JPH1046338A - 膜コーティング用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】洗浄から膜コーティングにいたるまでワークを
まとめて取り扱うことができ、ワークの汚れの防止に有
利であり、更に膜コーティング処理の際にワークカバー
が邪魔になることを防止できる膜コーティング用治具を
提供すること。 【解決手段】この治具は互いに対向するワークホルダ４
０及びワークカバーで構成されており、互いに分離可能
に連結され、連結時に複数個のワークＷをまとめて挟装
状態に収容する収容室４５を形成する。ワークカバー４
２は、ワークＷのコーティング面Ｗ１１を外方に露出さ
せる開口窓４７をもつ。ワークホルダ４０は、ワークホ
ルダ４０からワークカバー４２を分離した状態でワーク
Ｗをワーク保持手段１５に保持可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シム等のワークを
複数個まとめて膜コーティング処理する際に使用できる
膜コーティング用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】ワークとしてのシムを例にとって従来技
術について説明する。シムとは、機械部分の組み付け部
に挟み、隙間や組み付け硬さを調整する部品をいう。シ
ムのコーティング面を膜コーティング処理するにあたっ
ては、専用の洗浄治具に複数個のシムを収容した状態
で、複数個のシムをまとめて洗浄処理し、図１１（Ａ）
に例示するように、その洗浄した複数個のシムＷを手作
業またはロボットにより直接掴み、各シムＷのうちコー
ティング面Ｗ１１に背向する背向面Ｗ１０をワーク保持
手段１００の磁石１０１に個別に吸着して保持し、その
状態で、各シムＷのコーティング面Ｗ１１に膜コーティ
ング処理をまとめて施す技術が知られている。

【０００３】更に、専用の洗浄治具に複数個のシムを収
容した状態で、複数個のシムを洗浄処理し、洗浄した各
シムＷを手作業またはロボットにより直接掴み、図１１
（Ｂ）に例示するように、各シムＷの外周部をワーク保
持手段２００のピン２０１に個別に手作業またはロボッ
トにより係止して保持し、その状態で、各シムＷのコー
ティング面Ｗ１１に膜コーティング処理をまとめて施す
技術が知られている。更に図１１（Ｃ）に例示するよう
に、平行に並設した４本の棒体３０１〜３０４を備えた
治具３００に複数個のシムＷを挟装状態に保持し、その
状態で、洗浄液で各シムＷを洗浄処理する技術が知られ
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図１１（Ａ）（Ｂ）に
示す各技術では、専用の洗浄治具からシムＷを取出して
磁石１０１に吸着させたりピン２０１に係止させたりす
る際に、各シムＷを手作業またはロボットにより直接掴
むため、シムＷが汚れるおそれがある。また洗浄治具
は、洗浄処理の際に複数個のシムＷを収容するものの、
膜コーティング処理の際にはシムＷを収容するために用
いるものではない。

【０００５】また図１１（Ｃ）に示す技術では、棒体３
０１〜３０４は互いに分離不能であるため、膜コーティ
ング処理をシムＷのコーティング面Ｗ１１に施す際に、
コーティング面Ｗ１１の外周部付近の一部を棒体３０１
〜３０４が覆うため、棒体３０１〜３０４が膜コーティ
ング処理の邪魔となる。本発明は上記した技術を更に技
術的に進めたものであり、洗浄処理から膜コーティング
処理にいたるまでシム等のワークをまとめて取り扱うこ
とができ、ワークの汚れの防止に有利であり、更に膜コ
ーティング処理の際にワークカバーが邪魔になることを
防止するのに有利な膜コーティング用治具を提供するこ
とを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る膜コーテ
ィング用治具は、コーティング源に対向するワーク保持
手段に取着され、複数個のワークのコーティング面にま
とめて膜コーティング処理する際に使用される膜コーテ
ィング用治具であって、互いに分離可能に連結されると
共に連結時に複数個のワークをまとめて挟装状態に収容
する収容室を形成する互いに対向するワークホルダ及び
ワークカバーで構成され、ワークカバーは、ワークのコ
ーティング面を外方に露出させる開口窓をもち、ワーク
ホルダは、ワークホルダからワークカバーを分離した状
態でワークをワーク保持手段に保持可能であることを特
徴とするものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明に係る膜コーティング用治
具は、複数個のワークをまとめて挟装すると共に互いに
分離可能な互いに対向するワークホルダ及びワークカバ
ーで構成されている。ワークホルダ及びワークカバー
は、互いに対面するように連結され、これにより一体化
される。

【０００８】ワークカバーは、ワークのコーティング面
の大部分を外方に露出させる開口窓をもつ。開口窓から
洗浄液が進入できる。従ってワークカバーは開口窓をも
つ格子構造を採用できる。本発明では、ワークホルダに
ワークカバーを連結した状態で複数個のワークをまとめ
て収容できるため、複数個のワークをまとめて持ち運び
できる。

【０００９】本発明に係るワークホルダは、ワークホル
ダからワークカバーを分離した状態でワークをワーク保
持手段に保持可能である。そのため、膜コーティング処
理の際にはワークホルダからワークカバーを分離でき
る。そのため膜コーティング処理の際に、ワークカバー
が邪魔になることを防止できる。本発明で用いるワーク
としてはシムを採用できる。シムの材質は適宜選択でき
るが、一般的には金属を採用できる。本発明で用いる膜
コーティング処理としては、公知のコーティング法を採
用でき、例えばイオンプレーティング法、スパッタリン
グ法、蒸着法、場合によってはスプレー法等を採用で
き、膜厚は特に制限されないが、薄膜状にできる。

【００１０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。まず膜コーティング処理を行う場合のコーティン
グ装置１について説明する。即ち、図１に示すように、
コーティング源として機能する蒸発源１０が複数個設置
されている。蒸発源１０に対向するようにワーク保持手
段１５が設置されている。ワーク保持手段１５は、基台
１６と、基台１６にこれの軸芯の回りに装備された縦軸
形の複数個の回転軸体１７とを備えている。回転軸体１
７は、その軸芯を中心として矢印ＲＳ方向に自転可能に
かつ、基台１６の軸芯を中心として矢印ＲＬ方向に公転
可能とされている。

【００１１】図２から理解できるように、各回転軸体１
７の外周部には、複数個の縦長状の取付具１８（図１で
は図略している）が回転軸体１７の外周部にその周方向
に所定の間隔を隔てて設けられている。各取付具１８に
は、複数個の磁石体１８ａが縦方向に所定のピッチＰ１
で列設されている。磁石体１８ａは取付具１８の外面１
８ｓから回転軸体１７の半径方向に所定量突出してい
る。

【００１２】図２から理解できるように、磁石体１８ａ
は、筒体１８ｃと、筒体１８ｃの中央孔に配置された磁
石１８ｆとで構成されている。磁石１８ｆは例えばフェ
ライト系、希土類系等の公知の磁石材料で形成できる。
さて本実施例に係る膜コーティング用治具４について説
明する。この膜コーティング用治具４は、複数個のワー
クとしてのシムＷをまとめて洗浄すると共にシムＷのコ
ーティング面Ｗ１１にまとめて膜コーティング処理する
際に使用されるものである。

【００１３】図２から理解できるように、膜コーティン
グ用治具４は、互いに対面可能な金属製（例えばステン
レス鋼）のワークホルダ４０と、金属製（例えばステン
レス鋼）のワークカバー４２とで構成されている。ワー
クホルダ４０とワークカバー４２とで収容室４５が形成
される。収容室４５には、複数個のシムＷをワークホル
ダ４０とワークカバー４２とで挟装した状態で直列状態
で収容できる。なお、シムＷが収容室４５に収容された
状態では、シムＷの肉厚によっては、シムＷはその肉厚
方向及び径方向に若干変位することが許容されている。

【００１４】図２から理解できるように、ワークホルダ
４０は、横断面でコの字形状をなす板体で構成されてい
る。従ってワークホルダ４０は、背面板４０ｒと、背面
板４０ｒの両側から延設された互いに対向する一対の側
板４０ｓとで構成されている。背面板４０ｒには、背面
板４０ｒの長さ方向に沿って複数個の通孔４０ｋが背面
板４０ｒを厚み方向に貫通して列設されている。

【００１５】各通孔４０ｋは円形状をなす。通孔４０ｋ
の内径は、磁石体１８ａの筒体１８ｃの外径よりもやや
大きめであり、かつシムＷの外径よりも小さめにされて
いる。従って図５及び図６に示すように、ワークホルダ
４０の各通孔４０ｋに磁石体１８ａが挿通可能とされて
いると共に、通孔４０ｋからシムＷが脱落せぬようにさ
れている。

【００１６】図３（Ａ）（Ｂ）はワークホルダ４０を示
す。図３には、ワークホルダ４０に形成されている通孔
４０ｋのピッチは、Ｐ２として示されている。通孔４０
ｋのピッチＰ２は、前記した磁石体１８ａのピッチＰ１
と対応している。更に図３に示すように、ワークホルダ
４０の下端部４０ｆには、シム位置決め機能をもつ位置
決め突起６０、更には係止孔６３が形成されている。位
置決め突起６０は、シムＷの外周部が当たってシムＷの
落下を防止するストッパ機能を奏すると共に、ワークホ
ルダ４０の長手方向つまり矢印Ｙ方向において直列に並
設されたシムＷの位置決め機能を奏する。またワークホ
ルダ４０の下端部４０ｆには、嵌合突起６５がワークホ
ルダ４０の長手方向にのばして突設されている。

【００１７】更に図３に示すように、ワークホルダ４０
の上端部４０ｅにはシム出入口４５ｐが形成されてい
る。シム出入口４５ｐは、収容室４５に連通すると共に
シムＷが挿入される開口として機能する。図４（Ａ）
（Ｂ）はワークカバー４２を示す。図４から理解できる
ように、ワークカバー４２は長尺状をなしており、ほぼ
平行に並設された２本の長支柱４２ａと、長支柱４２ａ
に所定の間隔を隔てて梯子状に架設された複数本の横支
柱４２ｃとで実質的に格子構造に構成されている。

【００１８】図４に示すように、ワークカバー４２に
は、複数個の開口窓４７が直列状態に複数個形成されて
いる。開口窓４７は、シムＷのコーティング面Ｗ１１の
大部分を外方に露出させるものである。開口窓４７は、
本実施例では四角形状をなし、実質的に高さＬａ×幅Ｌ
ｃの大きさとされている。高さＬａはシムＷの直径より
もかなり大きい。幅ＬｃはシムＷの直径よりも微小量小
さい程度である。従って開口窓４７からのシムＷの脱落
は防止される。

【００１９】ワークカバー４２の上端部４２ｅには、ワ
ークホルダ４０の上端部４０ｅと係止可能な一対の連結
突起４２ｍが互いに対向するように突設されている。図
４に示すように、ワークカバー４２の下端部４２ｆに
は、係止機能をもつ係止具８が保持されている。係止具
８の詳細を図７に示す。図７に示すように、係止具８
は、ワークカバー４２に溶接で固定される片部８１を備
えた枠体８２と、一端部８３ｈが枠体８２に固定された
板バネ８３と、板バネ８３の他端部８３ｉに固定され可
動体８４と、可動体８４の先端に設けられた係止爪８５
と、可動体８４に設けられた操作ボタン８６とを備えて
いる。

【００２０】操作ボタン８６を手作業やロボットで矢印
Ｍ１方向に押圧操作すれば、板バネ８３の一端部８３ｈ
を支点として板バネ８３のバネ力に抗して可動体８４が
矢印Ｋ１方向に係止爪８５と共に揺動し、係止爪８５に
よる係止力が解除される。一方、操作ボタン８６の押圧
操作が解除されれば、板バネ８３のバネ力で可動体８４
が矢印Ｋ２方向に係止爪８５と共に揺動し、係止爪８５
による係止作用が得られる。

【００２１】次にワークとしてのシムＷについて説明を
加える。即ち、シムＷは、前述したように、機械部分の
組み付け部に挟み、隙間や組み付け硬さを調整する部品
であり、本実施例では円板状つまりコイン状をなしてい
る。シムＷは厚み調整機能をもつことが多い。そのた
め、各シムＷは直径は基本的には一様であるものの、そ
れぞれの肉厚は厚み調整機能のため多少異なることが多
い。本実施例に係るシムＷは鉄系材料（例えば浸炭焼入
材料）で形成されている。

【００２２】さて使用の際には次のように行う。即ち、
ワークホルダ４０にワークカバー４２を連結し、両者を
一体化し、膜コーティング用治具４を構成する。この場
合には膜コーティング用治具４の下端側では、係止具８
の係止爪８５の係止作用により、ワークホルダ４０とワ
ークカバー４２とを連結して一体化する。膜コーティン
グ用治具４の上端側では、ワークホルダ４０の上端部４
０ｅと連結突起４２ｍとを係止する。

【００２３】この状態で、図８（Ａ）から理解できるよ
うに、膜コーティング用治具４を傾斜させた状態でシム
投入場所Ｐａに設置する。すると、超仕上加工機で超仕
上処理されたシムＷは、次々と、膜コーティング用治具
４のシム出入口４５ｐから膜コーティング用治具４の収
容室４５内に直列状態に順に投入される。その後、図８
（Ｂ）から理解できるように、複数個のシムＷが投入さ
れた膜コーティング用治具４を複数個まとめて、洗浄ト
レー９に取り付ける。洗浄トレー９は、四角状の枠体９
０と、枠体９０の上部に設けられた支持部９２とを備え
ている。

【００２４】このように複数個の膜コーティング用治具
４をまとめて洗浄トレー９に装着した状態で、洗浄処理
を行なう。本実施例に係る洗浄処理では、炭化水素系の
洗浄液に洗浄トレー９が浸漬した状態で超音波洗浄を行
ない、これによりシムＷに付着していた加工油や汚れを
除去する。前述したようにワークホルダ４０には通孔４
０ｋが形成されており、ワークカバー４２にはシムＷの
コーティング面Ｗ１１の大部分を露出させる開口窓４７
が形成されているため、開口窓４７や通孔４０ｋから洗
浄液が収容室４５に進入でき、高い洗浄効果が得られ
る。

【００２５】洗浄処理が終了した後に、図８（Ｃ）から
理解できるように、ワークホルダ４０とワークカバー４
２とが連結され複数個のシムＷを収容した膜コーティン
グ用治具４を、洗浄トレー９から取り外す。そして図８
（Ｄ）から理解できるように、シムＷを収容した複数個
の膜コーティング用治具４を各回転軸体１７に取付け
る。

【００２６】このとき本実施例によれば、図９（Ａ）か
ら理解できるように、ワークホルダ４０の下端部４０ｆ
の嵌合突起６５を回転軸体１７の下部の嵌合孔１７ｒに
嵌める。更に回転軸体１７の上部のストッパ１７ｍをも
つ係止突起１７ｋに、ワークホルダ４０の上端部４０ｅ
の切欠４０ｘを嵌めて係止する。これによりワークホル
ダ４０は、回転軸体１７に脱着可能に保持される。

【００２７】上記したようにワークホルダ４０が回転軸
体１７に保持された状態では、膜コーティング用治具４
の収容室４５に収容されたシムＷのうち、最も下端のシ
ムＷの外周部は、重力により位置決め突起６０に当接す
るので、収容室４５内の各シムＷはワークホルダ４０の
長手方向つまり矢印Ｙ方向において位置決めされる。更
に本実施例では前述したように、磁石体１８ａのピッチ
Ｐ１とワークホルダ４０の通孔４０ｋのピッチＰ２とは
相応するように設定されているため、回転軸体１７の各
磁石体１８ａが通孔４０ｋにそれぞれ個別に挿通され
る。

【００２８】従って、膜コーティング用治具４の収容室
４５内の各シムＷが磁石体１８ａに磁気でそれぞれ個別
に吸着される。従って本実施例によれば、複数個のシム
Ｗをまとめて磁石体１８ａに固定するのに有利であり、
作業性が良い。図５は、各シムＷの背向面Ｗ１０が磁石
体１８ａに磁気で吸着された状態を示す。その後、回転
軸体１７に固定された膜コーティング用治具４におい
て、係止具８の操作ボタン８６を押圧操作して、係止具
８の係止爪８５による係止作用を解除し、これによりワ
ークホルダ４０からワークカバー４２を分離させる。な
お図８（Ｅ）は、ワークホルダ４０から分離したワーク
カバー４２を示す。

【００２９】上記のようにワークホルダ４０からワーク
カバー４２を分離すると、図１０や図６から理解できる
ように、各シムＷの背向面Ｗ１０は磁石体１８ａに吸着
されたままとなり、かつ、シムＷのうち背向面Ｗ１０と
反対側のコーティング面Ｗ１１は、外方に露出する。上
記のようにワークカバー４２をワークホルダ４０から分
離してシムＷのコーティング面Ｗ１１を露出した状態
で、回転軸体１７の自転及び公転の双方を行うつつ、蒸
発源１０から蒸発した物質をシムＷのコーティング面Ｗ
１１に積層し、以て膜を成膜する。成膜の際には図１０
図６から理解できるようにワークカバー４２がワークホ
ルダ４０から分離されているため、成膜の際にワークカ
バー４２が邪魔になることを未然に防止でき、シムＷの
コーティング面Ｗ１１に良好に成膜できる。

【００３０】本実施例では、膜コーティング処理として
イオンプレーティング処理を行った。従ってこの処理の
際には、シムＷは高真空雰囲気に保持される。本実施例
では、シムＷのコーティング面Ｗ１１の耐摩耗性の向上
等を考慮して、成膜する物質としては窒化チタン（Ｔｉ
Ｎ）を用いたが、これに限定されるものではなく、他の
セラミックス膜あるいは金属膜でも良い。

【００３１】上記のように膜コーティング処理が終了し
た後に、回転軸体１７の自転及び公転の双方を停止させ
る。更に、係止具８の係止爪８５による係止機能を利用
して、回転軸体１７に固定されているワークホルダ４０
にワークカバー４２を再び連結して、両者を一体化す
る。

【００３２】その後、磁石体１８ａとシムＷとの吸着力
に打ち勝つ外力で、シムＷを収容した状態の膜コーティ
ング用治具４を、つまり、ワークホルダ４０とワークカ
バー４２と共にシムＷを、回転軸体１７から外す。図８
（Ｆ）は、ワークホルダ４０とワークカバー４２とが連
結した膜コーティング用治具４を回転軸体１７から外し
た状態を示す。このように外せば、複数個のシムＷは、
膜コーティング用治具４の収容室４５に収容されたまま
の状態で、まとめて磁石体１８ａから離脱される。

【００３３】その後、コーティング処理されたシムＷ
を、膜コーティング用治具４から取出す。取出すに際し
ては、図８（Ｇ）に示すように、シム出入口４５ｐが下
方となるように膜コーティング用治具４を傾斜させる等
して、膜コーティング用治具４のシム出入口４５ｐから
シムＷを取り出しても良いし、或いは、係止具８の係止
爪８５による係止機能を解除して、ワークホルダ４０と
ワークカバー４２とを分離してシムＷを取り出すことに
してもよい。

【００３４】ところで、イオンプレーティング処理によ
れば、コーティング膜とワーク母材との密着性が非常に
優れていると、一般的には評価されている。その理由
は、前処理としてのイオンボンバード工程においてワー
ク母材に非常に高い電圧をかけ、イオンを高エネルギで
衝突させるため、ワーク母材に酸化膜が生成していた
り、母材に吸着分子膜が生成していたとしても、この酸
化膜や吸着分子膜等を除去できる膜除去効果が得られる
ためと考えられている。

【００３５】しかしながら上記したイオンボンバード工
程においてシムＷやワークホルダ４０等が汚れている
と、マイクロアークとも呼ばれる異常放電が発生し易
い。この異常放電は、シムＷの傷つき、溶着等の不具合
を誘発し、更には本来得られるはずの上記した膜除去効
果が低減されるため、シムＷに成膜したコーティング膜
の密着力も低下するおそれがある。従って、シムＷやワ
ークホルダ４０等の汚れは、好ましくない。

【００３６】この点本実施例に係る膜コーティング用治
具４を用いれば、前述した記載から理解できるように、
洗浄処理から膜コーティング処理に至るまで、複数個の
シムＷを膜コーティング用治具４にまとめて収容したま
ま、一括して移動できる。更にワーク保持手段１５の回
転軸体１７にシムＷを取付ける時にも、膜コーティング
用治具４に収容したまま各シムＷをまとめて取付け得
る。故に、効率が良い。更に、コーティング処理を開始
するにあたり、シムＷを収容した膜コーティング用治具
４のまま、ワーク保持手段１５の回転軸体１７にシムＷ
を取付け得るので、作業者の指先やロボット等がシムＷ
のコーティング面Ｗ１１に直接触れる機会が無くなる
か、大幅に低減し得る。そのため洗浄処理後にシムＷの
コーティング面Ｗ１１が汚染されることを低減または回
避できる。

【００３７】また洗浄処理ではシムＷを膜コーティング
用治具４に収容したまま洗浄できるため、シムＷと共に
膜コーティング用治具４、特にワークホルダ４０の汚れ
を除去するのにも有利である。換言すれば、コーティン
グ処理の際に使用されるワークホルダ４０は、シムＷと
共に洗浄処理を受ける。そのため、このようにシムＷの
汚れが洗浄されるばかりか、ワークホルダ４０に付着し
ているコーティング滓や汚れを除去するのにも有利であ
る。従って、上記したイオンボンバード処理において、
シムＷやワークホルダ４０の汚れに起因する異常放電を
防止するのに有利であり、コーティング膜の密着強度の
確保、コーティング膜の安定化に貢献できる。なお、ワ
ークとしてはシムを採用しているが、シムに限定される
ものではなく、膜コーティング処理を施す他の部材に適
用することもできる。

【００３８】（付記）上記した記載から次の技術的思想
も把握できる。 ○互いに分離可能に連結されると共に連結時に複数個の
ワークをまとめて挟装状態に収容する収容室を形成する
互いに対向するワークホルダ及びワークカバーで構成さ
れた膜コーティング用治具を用い、ワークホルダとワー
クカバーとを連結して構成された膜コーティング用治具
の収容室に複数個のワークを収容し、収容した状態で、
ワークを膜コーティング用治具と共に洗浄する洗浄工程
と、複数個のワークを収容した膜コーティング用治具を
ワークと共にワーク保持手段に取付ける取付工程と、ワ
ークをワーク保持手段に取付けたまま、ワーク保持手段
に取付けられているワークホルダからワークカバーを分
離させ、ワークのコーティング面を外方に露出させるワ
ークカバー分離工程と、露出したワークのコーティング
面にまとめて膜コーティング処理を行い、コーティング
面に成膜する膜コーティング工程とを順に実施すること
を特徴とする膜コーティング方法。 ○互いに分離可能に連結されると共に連結時に複数個の
ワークをまとめて挟装状態に収容する収容室を形成する
互いに対向するワークホルダ及びワークカバーで構成さ
れた膜コーティング用治具を用い、ワークホルダとワー
クカバーとを連結して構成された膜コーティング用治具
の収容室に複数個のワークを収容し、収容した状態で、
膜コーティング用治具をワーク保持手段に取付けること
により複数個のワークをまとめてワーク保持手段に取付
ける取付工程と、ワークをワーク保持手段に取付けたま
ま、ワーク保持手段に取付けられているワークホルダか
らワークカバーを分離させ、各ワークのコーティング面
を外方に露出させるワークカバー分離工程と、露出した
各ワークのコーティング面にまとめて膜コーティング処
理を行い、ワークのコーティング面に成膜する膜コーテ
ィング工程と、成膜後に、ワーク保持手段に取付けられ
ているワークホルダにワークカバーを再び連結して、ワ
ークホルダとワークカバーとでワークを挟装状態に収容
する再連結工程と、ワークを挟装状態に収容した状態の
膜コーティング用治具をワーク保持手段から外すことに
より、複数個のワークをワーク保持手段からまとめて外
すワーク外し工程とを順に実施することを特徴とする膜
コーティング方法。

【００３９】上記各方法においても、本明細書に記載し
た実施例効果及び発明の効果に相当する効果が得られ
る。

【００４０】

【発明の効果】本発明に係る膜コーティング用治具を用
いれば、洗浄処理からコーティング処理に至るまで、複
数個のワークを膜コーティング用治具にまとめて収容し
たまま、一括して移動できる。更にワーク保持手段にワ
ークを取付ける時にも、膜コーティング用治具のままワ
ークを取付け得る。故に、効率が良い。

【００４１】更に、膜コーティング処理を開始するにあ
たり、ワークを収容した膜コーティング用治具のまま、
ワーク保持手段にワークを取付け得るので、作業者の指
先やロボット等がワークに直接触れる機会が無くなるか
大幅に低減し得る。そのため洗浄後にワークのコーティ
ング面が汚染されることを低減または回避できる。また
洗浄処理ではワークを膜コーティング用治具に収容した
まま洗浄できるため、ワークと共に膜コーティング用治
具の汚れを除去するのにも有利である。故に、汚れに起
因するコーティング膜の密着性低下を抑制するのに有利
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】膜コーティング装置を概略して示す斜視図であ
る。

【図２】回転軸体からワークホルダ、ワークカバーを外
した状態を模式的に示す分解斜視図である。

【図３】（Ａ）はワークホルダの断面図であり、（Ｂ）
はワークホルダの正面図である。

【図４】（Ａ）はワークカバーの側面図であり、（Ｂ）
はワークカバーの正面図である。

【図５】シムを収容すると共にワークカバーを連結した
状態のワークホルダを回転軸体の磁石体に取付けた状態
を示す横断面図である。

【図６】ワークカバーを分離したワークホルダをシムと
共に回転軸体の磁石体に取付けた状態を示す横断面図で
ある。

【図７】連結具の断面図である。

【図８】工程図を示す図である。

【図９】（Ａ）は膜コーティング用治具が取付けられた
磁石体及び膜コーティング用治具が取付けられていない
磁石体を備えた回転軸体を示す構成図であり、（Ｂ）は
膜コーティング用治具を示す構成図である。

【図１０】ワークホルダを分離すると共に、シムを収容
した状態のワークホルダを回転軸体の磁石体に取付けた
状態の半分を示す横断面図である。

【図１１】従来技術に係る構成図である。

【符号の説明】

図中、１０は蒸発源、１５はワーク保持手段、１７は回
転軸体、１８ａは磁石体、４は膜コーティング用治具、
４０はワークホルダ、４０ｋは通孔、４２はワークカバ
ー、４５は収容室、４７は開口窓を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】コーティング源に対向するワーク保持手段
   に取着され、複数個のワークのコーティング面にまとめ
   て膜コーティング処理する際に使用される膜コーティン
   グ用治具であって、 互いに分離可能に連結されると共に連結時に複数個のワ
   ークをまとめて挟装状態に収容する収容室を形成する互
   いに対向するワークホルダ及びワークカバーで構成さ
   れ、 前記ワークカバーは、前記ワークのコーティング面を外
   方に露出させる開口窓をもち、 前記ワークホルダは、前記ワークホルダから前記ワーク
   カバーを分離した状態で前記ワークを前記ワーク保持手
   段に保持可能であることを特徴とする膜コーティング用
   治具。