては、通常0.1質量%~50質量%であり、0.5質量%~30質量%が好ましく、1質量%~20質量%がより好ましい。
本実施形態におけるパターン形成方法は、
上記感放射線性樹脂組成物を基板上に直接又は間接に塗布してレジスト膜を形成する工程(1)(以下、「レジスト膜形成工程」ともいう)、
上記レジスト膜を露光する工程(2)(以下、「露光工程」ともいう)、及び、
露光された上記レジスト膜を現像する工程(3)(以下、「現像工程」ともいう)を含む。
本工程(上記工程(1))では、上記感放射線性樹脂組成物でレジスト膜を形成する。このレジスト膜を形成する基板としては、例えば、シリコンウェハ、二酸化シリコン、アルミニウムで被覆されたウェハ等の従来公知のもの等を挙げることができる。また、例えば、特公平6-12452号公報や特開昭59-93448号公報等に開示されている有機系又は無機系の反射防止膜を基板上に形成してもよい。塗布方法としては、例えば、回転塗布(スピンコーティング)、流延塗布、ロール塗布等を挙げることができる。塗布した後に、必要に応じて、塗膜中の溶剤を揮発させるため、プレベーク(PB)を行ってもよい。PB温度としては、通常60℃~140℃であり、80℃~120℃が好ましい。PB時間としては、通常5秒~600秒であり、10秒~300秒が好ましい。形成されるレジスト膜の膜厚としては、10nm~1,000nmが好ましく、10nm~500nmがより好ましい。
本工程(上記工程(2))では、上記工程(1)であるレジスト膜形成工程で形成されたレジスト膜に、フォトマスクを介して(場合によっては、水等の液浸媒体を介して)、放射線を照射し、露光する。露光に用いる放射線としては、目的とするパターンの線幅に応じて、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、EUV(極端紫外線)、X線、γ線等の電磁波;電子線、α線等の荷電粒子線などを挙げることができる。これらの中でも、遠紫外線、電子線、EUVが好ましく、ArFエキシマレーザー光(波長193nm)、KrFエキシマレーザー光(波長248nm)、電子線、EUVがより好ましく、次世代露光技術として位置付けされる波長50nm以下の電子線、EUVがさらに好ましい。
本工程(上記工程(3))では、上記工程(2)である上記露光工程で露光されたレジスト膜を現像する。これにより、所定のレジストパターンを形成することができる。現像後は、水又はアルコール等のリンス液で洗浄し、乾燥することが一般的である。
樹脂の項に記載の測定条件により測定した。また、分散度(Mw/Mn)は、Mw及びMnの測定結果より算出した。
日本電子社の「JNM-Delta400」を用いて測定した。
[合成例1:単量体化合物(Z-1)の合成]
下記反応スキームに従って、単量体化合物(Z-1)を合成した。
各実施例及び比較例における各樹脂の合成で用いた単量体を以下に示す。(メタ)アクリル酸エステル系単量体由来の構造単位Bのうち、酸解離性基を有する構造単位B1を与える化合物として(M-4)、(M-5)及び(M-6)を用い、非酸解離性基を有する構造単位B2を与える化合物として(M-9)を用い、フェノール性水酸基を有する構造単位Cを与える化合物として(M-1)、(M-2)及び(M-3)を用い、極性基を有する構造単位Dを与える化合物として(M-7)及び(M-8)を用い、高フッ素含有量樹脂を形成する構造単位Gを与える化合物として(M-10)を用いた。
単量体としての化合物(Z-1)をプロピレングリコールモノメチルエーテル(200質量部)に溶解した。ここに開始剤として2,2’-アゾビス(イソ酪酸メチル)(10モル%)を加えて単量体溶液を調製した。一方、空の反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテル(全モノマー量に対して100質量部)を加え、攪拌しながら85℃に加熱した。次に、上記で調製した単量体溶液を3時間かけて滴下し、その後さらに3時間85℃で加熱し、重合反応を合計6時間実施した。重合反応終了後、重合溶液を室温に冷却した。重合溶液をn-ヘキサン(1,000質量部)中に滴下して、重合体を凝固精製した。上記重合体に、再度プロピレングリコールモノメチルエーテル(150質量部)を加えた。さらに、メタノール(150質量部)、トリエチルアミン(化合物(Z-1)の使用量に対し1.5モル当量)及び水(化合物(Z-1)の使用量に対し1.5モル当量)を加えて、沸点にて還流させながら、8時間加水分解反応を行った。反応終了後、溶媒及びトリエチルアミンを減圧留去し、得られた重合体をアセトン(150質量部)に溶解した。これを水(2,000質量部)中に滴下して凝固させ、生成した白色粉末をろ別した。50℃で17時間乾燥させて白色粉末状の樹脂(A-1)を良好な収率で得た。
モノマーを適宜選択し、合成例21と同様の操作を行うことによって、樹脂(A-2)~(A-38)、(CA-1)及び(CA-2)を合成した。なおトリエチルアミン及び水の使用量は化合物(Z-1)~(Z-20)及び(M-1)、(M-3)の使用量に対し1.5モル当量、化合物(M-2)の使用量に対し3.0モル等量の合計とした。
単量体としての化合物(M-6)、化合物(M-10)をモル比率が70/30となるように2-ブタノン(100質量部)に溶解した。ここに開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル(5モル%)を添加し、単量体溶液を調製した。一方、空の反応容器に2-ブタノン(50質量部)を入れ、30分窒素パージした。反応容器内を80℃とし、攪拌しながら、上記単量体溶液を3時間かけて滴下した。滴下開始を重合反応の開始時間とし、重合反応を6時間実施した。重合反応終了後、重合溶液を水冷して30℃以下に冷却した。反応溶液を分液漏斗に移液した後、ヘキサン(150質量部)で上記反応溶液を均一に希釈したのち、メタノール(600質量部)、および水(30質量部)を投入して混合した。30分静置後、下層を回収し、溶媒をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに置換することで、高フッ素含有量樹脂(B)を含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た。
下記実施例及び比較例の感放射線性樹脂組成物の調製に用いた[C]感放射線性酸発生剤、[CC]他の感放射線性酸発生剤、[D]酸拡散制御剤、及び[E]溶媒を以下に示す。
感放射線性酸発生剤として下記式(C-1)~(C-11)で表される化合物を用いた。
他の感放射線性酸発生剤として下記式(CC-1)及び(CC-2)で表される化合物を用いた。
酸拡散制御剤として下記式(D-1)~(D-3)で表される化合物を用いた。
E-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
E-2:プロピレングリコールモノメチルエーテル
[A]樹脂(A-1)100質量部、[B]高フッ素含有量樹脂(B)1質量部、[C]感放射線性酸発生剤としての(C-1)5質量部、[D]酸拡散抑制剤としての(D-1)を(C-1)に対して20モル%、[E]有機溶媒としての(E-1)7700質量部及び(E-2)3300質量部を配合して感放射線性樹脂組成物(R-1)を調製した。
下記表2に示す種類及び配合量の各成分を用いた以外は、実施例1と同様に操作して、感放射線性樹脂組成物(R-2)~(R-38)及び(CR-1)~(CR-5)を調製した。
膜厚20nmの下層膜(AL412(Brewer Science社製))が形成された12インチのシリコンウェハ表面に、スピンコーター(CLEAN TRACK ACT12、東京エレクトロン製)を使用して、上記調製した各感放射線性樹脂組成物を塗布した。100℃で60秒間SB(ソフトベーク)を行った後、23℃で30秒間冷却し、膜厚30nmのレジスト膜を形成した。次に、このレジスト膜に、EUV露光機(型式「NXE3300」、ASML製、NA=0.33、照明条件:Conventional s=0.89)を用いてEUV光を照射した。上記レジスト膜に100℃で60秒間PEB(ポストエクスポージャーベーク)を行った。次いで、2.38wt%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて23℃で30秒間現像し、コンタクトホールパターン(直径25nm、50nmピッチ)を形成した。
上記形成した各レジストパターンについて、下記方法に従って測定することにより、各感放射線性樹脂組成物の感度、CDU性能及び解像度を評価した。なお、レジストパターンの測長には走査型電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ社の「CG-5000」)を用いた。評価結果を下記表3に示す。
上記レジストパターンの形成において、直径25nmコンタクトホールパターンを形成する露光量を最適露光量とし、この最適露光量を感度(mJ/cm2)とした。感度は、60mJ/cm2以下の場合は「良好」と、60mJ/cm2を超える場合は「不良」と判定した。
上記走査型電子顕微鏡を用いてレジストパターンを上部から観察し、任意のポイントで計800個測長した。寸法のバラつき(3σ)を求め、これをCDU性能(nm)とした。CDUは、その値が小さいほど、長周期でのホール径のばらつきが小さく良好であることを示す。CDU性能は、4.5nm以下の場合は「良好」と、4.5nmを超える場合は「不良」と評価した。
露光量を変えた場合に解像される最小のコンタクトホールパターンの直径を測定し、この測定値を解像度(nm)とした。解像度は、値が小さいほど良いことを示す。解像度は、22nm以下の場合は「良好」と、22nmを超える場合は「不良」と評価した。
[合成例62:単量体化合物(Z-21)の合成]
下記反応スキームに従って、単量体化合物(Z-21)を合成した。
各実施例及び比較例における各樹脂の合成で用いた単量体を以下に示す。フェノール性水酸基を有する構造単位Cを与える化合物として(M-11)、(M-12)を用い、感放射線性酸発生基を有する構造単位を与える化合物として(M-13)及び(M-14)を用いた。
単量体としての化合物(Z-21)、化合物(M-6)、化合物(M-12)、及び化合物(M-13)をモル比率が10/45/30/15となるようにテトラヒドロフラン(200質量部)に溶解した。ここに開始剤として2,2’-アゾビス(イソ酪酸メチル)(10モル%)を加えて単量体溶液を調製した。一方、空の反応容器にテトラヒドロフラン(全モノマー量に対して100質量部)を加え、攪拌しながら還流させた。次に、上記で調製した単量体溶液を3時間かけて滴下し、その後さらに3時間還流し、重合反応を合計6時間実施した。重合反応終了後、重合溶液を室温に冷却した。重合溶液をメタノール(1,000質量部)中に滴下して、重合体を凝固精製した。さらにヘキサンで洗浄を繰り返した後に単離、乾燥して白色粉末状の樹脂(A-39)を良好な収率で得た。
モノマーを適宜選択し、合成例63と同様の操作を行うことによって、樹脂(A-40)を合成した。
下記実施例及び比較例の感放射線性樹脂組成物の調製に用いた[C]感放射線性酸発生剤、[CC]他の感放射線性酸発生剤、[D]酸拡散制御剤、及び[E]溶媒を以下に示す。
感放射線性酸発生剤として下記式(C-12)~(C-14)で表される化合物を用いた。
下記表5に示す種類及び配合量の各成分を用いた以外は、実施例1と同様に操作して、感放射線性樹脂組成物(R-39)~(R-43)を調製した。
実施例1~38及び比較例1~5と同様にしてコンタクトホールパターン(直径25nm、50nmピッチ)を形成した。次いで、上記形成した各レジストパターンについて、実施例1~38及び比較例1~5と同様にして、各感放射線性樹脂組成物の感度、CDU性能及び解像度を評価した。評価結果を下記表6に示す。
下記実施例の感放射線性樹脂組成物の調製に用いた[D]酸拡散制御剤を以下に示す。
酸拡散制御剤として下記式(D-4)で表される化合物を用いた。
下記表7に示す種類及び配合量の各成分を用いた以外は、実施例1と同様に操作して、感放射線性樹脂組成物(R-44)を調製した。
実施例1~38及び比較例1~5と同様にしてコンタクトホールパターン(直径25nm、50nmピッチ)を形成した。次いで上記形成した各レジストパターンについて、実施例1~38及び比較例1~5と同様にして各感放射線性樹脂組成物の感度、CDU性能及び解像度を評価した。評価結果を下記表8に示す。
Claims (10)
- 下記式(1)で表される構造単位Aを含む樹脂と、
下記式(2-1)で表される感放射線性酸発生剤及び下記式(2-2)で表される感放射線性酸発生剤からなる群より選択される少なくとも1種の感放射線性酸発生剤と、
溶剤と
を含む感放射線性樹脂組成物。
R1及びR2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基である。
R3は酸解離性基又は非酸解離性基である。ただし、R3が1つ存在する場合、R3は酸解離性基であり、R3が複数存在する場合、複数のR3のうちの少なくとも1つは酸解離性基である。R3が複数存在する場合、複数のR3は互いに同一又は異なる。
R41は水素原子又は酸の作用で脱保護される保護基である。R41が複数存在する場合、複数のR41は互いに同一又は異なる。
R51は、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、フッ素化アルキル基、アルコキシカルボニルオキシ基、アシル基又はアシロキシ基である。R51が複数存在する場合、複数のR51は互いに同一又は異なる。
n1は0~2の整数であり、m1は1~8の整数であり、m2は1~8の整数であり、m3は0~6の整数である。ただし、2≦m1+m2+m3≦2n1+5を満たす。)
n2は1~5の整数である。
Rf1及びRf2は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又はフルオロアルキル基である。ただし、n2が1である場合、Rf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基である。n2が2~5である場合、複数存在するRf1及びRf2のうちの少なくとも1つはフッ素原子又はフルオロアルキル基であり、複数存在するRf1及びRf2は互いに同一又は異なる。
L1は2価の連結基である。
R5aは、環構造を有する1価の有機基である。
X1 +は、1価のオニウムカチオンである。
上記式(2-2)中、
R5bは、1価の有機基である。
X2 +は、正電荷を有する原子が環構造を形成する原子でない1価のオニウムカチオンである。) - 上記樹脂が、(メタ)アクリル酸エステル系単量体に由来する構造単位Bをさらに含む請求項1に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 上記構造単位Bとして、酸解離性基を有する構造単位B1(ただし、上記構造単位Aを除く。)を含む請求項2に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 上記式(1)中、COOR3が結合する炭素原子とOR41が結合する炭素原子とが隣接する請求項1~4のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 放射線の照射により、上記感放射線性酸発生剤から発生する酸よりpKaが高い酸を発生するオニウム塩化合物をさらに含む請求項1~5のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 上記式(2-1)及び上記式(2-2)におけるオニウムカチオンが、それぞれ独立して、スルホニウムカチオン又はヨードニウムカチオンである請求項1~6のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物。
- 請求項1~7のいずれか1項に記載の感放射線性樹脂組成物を基板上に直接又は間接に塗布してレジスト膜を形成する工程と、
上記レジスト膜を露光する工程と、
露光された上記レジスト膜を現像液で現像する工程と
を含むパターン形成方法。 - 上記露光を極端紫外線又は電子線を用いて行う請求項8に記載のパターン形成方法。
- ホルミルヒドロキシ芳香族カルボン酸と酸解離性基構造を有するアルコールとを反応させてエステル体を合成する工程を含み、
さらに、上記エステル体のヒドロキシ基を保護する工程と上記エステル体のホルミル基をアルケンに変換する工程とを任意の順で含む単量体化合物の製造方法。
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