JP7204343B2 - レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、レジスト組成物及びレジスト組成物を用いるレジストパターンの製造方法等に関する。
特許文献１には、下記構造単位を有する樹脂と下記式で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物が記載されている。
Figure 0007204343000001
特許文献２には、下記構造単位を有する樹脂及び下記式で表される２種の酸発生剤を含有するレジスト組成物が記載されている。
Figure 0007204343000002
特開平８－３３７６１６号公報 特開２００５－０９１７１２号公報
本発明は、上記のレジスト組成物から形成されたレジストパターンより、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が良好なレジストパターンを得るためのレジスト組成物を提供することを課題とする。
本発明は、以下の発明を含む。
［１］式（Ｉ）で表される構造単位を含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
Figure 0007204343000003
［式（Ｉ）中、
Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｘ１は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ２は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表す。
ｎは、２又は３を表す。］
Figure 0007204343000004
［式（Ｂ１）中、
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－の少なくとも一つは、－Ｏ－に置き換わり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
［２］Ｒ２における酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である［１］記載のレジスト組成物。
Figure 0007204343000005
［式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲaa1及びＲaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合手を表す。］
Figure 0007204343000006
［式（２ａ）中、Ｒaa1’及びＲaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒaa3’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲaa2’及びＲaa3’は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘａ－とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合手を表す。］
［３］Ｘ１が、単結合である［１］又は［２］記載のレジスト組成物。
［４］Ａｒが、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基である［１］～［３］のいずれかに記載のレジスト組成物。
［５］ｎが、２である［１］～［４］のいずれかに記載のレジスト組成物。
［６］式（Ｂ１）で表される酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する［１］～［５］のいずれかに記載のレジスト組成物。
［７］（１）［１］～［６］のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含むレジストパターンの製造方法。
本発明のレジスト組成物を用いることにより、良好なラインエッジラフネス（ＬＥＲ）でレジストパターンを製造することができる。
本明細書において、特筆しない限り、「（メタ）アクリレート」とは、「アクリレート及びメタクリレートからなる群から選ばれる少なくとも一種」を意味する。「（メタ）アクリル酸」や「（メタ）アクリロイル」等の表記も、同様の意味を有する。「ＣＨ2＝Ｃ（ＣＨ3）－ＣＯ－」又は「ＣＨ2＝ＣＨ－ＣＯ－」を有する構造単位が例示されている場合には、双方の基を有する構造単位が同様に例示されているものとする。また、立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を包含する。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。
〔レジスト組成物〕
本発明のレジスト組成物は、式（Ｉ）で表される構造単位を含む樹脂（Ａ）及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ１）」という場合がある。）を含有する。
また、レジスト組成物は、クエンチャー（以下「クエンチャー（Ｃ）」という場合がある）及び／又は溶剤（以下「溶剤（Ｅ）」という場合がある）を含有することが好ましい。
＜樹脂（Ａ）＞
樹脂（Ａ）は、式（Ｉ）で表される構造単位（以下「構造単位（Ｉ）」という場合がある）を含む。
〈構造単位（Ｉ）〉
構造単位（Ｉ）は、以下の式で表される。
Figure 0007204343000007
［式（Ｉ）中、
Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｘ１は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒ２は、水素原子又は酸不安定基を表す。
ｎは、２又は３を表す。］
Ａｒの３価又は４価の芳香族炭化水素基としては、ベンゼントリイル基、ベンゼンテロライル基、ナフタレントリイル基、ナフタレンテロライル基、アントラセントリイル基、アントラセンテロライル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基は、好ましくは炭素数６～２４であり、より好ましくは炭素数６～１８である。
芳香族炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、ドデシルオキシ基等が挙げられる。
炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基及び炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
炭素数３～１２の脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、例えば、下記に示す基が挙げられる。＊＊は芳香族炭化水素基との結合手である。
Figure 0007204343000008
炭素数６～１０の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、トリル基、キシリル基、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基の置換基における組み合わせた基としては、ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基、炭素数１～１２のアルコキシ基と炭素数１～１２のアルコキシ基とを組み合わせた基、炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられる。
ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等の炭素数１～１２のヒドロキシアルキル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルコキシ基と炭素数１～１２のアルコキシ基とを組み合わせた基としては、エトキシエトキシ基等の炭素数２～２４のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、ベンジル基等の炭素数７～２２のアラルキル基等が挙げられる。
Ｒ２の酸不安定基とは、酸（例えばｐ－トルエンスルホン酸）と接触するとＲ２で表される基が脱離して、ヒドロキシ基を形成する基を意味する。
樹脂（Ａ）の製造に使用する構造単位（Ｉ）のＲ２が酸不安定基である場合、樹脂（Ａ）は、酸との接触により、Ｒ２を脱離（Ｒ２を水素原子に変換）させてもよく、その脱離率は４０％～１００％が好ましく、４０％～８０％がより好ましい。
酸不安定基としては、例えば、式（１ａ）で表される基（以下、場合により「酸不安定基（１ａ）」という。）、式（２ａ）で表される基（以下、場合により「酸不安定基（２ａ）」という。）などが挙げられる。
Figure 0007204343000009
［式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲaa1及びＲaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合手を表す。］
Figure 0007204343000010
［式（２ａ）中、Ｒaa1’及びＲaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒaa3’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲaa2’及びＲaa3’は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘａ－とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合手を表す。］
Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3で表されるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基等が挙げられる。
Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3で表される脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合手を表す。）等が挙げられる。Ｒaa1～Ｒaa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６である。
Figure 0007204343000011
置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基の置換基としては、炭素数３～２０の脂環式炭化水素基が挙げられる。置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基の置換基としては、炭素数１～８のアルキル基が挙げられる。より具体的には、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、ノルボルニルエチル基等が挙げられる。
ｎａａは、好ましくは１である。
Ｒaa1及びＲaa2が互いに結合して脂環式炭化水素基を形成する場合の－Ｃ（Ｒaa1）（Ｒaa2）（Ｒaa3）としては、下記の基が挙げられる。脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３～１２である。＊は－Ｏ－との結合手を表す。
Figure 0007204343000012
式（１ａ）で表される基としては、１，１－ジアルキルアルコキシカルボニル基（式（１ａ）中においてＲa1～Ｒa3がアルキル基である基、好ましくはｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基）、２－アルキルアダマンタン－２－イルオキシカルボニル基（式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びこれらが結合する炭素原子がアダマンチル基を形成し、Ｒaa3がアルキル基である基）及び１－（アダマンタン－１－イル）－１－アルキルアルコキシカルボニル基（式（１ａ）中、Ｒaa1及びＲaa2がアルキル基であり、Ｒaa3がアダマンチル基である基）等が挙げられる。
Ｒaa1'、Ｒaa2'及びＲaa3'の炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基及び脂環式炭化水素基は、Ｒａａ１、Ｒaa2及びＲａａ３で挙げた基と同じものが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル等のアリール基等が挙げられる。
Ｒaa2'及びＲaa3'が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸaとともに形成する複素環基としては、下記の基が挙げられる。＊は、結合手を表す。
Figure 0007204343000013
Ｒaa1'及びＲaa2'のうち、少なくとも１つは水素原子であることが好ましい。
酸不安定基（１ａ）を有する基の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合手を表す。
Figure 0007204343000014
酸不安定基（２ａ）を有する基の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合手を表す。
Figure 0007204343000015
構造単位（Ｉ）において、複数のＲ２は同一であっても異なっていてもよい。
Ｒ２で表される酸不安定基としては、酸不安定基（２ａ）を有する基であることが好ましい。
Ａｒは、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基であることが好ましい。
ｎは２であるのが好ましい。
樹脂（Ａ）が、Ｒ２が水素原子である構造単位（Ｉ）を含む場合、Ｒ２が水素原子である構造単位（Ｉ）の量は、構造単位（Ｉ）の総量に対して好ましくは４０～８０モル％である。
構造単位（Ｉ）としては、以下に記載の構造単位が挙げられる。構造単位（Ｉ）としては、構造単位（Ｉ－１）～構造単位（Ｉ－１９）及び構造単位（Ｉ－３１）～構造単位（Ｉ－４８）が好ましく、構造単位（Ｉ－１）～構造単位（Ｉ－３）、構造単位（Ｉ－１０）～構造単位（Ｉ－１２）、構造単位（Ｉ－３１）～構造単位（Ｉ－３３）及び構造単位（Ｉ－４０）～構造単位（Ｉ－４２）がより好ましく、構造単位（Ｉ－１）～構造単位（Ｉ－３）、及び構造単位（Ｉ－１０）～構造単位（Ｉ－１２）がさらに好ましい。
Figure 0007204343000016
Figure 0007204343000017
Figure 0007204343000018
樹脂（Ａ）は、構造単位（Ｉ）を２種以上含有していてもよい。
樹脂（Ａ）は、構造単位（Ｉ）のホモポリマーであってもよいし、構造単位（Ｉ）のみからなるコポリマーであってもよいし、構造単位（Ｉ）以外の構造単位を１以上含むポリマーであってもよい。樹脂（Ａ）が構造単位（Ｉ）以外の構造単位を含む場合、構造単位（Ｉ）の含有率は、樹脂（Ａ）における全モノマーに対して、通常５～９０モル％であり、好ましくは１０～８０モル％であり、より好ましくは１５～７０モル％である。構造単位（Ｉ）以外の構造単位としては、構造単位（Ｉ）以外の酸不安定基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ１）」という場合がある）、酸不安定基を有する構造単位以外の構造単位であってハロゲン原子を有する構造単位（以下「構造単位（ａ４）」という場合がある）、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、非脱離炭化水素基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ５）」という場合がある）等が挙げられる。ここで、酸不安定基とは、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、親水性基（例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基）を形成する基を意味する。
樹脂（Ａ）が後述する式（ａ４）及び／又は式（ａ５）で表される構造単位を含む場合（以下「樹脂（ＡＸ）」という場合がある。）、本発明の樹脂（ＡＸ）における構造単位（Ｉ）の含有率は、本発明の樹脂（ＡＸ）の全構造単位の合計に対して、好ましくは５～７５モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％であり、さらに好ましくは１０～６５モル％であり、特に好ましくは１０～６０モル％である。
〈構造単位（ａ１）〉
構造単位（ａ１）は、酸不安定基を有するモノマー（以下「モノマー（ａ１）」という場合がある）から導かれる。
樹脂（Ａ）に含まれる酸不安定基は、式（１）で表される基（以下、基（１）とも記す）及び／又は式（２）で表される基（以下、基（２）とも記す）が好ましい。
Figure 0007204343000019
［式（１）中、Ｒa1、Ｒａ２及びＲa3は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～２０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ｒa1及びＲa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
ｍａ及びｎａは、それぞれ独立して、０又は１を表し、ｍａ及びｎａの少なくとも一方は１を表す。
＊は結合手を表す。］
Figure 0007204343000020
［式（２）中、Ｒａ１’及びＲａ２’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒａ３’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒａ２’及びＲａ３’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。
Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎａ’は、０又は１を表す。
＊は結合手を表す。］
Ｒa1、Ｒa2及びＲa3におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
Ｒa1、Ｒa2及びＲa3における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合手を表す。）等が挙げられる。Ｒa1～Ｒa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６である。
Figure 0007204343000021
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基としては、例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等が挙げられる。
好ましくは、ｍａは０であり、ｎａは１である。
Ｒa1及びＲa2が互いに結合して脂環式炭化水素基を形成する場合の－Ｃ（Ｒa1）（Ｒa2）（Ｒa3）としては、下記の基が挙げられる。脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３～１２である。＊は－Ｏ－との結合手を表す。
Figure 0007204343000022
Ｒａ１’、Ｒａ２’及びＲａ３’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基及び脂環式炭化水素基は、Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３で挙げた基と同様のものが挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えばシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒａ２’及びＲａ３’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに形成する２価の複素環基としては、下記の基が挙げられる。＊は、結合手を表す。
Figure 0007204343000023
Ｒａ１’及びＲａ２’のうち、少なくとも１つは水素原子であることが好ましい。
ｎａ’は、好ましくは０である。
基（１）としては、以下の基が挙げられる。
式（１）においてＲa1～Ｒa3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。当該基としては、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基が好ましい。
式（１）において、Ｒa1、Ｒa2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ｒa3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
式（１）において、Ｒa1及びＲa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ｒa3がアダマンチル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
基（１）としては、具体的には以下の基が挙げられる。＊は結合手を表す。
Figure 0007204343000024
Figure 0007204343000025
基（２）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合手を表す。
Figure 0007204343000026
モノマー（ａ１）は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーである。
酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数５～２０の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー（ａ１）に由来する構造単位を有する樹脂（Ａ）をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。
基（１）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として、好ましくは、式（ａ１－０）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－０）という場合がある。）、式（ａ１－１）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－１）という場合がある。）又は式（ａ１－２）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－２）という場合がある。）が挙げられる。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
Figure 0007204343000027
［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
Ｒa01、Ｒa4及びＲa5は、好ましくはメチル基である。
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、好ましくは酸素原子又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ０１－ＣＯ－Ｏ－であり（但し、ｋ０１は、好ましくは１～４のいずれかの整数、より好ましくは１である。）、より好ましくは酸素原子である。
Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基、脂環式炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式（１）のＲａ１～Ｒａ３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒa02、Ｒa03、及びＲa04におけるアルキル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくはメチル基、エチル基又はイソプロピル基であり、さらに好ましくはエチル基又はイソプロピル基である。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは５～１２であり、より好ましくは５～１０である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
Ｒa02及びＲa03は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒa04は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数５～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７は、好ましくは１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基又はイソプロピル基であり、さらに好ましくはエチル基又はイソプロピル基である。
ｍ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は好ましくは０又は１である。
構造単位（ａ１－０）としては、例えば、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１２）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－０）におけるＲa01に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１０）のいずれかで表される構造単位が好ましい。
Figure 0007204343000028
構造単位（ａ１－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－４）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－１）におけるＲａ４に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましく、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましい。
Figure 0007204343000029
構造単位（ａ１－２）としては、式（ａ１－２－１）～式（ａ１－２－６）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－２）におけるＲａ５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－２－２）、式（ａ１－２－５）及び式（ａ１－２－６）が好ましい。
Figure 0007204343000030
樹脂（Ａ）が構造単位（ａ１－０）及び／又は構造単位（ａ１－１）及び／又は構造単位（ａ１－２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、通常１０～９５モル％であり、好ましくは１５～７０モル％であり、より好ましくは１５～６５モル％であり、さらに好ましくは２０～６０モル％であり、さらにより好ましくは２０～５５モル％である。
構造単位（ａ１）において基（２）を有する構造単位としては、式（ａ１－４）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１－４）」という場合がある。）が挙げられる。
Figure 0007204343000031
［式（ａ１－４）中、
Ｒa32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
ｌａは０～４のいずれかの整数を表す。ｌａが２以上である場合、複数のＲa33は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｒa34及びＲa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒa36は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒa35及びＲa36は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｏ－とともに炭素数２～２０の２価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該２価の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。］
Ｒa32及びＲa33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。該アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒa32及びＲa33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基及びヘキシルオキシ基等が挙げられる。なかでも、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
Ｒa34、Ｒa35及びＲa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基が挙げられ、アルキル基及び脂環式炭化水素基としては、Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基と同様の基が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基、ベンジル基等のアラルキル基、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロヘキシル基等が挙げられる。特に、Ｒa36としては、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
式（ａ１－４）において、Ｒa32としては、水素原子が好ましい。
Ｒa33としては、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基及びエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
ｌａとしては、０又は１が好ましく、０がより好ましい。
Ｒa34は、好ましくは、水素原子である。
Ｒa35は、好ましくは、炭素数１～１２のアルキル基又は脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒa36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数７～１８のアラルキル基である。Ｒa36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ｒa36における芳香族炭化水素基は、炭素数６～１０のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位（ａ１－４）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－８）でそれぞれ表される構造単位及び構造単位（ａ１－４）におけるＲa32に相当する水素原子がメチル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－５）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000032
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１－４）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位の合計に対して、５～６０モル％であることが好ましく、５～５０モル％であることがより好ましく、１０～４０モル％であることがさらに好ましい。
基（２）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式（ａ１－５）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ１－５）」という場合がある）も挙げられる。
Figure 0007204343000033
式（ａ１－５）中、
Ｒa8は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｚa1は、単結合又は＊－（ＣＨ2）h3－ＣＯ－Ｌ54－を表し、ｈ３は１～４のいずれかの整数を表し、＊は、Ｌ51との結合手を表す。
Ｌ51、Ｌ52、Ｌ53及びＬ54は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｓ１は、１～３のいずれかの整数を表す。
ｓ１’は、０～３のいずれかの整数を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式（ａ１－５）においては、Ｒa8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
Ｌ51は、酸素原子が好ましい。
Ｌ52及びＬ53のうち、一方が－Ｏ－であり、他方が－Ｓ－であることが好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０～２のいずれかの整数が好ましい。
Ｚa1は、単結合又は＊－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
構造単位（ａ１－５）としては、例えば、特開２０１０－６１１１７号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－５－１）～式（ａ１－５－４）でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式（ａ１－５－１）又は式（ａ１－５－２）で表される構造単位がより好ましい。
Figure 0007204343000034
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１－５）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、３～４５モル％がより好ましく、５～４０モル％がさらに好ましく、５～３０モル％がさらにより好ましい。
構造単位（ａ１）としては、例えば、式（ａ１－０Ｘ）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－０Ｘ）という場合がある。）も挙げられる。
Figure 0007204343000035
［式（ａ１－０Ｘ）中、
Ｒｘ１は、水素原子、メチル基又はエチル基を表す。
Ｒｘ２及びＲｘ３は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和炭化水素基を表す。
Ａｒｘ１は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表す。］
Ｒｘ２及びＲｘ３の飽和炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基及びこれらの組合せることにより形成される基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
Ａｒｘ１の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基等の炭素数６～３６のアリール基が挙げられる。
芳香族炭化水素基は、好ましくは炭素数６～２４であり、より好ましくは炭素数６～１８であり、さらに好ましくは、フェニル基である。
Ａｒｘ１は、好ましくは炭素数６～１８の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはフェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくは、フェニル基である。
Ｒｘ１、Ｒｘ２及びＲｘ３は、それぞれ独立に、メチル基又はエチル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。
構造単位（ａ１－０Ｘ）としては、以下に記載の構造単位及び構造単位（ａ１－０Ｘ）におけるＲｘ１に相当するメチル基が水素原子に置き換わった化合物が挙げられる。構造単位（ａ１－０Ｘ）は、構造単位（ａ１－０Ｘ－１）～構造単位（ａ１－０Ｘ－３）であることが好ましい。
Figure 0007204343000036
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ１－０Ｘ）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）における全モノマーに対して、５～６０モル％であることが好ましく、５～５０モル％であることがより好ましく、１０～４０モル％であることがさらに好ましい。
樹脂（Ａ）は、構造単位（ａ１－０Ｘ）を２種以上含有していてもよい。
また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。
Figure 0007204343000037
樹脂（Ａ）が上記構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１０～９５モル％が好ましく、１５～９０モル％がより好ましく、２０～８５０モル％がさらに好ましく、２０～７０モル％がさらにより好ましく、２０～６０モル％が一層好ましい。
樹脂（Ａ）は構造単位（ａ１）を含むのが好ましく、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群より選ばれる１以上の構造単位を含むのが好ましい。
〈構造単位（ｓ）〉
構造単位（ｓ）を導くモノマーは、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さないモノマーを使用できる。
構造単位（ｓ）としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有するのが好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ２）」という場合がある）及び／又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ３）」という場合がある）を有する樹脂を本発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
〈構造単位（ａ２）〉
構造単位（ａ２）が有するヒドロキシ基は、アルコール性ヒドロキシ基でも、フェノール性ヒドロキシ基でもよい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、電子線又はＥＵＶ（超紫外光）等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）を用いることが好ましい。また、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）等を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－１）を用いることがより好ましい。構造単位（ａ２）としては、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。
構造単位（ａ２）においてフェノール性ヒドロキシ基有する構造単位としては式（ａ２－Ａ）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ）」という場合がある）が挙げられる。
Figure 0007204343000038
［式（ａ２－Ａ）中、
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合手を表す。
Ａa52は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なってもよい。］
構造単位（ａ２－Ａ）において、ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa50におけるハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒa50は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。
Ｒa51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基が挙げられる。炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
Ｒa51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。
Ｒa51は、メチル基が好ましい。
＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａa52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
Ａa50は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。
ｍｂは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０が特に好ましい。
ヒドロキシ基は、ベンゼン環のｏ－位又はｐ－位に結合することが好ましく、ｐ－位に結合することがより好ましい。
構造単位（ａ２－Ａ）としては、特開２０１０－２０４６３４号公報、特開２０１２－１２５７７号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ２－Ａ）としては、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位及び、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位において構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位（ａ２－Ａ）は、式（ａ２－２－１）で表される構造単位、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、及び式（ａ２－２－１）で表される構造単位又は式（ａ２－２－３）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましい。
Figure 0007204343000039
樹脂（Ａ）中に構造単位（ａ２－Ａ）が含まれる場合の構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、全構造単位に対して、好ましくは５～８０モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％であり、さらに好ましくは１５～６５モル％であり、さらにより好ましくは２０～６５モル％である。
構造単位（ａ２）においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式（ａ２－１）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－１）」という場合がある。）が挙げられる。
Figure 0007204343000040
式（ａ２－１）中、
Ｌa3は、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ2）k2－ＣＯ－Ｏ－を表し、
ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
Ｒa14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa15及びＲa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。
式（ａ２－１）では、Ｌa3は、好ましくは、－Ｏ－、－Ｏ－（ＣＨ2）f1－ＣＯ－Ｏ－であり（前記ｆ１は、１～４のいずれかの整数を表す）、より好ましくは－Ｏ－である。
Ｒa14は、好ましくはメチル基である。
Ｒa15は、好ましくは水素原子である。
Ｒa16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数、より好ましくは０又は１である。
構造単位（ａ２－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－６）のいずれかで表される構造単位が好ましく、式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式（ａ２－１－１）又は式（ａ２－１－３）で表される構造単位がさらに好ましい。
Figure 0007204343000041
樹脂（Ａ）が構造単位（ａ２－１）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、通常１～４５モル％であり、好ましくは１～４０モル％であり、より好ましくは１～３５モル％であり、さらに好ましくは２～２０モル％であり、さらにより好ましくは２～１０モル％である。
〈構造単位（ａ３）〉
構造単位（ａ３）が有するラクトン環は、β－プロピオラクトン環、γ－ブチロラクトン環、δ－バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ－ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ－ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環（例えば下式（ａ３－２）で表される構造単位）が挙げられる。
構造単位（ａ３）は、好ましくは、式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）又は式（ａ３－４）で表される構造単位である。これらの１種を単独で含有してもよく、２種以上を含有してもよい。
Figure 0007204343000042
［式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）及び式（ａ３－４）中、
Ｌａ４、Ｌａ５及びＬａ６は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ３－ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
Ｌａ７は、－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－Ｌａ９－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－ＣＯ－Ｌａ９－Ｏ－を表す。
Ｌａ８及びＬａ９は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
＊はカルボニル基との結合手を表す。
Ｒａ１８、Ｒａ１９及びＲａ２０は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒａ２４は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｒａ２１は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及び／又はＲａ２５は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。］
Ｒa21、Ｒa22、Ｒa23及びＲa25における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基及びｔｅｒｔ－ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
Ｒａ２４におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒａ２４におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ｒａ２４におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Ｌａ８及びＬａ９におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
式（ａ３－１）～式（ａ３－３）において、Ｌａ４～Ｌａ６は、それぞれ独立に、好ましくは－Ｏ－又は、＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ３－ＣＯ－Ｏ－において、ｋ３が１～４のいずれかの整数である基、より好ましくは－Ｏ－及び、＊－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－、さらに好ましくは酸素原子である。
Ｒａ１８～Ｒａ２１は、好ましくはメチル基である。
Ｒａ２２及びＲａ２３は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
式（ａ３－４）において、Ｒａ２４は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ｒａ２５は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
Ｌａ７は、好ましくは－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－であり、より好ましくは－Ｏ－、－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－Ｃ２Ｈ４－ＣＯ－Ｏ－である。
ｗ１は、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
特に、式（ａ３－４）は、式（ａ３－４）’が好ましい。
Figure 0007204343000043
（式中、Ｒａ２４、Ｌａ７は、上記と同じ意味を表す。）
構造単位（ａ３）としては、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー、特開２０００－１２２２９４号公報に記載されたモノマー、特開２０１２－４１２７４号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位（ａ３）としては、式（ａ３－１－１）、式（ａ３－１－２）、式（ａ３－２－１）、式（ａ３－２－２）、式（ａ３－３－１）、式（ａ３－３－２）及び式（ａ３－４－１）～式（ａ３－４－１２）のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式（ａ３－１）～式（ａ３－４）におけるＲａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲa24に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。
Figure 0007204343000044
Figure 0007204343000045
樹脂（Ａ）が構造単位（ａ３）を含む場合、その合計含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、通常５～７０モル％であり、好ましくは１０～６５モル％であり、より好ましくは１０～６０モル％である。
また、構造単位（ａ３－１）、構造単位（ａ３－２）、構造単位（ａ３－３）又は構造単位（ａ３－４）の含有率は、それぞれ、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、５～６０モル％が好ましく、５～５０モル％がより好ましく、１０～５０モル％がさらに好ましい。
〈構造単位（ａ４）〉
構造単位（ａ４）としては、以下の構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000046
［式（ａ４）中、
Ｒ41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ42は、炭素数１～２４のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯに置き換わっていてもよい。］
Ｒ42で表される飽和炭化水素基は、鎖式炭化水素基及び単環又は多環の脂環式炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。
単環又は多環の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合手を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
Figure 0007204343000047
組み合わせにより形成される基としては、１以上のアルキル基又は１以上のアルカンジイル基と、１以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基、－脂環式炭化水素基－アルキル基、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルキル基等が挙げられる。
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－０）、式（ａ４－１）、式（ａ４－２）、式（ａ４－３）及び式（ａ４－４）からなる群から選択される少なくとも１つで表される構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000048
［式（ａ４－０）中、
Ｒ5ａは、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ4ａは、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基を表す。
Ｌ3ａは、炭素数１～８のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数３～１２のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
Ｒ6ａは、水素原子又はフッ素原子を表す。］
Ｌ4ａにおけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基及び２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ｌ3ａにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパン－１，１－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，３－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，２－ジイル基、ペルフルオロプロパン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，４－ジイル基、ペルフルオロブタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－１，５－ジイル基、ペルフルオロペンタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－１，６－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－１，７－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－３，４－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－４，４－ジイル基、ペルフルオロオクタン－１，８－ジイル基、ペルフルオロオクタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロオクタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロオクタン－４，４－ジイル基等が挙げられる。
Ｌ3ａにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Ｌ4ａは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
Ｌ3ａは、好ましくは炭素数１～６のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルカンジイル基である。
構造単位（ａ４－０）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ４－０）におけるＲ５ａに相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000049
Figure 0007204343000050
Figure 0007204343000051
［式（ａ４－１）中、
Ｒa41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa42は、置換基を有していてもよい炭素数１～２０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ａa41は、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又は式（ａ－ｇ１）で表される基を表す。ただし、Ａａ４１及びＲａ４２のうち少なくとも１つは、置換基としてハロゲン原子（好ましくはフッ素原子）を有する。
Figure 0007204343000052
〔式（ａ－ｇ１）中、
ｓは０又は１を表す。
Ａa42及びＡa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ａa43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｘa41及びＸa42は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ただし、Ａa42、Ａa43、Ａa44、Ｘa41及びＸa42の炭素数の合計は７以下である。〕
＊は結合手であり、右側の＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合手である。］
Ｒa42における飽和炭化水素基としては、飽和鎖式炭化水素基及び単環又は多環の飽和脂環式炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
飽和鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。単環又は多環の飽和脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合手を表す。）等の多環式の飽和脂環式炭化水素基が挙げられる。
Figure 0007204343000053
組み合わせにより形成される基としては、１以上のアルキル基又は１以上のアルカンジイル基と、１以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基、－脂環式炭化水素基－アルキル基、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルキル基等が挙げられる。
Ｒa42が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子及び式（ａ－ｇ３）で表される基が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。
Figure 0007204343000054
［式（ａ－ｇ３）中、
Ｘa43は、酸素原子、カルボニル基、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＲa42との結合手を表す。）を表す。
Ａa45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。
＊は結合手を表す。］
ただし、Ｒa42－Ｘa43－Ａa45において、Ｒa42がハロゲン原子を有しない場合は、Ａa45は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。
Ａa45における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基；
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基；並びに
デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合手を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
Figure 0007204343000055
Ｒa42は、ハロゲン原子を有していてもよい飽和炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び／又は式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基がより好ましい。
Ｒa42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が１～６のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒa42が、式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式（ａ－ｇ３）で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ｒa42の総炭素数は、１５以下が好ましく、１２以下がより好ましい。式（ａ－ｇ３）で表される基を置換基として有する場合、その数は１個が好ましい。
Ｒa42が式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、Ｒa42は、さらに好ましくは式（ａ－ｇ２）で表される基である。
Figure 0007204343000056
［式（ａ－ｇ２）中、
Ａa46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘa44は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＡa46との結合手を表す。）を表す。
Ａa47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の脂肪族炭化水素基を表す。
ただし、Ａa46、Ａa47及びＸa44の炭素数の合計は１８以下であり、Ａa46及びＡa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する。
＊はカルボニル基との結合手を表す。］
Ａa46の飽和炭化水素基の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。
Ａa47の脂肪族炭化水素基の炭素数は４～１５が好ましく、５～１２がより好ましく、Ａa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
式（ａ－ｇ２）で表される基の好ましい構造は、以下の構造である（＊はカルボニル基との結合手である）。
Figure 0007204343000057
Ａa41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－メチルブタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ａa41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
Ａa41は、好ましくは炭素数１～４のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数２～４のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
式（ａ－ｇ１）で表される基におけるＡa4２、Ａa4３及びＡa4４の表す２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環又は多環の２価の脂環式炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び２価の脂環式炭化水素基を組合せることにより形成される基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等が挙げられる。
Ａa4２、Ａa4３及びＡa4４の表す２価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
ｓは、０であることが好ましい。
式（ａ－ｇ１）で表される基において、Ｘa42が－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、＊及び＊＊はそれぞれ結合手を表わし、＊＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合手である。
Figure 0007204343000058
式（ａ４－１）で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式（ａ４－１）で表される構造単位におけるＲa41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000059
Figure 0007204343000060
式（ａ４－１）で表される構造単位としては、式（ａ４－２）で表される構造単位が好ましい。
Figure 0007204343000061
［式（ａ４－２）中、
Ｒf5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ44は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒf6は、炭素数１～２０のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ44及びＲf6の合計炭素数の上限は２１である。］
Ｌ44のアルカンジイル基は、Ｌ4ａで例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｒf6の飽和炭化水素基は、Ｒa42で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｌ４4におけるアルカンジイル基としては、炭素数２～４のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
式（ａ４－２）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１－１）～式（ａ４－１－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－２）におけるＲf５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－２）で表される構造単位として挙げられる。
Figure 0007204343000062
［式（ａ４－３）中、
Ｒf7は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ5は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ａf13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘf12は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＡf13との結合手を表す。）。
Ａf14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
但し、Ａf13及びＡf14の少なくとも１つは、フッ素原子を有し、Ｌ5、Ａf13及びＡf14の合計炭素数の上限は２０である。］
Ｌ5におけるアルカンジイル基としては、Ｌ4ａのアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ａf13におけるフッ素原子を有していてもよい２価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい２価の鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基；ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい２価の脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Ａf14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ｒa42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。
式（ａ４－３）において、Ｌ5は、エチレン基が好ましい。
Ａf13の２価の飽和炭化水素基は、炭素数１～６の２価の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１２の２価の脂環式炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数２～３の２価の鎖式炭化水素基がさらに好ましい。
Ａf14の飽和炭化水素基は、炭素数３～１２の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１２の脂環式炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数３～１０の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１０の脂環式炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Ａf14は、好ましくは炭素数３～１２の脂環式炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
式（ａ４－３）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１’－１）～式（ａ４－１’－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－３）におけるＲf７に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－３）で表される構造単位として挙げられる。
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－４）で表される構造単位も挙げられる。
Figure 0007204343000063
［式（ａ４－４）中、
Ｒf21は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａf21は、－（ＣＨ2）j1－、－（ＣＨ2）j2－Ｏ－（ＣＨ2）j3－又は－（ＣＨ2）j4－ＣＯ－Ｏ－（ＣＨ2）j5－を表す。
ｊ１～ｊ５は、それぞれ独立に、１～６のいずれかの整数を表す。
Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０の飽和炭化水素基を表す。］
Ｒf22の飽和炭化水素基は、Ｒa42で表される飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数１～１０の脂環式炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～６のアルキル基がさらに好ましい。
式（ａ４－４）においては、Ａf21としては、－（ＣＨ2）ｊ1－が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。
式（ａ４－４）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位（ａ４－４）におけるＲf21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000064
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ４）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～２０モル％が好ましく、２～１５モル％がより好ましく、３～１０モル％がさらに好ましい。
〈構造単位（ａ５）〉
構造単位（ａ５）が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位（ａ５）は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位（ａ５）としては、例えば、式（ａ５－１）で表される構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000065
［式（ａ５－１）中、
Ｒ51は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ52は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数１～８の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
Ｌ55は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
Ｒ52における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数１～８の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、３－メチルアダマンチル基などが挙げられる。
Ｒ52は、好ましくは、無置換の炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
Ｌ55における２価の飽和炭化水素基としては、２価の鎖式飽和炭化水素基及び２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは２価の鎖式飽和炭化水素基である。
２価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
Ｌ55の表す２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（Ｌ１－１）～式（Ｌ１－４）で表される基が挙げられる。下記式中、＊は酸素原子との結合手を表す。
Figure 0007204343000066
式（Ｌ１－１）中、
Ｘx1は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＬx１との結合手を表す。）。
Ｌx1は、炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx2は、単結合又は炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx1及びＬx2の合計炭素数は、１６以下である。
式（Ｌ１－２）中、
Ｌx3は、炭素数１～１７の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx4は、単結合又は炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx3及びＬx4の合計炭素数は、１７以下である。
式（Ｌ１－３）中、
Ｌx5は、炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx6及びＬx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１４の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx5、Ｌx6及びＬx7の合計炭素数は、１５以下である。
式（Ｌ１－４）中、
Ｌx8及びＬx9は、単結合又は炭素数１～１２の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｗx1は、炭素数３～１５の２価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx8、Ｌx9及びＷx1の合計炭素数は、１５以下である。
Ｌx1は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx2は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Ｌx3は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx4は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx5は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx6は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx7は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx8は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｌx9は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｗx1は、好ましくは、炭素数３～１０の２価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
式（Ｌ１－１）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
Figure 0007204343000067
Figure 0007204343000068
式（Ｌ１－２）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
Figure 0007204343000069
式（Ｌ１－３）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
Figure 0007204343000070
式（Ｌ１－４）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
Figure 0007204343000071
Ｌ55は、好ましくは、単結合又は式（Ｌ１－１）で表される基である。
構造単位（ａ５－１）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ５－１）におけるＲ51に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
Figure 0007204343000072
Figure 0007204343000073
樹脂（Ａ）が、構造単位（ａ５）を有する場合、その含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、１～３０モル％が好ましく、２～２０モル％がより好ましく、３～１５モル％がさらに好ましい。
＜構造単位（ＩＩ）＞
樹脂（Ａ）は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位（以下、「構造単位（ＩＩ）という場合がある）を含有していてもよい。構造単位（ＩＩ）としては、具体的には特開２０１６－７９２３５号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。
側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位であることが好ましい。
Figure 0007204343000074
［式（ＩＩ－２－Ａ’）中、
ＸＩＩＩ３は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
Ａｘ１は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
ＲＡ－は、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
ＲＩＩＩ３は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
ＺＡ＋は、有機カチオンを表す。］
ＲＩＩＩ３で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
ＲＩＩＩ３で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ａｘ１で表される炭素数１～８のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
ＸＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基；ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の２価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わったものとしては、例えば式（Ｘ１）～式（Ｘ５３）で表される２価の基が挙げられる。ただし、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わる前の炭素数はそれぞれ１７以下である。下記式において、＊はＡｘ１との結合手を表す。
Figure 0007204343000075
Figure 0007204343000076
Figure 0007204343000077
Ｘ3は、２価の炭素数１～１６の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ4は、２価の炭素数１～１５の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ5は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ6は、２価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ7は、３価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ8は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。
ＺＡ+で表される有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、例えば有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、有機ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオンなどが挙げられ、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。
式（ＩＩ－２－Ａ’）中のＺＡ＋は、後述の酸発生剤（Ｂ１）における有機カチオンＺ＋と同様のものが挙げられる。
式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位であることが好ましい。
Figure 0007204343000078
［式（ＩＩ－２－Ａ）中、
ＲＩＩＩ３、ＸＩＩＩ３及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
Ｚは、０～６のいずれかの整数を表す。
ＲＩＩＩ２及びＲＩＩＩ４は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表し、ｚが２以上のとき、複数のＲＩＩＩ２及びＲＩＩＩ４は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
Ｑａ及びＱｂは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。］
ＲＩＩＩ２、ＲＩＩＩ４、Ｑａ及びＱｂで表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基としては、後述のＱｂ１で表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。
式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位であることが好ましい。
Figure 0007204343000079
［式（ＩＩ－２－Ａ－１）中、
ＲＩＩＩ２、ＲＩＩＩ３、ＲＩＩＩ４、Ｑa、Ｑb、ｚ及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
ＲＩＩＩ５は、炭素数１～１２の飽和炭化水素基を表す。
ＸＩ2は、炭素数１～１１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。］
ＲＩＩＩ５で表される炭素数１～１２の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
ＸＩ２で表される２価の飽和炭化水素基としては、ＸＩＩＩ３で表される２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位としては、式（ＩＩ－２－Ａ－２）で表される構造単位が好ましい。
Figure 0007204343000080
［式（ＩＩ－２－Ａ－２）中、ＲＩＩＩ３、ＲＩＩＩ５及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
ｍ及びｎは、互いに独立に、１又は２を表す。］
式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び国際公開第２０１２／０５００１５号記載の構造単位が挙げられる。ＺＡ＋は、有機カチオンを表す。
Figure 0007204343000081
Figure 0007204343000082
Figure 0007204343000083
側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位であることが好ましい。
Figure 0007204343000084
［式（ＩＩ－１－１）中、
ＡＩＩ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＲＩＩ１は、炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基を表す。
ＲＩＩ２及びＲＩＩ３は、それぞれ独立して、炭素数１～１８の炭化水素基を表し、ＲＩＩ２及びＲＩＩ３は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
ＲII4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ａ－は、有機アニオンを表す。］
ＲＩＩ１で表される炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
ＲＩＩ２及びＲＩＩ３で表される炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
ＲＩＩ４で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
ＲＩＩ４で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
ＡＩＩ１で表される２価の連結基としては、例えば、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基が挙げられ、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。具体的には、ＸＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。
式（ＩＩ－１－１）中のカチオンを含む構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。
Figure 0007204343000085
Figure 0007204343000086
Ａ－で表される有機アニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。Ａ－で表される有機アニオンは、スルホン酸アニオンが好ましく、スルホン酸アニオンとしては、後述する式（Ｂ１）で表される塩に含まれるアニオンであることがより好ましい。
Ａ－で表されるスルホニルイミドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000087
スルホニルメチドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000088
カルボン酸アニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000089
式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。
Figure 0007204343000090
Figure 0007204343000091
樹脂（Ａ）中に、構造単位（ＩＩ）を含有する場合の構造単位（ＩＩ）の含有率は、樹脂（Ａ）の全構造単位に対して、好ましくは１～２０モル％であり、より好ましくは２～１５モル％であり、さらに好ましくは３～１０モル％である。
樹脂（Ａ）は、好ましくは構造単位（Ｉ）と酸不安定基とからなる樹脂、さらに構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）とからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）と構造単位（ａ２）又は（ａ３）と構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）とからなる樹脂、構造単位（Ｉ）のみからなる樹脂、あるいは、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ４）のみからなる樹脂であり、好ましくは、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）を含む樹脂、例えば、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）とからなる樹脂又は構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ１）と構造単位（ａ２）又は（ａ３）とからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ２）又は（ａ３）とからなる樹脂、あるいは、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ４）と構造単位（ａ５）とのみからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ４）とのみからなる樹脂、構造単位（Ｉ）と構造単位（ａ４）と構造単位（ａ１）とのみからなる樹脂である。
構造単位（ａ１）は、好ましくは構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－０Ｘ）、構造単位（ａ１－１）、構造単位（ａ１－２）（好ましくはシクロヘキシル基、及びシクロペンチル基を有する該構造単位）及び構造単位（ａ１－４）からなる群から選ばれる少なくとも一種であり、より好ましくは構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－０Ｘ）、構造単位（ａ１－１）構造単位（ａ１－２）（好ましくはシクロヘキシル基、又はシクロペンチル基を有する該構造単位）及び構造単位（ａ１－４）からなる群から選ばれる少なくとも二種である。
特に、樹脂（Ａ）は、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群より選ばれる１以上の構造単位を含むのが好ましい。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）からなる群から選ばれる少なくとも一種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは式（ａ２－１）で表される構造単位である。構造単位（ａ３）は、好ましくは式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。
樹脂（Ａ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ａ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは２，０００以上（より好ましくは２，５００以上、さらに好ましくは３，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３０，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）である。
本明細書において、重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーは、実施例に記載の分析条件により測定することができる。
＜樹脂（Ａ）以外の樹脂＞
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａ）以外の樹脂を含んでもよい。樹脂（Ａ）以外の樹脂とは、構造単位（Ｉ）を含まない樹脂である。このような樹脂としては、例えば、酸不安定基を有する構造単位を有し、かつ構造単位（Ｉ）を含まない樹脂（以下「樹脂（Ａ２）」という場合がある）、構造単位（ａ４）のみからなる樹脂及び構造単位（ａ４）と構造単位（ａ５）とからなる樹脂（以下、構造単位（ａ４）のみからなる樹脂及び構造単位（ａ４）と構造単位（ａ５）とからなる樹脂を合わせて樹脂（Ｘ）という場合がある）等が挙げられる。
樹脂（Ｘ）において、構造単位（ａ４）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、３０モル％以上であることが好ましく、４０モル％以上であることがより好ましく、４５モル％以上であることがさらに好ましい。これ以外の構造単位は、樹脂（Ａ）に含まれる範囲と同様に又はこれらの範囲に準じて、適宜調整することができる。
また、樹脂（Ａ２）に含まれる各構造単位の範囲も、樹脂（Ａ）に含まれる範囲と同様に又はこれらの範囲に準じて、適宜調整することができる。
樹脂（Ｘ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ｘ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａ２）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量は、それぞれ独立して、好ましくは６，０００以上（より好ましくは７，０００以上）、８０，０００以下（より好ましくは６０，０００以下）である。樹脂（Ａ２）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量の測定手段は、樹脂（Ａ）の場合と同様である。
本発明のレジスト組成物が、樹脂（Ａ２）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、通常、１～２５００質量部（より好ましくは１０～１０００質量部）である。
また、レジスト組成物が樹脂（Ｘ）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１～６０質量部であり、より好ましくは１～５０質量部であり、さらに好ましくは１～４０質量部であり、特に好ましくは１～３０質量部であり、特に好ましくは１～８質量部である。
レジスト組成物における樹脂（Ａ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０～９９質量％がより好ましい。また、樹脂（Ａ）以外の樹脂を含む場合は、樹脂（Ａ）と樹脂（Ａ）以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０～９９質量％がより好ましい。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。
＜酸発生剤（Ｂ１）＞
本発明のレジスト組成物は、式（Ｂ１）で表される酸発生剤（以下、酸発生剤（Ｂ１）という場合がある）を含有する。
Figure 0007204343000092
［式（Ｂ１）中、
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－の少なくとも一つは、－Ｏ－に置き換わり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
Ｑｂ１及びＱｂ２の表すペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることが好ましく、ともにフッ素原子であることがより好ましい。
Ｌｂ１における２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Ｌｂ１で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－で置き換わった基（但し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）としては、例えば、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）及びそれらの具体例である式（ｂ１－４）～式（ｂ１－１１）で表される基において、＊は－Ｙとの結合手を表す。
Figure 0007204343000093
［式（ｂ１－１）中、
Ｌｂ２は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ３は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ２とＬｂ３との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－２）中、
Ｌｂ４は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ５は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ４とＬｂ５との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－３）中、
Ｌｂ６は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ６とＬｂ７との炭素数合計は、２３以下である。］
式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
２価の飽和炭化水素基としては、Ｌｂ１の２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
Ｌｂ２は、好ましくは単結合である。
Ｌｂ３は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ４は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基であり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ５は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ６は、好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
。
式（ｂ１－１）としては、式（ｂ１－４）～式（ｂ１－８）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Figure 0007204343000094
［式（ｂ１－４）中、
Ｌｂ８は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式（ｂ１－５）中、
Ｌｂ９は、炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１０は、単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ９及びＬｂ１０の合計炭素数は２０以下である。
式（ｂ１－６）中、
Ｌｂ１１は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１２は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１１及びＬｂ１２の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－７）中、
Ｌｂ１３は、炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１４は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１５は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１３～Ｌｂ１５の合計炭素数は１９以下である。
式（ｂ１－８）中、
Ｌｂ１６は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１７は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１８は、単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１６～Ｌｂ１８の合計炭素数は１９以下である。］
Ｌｂ８は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ９は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１０は、好ましくは単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１１は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１２は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１３は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１４は、好ましくは単結合又は炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１５は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１６は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１７は、好ましくは炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１８は、好ましくは単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
式（ｂ１－３）で表される基としては、式（ｂ１－９）～式（ｂ１－１１）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Figure 0007204343000095
式（ｂ１－９）中、
Ｌb19は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb20は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb19及びＬb20の合計炭素数は２３以下である。
式（ｂ１－１０）中、
Ｌb21は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb22は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb23は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb21、Ｌb22及びＬb23の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－１１）中、
Ｌb24は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb25は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb26は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb24、Ｌb25及びＬb26の合計炭素数は２１以下である。
なお、式（ｂ１－９）から式（ｂ１－１１）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
式（ｂ１－４）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000096
式（ｂ１－５）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000097
式（ｂ１－６）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000098
式（ｂ１－７）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000099
式（ｂ１－８）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000100
式（ｂ１－２）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000101
式（ｂ１－９）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000102
式（ｂ１－１０）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000103
Figure 0007204343000104
式（ｂ１－１１）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000105
Figure 0007204343000106
Ｌｂ１としては、式（ｂ１－１）で表される基又は式（ｂ１－２）で表される基が好ましく、式（ｂ１－１）で表される基又は式（ｂ１－２）で表される基において、Ｌｂ２が単結合、又はＬｂ４が炭素数１～４の２価のアルカンジイル基（ただし、該アルカンジイル基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい）であるのがさらに好ましく、式（ｂ１－４）で表される基がさらにより好ましい。
Ｙで表される脂環式炭化水素基としては、式（Ｙ１）～式（Ｙ１１）、式（Ｙ３６）～式（Ｙ３８）で表される基が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－で置き換わる場合、その数は１つでもよいし、２以上でもよい。そのような基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）で表される基が挙げられる。
Figure 0007204343000107
Ｙとしては、好ましくは式（Ｙ１）～式（Ｙ２０）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）又は式（Ｙ４０）のいずれかで表される基であり、より好ましくは式（Ｙ１１）、式（Ｙ１５）、式（Ｙ１６）、式（Ｙ１９）、式（Ｙ２０）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）又は式（Ｙ４０）で表される基であり、さらに好ましくは式（Ｙ１５）、式（Ｙ１６）、式（Ｙ１９）、式（Ｙ２０）、式（Ｙ３０）、式（Ｙ３１）、式（Ｙ３９）又は式（Ｙ４０）である。
Ｙが式（Ｙ２８）～式（Ｙ３５）等のスピロ環である場合には、２つの酸素原子間のアルカンジイル基は、１以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
Ｙで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基又は－（ＣＨ２）ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒｂ１基（式中、Ｒｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す）等が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１２のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数７～２１のアラルキル基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、グリシジルオキシ基又は－（ＣＨ２）ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒｂ１基（式中、Ｒｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す）等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基；トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル等のアリール基等が挙げられる。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
Ｙとしては、以下のものが挙げられる。
Figure 0007204343000108
Figure 0007204343000109
Ｙは、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましく置換基を有していてもよいアダマンチル基であり、該脂環式炭化水素基又はアダマンチル基を構成する－ＣＨ２－は－ＣＯ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。Ｙは、さらに好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基又は下記で表される基である。
Figure 0007204343000110
式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－５５）で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン（Ｂ１－Ａ－１）」等という場合がある。〕が好ましく、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－４）、式（Ｂ１－Ａ－９）、式（Ｂ１－Ａ－１０）、式（Ｂ１－Ａ－２４）～式（Ｂ１－Ａ－３３）、式（Ｂ１－Ａ－３６）～式（Ｂ１－Ａ－４０）、式（Ｂ１－Ａ－４７）～式（Ｂ１－Ａ－５５）のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。
Figure 0007204343000111
Figure 0007204343000112
Figure 0007204343000113
Figure 0007204343000114
Figure 0007204343000115
Figure 0007204343000116
Figure 0007204343000117
Figure 0007204343000118
ここでＲｉ２～Ｒｉ７は、互いに独立に、例えば、炭素数１～４のアルキル基、好ましくはメチル基又はエチル基である。Ｒｉ８は、例えば、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、好ましくは炭素数１～４のアルキル基、炭素数５～１２の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。ＬＡ４は、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、上記と同じ意味を表す。
式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、具体的には、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
好ましい式（Ｂ１）で表される塩におけるスルホン酸アニオンとしては、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－３４）でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。
Figure 0007204343000119
Figure 0007204343000120
Figure 0007204343000121
Figure 0007204343000122
なかでも、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－３）及び式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１６）、式（Ｂ１ａ－１８）、式（Ｂ１ａ－１９）、式（Ｂ１ａ－２２）～式（Ｂ１ａ－３４）のいずれかで表されるアニオンが好ましい。
Ｚ＋の有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。具体的には、式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）のいずれかで表されるカチオン（以下、式番号に応じて「カチオン（ｂ２－１）」等という場合がある。）が挙げられる。
Figure 0007204343000123
式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
Ｒb4～Ｒb6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb4とＲb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。
ｍ２が２以上のとき、複数のＲb7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲb8は同一でも異なってもよい。
Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒb9とＲb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒb12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb11とＲb12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb13～Ｒb18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
Ｌb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２、及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲb13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲb14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲb15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲb16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲb17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲb18は同一又は相異なる。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Ｒb9～Ｒb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数１～１２である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
Figure 0007204343000124
特に、Ｒb9～Ｒb12の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数３～１８、より好ましくは炭素数４～１２である。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、２－メチルアダマンタン－２－イル基、２－エチルアダマンタン－２－イル基、２－イソプロピルアダマンタン－２－イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは２０以下である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－シクロへキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、ビフェニリル基、ナフチル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基が挙げられる。
なお、芳香族炭化水素基に、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基が含まれる場合は、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、ｐ－メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び２－エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Ｒb4とＲb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数３～１８の環が挙げられ、好ましくは炭素数４～１８の環である。また、硫黄原子を含む環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環であり、例えば下記の環が挙げられる。
Figure 0007204343000125
Ｒb9とＲb10とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。例えば、チオラン－１－イウム環（テトラヒドロチオフェニウム環）、チアン－１－イウム環、１，４－オキサチアン－４－イウム環等が挙げられる。
Ｒb11とＲb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
カチオン（ｂ２－１）～カチオン（ｂ２－４）の中でも、好ましくは、カチオン（ｂ２－１）である。
カチオン（ｂ２－１）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Figure 0007204343000126
Figure 0007204343000127
カチオン（ｂ２－２）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Figure 0007204343000128
カチオン（ｂ２－３）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Figure 0007204343000129
カチオン（ｂ２－４）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Figure 0007204343000130
Figure 0007204343000131
酸発生剤（Ｂ）は、上述のスルホン酸アニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－３）及び式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１６）、式（Ｂ１ａ－１８）、式（Ｂ１ａ－１９）、式（Ｂ１ａ－２２）～式（Ｂ１ａ－３４）のいずれかで表されるアニオンと、カチオン（ｂ２－１）又はカチオン（ｂ２－３）との組合せが挙げられる。
酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－４８）でそれぞれ表されるものが挙げられる、中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－３）、式（Ｂ１－５）～式（Ｂ１－７）、式（Ｂ１－１１）～式（Ｂ１－１４）、式（Ｂ１－２０）～式（Ｂ１－２６）、式（Ｂ１－２９）、式（Ｂ１－３１）～式（Ｂ１－４８）で表されるものがとりわけ好ましい。
Figure 0007204343000132
Figure 0007204343000133
Figure 0007204343000134
Figure 0007204343000135
Figure 0007204343000136
Figure 0007204343000137
本発明のレジスト組成物においては、酸発生剤の含有率は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１質量部以上４０質量部以下、より好ましくは３質量部以上３５質量部以下である。本発明のレジスト組成物は、酸発生剤（Ｂ）の１種を単独で含有してもよく、複数種を含有してもよい。
＜溶剤（Ｅ）＞
溶剤（Ｅ）の含有率は、レジスト組成物中、通常９０質量％以上９９．９質量％以下であり、好ましくは９２質量％以上９９質量％以下であり、より好ましくは９４質量％以上９９質量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
溶剤（Ｅ）としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチルケトン、２－ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ－ブチロラクトン等の環状エステル類；等を挙げることができる。溶剤（Ｅ）の１種を単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。
＜クエンチャー（Ｃ）＞
クエンチャー（Ｃ）としては、塩基性の含窒素有機化合物、及び酸発生剤（Ｂ）から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩が挙げられる。クエンチャー（Ｃ）の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．０１～５質量％程度であることが好ましい。
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、１－ナフチルアミン、２－ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、２－，３－又は４－メチルアニリン、４－ニトロアニリン、Ｎ－メチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２－（２－メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’－ジアミノ－１，２－ジフェニルエタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチルジフェニルメタン、２，２’－メチレンビスアニリン、イミダゾール、４－メチルイミダゾール、ピリジン、４－メチルピリジン、１，２－ジ（２－ピリジル）エタン、１，２－ジ（４－ピリジル）エタン、１，２－ジ（２－ピリジル）エテン、１，２－ジ（４－ピリジル）エテン、１，３－ジ（４－ピリジル）プロパン、１，２－ジ（４－ピリジルオキシ）エタン、ジ（２－ピリジル）ケトン、４，４’－ジピリジルスルフィド、４，４’－ジピリジルジスルフィド、２，２’－ジピリジルアミン、２，２’－ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは２，６－ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３－（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ－ｎ－ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
酸発生剤（Ｂ）から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数（ｐＫａ）で示される。酸発生剤（Ｂ）から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常－３＜ｐＫａの塩であり、好ましくは－１＜ｐＫａ＜７の塩であり、より好ましくは０＜ｐＫａ＜５の塩である。
酸発生剤（Ｂ）から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開２０１５－１４７９２６号公報記載の式（Ｄ）で表される塩（以下、「弱酸分子内塩（Ｄ）」という場合がある。）、並びに特開２０１２－２２９２０６号公報、特開２０１２－６９０８号公報、特開２０１２－７２１０９号公報、特開２０１１－３９５０２号公報及び特開２０１１－１９１７４５号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤（Ｂ）から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）である。
Figure 0007204343000138
Figure 0007204343000139
弱酸分子内塩（Ｄ）としては、以下の塩が挙げられる。
Figure 0007204343000140
Figure 0007204343000141
レジスト組成物がクエンチャー（Ｃ）を含有する場合、クエンチャー（Ｃ）の含有率は、レジスト組成物の固形分中、通常、０．０１～５質量％であり、好ましくは０．０１～３質量％である。
〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分（以下「その他の成分（Ｆ）」という場合がある。）を含有していてもよい。その他の成分（Ｆ）に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、本発明の樹脂（Ａ）及び酸発生剤（Ｂ）、並びに、必要に応じて、樹脂（Ａ２）、樹脂（Ｘ）、クエンチャー（Ｃ）、溶剤（Ｅ）及びその他の成分（Ｆ）を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０～４０℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤（Ｅ）に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、０．５～２４時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径０．００３～０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること（いわゆるプリベーク）により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、５０～２００℃であることが好ましく、加熱時間は、１０～１８０秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、１～１．０×１０5Ｐａ程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光（ＥＵＶ）を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理（いわゆるポストエキスポジャーベーク）を行う。加熱温度は、通常５０～２００℃程度、好ましくは７０～１５０℃程度である。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、５～６０℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、５～３００秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２－ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液（以下「有機系現像液」という場合がある）を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、２－ヘキサノン、２－ヘプタノン等のケトン溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤；酢酸ブチル等のエステル溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤；Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤；アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、９０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９５質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び２－ヘプタノンの合計含有率は、５０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物として好適であり、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物としてより好適であり、半導体の微細加工に有用である。
実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで下記条件により求めた値である。
装置：ＨＬＣ－８１２０ＧＰＣ型（東ソー社製）
カラム：TSKgel Multipore HXL-M x 3 + guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：１．０ｍＬ／ｍｉｎ
検出器：ＲＩ検出器
カラム温度：４０℃
注入量：１００μｌ
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
また、化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。
合成例１：式（Ｉ－１）で表される化合物の合成
Figure 0007204343000142
式（Ｉ－１－ａ）で表される化合物２５部、式（Ｉ－１－ｃ）で表される化合物４．５５部及びクロロホルム１００部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合溶液に、式（Ｉ－１－ｂ）で表される化合物３９．１６部を添加し、２３℃で１８時間攪拌した。得られた反応マスに、クロロホルム１４０部及びイオン交換水４５部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に１０％炭酸カリウム水溶液１５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層にイオン交換水６０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を４回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮マスをカラム（シリカゲル６０Ｎ（球状、中性）１００－２１０μｍ；関東化学（株）製、展開溶媒：ｎ－ヘプタン／酢酸エチル＝５／１）分取することにより、式（Ｉ－１－ｄ）で表される化合物４１．２２部を得た。
Figure 0007204343000143
式（Ｉ－１－ｅ）で表される化合物５７．５７部、式（Ｉ－１－ｆ）で表される化合物１８．０９部及びテトラヒドロフラン４００部を混合し、０℃で３０分間攪拌した後、２３℃まで昇温した。得られた混合物に、式（Ｉ－１－ｄ）で表される化合物３５部を添加し、２３℃で１２時間攪拌した。得られた反応マスを濃縮した後、濃縮残渣に、酢酸エチル４００部及びイオン交換水９０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を４回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮マスをカラム（シリカゲル６０Ｎ（球状、中性）１００－２１０μｍ；関東化学（株）製、展開溶媒：ｎ－ヘプタン／酢酸エチル＝５／１）分取することにより、式（Ｉ－１）で表される化合物２４．９１部を得た。
ＭＡＳＳ（質量分析）：２８１．２［Ｍ＋Ｈ］＋
合成例２：式（Ｉ－４）で表される化合物の合成
Figure 0007204343000144
式（Ｉ－４－ａ）で表される化合物２．７５部、式（Ｉ－１－ｃ）で表される化合物０．６８部及びクロロホルム５０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合溶液に、式（Ｉ－１－ｂ）で表される化合物５．８７部を添加し、２３℃で１８時間攪拌した。得られた反応マスに、クロロホルム５０部及びイオン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に１０％炭酸カリウム水溶液５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層にイオン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を４回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮マスをカラム（シリカゲル６０Ｎ（球状、中性）１００－２１０μｍ；関東化学（株）製、展開溶媒：ｎ－ヘプタン／酢酸エチル＝５／１）分取することにより、式（Ｉ－４）で表される化合物１．１９部を得た。
ＭＡＳＳ（質量分析）：３６９．２［Ｍ＋Ｈ］＋
合成例３：式（Ｉ－１０）で表される化合物の合成
Figure 0007204343000145
式（Ｉ－１０－ａ）で表される化合物３．５１部、式（Ｉ－１－ｃ）で表される化合物０．４５部及びクロロホルム５０部を混合し、２３℃で３０分間攪拌した。得られた混合溶液に、式（Ｉ－１－ｂ）で表される化合物３．９１部を添加し、２３℃で１８時間攪拌した。得られた反応マスに、クロロホルム５０部及びイオン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に１０％炭酸カリウム水溶液５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層にイオン交換水５０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を４回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮マスをカラム（シリカゲル６０Ｎ（球状、中性）１００－２１０μｍ；関東化学（株）製、展開溶媒：ｎ－ヘプタン／酢酸エチル＝５／１）分取することにより、式（Ｉ－１０）で表される化合物１．８８部を得た。
ＭＡＳＳ（質量分析）：３３９．２［Ｍ＋Ｈ］＋
合成例４：式（Ｉ－１９）で表される化合物の合成

Figure 0007204343000146
式（Ｉ－１９－ａ）で表される化合物１．２８部、アセトニトリル３０部、ピリジン２．３４部及び式（Ｉ－１９－ｂ）で表される化合物６．１４部を混合し、２３℃で６時間攪拌した。得られた混合物に、クロロホルム５０部及びイオン交換水３０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に５％シュウ酸水溶液２０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層にイオン交換水３０部を加えて２３℃で３０分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を３回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮マスをカラム（シリカゲル６０Ｎ（球状、中性）１００－２１０μｍ；関東化学（株）製、展開溶媒：ｎ－ヘプタン／酢酸エチル＝５／１）分取することにより、式（Ｉ－１９）で表される化合物０．７４部を得た。
ＭＡＳＳ（質量分析）：３３７．２［Ｍ＋Ｈ］＋
樹脂の合成
樹脂の合成において使用した化合物（モノマー）を下記に示す。
Figure 0007204343000147
以下、これらのモノマーを式番号に応じて「モノマー（ａ１－１－３）」等という。
合成例５〔樹脂Ａ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－１）〕が、１９：２５：３８：１８の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．６×１０３である樹脂Ａ１を収率５８％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は１００％）を有するものである。
Figure 0007204343000148
合成例６〔樹脂Ａ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－１）〕が、１９：２５：３８：１８の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、６時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．２×１０３である樹脂Ａ２を収率４８％で得た。この樹脂Ａ２は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は６３％）を有するものである。
Figure 0007204343000149
合成例７〔樹脂Ａ３の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－１）〕が、１９：８１の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、６時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．９×１０３である樹脂Ａ３を収率５５％で得た。この樹脂Ａ３は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は６０％）を有するものである。
Figure 0007204343000150
合成例８〔樹脂Ａ４の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－１）〕が、２５：３８：３７の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．８×１０３である樹脂Ａ４を収率６０％で得た。この樹脂Ａ４は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は１００％）を有するものである。
Figure 0007204343000151
合成例９〔樹脂Ａ５の合成〕
モノマーとして、モノマー（Ｉ－１）を用い、このモノマーに、モノマーの質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、３時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．４×１０３である樹脂Ａ５を収率４８％で得た。この樹脂Ａ５は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は５０％）を有するものである。
Figure 0007204343000152
合成例１０〔樹脂Ａ６の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－０Ｘ－１）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－０Ｘ－１）：モノマー（Ｉ－１）〕が、６３：３７の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．６×１０３である樹脂Ａ６を収率５８％で得た。この樹脂Ａ６は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は１００％）を有するものである。
Figure 0007204343000153
合成例１１〔樹脂Ａ７の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（Ｉ－１）〕が、１２：２０：３５：３：１５：１５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．９×１０３である樹脂Ａ７を収率６３％で得た。この樹脂Ａ７は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は１００％）を有するものである。
Figure 0007204343000154
合成例１２〔樹脂Ａ８の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－０－７）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－０－７：モノマー（Ｉ－１）〕が、３５：６５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．６×１０３である樹脂Ａ８を収率５８％で得た。この樹脂Ａ８は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は１００％）を有するものである。
Figure 0007204343000155
合成例１３〔樹脂Ａ９の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）及びモノマー（Ｉ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（Ｉ－１）〕が、１２：２０：３５：３：１５：１５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、３時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．７×１０３である樹脂Ａ９を収率５７％で得た。この樹脂Ａ９は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は５０％）を有するものである。
Figure 0007204343000156
合成例１４〔樹脂Ａ１０の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－４）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－４）〕が、１９：２５：３８：１８の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、６時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．７×１０３である樹脂Ａ１０を収率４２％で得た。この樹脂Ａ１０は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－４）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は５５％）を有するものである。
Figure 0007204343000157
合成例１５〔樹脂Ａ１１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－１０）〕が、１９：２５：３８：１８の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、６時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．９×１０３である樹脂Ａ１１を収率６０％で得た。この樹脂Ａ１１は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１０）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は５４％）を有するものである。
Figure 0007204343000158
合成例１６〔樹脂Ａ１２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）及びモノマー（Ｉ－１９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（Ｉ－１９）〕が、１９：２５：３８：１８の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、６時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．５×１０３である樹脂Ａ１２を収率４８％で得た。この樹脂Ａ１２は、以下の構造単位（モノマー（Ｉ－１９）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は５１％）を有するものである。
Figure 0007204343000159
合成例１７〔樹脂ＡＸ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－４－２）を用い、このモノマーに、モノマーの質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１ｍｏｌ％及び３ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液を１５℃に冷却した後、ｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約６．４×１０３である樹脂ＡＸ１を収率４８％で得た。この樹脂ＡＸ１は、以下の構造単位（モノマー（ａ１－４－２）の全エトキシエチル基におけるエトキシエチル基の脱離率は３８％）を有するものである。
Figure 0007204343000160
＜レジスト組成物の調製＞
表１に示す各成分を混合して溶解することにより得られた混合物を孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過し、レジスト組成物を調製した。
Figure 0007204343000161
＜樹脂＞
Ａ１～Ａ１２、ＡＸ１：樹脂Ａ１～樹脂Ａ１２、樹脂ＡＸ１
＜酸発生剤（Ｂ）＞
Ｂ１－４３：式（Ｂ１－４３）で表される塩（特開２０１６－４７８１５号公報の実施例に従って合成）
Figure 0007204343000162
ＢＸ１：（和光純薬工業（株）製）
Figure 0007204343000163
ＢＸ２：（和光純薬工業（株）製）
Figure 0007204343000164
ＢＸ３：（和光純薬工業（株）製）
Figure 0007204343000165
＜クエンチャー（Ｃ）＞
Ｃ１：特開２０１１－３９５０２号公報記載の方法で合成
Figure 0007204343000166
＜溶剤＞
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００部
プロピレングリコールモノメチルエーテル １５０部
γ－ブチロラクトン ５部
（レジスト組成物の電子線露光評価：アルカリ現像）
６インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて９０℃で６０秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が０．０４μｍとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表１の「PB」欄に示す温度で６０秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔（株）日立製作所製の「ＨＬ－８００Ｄ ５０ｋｅＶ」〕を用い、露光量を段階的に変化させてラインアンドスペースパターンを直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表１の「PEB」欄に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行い、さらに２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間のパドル現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
得られたレジストパターン（ラインアンドスペースパターン）を走査型電子顕微鏡で観察し、６０ｎｍのラインアンドスペースパターンのライン幅とスペース幅とが１：１となる露光量を実効感度とした。
ラインエッジラフネス評価（ＬＥＲ）：実効感度で製造されたレジストパターンの側壁面の凹凸の振れ幅を走査型電子顕微鏡で測定し、ラインエッジラフネスを求めた。その結果を表２に示す。
Figure 0007204343000167
（レジスト組成物の電子線露光評価：酢酸ブチル現像）
６インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて９０℃で６０秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が０．０４μｍとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表１の「PB」欄に示す温度で６０秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔（株）日立製作所製の「ＨＬ－８００Ｄ ５０ｋｅＶ」〕を用い、露光量を段階的に変化させてラインアンドスペースパターンを直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表１の「PEB」欄に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として酢酸ブチル（東京化成工業（株）製）を用いて、２３℃で２０秒間ダイナミックディスペンス法によって現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
得られたレジストパターン（ラインアンドスペースパターン）を走査型電子顕微鏡で観察し、６０ｎｍのラインアンドスペースパターンのライン幅とスペース幅とが１：１となる露光量を実効感度とした。
ラインエッジラフネス評価（ＬＥＲ）：実効感度で製造されたレジストパターンの側壁面の凹凸の振れ幅を走査型電子顕微鏡で測定し、ラインエッジラフネスを求めた。その結果を表３に示す。
Figure 0007204343000168
本発明の化合物に由来する構造単位を有する樹脂を含有するレジスト組成物は、得られるレジストパターンのラインエッジラフネス（ＬＥＲ）に優れるため、半導体の微細加工に好適であり、産業上極めて有用である。

Claims (16)

  1. 式（Ｉ）で表される構造単位を２種以上含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000169
    ［式（Ｉ）中、
    Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ１は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ２は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表し、該酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000170
    ［式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲaa1及びＲaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
    ｎａａは、０又は１を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000171
    ［式（２ａ）中、Ｒaa1’及びＲaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒaa3’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲaa2’及びＲaa3’は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘａ－とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
    Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000172
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌｂ１は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ＋は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000173
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌｂ２は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌｂ３は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ２とＬｂ３との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌｂ４は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌｂ５は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ４とＬｂ５との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌｂ６は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌｂ７は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ６とＬｂ７との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000174
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒb4～Ｒb6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒb4とＲb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲb7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲb8は同一でも異なってもよい。
    Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒb9とＲb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒb12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒb11とＲb12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb13～Ｒb18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲb13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲb14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲb15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲb16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲb17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲb18は同一又は相異なる。］
  2. 式（Ｉ）で表される構造単位と、式（ａ２－Ａ）で表される構造単位又は式（ａ２－１）で表される構造単位とを含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000175
    ［式（Ｉ）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ ２ は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表し、該酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000176
    ［式（１ａ）中、Ｒ aa1 、Ｒ aa2 及びＲ aa3 は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲ aa1 及びＲ aa2 は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
    ｎａａは、０又は１を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000177
    ［式（２ａ）中、Ｒ aa1’ 及びＲ aa2’ は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒ aa3’ は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲ aa2’ 及びＲ aa3’ は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘ ａ －とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
    Ｘ a は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000178
    ［式（ａ２－Ａ）中、
    Ｒ a50 は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
    Ｒ a51 は、ハロゲン原子、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
    Ａ a50 は、単結合又は ＊ －Ｘ a51 －（Ａ a52 －Ｘ a52 ） nｂ －を表し、＊は－Ｒ a50 が結合する炭素原子との結合手を表す。
    Ａ a52 は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    Ｘ a51 及びＸ a52 は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
    ｎｂは、０又は１を表す。
    ｍｂは０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲ a51 は互いに同一であっても異なってもよい。］
    Figure 0007204343000179
    ［式（ａ２－１）中、
    Ｌ a3 は、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ 2 ） k2 －ＣＯ－Ｏ－を表し、
    ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒ a14 は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ a15 及びＲ a16 は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
    ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000180
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000181
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000182
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  3. 式（Ｉ）で表される構造単位と、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも２種とを含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000183
    ［式（Ｉ）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ ２ は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表し、該酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000184
    ［式（１ａ）中、Ｒ aa1 、Ｒ aa2 及びＲ aa3 は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲ aa1 及びＲ aa2 は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
    ｎａａは、０又は１を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000185
    ［式（２ａ）中、Ｒ aa1’ 及びＲ aa2’ は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒ aa3’ は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲ aa2’ 及びＲ aa3’ は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘ ａ －とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
    Ｘ a は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000186
    ［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
    Ｌ a01 、Ｌ ａ１ 及びＬ ａ２ は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ ２ ） ｋ１ －ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒ a01 、Ｒ ａ４ 及びＲ ａ５ は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ a02 、Ｒ a03 及びＲ a04 は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
    Ｒ ａ６ 及びＲ ａ７ は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
    ｍ１は０～１４のいずれかの整数を表す。
    ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
    ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000187
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000188
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000189
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  4. 式（Ｉ）で表される構造単位を含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000190
    ［式（Ｉ）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒは、置換基を有していてもよい炭素数６～３６の３価又は４価の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ ２ は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表し、該酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000191
    ［式（１ａ）中、Ｒ aa1 、Ｒ aa2 及びＲ aa3 は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲ aa1 及びＲ aa2 は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
    ｎａａは、０又は１を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000192
    ［式（２ａ）中、Ｒ aa1’ 及びＲ aa2’ は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒ aa3’ は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲ aa2’ 及びＲ aa3’ は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘ ａ －とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
    Ｘ a は、酸素原子又は硫黄原子を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000193
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000194
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000195
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  5. 式（Ｉ’）で表される構造単位を２種以上含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000196
    ［式（Ｉ’）中、
    Ｒ１は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ１は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒ’は、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基を表す。
    Ｒ２’は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表す。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000197
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌｂ１は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ）２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ＋は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000198
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌｂ２は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌｂ３は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ２とＬｂ３との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌｂ４は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌｂ５は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ４とＬｂ５との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌｂ６は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌｂ７は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌｂ６とＬｂ７との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000199
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒb4～Ｒb6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒb4とＲb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲb7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲb8は同一でも異なってもよい。
    Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒb9とＲb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒb12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒb11とＲb12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒb13～Ｒb18は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲb13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲb14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲb15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲb16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲb17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲb18は同一又は相異なる。］
  6. 式（Ｉ’）で表される構造単位と、式（ａ２－Ａ）で表される構造単位又は式（ａ２－１）で表される構造単位とを含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000200
    ［式（Ｉ’）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒ’は、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基を表す。
    Ｒ ２ ’は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表す。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000201
    ［式（ａ２－Ａ）中、
    Ｒ a50 は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
    Ｒ a51 は、ハロゲン原子、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
    Ａ a50 は、単結合又は ＊ －Ｘ a51 －（Ａ a52 －Ｘ a52 ） nｂ －を表し、＊は－Ｒ a50 が結合する炭素原子との結合手を表す。
    Ａ a52 は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    Ｘ a51 及びＸ a52 は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
    ｎｂは、０又は１を表す。
    ｍｂは０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲ a51 は互いに同一であっても異なってもよい。］
    Figure 0007204343000202
    ［式（ａ２－１）中、
    Ｌ a3 は、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ 2 ） k2 －ＣＯ－Ｏ－を表し、
    ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒ a14 は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ a15 及びＲ a16 は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
    ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000203
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000204
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000205
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  7. 式（Ｉ’）で表される構造単位と、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも２種とを含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000206
    ［式（Ｉ’）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、単結合又は－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒ’は、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基を表す。
    Ｒ ２ ’は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表す。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000207
    ［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
    Ｌ a01 、Ｌ ａ１ 及びＬ ａ２ は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ ２ ） ｋ１ －ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒ a01 、Ｒ ａ４ 及びＲ ａ５ は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ a02 、Ｒ a03 及びＲ a04 は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
    Ｒ ａ６ 及びＲ ａ７ は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
    ｍ１は０～１４のいずれかの整数を表す。
    ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
    ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000208
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000209
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000210
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  8. 式（Ｉ’）で表される構造単位を含む樹脂及び式（Ｂ１）で表される酸発生剤を含有するレジスト組成物。
    Figure 0007204343000211
    ［式（Ｉ’）中、
    Ｒ １ は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｘ １ は、－ＣＯ－Ｏ－＊（＊は、Ａｒとの結合位を表す。）を表す。
    Ａｒ’は、ベンゼントリイル基又はベンゼンテトライル基を表す。
    Ｒ ２ ’は、それぞれ独立に、水素原子又は酸不安定基を表す。
    ｎは、２又は３を表す。］
    Figure 0007204343000212
    ［式（Ｂ１）中、
    Ｑ ｂ１ 及びＱ ｂ２ は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
    Ｌ ｂ１ は、式（ｂ１－１）、式（ｂ１－２）及び式（ｂ１－３）のいずれかで表される基を表す。
    Ｙは、置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－、－Ｓ（Ｏ） ２ －又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    Ｚ ＋ は、式（ｂ２－１）、式（ｂ２－２）、式（ｂ２－３）及び式（ｂ２－４）のいずれかで表される有機カチオンを表す。］
    Figure 0007204343000213
    ［式（ｂ１－１）中、
    Ｌ ｂ２ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ３ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ２ とＬ ｂ３ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－２）中、
    Ｌ ｂ４ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ５ は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ４ とＬ ｂ５ との炭素数合計は、２２以下である。
    式（ｂ１－３）中、
    Ｌ ｂ６ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
    Ｌ ｂ７ は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ ２ －は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
    ただし、Ｌ ｂ６ とＬ ｂ７ との炭素数合計は、２３以下である。］
    Figure 0007204343000214
    ［式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）において、
    Ｒ b4 ～Ｒ b6 は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b4 とＲ b5 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b7 及びＲ b8 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。ｍ２が２以上のとき、複数のＲ b7 は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲ b8 は同一でも異なってもよい。
    Ｒ b9 及びＲ b10 は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。Ｒ b9 とＲ b10 とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b11 は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
    Ｒ b12 は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。Ｒ b11 とＲ b12 とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ 2 －は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
    Ｒ b13 ～Ｒ b18 は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
    Ｌ b31 は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
    ｏ２、ｐ２、ｓ２及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
    ｕ２は０又は１を表す。
    ｏ２が２以上のとき、複数のＲ b13 は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲ b14 は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲ b15 は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲ b16 は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲ b17 は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲ b18 は同一又は相異なる。］
  9. Ｒ２’における酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である請求項５～８のいずれかに記載のレジスト組成物。
    Figure 0007204343000215
    ［式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～８のアルキル基、もしくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を表すか、又はＲaa1及びＲaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数３～２０の脂環式炭化水素基を形成する。
    ｎａａは、０又は１を表す。
    ＊は結合手を表す。］
    Figure 0007204343000216
    ［式（２ａ）中、Ｒaa1’及びＲaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒaa3’は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、又はＲaa2’及びＲaa3’は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｘａ－とともに炭素数３～２０の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれるメチレン基は、酸素原子又は硫黄原子で置き換わってもよい。
    Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
    ＊は結合手を表す。］
  10. Ｘ１が、単結合である請求項１～３及び５～７、並びに、請求項５～７のいずれかを引用する請求項９のいずれかに記載のレジスト組成物。
  11. ｎが、２である請求項１～１０のいずれかに記載のレジスト組成物。
  12. 前記樹脂が、
    式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位、式（ａ１－２）で表される構造単位、式（ａ１－０Ｘ）で表される構造単位、式（ａ２－Ａ）で表される構造単位、式（ａ２－１）で表される構造単位、式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位、式（ａ３－３）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む請求項１、４、５及び８、並びに、請求項１、４、５又は８を引用する請求項９～１１のいずれかに記載のレジスト組成物。
    Figure 0007204343000217
    ［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
    Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
    Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
    ｍ１は０～１４のいずれかの整数を表す。
    ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
    ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000218
    ［式（ａ１－０Ｘ）中、
    Ｒｘ１は、水素原子、メチル基又はエチル基を表す。
    Ｒｘ２及びＲｘ３は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和炭化水素基を表す。
    Ａｒｘ１は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表す。］
    Figure 0007204343000219
    ［式（ａ２－Ａ）中、
    Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
    Ｒa51は、ハロゲン原子、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
    Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合手を表す。
    Ａa52は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
    ｎｂは、０又は１を表す。
    ｍｂは０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なってもよい。］
    Figure 0007204343000220
    ［式（ａ２－１）中、
    Ｌa3は、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ2）k2－ＣＯ－Ｏ－を表し、
    ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒa14は、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒa15及びＲa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
    ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000221
    ［式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）及び式（ａ３－４）中、
    Ｌａ４、Ｌａ５及びＬａ６は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ３－ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
    Ｌａ７は、－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－Ｌａ９－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－ＣＯ－Ｌａ９－Ｏ－を表す。
    Ｌａ８及びＬａ９は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    ＊はカルボニル基との結合手を表す。
    Ｒａ１８、Ｒａ１９及びＲａ２０は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒａ２４は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
    Ｒａ２１は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
    ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及び／又はＲａ２５は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。］
  13. 前記樹脂が、
    式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位、式（ａ１－２）で表される構造単位、式（ａ１－０Ｘ）で表される構造単位、式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位、式（ａ３－３）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む請求項２及び６、並びに、請求項２又は６を引用する請求項９～１１のいずれかに記載のレジスト組成物。
    Figure 0007204343000222
    ［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
    Ｌ a01 、Ｌ ａ１ 及びＬ ａ２ は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ ２ ） ｋ１ －ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合手を表す。
    Ｒ a01 、Ｒ ａ４ 及びＲ ａ５ は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ a02 、Ｒ a03 及びＲ a04 は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
    Ｒ ａ６ 及びＲ ａ７ は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
    ｍ１は０～１４のいずれかの整数を表す。
    ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
    ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
    Figure 0007204343000223
    ［式（ａ１－０Ｘ）中、
    Ｒ ｘ１ は、水素原子、メチル基又はエチル基を表す。
    Ｒ ｘ２ 及びＲ ｘ３ は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和炭化水素基を表す。
    Ａｒ ｘ１ は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表す。］
    Figure 0007204343000224
    ［式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）及び式（ａ３－４）中、
    Ｌ ａ４ 、Ｌ ａ５ 及びＬ ａ６ は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ ２ ） ｋ３ －ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
    Ｌ ａ７ は、－Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －ＣＯ－Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －ＣＯ－Ｏ－Ｌ ａ９ －ＣＯ－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －Ｏ－ＣＯ－Ｌ ａ９ －Ｏ－を表す。
    Ｌ ａ８ 及びＬ ａ９ は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    ＊はカルボニル基との結合手を表す。
    Ｒ ａ１８ 、Ｒ ａ１９ 及びＲ ａ２０ は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ ａ２４ は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
    Ｒ ａ２１ は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    Ｒ ａ２２ 、Ｒ ａ２３ 及びＲ ａ２５ は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
    ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲ ａ２１ 、Ｒ ａ２２ 、Ｒ ａ２３ 及び／又はＲ ａ２５ は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。］
  14. 前記樹脂が、
    式（ａ１－０Ｘ）で表される構造単位、式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位、式（ａ３－３）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも１種をさらに含む請求項３及び７、並びに、請求項３又は７を引用する請求項９～１１のいずれかに記載のレジスト組成物。
    Figure 0007204343000225
    ［式（ａ１－０Ｘ）中、
    Ｒ ｘ１ は、水素原子、メチル基又はエチル基を表す。
    Ｒ ｘ２ 及びＲ ｘ３ は、互いに独立に、炭素数１～６の飽和炭化水素基を表す。
    Ａｒ ｘ１ は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表す。］
    Figure 0007204343000226
    ［式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）及び式（ａ３－４）中、
    Ｌ ａ４ 、Ｌ ａ５ 及びＬ ａ６ は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－（ＣＨ ２ ） ｋ３ －ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
    Ｌ ａ７ は、－Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －ＣＯ－Ｏ－、 ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －ＣＯ－Ｏ－Ｌ ａ９ －ＣＯ－Ｏ－又は ＊ －Ｏ－Ｌ ａ８ －Ｏ－ＣＯ－Ｌ ａ９ －Ｏ－を表す。
    Ｌ ａ８ 及びＬ ａ９ は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
    ＊はカルボニル基との結合手を表す。
    Ｒ ａ１８ 、Ｒ ａ１９ 及びＲ ａ２０ は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を表す。
    Ｒ ａ２４ は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
    Ｒ ａ２１ は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    Ｒ ａ２２ 、Ｒ ａ２３ 及びＲ ａ２５ は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
    ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
    ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
    ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
    ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲ ａ２１ 、Ｒ ａ２２ 、Ｒ ａ２３ 及び／又はＲ ａ２５ は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。］
  15. 式（Ｂ１）で表される酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する請求項１～１４のいずれかに記載のレジスト組成物。
  16. （１）請求項１～１５のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
    （２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
    （３）組成物層に露光する工程、
    （４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
    （５）加熱後の組成物層を現像する工程、
    を含むレジストパターンの製造方法。
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