JP2021504575A - 両頭工具のコーティング用治具 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、細長い両頭物体用の治具、特に工具に関するものである。細長い両頭工具は、一端にある第1作業領域および他端にある第2作業領域、および第1作業領域と第2作業領域との間にある非作業領域に分割され得る。工具の伸長は工具軸を定義する。
従って、本発明の目的は、両頭工具を同時に保持し、両頭工具の非作業面にマスク(コーティングされないようにする)するための、細長い両頭工具のためのより強力な治具を提供することである。
本発明の解決手段は、組み立てられた状態で、ドリルビットやエンドミル等の一般的な両頭工具を支持し、これらの工具の作業端をコーティング工程に曝すと同時に、工具の非作業領域を覆う(マスクする)ことにより、これらの領域へのコーティング塗布を防止する装置である。
その主長手方向軸が、−ターゲットを通過するときに−、例えば堆積のためにスパッタリングされることを意図したターゲットの表面に対して垂直に配向される位置にコーティングされる物体が保持されるように冶具が設計されると、非常に好ましい。理想的には、長手方向の軸は、治具の−ほとんどの場合、単一の−回転軸に対して垂直に永久的に配向される。好ましい場合では、この条件は、物体の主長手方向軸が水平方向に延びるように保持されている場合に満たされる。
コーティングされる物体または各物体は、ホールの第1セグメントを具現する第1ホールプレートストリップに対して位置決めされ、その結果、ホールの前記セグメントは、コーティングに対してマスクされる領域でコーティングされる物体を包含する。さらに、コーティングされる物体または各物体は、ホールの第2セグメントを具現する第2ホールプレートストリップに対して位置決めされ、その結果、ホールの前記セグメントは、コーティングに対してマスクされる領域でコーティングされる物体を包含する。2つのホールプレートストリップは、互いに当接するように(互いに接近して)配置されているため、コーティングされる物体を完全に包含して保持するホールを一緒に形成する。コーティングの完了後の分解はそれに応じて行われる。
まず、図8を参照する。
各ホールプレートストリップは、長方形の外形を有し、2つの短い横面と2つの長い前面とを有する。通常、前面は横面の少なくとも4倍の長さがある。ホールプレートストリップバッテリ3を形成するためにホールプレートストリップを順次配列していくと、前面同士が接触する。
1 治具
2 ホールプレートストリップ
3 ホールプレートのバッテリ
4 ホールの第1セグメント
5 ホールの第2セグメント
6 コーティングされる物体
7 コーティングされる物体の先端
8 コーティングされる物体の中間部分(マスクされる部分)
9 磁石
10 ガイド設備を具体化したバーまたはラテラルバー
11 ホールプレートストリップを保持するためのスロット
12 割り当てられていない
13 ベースクロスバー
14 閉鎖クロスバー
15 物体保持装置の平らな主面
16 ベアリングピン
L 保持およびコーティングされる物体の縦軸
OHD 物体保持装置
H ホール
S マスクまたはシールドされている空間
SV 現状技術で使用されるスリーブ
Claims (15)
- 物体保持装置(OHD)を含み、コーティングされない物体の中間部分(8)をマスクしながら、コーティングされる物体(6)の対向する2つの端を蒸着に曝すための治具(1)であって、前記物体保持装置(OHD)は、ホール(H)の第1セグメント(4)が先行するホールプレートストリップ(2)によって具現され、前記ホール(H)の第2セグメント(5)が後続のホールプレートストリップ(2)によって具現されるように、一対のホールプレートストリップ(2)によって各単一の前記ホール(保持ホール;H)が形成されるように設計され配置された少なくとも1つのホールプレートストリップ(2)のバッテリ(3)からなることを特徴とする、治具(1)。
- 各前記ホール(H)が、その全周に沿って把持される物体と面接触するように設計されていることを特徴とする、請求項1に記載の治具(1)。
- 前記物体保持装置(OHD)は、磁石(9)を含み、前記ホールプレートストリップ(2)によって保持された前記物体を引き付け、さらに固定することを特徴とする、請求項1または2に記載の治具(1)。
- 前記物体保持装置(OHD)は、平行に配置されたホールプレートストリップ(2)の2つのバッテリ(3)を含み、蒸着のない互いにマスクされた内部空間(S)を形成することを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の治具(1)。
- 前記磁石(9)が、前記マスクされた内部空間(S)内に配置される個別部品であることを特徴とする、請求項3または4に記載の治具(1)。
- 前記磁石(9)は、コーティングされる物体(6)の主軸(L)の方向と反対側の動きに対して、ホールプレートストリップ(2)の間にフォームフィットすることによって固定されるように寸法決めされていることを特徴とする、請求項5に記載の治具(1)。
- 前記治具(1)は、ホールプレートストリップ(2)をそれらの間に通すための2つの対向するレール装置を含むことを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の治具(1)。
- 各レール装置は、2つの平行なガイド設備を含み、各ガイド設備は、好ましくは、このスロットに挿入された前記ホールプレートストリップ(2)の面側を包含するスロットとして具現されていることを特徴とする、請求項7に記載の治具(1)。
- 各前記レール装置は、好ましくは垂直方向に配向された、好ましくは一部分のバーによって形成されており、前記バーは、好ましくは水平方向に配向されたベースクロスバー(13)によって理想的に運ばれることを特徴とする、請求項7または8に記載の治具(1)。
- 前記治具(1)は、前記ベースクロスバー(13)を回転可能に支持するフットユニットを含むことを特徴とする、請求項9に記載の治具(1)。
- 前記治具(1)は、ホールプレートストリップ(2)のねじ切りのために開放または除去可能であり、以下、閉鎖可能な閉鎖クロスバー(14)を含むことを特徴とする、請求項7から10のいずれか1項に記載の治具(1)。
- 前記物体保持装置(OHD)は、好ましくは垂直方向に配向した主面を有する平面的な前記主面(15)を有することを特徴とする、請求項1から11のいずれか1項に記載の治具(1)。
- 物体保持装置(OHD)を含み、コーティングされる物体の中間部分(8)をコーティングされないようにマスクしながら、前記コーティングされる物体(6)の対向する2つの端を蒸着に曝すための治具(1)システムであって、前記治具システムは、請求項1から12のいずれか1項に記載の治具(1)と、異なるホールセグメントを具現する異なるホールプレートストリップ(2)とを含み、前記異なりは、好ましくは、直径の違い、または平均直径、または明確な断面、または穴セグメントの数、および/またはホールセグメントの位置の違いであることを特徴とする、治具(1)システム。
- コーティングされない物体の中間部分(8)をマスクしながら、コーティングされる物体(6)の対向する2つの端を同時に蒸着に曝すための方法であって、前記コーティングされる物体(6)は、ホール(H)のセグメントが前記コーティングに対してマスクされる領域において前記コーティングされる物体(6)を包含するように、前記ホール(H)の第1セグメント(4)を具現した第1ホールプレートストリップ(2)に対して配置され、前記コーティングされる物体(6)は、前記ホール(H)の前記セグメントが前記コーティングに対してマスクされる領域において前記コーティングされる物体(6)を包含するように、前記ホール(H)の第2セグメント(5)を具現した第2ホールプレートストリップ(2)に対して配置され、一方で、前記2つのホールプレートストリップ(2)は互いに当接して、前記コーティングされる物体(6)を完全に包含して保持することを特徴とする、方法。
- 蒸着チャンバと、少なくとも1つのターゲットと、退避ポンプと、好ましくは作業ガス入口ユニットと、請求項1から14のいずれか1項に記載の治具(1)とを備えた蒸着設備であって、前記治具(1)は前記蒸着チャンバ内に回転可能に担持されており、蒸着中に回転可能に設定され得ることを特徴とする、蒸着設備。
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