JPS61130484A - 真空蒸着装置の光学部品保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、真空蒸着装置の光学部品保持装置。

詳しくは、光学部品を反転し同部品の両面に真空蒸着を
するための光学部品保持装置に関する。

（従来技術） 従来のこの種の光学部品保持装置としては１例えば５Ｉ
！開昭５４−　！Ｎ４６６号公報記載のものが知られて
いる。この光学部品保持装置は、複数個のレンズホルダ
からなり、各レンズホルダを夫々反転することにより、
保持するレンズの各面が蒸発源に対して正対するようｋ
なっている。

しかし、この装置においては、複数個のレンズホルダが
夫々独自に反転し、反転の際は夫々の上面を覆うカバー
を反転に邪魔にならない位置迄上。

昇させなければならない。このカバーは蒸発源から発せ
られる蒸着物質が真、空処理室の内壁を汚さないように
遮蔽する役目をしており、その役割を効果的に果すため
、レンズホルダの真上に配設されている。従って、この
カバーを上下に４降するために、それだけ真空処理室は
大型となり、構造も複雑となり、連続式蒸着装置に適用
することは極めて困難なものとなっていた。

また、％開昭５５−４１９１１号公報記載の蒸着装置の
場合には、蒸発源に相対して垂直平面内で回転する複数
個のレンズを保持するレンズホルダヲ用いているので、
その中心部に保持されたレンズと周辺部に保持されたレ
ンズとの蒸発源に対する距離の差違及び夫々法線の傾き
から全レンズ面を均一に蒸着することは不可能なため、
中心部を周辺部より多く遮蔽するようにした遮蔽板を用
いるよ５Ｖｃしたものである。しかし、この様なレンズ
ホルダを用いた場合は、同ホルダを反転して、保持する
レンズの他面を真空蒸着するようＫするＫはその構造が
益々複雑となると共に、大型化して実用的にはなり得な
いものである。

（目的） 本発明の目的は、上記の点に鑑み、多くのレンズホルダ
を保持する１個の反転自在なホルダ保持枠を巧みに用い
ることによって、構造が極めて簡単で、しかも全レンズ
の真空蒸着が均一となるようにし、従来のこの種の光学
部品保持装置が有していた欠点を兄事に解消した光学部
品保持装置な提供するにある。

（概要） 本発明の光学部品保持装置は、複数個のレンズを保持す
るレンズホルダを、反転した場合でも、反転前と同様に
各レンズの蒸着面が蒸発源に対して正対するようなホル
ダ受部を有する上下一対のホルダ押え枠によって挾持し
、これらの一対の押え枠を反転自在なホルダ保持枠に固
着するようＫしたものである。

（実施例） 以下、本発明を図示の実施例に基いて説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す真空蒸着装置の光学部
品保持装置の斜視図である。図に於て、符号１はその両
面が真空蒸着されるレンズ、２は同レンズ１をその両面
が露呈するようにして挾持する上下一対の帯状板２ａ、
２ｂ　（第２図参照）からなるホルダ、３は同ホルダ２
に挾持されたレンズ１を蒸発源１０（第３図参照）に対
して等距離で正対するようにホルダ２を支持する対称的
なホルダ受部４ａ、４ｂ　（第４図参照）を夫々有する
上下一対の額縁状の押え枠３ａ、３ｂからなるホルダ押
え枠、５は同ホルダ押え枠３が固着される額縁状のホル
ダ保持枠、６は同ホルダ保持枠５に上記押え枠３を固定
するための止ねじ、７は上記ホルダ保持枠５を一体的に
保持して、その両側面中央部に設けられた回転支軸８を
軸として反転自在に回動するコの字状枠からなる反転枠
を夫々示している。

上記押え枠３ａ、３ｂ　Ｉｃそれぞれ対称的に設けられ
る上記ホルダ受部４ａ　、　４ｂは、ホルダ２の端部な
受けて支持するホルダ受面が傾斜面で形成されており、
この傾斜受面の傾斜度が押え枠５ａ、５ｂの中央部に行
くに従って緩やかｋなるよ５に形成されている。従って
、押え枠３ａ、３ｂからなるホルダ押え枠３の中央部の
真下に配設された蒸発源１０Ｖｃ対して、各ホルダ２に
保持された各レンズ１の蒸着面は等距離となると共に、
蒸発源１０に正対する。

このように構成された光学部品保持装置は、次の様に作
用する。

先ず、この装置によって保持されたレンズ１の第１面を
真空蒸着する場合は、反転枠７．ホルダ保持枠５を介し
て真空蒸着室（図示されず）内に第３図に示すように、
押え枠３が蒸発源１０の上方に水平に位置するよ５Ｖｃ
配看する。このとき各ホルダ２は下方の押え枠３ｂのホ
ルダ受部４ｂに支持されて夫々蒸発源１０１Ｃ正対する
と共に等距離に配置されるので、このままの状態で各レ
ンズ１の第１面は均一に真空蒸着される。即ち、従来の
もののようにホルダ保持枠を回転したり、各レンズの真
空蒸着面の蒸発源に対する露呈時間を調整するための遮
蔽板を設ける等の構成は一切必要ない。

次いで、上記レンズ１の第２面を真空蒸着する場合は１
図示されない駆動機構により上記反転枠７をその回転支
軸８を中心として１０００回動すれば良い。同反転枠７
を１０００回動すれば、同反転枠７と一体の上記上下の
押え枠３ａ　、　３ｂも夫々反転すると共に押え枠５ａ
　＊　３ｂの上下が逆になり、下の押え枠３ｂのホルダ
受部４ｂｋ支持されていた各ホルダ２は今度は上の押え
枠３ａのホルダ受部４ａに支持されるようになるので、
同ホルダ２に保持されたレンズ１の第２面が蒸発源１０
に対して正対すると共に等距離となるので第１面の場合
と全く同様に均等に蒸着される。

（効果） 以上説明したように１本発明によれば、極めて簡単な構
造で、従来のこの種の真空蒸着装置の光で真空蒸着でき
るとい５顕著な効果を有する真空蒸着装置の光学部品保
持装置を提供することが出来る。

【図面の簡単な説明】

＃！１図は、本発明の一実施例を示す真空蒸着装置の光
学部品保持装置の斜視図、 第２図は、上記第１図の光学部品保持装置におけるホル
ダの拡大断面図、 第３図は、上記第１図の押え枠内の光学部品の蒸発源に
対する配置態様を示す側面図、第４図は、上記第３図に
おける押え枠のホルダ受部に支持されるホルダの配置態
様を示す拡大断面図である。 １・・・・・レンズ ２・・０−・ホルダ ３・・・・・押え枠 ５・・・・・ホルダ保持枠 ７・・・・・反転枠 η１　区 ｌとｒ：：）２ 方′３区

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 光学部品をその両面が露呈するように保持するホルダと
   、 このホルダを光学部品が蒸発源に対して正対するように
   支持するホルダ受部を有する上下一対の押え枠と、 これらの押え枠を着脱自在に固着し、上記ホルダを反転
   自在に保持するホルダ保持枠と、 を具備し、上記ホルダ保持枠を反転したとき、上記ホル
   ダが反転すると共に、一方の押え枠のホルダ受部から他
   方の押え枠のホルダ受部に移動して、同ホルダ内の光学
   部品の反転した面が蒸発源に対して正対するようにした
   ことを特徴とする真空蒸着装置の光学部品保持装置。