KR20210100012A - 진동 제어장치, 노광 장치, 및 물품제조방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 대상물의 진동을 저감하는 데 유리한 기술을 제공하는 것.
[해결 수단] 대상물의 진동을 제어하는 진동 제어장치가 제공된다. 진동 제어장치는, 상기 대상물의 변위, 속도, 가속도 중 적어도 1개의 물리량을 검출하는 센서와, 상기 센서에 의해 검출된 상기 물리량에 근거해서 상기 진동을 저감하기 위한 제어 신호를 생성하는 적응 필터와, 상기 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력하는 스피커를 가진다.

Description

진동 제어장치, 노광 장치, 및 물품제조방법{VIBRATION CONTROL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE}

본 발명은, 진동 제어장치, 노광 장치, 및 물품제조방법에 관한 것이다.

노광 장치에서는, 미세한 패턴을 기판상에 노광하기 때문에, 조명계, 원판(마스크), 렌즈 투영 광학계, 그리고 기판까지의 일련의 상대 위치 관계를 엄격한 정밀도로 제어할 필요가 있다. 각 유닛은 구조체에 의해 지지되어 있고, 구조체는 마운트에 의해서 제진되어 있다. 또한, 노광 장치의 챔버 내부와 투영 광학계 내부는 온도제어가 행해지고 있고, 기계실에서 온도조절된 공기가, 챔버 내부와 투영 광학계 내부에 급기 덕트를 통해서 공급되어 있다. 또한, 배기 덕트를 통해서 챔버 내부와 투영 광학계 내부의 공기가 기계실에 복귀되는 순환 기구도 설치되어 있다.

이 온도조절된 공기를 공급해 배기하기 위해서 팬을 사용할 수 있지만, 이것이 발생하는 소음은 노광 장치 각 부를 진동시킨다. 예를 들면, 기계실과 투영 광학계는 덕트로 접속되어 있기 때문에, 팬에 의한 소음이 덕트 경유로 투영 광학계 내부에 전달되어, 광학부재가 진동해서 광로가 흔들리는 것에 의해 해상력 등의 장치성능이 저하할 수 있다. 그 밖에도 노광 장치의 인터페이스로부터 잠입하는 소음이나 마스크 반송용의 로보트의 구동에 의한 소음등 여러가지 요인으로 장치 각 부가 진동하여, 장치성능이 저하할 수 있다. 또한, 노광 장치의 고선명화에 따라, 이것들의 진동에 대한 요구가 엄격해져 있다.

특허문헌 1에는, 노광 장치에 있어서의 기계공진 주파수 부근의 소음을 저감하는 여러가지 대책이 열거되어 있다. 첫번째 대책은, 노광 장치의 기계공진 주파수 부근의 소음을 발생시키는 송풍용의 시로코(sirocco) 팬을 노광 장치의 기계공진 주파수 부근의 소음이 작은 터보 팬이나 래디얼 팬으로 변하게 하는 것이다. 이에 따라, 팬에 의한 장치 각 부의 공진이 저감된다. 두번째 대책은, 특정한 주파수 대역의 소음을 저감하는 리액티브형 소음기를 사용하는 것이다. 이 수법은, 소리의 전달 경로에 있어서 공명부를 만들고, 소리의 간섭을 이용해서 소음을 저감시킬 수 있다. 세번째 대책은, 소리의 전달 경로인 덕트에 액티브 노이즈 제어를 적용하는 것이다. 액티브 노이즈 제어는, 일반적으로는 500Hz이하 등의 낮은 주파수의 소음에 유효하다고 하고 있다. 네번째 대책은, 챔버 내벽에 글라스울 등으로 이루어지는 흡음부재를 설치해 정재파 등의 소음을 흡수하는 것이다.

일본 특허공개평 9-260279호 공보

특허문헌 1에 기재된, 터보 팬이나 래디얼 팬을 사용하는 수법은, 일정한 소음의 저감은 가능하지만, 효과는 한정적이다. 또한, 리액티브형 소음기가 유효한 것은 특정한 주파수 대역에 한정되고, 넓은 주파수 대역에 적용할 수 없다. 또한, 리액티브형 소음기는 공명부를 필요로 하기 때문에, 공간적으로 제약이 있을 경우는 적용이 곤란하다. 더욱, 리액티브형 소음기는 소음의 전달 경로에 적용되기 때문에, 전달 경로가 명확히 되어 있을 필요가 있고, 또한 소음가능한 공간이 소음기를 설치한 경로에 한정된다. 액티브 노이즈 제어를 사용하는 수법은 상기 리액티브형 소음기의 과제인 주파수 대역의 과제나 공간적 제약을 해결할 수 있는 한편, 리액티브형 소음기 같이 전달 경로가 명확히 되어 있을 필요가 있다. 또한, 이 수법에서는, 스피커 등을 사용하기 때문에, 일부의 공간에서 소음이 저감되어 있어도, 그 밖의 공간에서 소음이 증가할 가능성이 있다. 예를 들면, 스피커를 급기 덕트부에 접속했을 경우, 덕트 내부의 소음은 저감하는 한편, 스피커 배면으로부터 나오는 소리에 의해 대상물을 진동시켜버릴 가능성이 있다.

본 발명은, 대상물의 진동을 저감하는 데 유리한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1의 측면에 의하면, 대상물의 진동을 제어하는 진동 제어장치이며, 상기 대상물의 변위, 속도, 가속도 중 적어도 1개의 물리량을 검출하는 센서와, 상기 센서에 의해 검출된 상기 물리량에 근거해서 상기 진동을 저감하기 위한 제어 신호를 생성하는 적응 필터와, 상기 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력하는 스피커를, 갖은 것을 특징으로 하는 진동 제어장치가 제공된다.

본 발명의 제2의 측면에 의하면, 기판을 노광하는 노광 장치이며, 원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와, 상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 상기 제1의 측면에 따른 진동 제어장치를, 갖은 것을 특징으로 하는 노광 장치가 제공된다.

본 발명의 제3의 측면에 의하면, 상기 제1의 측면에 따른 진동 제어장치는, 상기 소음을 나타내는 참조 신호를 취득하는 취득부를 더 갖고, 상기 적응 필터는, 상기 취득부에 의해 취득된 상기 참조 신호와 상기 센서에 의해 검출된 상기 물리량에 근거해서, 상기 제어 신호를 생성하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제4의 측면에 의하면, 기판을 노광하는 노광 장치이며, 원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와, 상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 상기 제3의 측면에 따른 진동 제어장치를, 갖고, 상기 취득부는 마이크로폰을 포함하고, 상기 마이크로폰은, 상기 소음원인 송풍기로부터 상기 투영 광학계까지 연장되는 급기 덕트의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 노광 장치가 제공된다.

본 발명의 제5의 측면에 의하면, 기판을 노광하는 노광 장치이며, 원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와, 상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 상기 제3의 측면에 따른 진동 제어장치를, 갖고, 상기 취득부는, 변위, 속도, 가속도 중 어느 하나를 검출하는 검출기를 포함하고, 상기 검출기는, 상기 소음원인 송풍기, 또는, 상기 송풍기로부터 상기 투영 광학계까지 연장되는 급기 덕트에 배치되는 것을 특징으로 하는 노광 장치가 제공된다.

본 발명의 제6의 측면에 의하면, 투영 광학계를 통해 기판을 노광하는 노광 공정과, 상기 노광된 기판을 현상하는 현상 공정을, 포함하여, 상기 현상된 기판으로부터 물품을 제조하는 물품제조방법이며, 상기 노광 공정에 있어서, 상기 투영 광학계에 포함되는 소자의 진동을 저감하기 위한 제어 신호에 대응하는 제어음이 출력된 상태에서 상기 기판의 노광이 행해지고, 상기 제어 신호는, 상기 소자의 변위, 속도, 가속도 중 적어도 1개의 물리량의 검출 결과에 근거해서 적응 필터 처리에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 물품제조방법이 제공된다.

본 발명에 의하면, 대상물의 진동을 저감하는 데 유리한 기술을 제공할 수 있다.

[도1] 실시 형태에 있어서의 노광 장치의 구성을 도시한 도면.
[도2] 실시 형태에 있어서의 신호 처리 시스템의 기능 블록도.
[도3] 실시 형태에 있어서의 진동 제어 처리의 흐름도.
[도4] 실시 형태에 있어서의 노광 장치의 구성을 도시한 도면.
[도5] 실시 형태에 있어서의 노광 장치의 구성을 도시한 도면.
[도6] 실시 형태에 있어서의 신호 처리 시스템의 기능 블록도.
[도7] 실시 형태에 있어서의 진동 제어 처리의 흐름도.

이하, 첨부 도면을 참조해서 실시 형태를 상세하게 설명한다. 이때, 이하의 실시 형태는 특허청구의 범위에 관련되는 발명을 한정하는 것이 아니다. 실시 형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이것들의 복수의 특징의 모두가 발명에 필수적인 것으로는 한정하지 않고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합하여도 좋다. 더욱, 첨부 도면에 있어서는, 동일 또는 같은 구성에 동일한 참조 번호를 첨부하여, 중복된 설명은 생략한다.

<제1실시 형태>

도1은, 본 발명의 진동 제어장치가 적용되는 노광 장치의 구성을 도시한 도면이다. 본 명세서 및 도면에 있어서는, 수평면을 ＸＹ평면으로 하고는 ＸＹＺ좌표계에 있어서 방향이 도시된다. 일반적으로는, 피노광 기판은 그 표면이 수평면(ＸＹ평면)과 평행해지도록 기판 스테이지 위에 놓인다. 따라서, 이하에서는, 기판W의 표면에 따르는 평면내에서 서로 직교하는 방향을 X축 및 Y축으로 하고 X축 및 Y축에 수직한 방향을 Z축으로 한다. 또한, 이하에서는, ＸＹＺ좌표계에 있어서의 X축, Y축, Z축에 각각 평행한 방향을 X방향, Y방향, Z방향이라고 한다.

도시되지 않은 광원으로부터 발생한 노광 광은, 결상광학계(18), 원판인 마스크(19), 투영 광학계(11)를 통과하여, 기판인 웨이퍼(20)에 투영된다. 투영 광학계(11)내에는, 사다리꼴 거울(8), 오목거울(10), 볼록거울(9) 등의 각종의 광학부재가 구성되어 있다. 챔버(15)는, 상기한 마스크(19), 투영 광학계(11), 웨이퍼(20) 등을 수용한다. 또한, 투영 광학계(11)내부등의 광로가 되는 공간은 온도 변동이 발생하지 않도록 온도가 일정하게 유지되어 있다.

온도제어에 관해서, 기계실(1)에서 공기의 온도조절이 행해지고, 온도조절된 공기가 송풍기(2)에 의해서 급기 덕트(3)를 통과하여, 먼지가 제거된 깨끗한 공기가 투영 광학계(11)에 보내진다. 또한, 투영 광학계(11)의 공기는 배기 덕트(12)를 통해서 기계실(1)에 복귀된다. 이것들 기계실(1)과 투영 광학계(11)의 공기의 순환은 송풍기(2)가 만드는 기류에 의해 행해진다.

사다리꼴 거울(8), 볼록거울(9), 오목거울(10) 등의 광학부재는 투영 광학계(11)에 의해 지지되어 있고, 투영 광학계(11)는 구조체(14)에 의해 지지되어 있다. 또한, 구조체(14)는, 마운트(13)에 의해서 제진되어 있다. 마운트(13)는, 각 발에 부착된 가속도계(도시되지 않음), 와전류 센서(도시되지 않음), 구조체의 비틀림을 계측하는 센서(도시되지 않음), 의 각각에서 얻어진 값에 근거해서 제어되어 있다. 소음 등에 의한 투영 광학계(11)내부의 광학부재의 진동은, 마운트(13)에 의해서는 제진되지는 않는다.

송풍기(2)에는, 일반적으로, 온도조절된 공기를 공급해 배기하기 위해서 팬을 사용할 수 있다. 이 팬의 동작음은 소음원이 될 수 있다. 기계실(1)에서 온도조절된 공기를 송풍기(2)에 의해 투영 광학계(11)에 보낼 때, 송풍기(2)가 소음을 내고, 급기 덕트(3)를 경유해서 광학부재를 진동시킬 수 있다. 또한, 송풍기(2)가 내는 소음은, 급기 덕트(3)를 통과하여, 덕트로부터의 음 누설에 의해 광학부재를 진동시킬 수 있다. 그 밖에도, 송풍기(2)가 내는 소음이 기계실(1)과 챔버(15)를 투과하여, 광학부재나 장치 각 부를 진동시킬 수 있다.

제1실시 형태에서는, 소음원인 송풍기(2), 또는, 송풍기(2)로부터 투영 광학계(11)까지 연장되는 급기 덕트(3)의 내부에, 마이크로폰(17)이 부착된다. 마이크로폰(17)은, 소음을 참조 신호로서 취득하는 취득부를 구성한다. 예를 들면, 도1의 예에서는, 급기 덕트(3)내에 마이크로폰(17)이 부착된다. 이 경우, 급기 덕트(3)에 흐르는 바람이 마이크로폰(17)에 부딪혀서 바람 잡음이 발생하고, 이에 따라 제진 대상물인 광학부재를 진동시켜 있는 소음을 계측할 수 없을 가능성이 있다. 그 때문에, 마이크로폰(17)에 방풍 스크린(도시되지 않음)을 부착하는 등의 바람 잡음의 대책이 취해져도 좋다. 마이크로폰(17)은 신호 처리 시스템(4)(처리부)에 접속되고, 마이크로폰(17)으로부터의 신호는 신호 처리 시스템(4)에서 처리된다. 마이크로폰(17)은, 피드 포워드 제어로 제진 대상물을 제어하기 위해서 사용되기 때문에, 제진 대상물의 진동과 코히어런스 함수가 높아지는 위치에 부착된다. 예를 들면, 덕트내에 마이크로폰(17)을 설치하는 것이 곤란할 경우에는, 소음의 발생원인 기계실(1) 부근에 설치되어도 좋고, 그 설치 위치는, 사전에 제진 대상물의 진동과 코히어런스 함수가 높은 위치를 조사하는 것에 의해 결정될 수 있다.

해상력 등의 장치 성능에 영향을 주는 광학부재로서, 오목거울(10)이 있다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 오목거울(10)을 제진 대상물로 한다. 오목거울(10)에는, 진동에 관한 물리량을 검출하는 복수의 센서가 배치된다. 진동에 관한 물리량에는 변위, 속도, 가속도가 포함될 수 있다. 따라서, 복수의 센서는, 제진 대상물인 오목거울(10)의 변위, 속도, 가속도 중 어느 하나를 검출하는 센서일 수 있다. 여기에서는, 복수의 센서의 각각은, 진동의 가속도를 검출하는 가속도계인 것으로 한다. 도1의 예에서는, 오목거울(10)에, 가속도계(6,7)가 부착된다. 가속도계(6,7)의 각각은, 오목거울(10)의 Ｙ방향(제1방향)의 병진 운동에 있어서의 가속도를 검출하도록, 오목거울(10)의 배면에 부착된다.

가속도계(6,7)는 신호 처리 시스템(4)에 접속되고, 가속도계(6,7)의 출력 신호는 신호 처리 시스템(4)에서 처리된다. 가속도계(6,7)는, 해상력 등의 장치 성능에 큰 영향을 줄 수 있는 오목거울(10)의 축의 진동을 계측하기 위해서 사용된다. 해상력 등의 장치 성능에 큰 영향을 줄 수 있는 축의 진동으로서는 예를 들면, X축주변의 회전인 피칭이 있다. 피칭의 계측을 행할 경우에는, 가속도계(6,7)는 각각, Y방향(제1방향)과 직교하는 Ｚ방향(제2방향)으로 이격되어서(즉, 위치를 어긋나게 해서) 오목거울(10)에 부착된다. 또한, Z축주변의 회전인 요우잉의 계측을 행할 경우에는, 가속도계(6,7)는 각각, X방향으로 이격되어서 오목거울(10)에 부착된다.

상기한 것 같이, 가속도계(6,7)의 각각에 의해 검출되는 것은, Y방향의 병진 운동에 있어서의 가속도다. 신호 처리 시스템(4)은, 가속도계(6,7)각각의 검출 결과로부터 Y방향의 병진 운동의 진동을 의미하는 제1진동 모드를 구한다. 신호 처리 시스템(4)은 더욱, 요구된 제1진동 모드를, Y방향(제1방향) 및 Z방향(제2방향)의 쌍방에 대하여 직교하는 Ｘ방향주변(제3방향주변)의 진동을 나타내는 제2진동 모드로 변환하는 처리를 행한다. 이하에서는, 이 처리를 「모드 변환」이라고 말한다. 모드 변환은, 대상물의 중심좌표와 가속도계의 부착 좌표에 근거해서 계산된다. 예를 들면, 피칭의 진동을 계측할 경우, 모드 변환은 다음의 근사식을 사용해서 행해질 수 있다.

단, Z₆은, 대상물의 중심의 Ｚ좌표와 가속도계 6의 Ｚ좌표와의 사이의 거리, Z₇은, 대상물의 중심의 Ｚ좌표와 가속도계 7의 Ｚ좌표와의 거리, Ａｃｃ6 및 Ａｃｃ7은 각각, 가속도계 6 및 가속도계 7의 출력 신호다.

또한, 스피커(5)가, 해상력 등의 장치 성능에 영향을 주는 대상물인 오목거울(10)의 진동 축을 제어할 수 있는 위치에 부착된다. 스피커(5)는, 신호 처리 시스템(4)에 의해 생성된 진동을 저감하기 위한 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력하는 제어용 스피커다. 예를 들면, 오목거울(10)의 중심으로부터 Z방향으로 어긋나게 한 위치에 제어음이 부딪히도록 스피커(5)가 부착되는 것에 의해, 피칭의 제어가 가능하게 된다. 스피커(5)로서는, 대상물의 고유 진동수 부근의 주파수 대역이 출력가능한 스피커가 사용된다.

신호 처리 시스템(4)은, ＣＰＵ, 메모리, 디지털 신호 처리 프로세서 등으로 구성된다. 실시 형태에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 복수의 센서(가속도계)의 각각에 의해 검출된 물리량에 근거해서 진동을 저감하기 위한 제어 신호를 생성하는 적응 필터를 포함할 수 있다.

도2는, 실시 형태에 있어서의 신호 처리 시스템(4)의 기능 블록도다. 신호 처리 시스템(4)은, A/D변환부(22∼24), D/A변환부(25), 적응 필터(26), 적응 알고리즘 연산부(27), 앰프(28), 모드 변환부(29)를 포함할 수 있다. A/D변환부(22, 23)는 각각, 가속도계(6,7)의 출력 신호를 디지털 신호로 변환해 변환된 디지털 신호를 모드 변환부(29)에 전송한다. A/D변환부(24)는, 마이크로폰(17)의 출력 신호를 디지털 신호로 변환해 변환된 디지털 신호를 적응 필터(26)에 전송한다. D/A변환부(25)는, 앰프(28)의 출력 신호를 아날로그 신호로 변환해서 변환된 아날로그 신호를 스피커(5)에 전송한다.

도3은, 본 실시 형태에 있어서의 진동 제어 처리의 흐름도다.

스텝S1에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 마이크로폰(17)으로부터 소음을 참조 신호로서 취득한다. 여기서 취득되는 마이크로폰(17)으로부터의 신호는, 오목거울(10)에 부착된 가속도계(6,7)의 신호와 코히어런스 함수가 높을 필요가 있다.

스텝S2에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, A/D변환부(24)에 의해, 취득된 신호의 A/D변환을 행한다.

스텝S3에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 필터(26)에 의해 적응 필터 처리를 행한다.

스텝S4에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 앰프(28)에 의해, 적응 필터 처리된 신호의 위상을 반전한다. 이 앰프(28)의 출력 신호가, 진동을 저감하기 위한 제어 신호가 된다.

스텝S5에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, D/A변환부에 의해, 앰프(28)로부터의 출력 신호(즉, 제어 신호)의 Ｄ/A변환을 행한다.

스텝S6에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 스피커(5)에 의해, 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력한다.

스텝S7에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 가속도계(6,7)로부터 가속도신호를 취득한다.

스텝S8에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, A/D변환부(22,23)에 의해, 취득된 가속도 신호의 Ａ/D변환을 행한다.

스텝S9에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 모드 변환부(29)에 의해, 상기한 모드 변환을 행한다.

스텝S10에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 알고리즘 연산부(27)에 의해, 모드 변환에 의해 얻어진 신호에 대하여 적응 알고리즘 연산을 행한다. 적응 알고리즘으로서는 예를 들면 Ｆｉｌｔｅｒｅｄ-X ＬＭＳ가 사용될 수 있다.

스텝S11에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 알고리즘 연산에 의해 얻어진 파라미터로 적응 필터의 갱신을 행한다.

이상의 처리(S1∼S11)가 반복해 행해지는 것에 의해, 오목거울(10)의 진동이 저감될 수 있다. 상기의 처리전에, 스피커(5)로부터 오목거울(10)까지의 전달 특성을 캔슬하는 필터나, 마이크로폰(17)과 스피커(5)와의 사이의 전달 특성에 근거하는 잡음 방지용 필터를 작성하는 등의 앞처리가 행해져도 좋다.

본 실시 형태에서는, 종래의 액티브 노이즈 제어에서 사용되는 오차 마이크 대신에, 대상물에 부착되는 복수의 가속도계를 사용하고, 상진동에 영향을 주는 진동 모드(제2진동 모드)를, 스피커(5)에 의해 제어한다. 오차 마이크 대신에 가속도계를 사용함에 의해, 진동을 직접 최적화하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 스니크 소리 등에 의해 오차 마이크로 소리를 저감해도 진동이 저감되지 않는다고 하는 종래의 과제를 해결할 수 있다. 더욱, 본 실시 형태에 의하면, 상진동에 영향을 주는 진동 모드를 고려할 수 있다.

또한, 본 발명의 진동 제어장치가 적용될 수 있는 것은 노광 장치등의 리소그래피 장치에 한정되지 않는다. 대상물의 진동을 계측하는 2개이상의 진동 계측 센서(가속도계), 스피커, 및 마이크로폰을 사용가능하면, 본 발명은, 주사형 현미경 등의 기기에도 적용가능하다.

상기한 실시 형태에 의하면, 종래의 액티브 노이즈 제어와 비교하여, 해상력 등의 장치 성능에 영향을 주는 진동을 저감할 수 있다. 또한, 마이크로폰(17)으로 대상물의 진동과 코히어런스 함수의 높은 소리를 계측할 수 있을 경우, 소음의 전달 경로에 상관없이 대상물의 진동을 저감하는 것이 가능해진다.

<제2실시 형태>

도4는, 제2실시 형태에 영향을 미치는 노광 장치의 구성을 도시한 도면이다. 제1실시 형태(도1)에서는, 급기 덕트(3)내에 마이크로폰(17)이 부착되어 있었지만, 본 실시 형태(도4)에서는, 그 대신에, 송풍기(2), 급기 덕트(3) 등의 소음원 부근의 부위의 변위, 속도, 가속도 중 어느 하나를 검출하는 검출기가 부착된다. 여기에서는, 그러한 검출기로서 가속도계(21)를 사용하는 것으로 한다. 가속도계(21)는, 송풍기(2) 또는 급기 덕트(3)에 배치될 수 있다. 그 이외는, 제1실시 형태와 마찬가지다.

제1실시 형태와 같이 마이크로폰을 소음원측에 부착한 경우, 마이크로폰이 직접 급기 덕트(3)에 흐르는 송풍기의 바람에 부딪혀, 바람 잡음등의 영향으로 S/N이 저하할 가능성이 있다. 그 때문에, 진동원측의 신호가 효과적으로 검지할 수 없는 것이 있다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 대상물의 진동과 코히어런스 함수가 높아지는 진동원측의 부품으로서, 가속도계(21)를 부착하였다. 가속도계(21)는, 예를 들면, 급기 덕트(3)나 기계실(1)에 부착된다. 가속도계(21)를 부착하는 부품의 주파수 특성이 대상물의 주파수 특성으로 크게 바뀔 경우, 코히어런스 함수가 낮아지기 때문에, 사전에 대상물의 진동의 코히어런스 함수가 높아지는 진동원측의 부재를 조사하고, 가속도계(21)가 부착되면 좋다.

본 실시 형태에 의하면, 바람 잡음등의 영향을 저감하는 것이 가능해진다.

<제3실시 형태>

도5는, 제3실시 형태에 따른 노광 장치의 구성을 도시한 도면이다. 제3실시 형태에서는, 제1실시 형태에서 사용된 마이크로폰(17)이나 제2실시 형태에서 사용된 가속도계(21) 등의 검출기를 사용하지 않는다. 그 때문에, 본 실시 형태에서는, 오목거울(10)에 부착한 가속도계(6,7)의 신호에 근거해서 제어음을 계산해 출력하는 피드백 제어를 행한다.

도6은, 본 실시 형태에 있어서의 신호 처리 시스템(4)의 기능 블록도다. 도7은, 본 실시 형태에 있어서의 진동 제어 처리의 흐름도다.

스텝S12에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 오목거울(10)에 부착되었던 가속도계(6,7)로부터 가속도 신호를 취득한다.

스텝S13에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, A/D변환부(22,23)에 의해, 취득된 가속도 신호의 A/D변환을 행한다.

스텝S14에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 모드 변환부(29)에 의해, 모드 변환을 행한다.

스텝S15에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 알고리즘 연산부(27)에 의해, 모드 변환에 의해 얻어진 신호에 대하여 적응 알고리즘 연산을 행한다.

스텝S16에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 알고리즘 연산에 의해 얻어진 파라미터로 적응 필터의 갱신을 행한다.

스텝S17에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 적응 필터(26)에 의해 적응 필터 처리를 행한다.

스텝S18에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 앰프(28)에 의해, 적응 필터 처리된 신호의 위상을 반전한다. 이 앰프(28)의 출력 신호가, 진동을 저감하기 위한 제어 신호가 된다.

스텝S19에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, D/A변환부에 의해, 앰프(28)로부터의 출력 신호(즉, 제어 신호)의 Ｄ/A변환을 행한다.

스텝S20에 있어서, 신호 처리 시스템(4)은, 스피커(5)에 의해, 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력한다.

이상의 처리(S12∼S20)가 반복해 행해지는 것에 의해, 오목거울(10)의 진동이 저감될 수 있다.

본 실시 형태는, 소음원 혹은 진동원을 특정할 수 없는 경우 등에도 유리하다.

<변형 예>

상술한 실시 형태에서는, 오목거울(10)에 진동에 관한 물리량을 검출하는 복수의 센서가 배치된 예에 대해서 설명했지만, 오목거울(10)에 배치되는 센서는 1개이여도 좋다.

<물품제조방법의 실시 형태>

본 발명의 실시 형태에 따른 물품제조방법은, 예를 들면, 반도체 디바이스 등의 마이크로 디바이스나 미세구조를 갖는 소자 등의 물품을 제조하는 데 적합하다. 본 실시 형태의 물품제조방법은, 기판에 도포된 감광제에 상기한 노광 장치를 사용해서 잠상 패턴을 형성하는 공정(기판을 노광하는 공정)과, 이러한 공정으로 잠상 패턴이 형성된 기판을 현상하는 공정을 포함한다. 더욱, 이러한 제조 방법은, 다른 주지의 공정(산화, 성막, 증착, 도핑, 평탄화, 에칭, 레지스트 박리, 다이싱, 본딩, 패키징 등)을 포함한다. 본 실시 형태의 물품제조방법은, 종래의 방법과 비교하여, 물품의 성능·품질·생산성·생산 비용 중 적어도 1개에 있어서 유리하다.

발명은 상기 실시 형태에 제한되는 것이 아니고, 발명의 정신 및 범위로부터 이탈하지 않고, 여러가지 변경 및 변형이 가능하다. 따라서, 발명의 범위를 밝히기 위해서 청구항을 첨부한다.

Claims (7)

1. 대상물의 진동을 제어하는 진동 제어장치이며,
   상기 대상물의 변위, 속도, 가속도 중 적어도 1개의 물리량을 검출하는 센서와,
   상기 센서에 의해 검출된 상기 물리량에 근거해서 상기 진동을 저감하기 위한 제어 신호를 생성하는 적응 필터와,
   상기 제어 신호에 대응하는 제어음을 출력하는 스피커를,
   갖는 것을 특징으로 하는 진동 제어장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 센서는, 복수의 가속도계를 포함하고,
   상기 복수의 가속도계의 각각은, 상기 대상물의 제1방향의 병진 운동에 있어서의 가속도를 검출하고,
   상기 복수의 가속도계는, 상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 이격되어서 상기 대상물에 부착되고,
   상기 복수의 가속도계의 각각에 의한 검출 결과로부터 상기 제1방향의 진동을 나타내는 제1진동 모드를 구하고, 상기 제1진동 모드를, 상기 제1방향 및 상기 제2방향의 쌍방에 대하여 직교하는 제3방향 주변의 진동을 나타내는 제2진동 모드로 변환하는 모드 변환부와,
   상기 모드 변환부에 의해 얻어진 상기 제2진동 모드에 근거해서 상기 적응 필터의 파라미터를 갱신하는 처리부를,
   더욱 갖는 것을 특징으로 하는 진동 제어장치.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   소음을 나타내는 참조 신호를 취득하는 취득부를 더욱 갖고,
   상기 적응 필터는, 상기 취득부에 의해 취득된 상기 참조 신호와 상기 센서에 의해 검출된 상기 물리량에 근거해서, 상기 제어 신호를 생성하는,
   것을 특징으로 하는 진동 제어장치.
   
4. 기판을 노광하는 노광 장치이며,
   원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와,
   상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 진동 제어장치를,
   갖는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
   
5. 기판을 노광하는 노광 장치이며,
   원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와,
   상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 청구항 3에 기재된 진동 제어장치를, 갖고,
   상기 취득부는 마이크로폰을 포함하고,
   상기 마이크로폰은, 상기 소음의 소음원인 송풍기로부터 상기 투영 광학계까지 연장되는 급기 덕트의 내부에 배치되는,
   것을 특징으로 하는 노광 장치.
   
6. 기판을 노광하는 노광 장치이며,
   원판 패턴을 상기 기판에 투영하는 투영 광학계와,
   상기 투영 광학계를 구성하는 광학부재의 진동을 제어하는 청구항 3에 기재된 진동 제어장치를, 갖고,
   상기 취득부는, 변위, 속도, 가속도 중 어느 하나를 검출하는 검출기를 포함하고,
   상기 검출기는, 상기 소음의 소음원인 송풍기, 또는, 상기 송풍기로부터 상기 투영 광학계까지 연장되는 급기 덕트에 배치되는,
   것을 특징으로 하는 노광 장치.
   
7. 투영 광학계를 통해 기판을 노광하는 노광 공정과,
   상기 노광된 기판을 현상하는 현상 공정을,
   포함하여, 상기 현상된 기판으로부터 물품을 제조하는 물품제조방법이며,
   상기 노광 공정에 있어서, 상기 투영 광학계에 포함되는 소자의 진동을 저감하기 위한 제어 신호에 대응하는 제어음이 출력된 상태에서 상기 기판의 노광이 행해지고,
   상기 제어 신호는, 상기 소자의 변위, 속도, 가속도 중 적어도 1개의 물리량의 검출 결과에 근거해서 적응 필터 처리에 의해 생성되는 것을 특징으로 하는 물품제조방법.

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