JP2021187149A - 真空積層システムおよび真空積層方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12 保護フィルム巻取りホイール
14 フィルム回収アセンブリ
20 フィルム
22 保護フィルム
30 基板
100 真空積層システム
110 上側積層本体
111 上側筐体
112 上側穴
113 上側断熱層
114 上側加熱層
116 可撓性パッド
117 上側駆動アセンブリ
118 上側加熱アセンブリ
120 下側積層本体
121 第1の筐体ベース
1211 上面
122 第2の筐体ベース
123 可撓性気密アセンブリ
125 下部加熱層
126 下部ウェーハ・キャリア・トレイ
127 ピン
128 空間
129 下側加熱アセンブリ
130 移動アセンブリ
140 切断アセンブリ
150 空気抜き取り器
Claims (12)
- フィルムを基板に固着させるように構成された真空積層システムであって、
前記フィルムを提供するように構成されたフィルム供給アセンブリと、
前記フィルムを再利用するように構成されたフィルム回収アセンブリと、
前記フィルム供給アセンブリと前記フィルム回収アセンブリとの間に位置し、第1の筐体ベース、および垂直方向に移動可能で前記第1の筐体ベースに配置された下側加熱アセンブリを備える下側積層本体であって、前記基板が前記第1の筐体ベースの上面と同一平面になり、前記基板が前記第1の筐体ベースの前記上面から突出し、または前記第1の筐体ベース内に後退するように、前記下側加熱アセンブリが前記基板を運び移動させるように構成された、下側積層本体と、
垂直方向に移動可能で、前記下側積層本体の上方に配置され、上側筐体、および前記上側筐体に配置された上側加熱アセンブリを備える上側積層本体と、
前記下側積層本体に連結された空気抜き取り器と、
前記フィルム供給アセンブリと前記フィルム回収アセンブリとの間に移動可能に配設され、前記下側積層本体と前記上側積層本体との間で前記フィルムの一部分の高さを変えるように構成された移動アセンブリと、
前記下側積層本体の上方に移動可能に配設され、前記基板に積層された前記フィルムの一部分を切断するように構成された切断アセンブリとを備える、真空積層システム。 - 前記下側積層本体が、垂直方向に移動可能で前記第1の筐体ベースの下に配設された第2の筐体ベースと、前記第2の筐体ベースと前記第1の筐体ベースとの間に配置された可撓性気密アセンブリとをさらに備え、前記下側加熱アセンブリが、前記第2の筐体ベースとともに移動する、請求項1に記載の真空積層システム。
- 前記上側積層本体が、可撓性パッドをさらに備え、前記可撓性パッドの周囲が前記上側筐体に固定され、前記上側加熱アセンブリが、前記上側筐体と前記可撓性パッドとの間に位置し、前記上側筐体が上側穴を有し、前記上側加熱アセンブリと前記可撓性パッドとの間の空間が、前記上側穴と連通している、請求項1に記載の真空積層システム。
- 前記上側積層本体が、前記上側加熱アセンブリを前記上側筐体に対して移動させるように前記上側加熱アセンブリに連結された上側駆動アセンブリをさらに備える、請求項1に記載の真空積層システム。
- 前記上側積層本体が、前記上側加熱アセンブリに配設された可撓性パッドをさらに備える、請求項4に記載の真空積層システム。
- 前記上側加熱アセンブリが、連続して配置された上側断熱層と上側加熱層とを備え、前記上側加熱層が、前記下側積層本体に近い、請求項1に記載の真空積層システム。
- 前記下側加熱アセンブリが、連続して配置された下側加熱層と下側ウェーハ・キャリア・トレイとを備え、前記下側ウェーハ・キャリア・トレイが、前記上側積層本体に近い、請求項1に記載の真空積層システム。
- 基板の上方にフィルムを配設するステップであって、前記フィルムと前記基板との間に隙間が形成されるステップと、
前記フィルムと前記基板との間の空気を抜き取るステップと、
前記基板を前記フィルムに近づけ、前記基板および前記フィルムを加熱および加圧するステップと、
前記基板に積層された前記フィルムの一部分を切断するステップと、を含む真空積層方法。 - 前記フィルムを前記基板の上方に配設する前記ステップが、
下側積層本体を提供するステップであって、前記下側積層本体が、第1の筐体ベース、および垂直方向に移動可能で前記第1の筐体ベースに配置された下側加熱アセンブリを備えるステップと、
前記基板を前記下側加熱アセンブリに配設し、前記第1の筐体ベースの上面よりも前記基板が低くなるように前記下側加熱アセンブリを下降させるステップと、
前記フィルムを前記第1の筐体ベースの前記上面に配設するステップとをさらに含む、請求項8に記載の真空積層方法。 - 前記フィルムと前記基板との間の空気を抜き取る前記ステップが、
上側積層本体を、前記下側積層本体の前記第1の筐体ベースに向けて下降させて、前記フィルムの上側表面に押し当てるステップと、
前記上側積層本体と前記下側積層本体との間の空気を抜き取るステップとをさらに含む、請求項9に記載の真空積層方法。 - 前記基板を前記フィルムに近づけ、前記基板および前記フィルムを加熱および加圧する前記ステップが、
前記下側積層本体の前記下側加熱アセンブリを上昇させて、前記基板を前記フィルムの下側表面に近づけるステップをさらに含み、前記上側積層本体の可撓性パッド、および前記下側積層本体の前記下側加熱アセンブリが、前記基板および前記フィルムを加熱および加圧して、それにより前記フィルムが前記基板に加熱プレスされる、請求項10に記載の真空積層方法。 - 前記基板および前記フィルムを加熱および加圧した後で、前記フィルムを切断する前に、前記方法が、
前記基板および前記フィルムの加圧を停止するステップと、
前記上側積層本体と前記下側積層本体との間の負圧または真空状態を解消するステップと、
前記上側積層本体を上昇させ、前記基板および前記基板に積層された前記フィルムの一部分を露出するステップとをさらに含む、請求項10に記載の真空積層方法。
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