JP2021521646A - 集積回路のプロファイリングおよび異常検出 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2018年4月16日に出願された米国仮特許出願第62/657,986号である「INTEGRATED CIRCUIT PROFILING AND ANOMALY DETECTION」の優先権の利益を主張するものであり、その内容全体は参照により本明細書にすべて組み込まれる。
Si製造(工程)空間
Si製造(工程)空間とは、多数の製造されたダイにわたる、Si関連パラメータ(工程パラメータ)の同時分布である。工程空間とは、多数の製造されたダイにわたるデバイス関連パラメータの同時分布である、例えば、多数の製造されたダイにわたる、デバイスしきい値電圧の分布である。工程空間は、多数の製造されたダイの性能分布に影響を与える、例えば、多くのダイにわたる最大周波数(Fmax)および漏れ電流(Ioff)の同時分布に影響を与える。本明細書で使用される場合、工程空間または製造空間という用語は、特定のダイの製造によって表される、可能な製造パラメータの集合(すなわち、公差、製造のばらつきなど)を意味する。
特定の工程技術は、例えば、
モンテカルロシミュレーションなど、特定の工程によって製造された特定のIC設計をシミュレートすることによって生成されるデータ。
ウェーハテスト中に記録されたデータなど、製造されたダイから測定されるデータ。
IC設計のシミュレートされたパラメータのスーパー集合、テストされたダイセンサ値など、製造されたIC性能(クラス、外れ値など)の決定に使用される値の集合または予想される分布。本明細書では、シグネチャという単語の使用のほとんどは、データという単語に置き換えられてもよい。
センサ/エージェントは、ダイに実装された電気回路であり、特定のデバイスパラメータ、サブ回路パラメータ、ダイレベルパラメータなどを感知または測定するために使用される。例えば、センサは、特定の論理セルの遅延を測定する。
IC設計の動作パラメータは、工程空間にわたるIC設計の電気的パラメータなど、特定のシミュレートされた製造工程を伴う特定のIC設計のシミュレートされた電子パラメータ(すなわち、電圧、電流、遅延など)である。これは、センサ(エージェント)を配設するための候補となり得る回路位置におけるすべての可能なパラメータの集合など、測定され得る可能性のあるパラメータの多数など、有限集合であってもよい。
デバイス工程パラメータは、トランジスタ、FET、ダイオードなどの特定の工程における個々の(単一)デバイスの、デバイス動作パラメータのカタログなどのシミュレートされたデバイス動作パラメータの集合である。デバイスパラメータは、モンテカルロ(MC)シミュレーションを行うことによって、製造空間上でシミュレーションされる。例えば、カタログには、特定のデバイス(IDSAT)の飽和電流のMCデータが含まれる。デバイス工程パラメータカタログは、SVD計算の入力として使用される。
相互接続シミュレーション値は、相互接続ネットワークのシミュレートされた遅延パラメータ値の集合である。例えば、デバイスを接続する抵抗器−コンデンサ(RC)ネットワークの遅延である。RCネットワークの遅延値は、相互接続抽出方法を行った後、回路シミュレーションを行うことによって、製造空間上で抽出される。
分類またはプロファイリングは、ダイをSiプロファイルにビニングする工程であり、各ビン(プロファイル)は、IC設計パラメータのクラスタ、および高カバレッジのパラメータなどの結果として生じるデバイスレベルのパラメータを含む。プレSi中、IC設計パラメータおよびデバイス工程パラメータをプロファイリング工程の入力として使用されてもよい。ポストSi中、センサ値および/または特定の高カバレッジ測定値は、プロファイリング工程の入力として使用されてもよい。
現場性能(仕様、欠陥など)に適用され得るシグネチャ(データ)値および分布の特定のクラスタ、例えば、現場性能(仕様、欠陥など)に適用され得る製造空間(データ)値および分布の特定のクラスタである。
同じSiプロファイル/分類を備えた物理的なダイの群。加えて、ファミリーとは、シミュレートされたIC設計のシミュレートされた値およびデバイス工程のシミュレートされた値が、物理的なファミリーメンバーと同じSiプロファイル/分類を有するMCサンプルの群である。
行列σのSVDは、Σ=UDVTとなる3つの行列U、D、およびVの集合であり、式中、UおよびVは、Σの左右の主ベクトルの直交行列を示し、Dは、Σの特異値として知られる対角要素を有する対角行列を表す。プロファイリングの実施では、Σは共分散行列を示し、したがってU=Vである。主ベクトルに対応する特異値は、ベクトル方向の分散であってもよい。
高カバレッジ測定とは、特定のダイを特徴付ける、ポストSiのダイレベル測定であり、例えば、IDDQテスト中に測定された特定のダイの総漏れ電流、または回路を用いた機能テスト中のIC論理パスの大規模なタイミングマージン測定などが挙げられる。
推定器は、プロファイル(プロファイル分類器)、予測HCM値(HCM変換関数)、予測部分集合(DRR)値、予測製造点などを決定するために、センサ値を入力引数として使用するなど、値間を変換する(すなわち、ダイの動作値間の関係を分析的に、経験的に、発見的になどに定義する)関数および/または規則である。本明細書で使用される場合、製造点という用語は、IC設計の製造を決定するパラメータの集合を意味する。HCM値とセンサ値との間にも同様の関係が判明する場合がある。ダイテストおよびプロテアン分析の結果は、操作上、工業規格を満たすか、またはそれを超え得る特定のダイをより良好に決定することができる。
外れ値とは、測定されたHCMなどが、同じプロファイルのIC群の測定値の分布から予想される値など、ダイのプロファイルから予想される値の範囲と一致しないダイである(すなわち、平均値にプラスまたはマイナスの複数の標準偏差)。
本明細書で説明されるのは、ダイ分類(プロファイリング)および/または外れ値検出および/または製造点ビニング/推定のためのデバイス、システム、および方法である。これらの工程は、集積回路製造(IC)およびウェーハテストを改善するなどのテストに役立ち得、それにより、IC障害によるエンドユーザ製品の欠陥をより少なくする(すなわち、性能または動作上の外れ値検出)。
−漏れVSS、
−漏れVDD、
−総漏れ
−平均遅延立ち下がり、
−平均遅延立ち上がり、
−総セル遅延
−総相互接続遅延(RC遅延)
−Fmax
−タイミングマージン
−SRAMタイプごとのSRAM最小電圧
−チップVDD−すべてのSRAMタイプおよびレジスタファイルおよび状態要素タイプごとの最小値
など、(さまざまな電圧および温度に対して)推定する値が含まれる。
ステップ1:測定値Mの表現ベクトルを定義し、
ステップ2:MCシミュレーションを実行して、測定値Mの共同統計学的動作を抽出するように定義されてもよい。
ステップ1:工程パラメータPのベクトルを定義する
ステップ2:MCシミュレーションを実行して、パラメータPの共同統計学的動作、測定値Mの動作との共同統計学的動作を抽出するように定義されてもよい。
ステップ1:Fmax測定値をIC設計の最大動作周波数として定義してもよい。Fmaxは、ICのクリティカルパス(CP)、すなわち、制限遅延を含むパスによって決定されてもよいため、最大周波数が制限される
ステップ2:複数の製造工程値(すなわち、作製パラメータ範囲)の各々について、特定のIC設計でCPを見出してもよい。例えば、製造範囲全体にわたって周波数を制限するCPの集合を決定する。
ステップ1:総漏れ測定値をすべてのセルの漏れの合計として定義し、
ステップ2:モンテカルロ(MC)シミュレーションを使用して、製造範囲の各工程点における各セルの漏れ電流を抽出するように生成されてもよい。
ステップ1:総セル遅延測定値をすべてのセル遅延の合計として定義し、
ステップ2:各工程点におけるセル遅延は、モンテカルロ(MC)シミュレーションを使用して計算されるように生成されてもよい。
例えば、特定のIC設計の総相互接続(RC)遅延シグネチャは、
ステップ1:すべてのRC遅延の合計として総RC遅延測定値を定義し、
ステップ2:モンテカルロ(MC)シミュレーションおよび異なるRCモデルを使用して、各工程点におけるRC遅延を抽出するように生成されてもよい。
ステップ1:最小必要電圧をすべてのSRAMセルで必要な最小電圧として定義し、
ステップ2:各工程点で必要な最小電圧は、モンテカルロ(MC)シミュレーションを使用して計算されるように生成される特定のIC設計のSRAM動作に基づいている。
1.遅延センサは、特定の論理セルの遅延を感知してもよい。その周波数が論理セルの平均遅延時間を反映しているリングオシレータ回路によって実装されてもよい。
2.別の遅延センサは、特定の論理セルの立ち上がりエッジ、および論理セルの立ち下がりエッジの遅延を別々の方法で感知してもよい。
3.別の遅延センサは、金属ごと、または金属の部分集合ごとになど、RC遅延を感知してもよい。
4.漏れセンサは、その全体が参照により本明細書に組み込まれ、「INTEGRATED CIRCUIT SUB−THRESHOLD LEAKAGE SENSOR」と題された、米国仮出願第62/614,706号に記載されているように、特定のPデバイスおよび特定のNデバイスの漏れを別々の方法で感知するために使用されてもよい。
については、すなわち、
−
−
−
次に、返されるベクトルの集合は、
プロファイリングするためのSVDの実施は、
−正規分布ではない列を正規化する、例えば、対数正規分布から得られた値に対してlog()を適用するステップと、
−表1の列をスケーリングする:μ=0、σ=1ステップと、
−感度ベクトルに対して、部分集合Pcomplete取られていない場合、重みベクトル
−表1から共分散行列Σを生成するステップと、
−Σに対してSVD演算を行うことによってSVDシグネチャを生成するステップと、があるが、
2つのサンプル(i、j)間の距離を、所与の数のSVDシグネチャ(入力)で計算された重み付きqノルムの距離Δ(i、j)として定義し、
式中、
−ファミリーを定義するステップ:サンプルから特定のファミリーまでの距離は、ファミリーを定義するサンプルまでの距離である
1.第1のサンプルをファミリーとして定義する
2.すべてのサンプルを調べて、定義されたすべてのファミリーに対する現在のサンプルの距離Δが所与の半径よりも大きいとき、新しいファミリーを定義する
−サンプルを最も近いファミリーに関連付ける(補正工程)
1.すべてのサンプルを調べて、距離が最小のファミリーにサンプルを関連付ける
式中、左項は、すべてのSVD主ベクトルの合計であり、右項は、
iおよびjが2つのサンプルを表すとすると、誤差
他のノルムについては、上記の計算は選択されたノルムに対するものになる。
プレSi推定器に基づいて、SVDシグネチャ値が各サンプルに対して計算される。推定器は、ポストSi段階で収集されたデータに基づいて、調節、調整、改善などされてもよい。ファミリーは、以下のように生成される。
−第1のサンプルをファミリーとして定義する
−新しいサンプルを付与
○定義されたすべてのファミリーに対する新しいサンプルの距離Δが所与の半径(入力)よりも大きいとき−新しいファミリーを定義する
○定義されたすべてのファミリーに対する新しいサンプルの距離Δが所与の半径(入力)よりも大きくないとき−最も近いファミリーに関連付ける
−新しいファミリーが定義されたら、すべてのサンプルを調べて、それらを最も近いファミリーに関連付ける。
任意選択で、ICのファミリーは、デバイスタイプ{VT、IDS}x{p、n}x{SVT、LVT}ごとのデバイスパラメータの中央値によってポストSiに分類されてもよい。多角形の各頂点は、その標準値/中心値に対して正規化されたデバイスパラメータ値(シグマ項で)を表す。
1.ポストSiデータは、高カバレッジ測定値ごとにファミリーごとに収集される
2.正規分布ではない任意のデータを正規化する
3.各データ集合の平均および分散を計算する
4.付与された擬陽性率に基づいて、高カバレッジ測定値の境界がファミリーごとに計算される
5.あるいは、高カバレッジ測定値の境界は、経験的な下限および上限のアルファ分位値として取ることができ、アルファは、偽陽性率によって決定される。このアプローチは、所与のファミリーの特定の高カバレッジ測定値を正規化することができないときなどに適用されてもよい。
6.任意選択で、推定器は、ポストSiデータに基づいて、各高カバレッジ測定値について構築されてもよい。次に、推定器誤差のヒストグラム、すなわち、推定値と実際の高カバレッジ測定値との間の差を構築してもよい。次いで、上記の手順(1〜5)をこのヒストグラムに適用してもよい。
−実験対象:
○Average−Ioffシグネチャに外れ値を設定する
○外れ値検出アルゴリズムを使用して外れ値を検出する
−外れ値の説明:
○MC点428を1だけ変更する
■Ioffの+35%の増加に相当
のような定数(const)が存在するかどうかを確認する。constの値は、方程式が常に成り立つように大きくしてはならない、すなわち、constの値は、MCの数を拡大したときに安定するMC点の数の一部に対して、
となるようにするべきである。
Claims (33)
- IC分類および/または外れ値の検出のためのコンピュータ化された方法であって、
IC設計に従って複数のICを含むウェーハを提供することであって、前記IC設計が、複数のセンサを含む、提供することと、
前記複数のICの各々を、
複数のセンサ値を収集することであって、前記複数のセンサ値が、前記複数のセンサの各々からのセンサ値を含む、収集すること、
前記複数の収集されたセンサ値を分類スキームと比較し、それにより、テストされた各ICの分類を取得すること、および
前記テストされた各ICの分類を記録することによってテストするために、少なくとも1つのハードウェアプロセッサを使用することと、を含む、方法。 - 前記提供するステップが、作製工程を使用して、前記IC設計に基づいて前記ウェーハを製造することを含む、請求項1に記載の方法。
- 分類スキームが、
前記IC設計および前記作製工程の複数のIC動作のシミュレーションであって、前記シミュレーションが、少なくとも1つの完全なIC設計シミュレーション、少なくとも1つの部分的なIC設計シミュレーション、および前記作製工程のための少なくとも1つのデバイスシミュレーションのうちの少なくとも1つである、シミュレーション、
生産前のテープアウトテスト中に収集された複数の訓練センサ値、ならびに
前記収集された複数のセンサ値のうちの1つ以上に基づく、請求項1または請求項2に記載の方法。 - 前記分類スキームが、外れ値クラスを含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記比較が、訓練センサ値集合および訓練高カバレッジ測定値から決定された関数および規則のうちの少なくとも1つを使用して、前記複数のセンサ値から高カバレッジ測定値を推定することを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記分類に基づく固有の識別を用いて、前記テストされたICのICパッケージをマーク付けするために、前記少なくとも1つのハードウェアプロセッサを使用すること、および/または欠陥ICを廃棄するために、前記少なくとも1つのハードウェアプロセッサを使用することをさらに含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- (i)テストされた各ICから、前記分類および前記複数のセンサ値に基づいて前記作製工程のパラメータの集合を決定することと、
(ii)前記IC設計および各ICの前記作製工程の前記パラメータの集合に基づいて、前記作製工程のパラメータの第2の集合を選択することと、
(iii)前記パラメータの第2の集合を使用する第2のウェーハの第2の製造であって、前記選択が、手動工程および自動計算のうちの少なくとも1つによって行われ、ウェーハの提供が、IC設計に従って複数のICを含み、前記IC設計が、複数のセンサを含む、製造と、をさらに含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。 - 前記分類が、各ダイの分類を決定するための階層データ構造を含む、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 複数の分類値から行列表示を確立することであって、前記行列表示の各行が、前記複数のICのうちの1つに対する分類値を含む、確立することと、
前記行列表示からの共分散行列、および前記共分散行列の特異値分解(SVD)を計算することと、
前記SVDを使用して、複数の距離値を決定することであって、各距離値が、前記複数のICのうちの1つのICと、前記複数のICのうちの別のICとの間のそれぞれの距離を表す、決定することと、
前記複数の距離値から、少なくとも1つのファミリーを特定し、それにより、前記分類スキームを定義することと、によって、前記複数の分類値に基づいて前記分類スキームを特定することをさらに含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。 - 前記複数の距離値から、少なくとも1つのファミリーを特定する前記ステップが、
前記複数のICのうちの第1のICを第1のファミリーに分類することにより、前記第1のファミリーが、前記第1のICによって定義されるようにすることと、
前記複数のICのうちの前記第1のICと第2のICとの間の距離を表す、前記複数の距離値からの距離値を、所定のしきい値と比較することと、
前記距離値が、前記所定のしきい値よりも小さい場合、前記第2のICを前記第1のファミリーに分類することと、
前記距離値が、前記所定のしきい値よりも大きい場合、前記第2のICを第2のファミリーに分類することにより、前記第2のファミリーが、前記第2のICによって定義されるようにすることと、を含む、請求項9に記載の方法。 - 前記複数の距離値から、複数のファミリーを特定する前記ステップが、前記複数のICのうちの各他のICについて、
前記複数の距離値から、距離値の群を特定することあって、前記距離値の群内の各距離値が、前記他のICと、それぞれのファミリーを定義する、前記複数のICのうちのそれぞれのICとの間の距離を表す、特定することと、
前記距離値の群からの各距離値を前記所定のしきい値と比較することと、
前記それぞれの他のICと、特定のファミリーを定義する、前記複数のICのうちの特定のICとの間の距離を表す、前記距離値の群からの距離値が、前記所定のしきい値よりも小さい場合、前記他のICを前記特定のファミリーに分類することと、
前記距離値の群からのすべての前記距離値が、前記所定のしきい値よりも大きい場合、前記他のICを新しいファミリーに分類することにより、前記新しいファミリーが、前記他のICによって定義されるようにすることと、をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記行列表示から共分散行列を計算する前記ステップが、前記共分散行列を計算する前に前記行列表示を正規化することを含む、請求項9〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の分類値が、前記IC設計のシミュレーションから決定されたシミュレートされた値、生産前のテープアウトテスト中に収集された複数の訓練センサ値、および測定されたセンサ値のうちの1つ以上に基づく、請求項9〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の分類値に基づいて前記分類スキームを特定する前記ステップが、前記複数の収集されたセンサ値を分類スキームと比較し、それにより、テストされた各ICの分類を取得する前記ステップの少なくとも一部である、請求項9〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の分類値が、前記IC設計のシミュレーションから決定された、シミュレートされたセンサ値に基づいており、複数の分類センサ値に基づいて前記分類スキームを特定する前記ステップが、前記複数の収集されたセンサ値を分類スキームと比較し、それにより、テストされた各ICの分類を取得する前記ステップの前に行われ、前記複数の収集されたセンサ値を分類スキームと比較する前記ステップが、
前記収集された複数のセンサ値から、収集されたデータ行列表示を確立するステップであって、前記行列表示の各行が、前記複数のICのうちの1つに対する、収集されたセンサ値を含む、確立するステップと、
前記収集されたデータ行列表示を使用して、複数の収集されたデータ距離値を決定するステップであって、各距離値が、前記複数のICのうちの1つのICと、前記複数のICのうちの別のICとの間のそれぞれの距離を表す、決定するステップと、
前記複数の距離値から、前記分類スキームに従って前記各ICを分類するステップと、を含む、請求項9〜14のいずれか一項に記載の方法。 - 前記行列表示から共分散行列を計算する前記ステップが、前記共分散行列を計算する前に前記行列表示を正規化して、それにより、正規化係数を定義するステップを含み、収集されたデータ共分散行列を確立する前記ステップが、前記定義された正規化係数を使用して、前記行列表示を正規化するステップを含む、請求項15に記載の方法。
- 前記行列表示が、前記IC設計のシミュレーションから決定された、シミュレートされたセンサ値、前記IC設計のシミュレーションから決定された動作パラメータ、および設計シグネチャ値のうちの1つ以上から確立される、請求項9〜16のいずれか一項に記載の方法。
- 前記行列表示が、プレSiデータから確立され、前記SVDを使用して複数の距離値を決定する前記ステップが、
前記SVDの対応する主値が、前記SVDの前記対応する主値が最も大きい前記SVDのベクトルの事前定義の値および/または事前定義の数よりも大きい、前記SVDのベクトルを特定することによって、プレSiのSVDシグネチャの集合を定義するステップと、
前記プレSiのSVDシグネチャの集合を使用して前記複数の距離値を決定するステップと、を含む、請求項9〜17のいずれか一項に記載の方法。 - 前記プレSiのSVDシグネチャを使用して前記複数の距離値を決定する前記ステップが、前記複数の距離値のうちの少なくともいくつかを計算するステップを含み、前記複数の距離値のうちの前記少なくともいくつかの各々は、前記プレSiのSVDシグネチャのうちの1つと、前記プレSiのSVDシグネチャのうちの別の1つとの間の距離に基づく、請求項18に記載の方法。
- 前記プレSiのSVDシグネチャの集合を使用して前記複数の距離値を決定する前記ステップが、
前記シミュレートされたセンサ値および前記プレSiのシグネチャの集合から、複数の推定器を構成するステップであって、各推定器が、入力センサ値から、推定されたSVDシグネチャを生成する、構成するステップと、
前記複数の推定器から、前記複数のICの各々について、前記複数のセンサ値からのそれぞれのポストSiのSVDシグネチャを推定するステップと、
前記複数の距離値のうちの少なくともいくつかを計算するステップであって、前記複数の距離値のうちの前記少なくともいくつかの各々が、前記ポストSiのSVDシグネチャのうちの1つと、前記ポストSiのSVDシグネチャのうちの別の1つとの間の距離に基づく、計算するステップと、を含む、請求項18または請求項19に記載の方法。 - 前記プレSiのSVDシグネチャの集合を使用して前記複数の距離値を決定する前記ステップが、前記複数の距離値のうちのさらなる距離値を計算するステップをさらに含み、前記さらなる距離値の各々は、前記プレSiのSVDシグネチャのうちの1つと、前記ポストSiのSVDシグネチャのうちの1つとの間の距離に基づく、請求項16に記載の方法。
- 半導体集積回路(IC)分類のためのコンピュータ化された方法であって、
少なくとも1つのハードウェアプロセッサを、
IC設計および作製工程を説明するデータを受信することと、
複数のシミュレートされたIC動作値および複数のシミュレートされたデバイス動作値を生成するために、前記IC設計および作製工程に基づいて、複数のIC電子動作をシミュレートすることと、
センサ配設のための動作値の部分集合を決定するために、前記複数のシミュレートされたIC動作値および前記複数のシミュレートされたデバイス動作値を因子分解することと、
センサ配設集合を生成する前記動作値の部分集合のうちの少なくともいくつかを選択し、前記選択された部分集合の各々について、特定の電子的動作に構成された複数のセンサのうちの1つを前記IC設計内に組み込むために、前記IC設計を分析することであって、前記センサ配設集合の各要素が、センサのタイプおよび前記IC設計内の位置を含み、前記センサ配設集合が、前記IC設計および前記作製工程に影響を受ける複数のセンサ値を生成するように構成されている、分析することと、
前記IC設計を前記複数のセンサ値に基づいて動作クラスに分類し、それにより、分類スキームを生成することであって、前記動作クラスが、少なくとも1つの外れ値クラスを含む、生成することと、のために使用することを含む、コンピュータ化された方法。 - 入力データおよび出力データを含む、少なくとも1つの変換規則を計算することをさらに含む、請求項18に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記因子分解が、前記部分集合を決定することへのポストSiウェーハテストデータの組み込みを含む、請求項18または請求項19に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記因子分解が、前記部分集合を決定することへの最終顧客の使用データの組み込みを含む、請求項18〜20のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記選択が、前記センサ配設集合を決定することへのポストSiウェーハテストデータの組み込みを含む、請求項18〜21のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記選択が、前記センサ配設集合を決定することへの最終顧客の使用データの組み込みを含む、請求項18〜22のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記分類が、各ダイの分類を決定するための階層データ構造を含む、請求項18〜23のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法。
- 前記複数のセンサの各々が、立ち上がり時間遅延センサ、立ち下がり時間遅延センサ、周波数最大検出回路、周波数変換回路に基づくICユニット全漏れ電流検出センサ、周波数変換回路に基づくICユニット電圧ドレイン−ドレイン漏れ電流検出センサ、および周波数変換回路に基づくICユニット電圧源−ドレイン漏れ電流検出センサから成る群から選択される、請求項1〜28のいずれか一項に記載の方法。
- パッケージテスト、回路テスト、通電テスト、高温動作寿命テスト、および最終製品テストのうちの少なくとも1つの間に、前記分類スキームを用いて、(i)センサ値の推移および(ii)外れ値のうちの少なくとも1つを決定することをさらに含む、請求項1〜29のいずれか一項に記載の方法。
- 複数のICの各々のテスト時間を短縮するためのテストデバイスであって、
少なくとも1つのハードウェアプロセッサであって、
複数のセンサ値を収集することであって、複数のセンサの各々からの前記複数のセンサ値のうちの少なくとも1つが、前記複数のICの各々に組み込まれる、収集することと、
前記複数のセンサ値を分類スキームと比較し、それにより、テストされた各ICの分類を取得することと、
前記分類に基づいて、テストされた各ICの前記テスト時間を短縮することと、によって、複数のICの各々のテストするように構成されている、少なくとも1つのハードウェアプロセッサを備える、テストデバイス。 - ハードウェアプロセッサで動作されたときに、請求項1〜26のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法を行うように構成されたコンピュータ可読命令を含む、コンピュータプログラム製品。
- 請求項1〜26のいずれか一項に記載のコンピュータ化された方法を行うように構成された、コンピュータ化されたシステム。
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