DE4305749A1 - Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Ätzanlage - Google Patents
Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder ÄtzanlageInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Halten von
flachen, kreischeibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer
einer Beschichtungs- oder Ätzanlage, mit einer plattenför
migen Substratauflage mit einer vorzugsweise rechteckigen
Grundfläche, insbesondere zur Befestigung an einer Schwenk
einrichtung.
In der Praxis hat es sich als problematisch erwiesen, dünn
wandige Substrate aus zerbrechlichem Werkstoff, beispiels
weise sogenannte Wafer, auf dem Substratträger so anzu
ordnen, daß sie nicht vom Substratträger abrutschen, wenn
dieser in eine andere Lage verschwenkt wird, beispielsweise
weil der Beschichtungsprozeß eine Halterung der Substrate in
einer senkrechten Lage erfordert. Weiterhin hat es sich als
schwierig erwiesen eine ausreichende Kühlung der Substrate
sicherzustellen, wenn diese derart dünnwandig sind, daß
schon sehr geringe Einspannkräfte eine Durchbiegung des
Substrats zur Folge haben, so daß die Substrate nicht mehr
auf der beispielsweise wassergekühlten Substratauflage
ganzflächig aufliegen.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde
eine plattenförmige Substratauflage bzw. Substrathalte
einrichtung zu schaffen, die die erwähnten Nachteile nicht
aufweist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die
Substratauflage mit einer vorzugsweise rechteckigen Grund
fläche, insbesondere zur Befestigung an einer Schwenkein
richtung, mit beiderseits und parallel der beiden langen
Seitenflächen der Substratauflage vorgesehenen, die Ober
seite der Substratauflage teilweise übergreifenden, im
Querschnitt L-förmig ausgeformten Klemmbacken versehen ist,
deren einanderzugekehrten, auf der Oberseite der Substrat
auflage aufliegenden Schenkel bogenförmige Ausnehmungen
aufweisen mit denen sie die auf der Oberseite der Substrat
auflage abgelegten Substrate teilweise umschließen, wobei
die beiden Klemmbacken an ihren schmalen Stirnflächen je
weils eine Bohrung aufweisen, die jeweils mit einem Zapfen
oder Bolzen korrespondiert der an der entsprechenden Klemm
leiste eines Klemmleistenpaares fest angeordnet ist, wobei
die beiden Klemmleisten mit weitere, jeweils dem ersten
Bolzenpaar parallele Bolzen versehen sind die mit Bohrungen
in den Stirnflächen der Substratauflage zusammenwirken.
Vorzugsweise weist die plattenförmige Substratauflage auf
ihrer Oberseite eine Vielzahl von hintereinanderliegend
angeordneten kreischeibenförmigen Haltescheiben auf, die mit
ihren Unterseiten fest mit der Substratauflage verbunden
sind und deren Durchmesser jeweils dem Durchmesser der
Substrate entspricht, wobei die bogenförmigen Ausnehmungen
der auf der Oberseite der Substratauflage aufliegenden
Schenkel der Klemmbacken der Randkonfiguration der Halte
scheiben angepaßt sind und jeweils geringfügig über die
obere umlaufende Kante der Haltescheiben hervorstehen und
jeweils in unmittelbarem Kontakt mit den Randpartien der
Substrate treten.
Zweckmäßigerweise ist jeweils ein zwischen der Unterseite
des Substrats und der Oberseite der zugeordneten Halte
scheibe aufgebrachtes, den Wärmeübergang zwischen beiden
Teilen begünstigendes Kontaktmittel, beispielsweise einem
Indium-Gallium Präparat, vorgesehen.
Weitere Merkmale und Einzelheiten sind in den Patenan
sprüchen näher beschrieben und gekennzeichnet.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglich
keiten zu; eine davon ist in der anhängenden Zeichnung
schematisch näher dargestellt und zwar zeigen:
Fig. 1 eine Darstellung aller Einzelteile der Vorrichtung
und zwar sowohl in der Draufsicht, als auch teil
weise im Schnitt, etwa nach den Linien C-D.
Fig. 2 Die Vorrichtung nach Fig. 1 in der Draufsicht und
in fertig montiertem Zustand und im Schnitt gemäß
den Linien A-B.
Wie die Figuren zeigen, besteht die Vorrichtung aus einer
plattenförmigen Substratauflage 3 mit einer parallelepipeden
Form auf deren Oberseite 5 insgesamt fünf Haltescheiben
15, 15′, . . fest angeordnet, beispielsweise aufgelötet sind,
weiterhin zwei Klemmbacken 4, 4′ deren den Haltescheiben
15, 15′, . . . zugewandte schmale Seitenflächen bogenförmige
Aussparungen 7, 7′, . . . aufweisen, wobei diese Aussparungen
den Rundungen der Haltescheiben 15, 15′, . . . entsprechen,
weiterhin zwei Klemmleisten 11, 11′ deren, den Stirnflächen
der Substratauflage 3 und den Klemmbacken 4, 4′ zugekehrte
Schmalseiten jeweils vier Zapfen oder Bolzen 10, 10′, . . . bzw.
12, 12′, . . . aufweisen die mit entsprechenden Bohrungen
9, 9′, . . . bzw. 13, 13′, . . . in den Stirnseiten der Klemmbacken
4, 4′ bzw. der Substratauflage 3 korrespondieren.
Die Substratauflage 3 ist außerdem in ihren Randpartien mit
Nuten 18 versehen, die zusammen eine endlose umlaufende
Vertiefung zur Aufnahme von überschüssigem Kontaktmittel
bilden, das von der auf der Oberseite der Haltescheiben
15, 15′, . . . aufgetragenen Schicht abfließt, wenn die Sub
strate 2, 2′, . . . auf die Haltescheiben 15, 15′, . . . aufgelegt
werden. Fig. 2 zeigt die aus den in Fig. 1 dargestellten
Einzelteilen 3, 4, 4′, 11, 11′ zusammengesetzte Substrat
auflage. Die einzelnen Substrate 2, 2′ . . . . die auf den
Haltescheiben 15, 15′, . . . aufliegen sind beiderseits von den
bogenförmigen Ausnehmungen 7, 7′, . . . umgriffen, wobei die
Schenkel 6, 6′ der Klemmbacken 4, 4′ geringfügig über die
oberen Ränder der Substrate 2, 2′, . . . hervorstehen und so
verhindern, daß diese seitlich von den Haltescheiben
15, 15′, . . . abrutschen können. Die Klemmleisten 11, 11′ die
mit ihren Zapfen oder Bolzen 10, 10′, . . . bzw. 12, 12′, . . . in
den Bohrungen 9, 9′, . . . bzw. 13, 13′, . . . ruhen, halten die
Klemmbacken 4, 4′ präzise und unverrückbar an der platten
förmigen Substratauflage 3 fest. Die Klemmbacken 4, 4′ sind
so bemessen, daß die Ausnehmungen zwar fest an den zylin
drischen Seitenflächen der Haltescheiben 15, 15′, . . .
anliegen, jedoch andererseits keine nennenswerten
Klemmkräfte auf die umlaufenden Ränder der Substrate 2, 2′, . . .
ausüben.
Bezugszeichenliste
2, 2′, . . . Substrat
3 plattenförmige Substratauflage
4, 4′ Klemmbacke
5 Oberseite
6, 6′ Schenkel
7, 7′, . . . bogenförmige Ausnehmung, Aussperrung
8, 8′, . . . schmale Stirnfläche der Klemmbacke
9, 9′, . . . Bohrung
10, 10′, . . . Bolzen, Zapfen
11, 11′ Klemmleiste
12, 12′, . . . Bolzen
13, 13′, . . . Bohrung
14, 14′ Stirnfläche der Substratauflage
15, 15′, . . . Haltescheibe
16, 16′ Seitenfläche der Substratauflage
17 Rückseite der Substratauflage
18 umlaufende Randnut.
3 plattenförmige Substratauflage
4, 4′ Klemmbacke
5 Oberseite
6, 6′ Schenkel
7, 7′, . . . bogenförmige Ausnehmung, Aussperrung
8, 8′, . . . schmale Stirnfläche der Klemmbacke
9, 9′, . . . Bohrung
10, 10′, . . . Bolzen, Zapfen
11, 11′ Klemmleiste
12, 12′, . . . Bolzen
13, 13′, . . . Bohrung
14, 14′ Stirnfläche der Substratauflage
15, 15′, . . . Haltescheibe
16, 16′ Seitenfläche der Substratauflage
17 Rückseite der Substratauflage
18 umlaufende Randnut.
Claims (5)
1. Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenför
migen Substraten (2, 2′, . . . ) in der Vakuumkammer einer
Beschichtungs- oder Ätzanlage, mit einer plattenför
migen Substratauflage (3) mit einer vorzugsweise recht
eckigen Grundfläche, insbesondere zur Befestigung an
einer Schwenkeinrichtung, mit beiderseits und parallel
der beiden langen Seitenflächen der Substratauflage (3)
vorgesehenen, die Oberseite (5) der Substratauflage (3)
teilweise übergreifenden, im Querschnitt L-förmig aus
geformten Klemmbacken (4, 4′), deren einanderzugekehr
ten, auf der Oberseite (5) der Substratauflage (3)
aufliegenden Schenkel (6, 6′) bogenförmige Ausnehmungen
(7, 7′) aufweisen, mit denen sie die auf der Oberseite
(5) der Substratauflage abgelegten Substrate (2, 2′, . . . )
zumindest teilweise umschließen, wobei die beiden Klemm
backen (4, 4′) an ihren schmalen Stirnflächen (8, 8′, . . . )
jeweils eine Bohrung (9, 9′, . . . ) aufweisen, die jeweils
mit einem Zapfen oder Bolzen (10, 10′, . . . ) korrespon
diert der an der entsprechenden Klemmleiste eines
Klemmleistenpaares (11, 11′) fest angeordnet ist, wobei
die beiden Klemmleisten (11, 11′) mit weitere, jeweils
dem ersten Bolzenpaar (10, 10′, . . . ) parallele Bolzen
(12, 12′, . . . ) versehen sind, die mit Bohrungen
(13, 13′, . . . ) in den Stirnflächen der Substratauflage
(3) zusammenwirken.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die plattenförmige Substratauflage (3) auf ihrer
Oberseite (5) eine Vielzahl von hintereinanderliegend
angeordneten kreisscheibenförmigen Haltescheiben
(15, 15′, . . . ) aufweist, die mit ihren Unterseiten fest
mit der Substratauflage (3) verbunden sind und deren
Durchmesser jeweils dem Durchmesser der Substrate
.) entspricht, wobei die bogenförmigen
Ausnehmungen (7, 7′, . . . ) der auf der Oberseite (5) der
Substratauflage (3) aufliegenden Schenkel (6, 6′) der
Klemmbacken (4, 4′) der Randkonfiguration der Halte
scheiben (15, 15′, . . . ) angepaßt sind und jeweils gering
fügig über die obere umlauf ende Kante der Haltescheiben
(15, 15′, . . . ) hervorstehen und jeweils in unmittelbarem
Kontakt mit den Randpartien der Substrate (2, 2′, . . . )
stehen.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet
durch ein jeweils zwischen der Unterseite des Substrats
(2, 2′, . . . ) und der Oberseite der zugeordneten Halte
scheibe (15, 15′, . . . ) auf gebrachten, den Wärmeübergang
zwischen beiden Teilen begünstigendes Kontaktmittel,
beispielsweise einem Indium-Gallium Präparat.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die beiden einander gegenüberliegenden schmalen
Stirnseiten (14, 14′) der Substratauflage (3) jeweils
mit zwei Bohrungen (13, 13′, . . .) versehen sind, die sich
parallel den beiden Seitenflächen (16, 16′) der Sub
stratauflage (3) erstrecken und in die jeweils Bolzen
(12, 12′) eingreifen, die paarweise fest an den beiden
Klemmleisten (11, 11′) angeordnet sind, wobei die über
die Seitenflächen (16, 16′) der Substratauflage (3)
beiderseits hervorstehenden freien Enden der Klemm
leisten (11, 11′) jeweils fest mit einem weiteren Bolzen
(10, 10′, . . .) versehen sind der jeweils in Bohrungen
(9, 9′, . . .) eingreift, die an den schmalen Stirnflächen
(8, 8′, . . .) der Klemmbacken (4, 4′) vorgesehen sind,
wobei die Substratauflage (3) mit ihrer Rückseite (17)
fest auf einer in der Vakuumkammer der Vorrichtung zum
Beschichten oder Ätzen gelagerten Schwenkvorrichtung
angeordnet und von dieser gehalten sind.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberseite
der Substratauflage eine in ihrem Randbereich um
laufende endlose Nut (18) aufweist, die sich parallel
den Kanten erstreckt und die überschüssiges zwischen
Haltescheiben (15, 15′, . . . ) und Substraten (2, 2′, . . . )
austretendes Kontaktmittel aufnimmt.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4305749A DE4305749A1 (de) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Ätzanlage |
CH02683/93A CH687925A5 (de) | 1993-02-25 | 1993-09-08 | Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenfoermigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Aetzanlage. |
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JP6028058A JPH06287753A (ja) | 1993-02-25 | 1994-02-25 | コーティング装置又はエッチング装置の真空チャンバ内で扁平の円板状サブストレートを保持する装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4305749A DE4305749A1 (de) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Ätzanlage |
Publications (1)
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ID=6481272
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4305749A Withdrawn DE4305749A1 (de) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Vorrichtung zum Halten von flachen, kreisscheibenförmigen Substraten in der Vakuumkammer einer Beschichtungs- oder Ätzanlage |
Country Status (4)
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---|---|
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JP (1) | JPH06287753A (de) |
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- 1993-09-08 CH CH02683/93A patent/CH687925A5/de not_active IP Right Cessation
- 1993-12-01 US US08/160,927 patent/US5350455A/en not_active Expired - Fee Related
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1994
- 1994-02-25 JP JP6028058A patent/JPH06287753A/ja active Pending
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