JP2021124611A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面によれば、対象物の振動を制御する振動制御装置であって、前記対象物の変位、速度、加速度のうちの少なくとも１つの物理量を検出するセンサと、前記センサにより検出された前記物理量に基づいて前記振動を低減するための制御信号を生成する適応フィルタと、前記制御信号に対応する制御音を出力するスピーカと、を有することを特徴とする振動制御装置が提供される。

Claims (7)

1. 対象物の振動を制御する振動制御装置であって、
   前記対象物の変位、速度、加速度のうちの少なくとも１つの物理量を検出するセンサと、
   前記センサにより検出された前記物理量に基づいて前記振動を低減するための制御信号を生成する適応フィルタと、
   前記制御信号に対応する制御音を出力するスピーカと、
   を有することを特徴とする振動制御装置。
2. 前記センサは、複数の加速度計を含み、
   前記複数の加速度計のそれぞれは、前記対象物の第１方向の並進運動における加速度を検出し、
   前記複数の加速度計は、前記第１方向と直交する第２方向に離間して前記対象物に取り付けられ、
   前記複数の加速度計のそれぞれによる検出結果から前記第１方向の振動を表す第１振動モードを求め、前記第１振動モードを、前記第１方向および前記第２方向の双方に対して直交する第３方向周りの振動を表す第２振動モードに変換するモード変換部と、
   前記モード変換部により得られた前記第２振動モードに基づいて前記適応フィルタのパラメータを更新する処理部と、
   を更に有することを特徴とする請求項１に記載の振動制御装置。
3. 騒音を表す参照信号を取得する取得部を更に有し、
   前記適応フィルタは、前記取得部により取得された前記参照信号と前記センサにより検出された前記物理量とに基づいて前記制御信号を生成する
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の振動制御装置。
4. 基板を露光する露光装置であって、
   原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
   前記投影光学系を構成する光学部材の振動を制御する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動制御装置と、
   を有することを特徴とする露光装置。
5. 基板を露光する露光装置であって、
   原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
   前記投影光学系を構成する光学部材の振動を制御する請求項３に記載の振動制御装置と、を有し、
   前記取得部はマイクロホンを含み、
   前記マイクロホンは、前記騒音の騒音源である送風機から前記投影光学系まで延びる給気ダクトの内部に配置される
   ことを特徴とする露光装置。
6. 基板を露光する露光装置であって、
   原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
   前記投影光学系を構成する光学部材の振動を制御する請求項３に記載の振動制御装置と、を有し、
   前記取得部は、変位、速度、加速度のいずれかを検出する検出器を含み、
   前記検出器は、前記騒音の騒音源である送風機、または、前記送風機から前記投影光学系まで延びる給気ダクトに配置される
   ことを特徴とする露光装置。
7. 投影光学系を介して基板を露光する露光工程と、
   前記露光工程で露光された基板を現像する現像工程と、
   を含み、前記現像工程で現像された基板から物品を製造する、物品製造方法であって、
   前記露光工程において、前記投影光学系に含まれる素子の振動を低減するための制御信号に対応する制御音が出力された状態で前記基板の露光が行われ、
   前記制御信号は、前記素子の変位、速度、加速度のうちの少なくとも１つの物理量の検出結果に基づいて適応フィルタ処理によって生成される、
   ことを特徴とする物品製造方法。