JP2006107252A - フィルタ装置およびそれを用いた共振抑制方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ソフトウエアで実現された複数のフィルタを備え、各フィルタは、フィルタ係数、フィルタの状態値、フィルタの出力値および他のフィルタの出力値メモリ領域を指すポインタを格納するメモリ領域を有し、他のフィルタの出力値をフィルタの入力値として演算を行ない、演算結果を出力値メモリ領域に格納し、前記ポインタを書き換えることによって所望数のフィルタをカスケード接続する。
【選択図】 図4
Description
特開平5−19858号公報では、サーボアクチュエータの速度制御系に対して、周波数をスイープした交流信号を速度指令値に重畳させたときのトルク指令値の振幅が小さくなるようなノッチフィルタの遮断周波数を選択している。遮断周波数の選択時には外部から加振用の信号を制御系に重畳させる必要がある。
特開2002−287831号公報では、適応ノッチフィルタを用い、設定中心周波数を共振ピークに合わせてずらすことによって共振を除去する方法を提案している。
上記のいずれの方法においても、予め共振ピークの数を想定して回路を組んで複数個の共振に対応することもできるが、共振の数が想定していた個数より多かった場合にはすべての共振ピークに対応することはできない。
本発明は、上述の従来例における問題点を解消することを課題とする。
上記の「入力値が記憶される領域」は、例えば他のフィルタの出力値格納領域または当該フィルタ装置の入力バッファ領域であり、上記の「出力値が記憶される領域」は、例えば他のフィルタの入力値格納領域または当該フィルタ装置の出力バッファ領域である。また、上記の入力値および出力値はそれぞれアナログフィルタ回路の入力信号および出力信号に対応するものである。
前記フィルタ装置は、前記複数個のフィルタの一部をカスケード接続して多段フィルタを構成し、必要に応じ残りのフィルタの一部または全部の前記ポインタを前記ポインタ書き換え手段により書き換えることによって該残りのフィルタの一部または全部を前記多段フィルタの前段、途中の段または後段に挿入することが好ましい。
また、挿入したフィルタの個数またはそれと前記多段フィルタを構成するフィルタの個数との和が予めた数を越えた場合、警告を出すようにすることが好ましい。
より好ましくは、挿入したフィルタの個数が予め定めた数を越えた場合、装置の故障とみなして警告を出すことを特徴とする。
[第1の実施例]
図1は、本発明の第1の実施例に係るステージの制御装置の構成を示すブロック図である。
図1において、1はステージの目標値と現在位置との差を求める減算器、2はPID補償など位相補償を行なう補償器、3は共振を除去する多段ノッチフィルタで構成される共振除去器、4はステージの位置信号から共振周波数と共振ピーク値を求める周波数分析器、5はノッチフィルタの遮断周波数と遮断ピーク値を設定する周波数設定器、6はステージの制御装置をそれぞれ示す。ステージの制御装置6はコンピュータのソフトウエアとして実現される。
ステージの目標値と現在位置との差が減算器1によって求められ、補償器2に入力される。補償器2ではPID演算などの位相補償演算を行ない、ステージの目標値と位置との差が小さくなるような補償器の出力を求める。補償器2の出力は共振除去器3に入力され、共振除去器3ではフィルタ演算が行なわれる。
共振除去器3は所定の遮断周波数および遮断ピーク値および遮断幅を持つノッチフィルタを直列に接続した多段フィルタである。共振除去器3の出力がステージの制御装置6の出力となる。周波数分析器4はステージの位置信号を高速フーリエ変換して周波数スペクトルを生成し、周波数スペクトルの値がピークを持つ周波数を求める。周波数設定器5は、ノッチフィルタの遮断周波数が上記のピークを持つ周波数と一致するように、ノッチフィルタの係数を設定する。
(s2+s*q2*wn+wn2)/(s2+s*q1*wn+wn2) … (式1)
となる。ここで、sはラプラス演算子、wnは2*π*fn、q1とq2は周波数fnと予め定めたピーク抑制値hn[dB]と予め定めた遮断幅bwn[Hz]から一意に求まる係数であり、
q1=fn/bwn … (式2)
q2=q1*10(−hn/20) … (式3)
のように求められる。(式1)を双一次変換すると、
(b0+b1*z−1+b2*z−2)/(1+a1*z−1+a2*z−2) … (式4)
のように離散化したノッチフィルタの特性を表現できる。すなわち、アナログ回路の伝達関数である(式1)をデジタル回路の伝達関数(出力値/入力値)である(式4)に変換することができる。(式4)において、zを現在の入力値とすると、z−1は1サンプリング周期前の入力値、z−2は2サンプリング周期前の入力値を示す。
coef1=wn/tan(wn*ts/2); … (式5)
(tsはサンプリング周期)
coef2=1/(−coef12−coef1*wn*q1−wn2); … (式6)
としたとき、共振除去器を実現するノッチフィルタ(式4)の係数は、
a1=2.0*(coef1+wn)*(coef1−wn)*coef2; … (式7)
a2=−(coef1*(coef1−wn*q1)+wn2)*coef2; … (式8)
b0=−(coef1*(coef1+wn*q2)+wn2)*coef2; … (式9)
b1=a1; … (式10)
b2=−(coef1*(coef1−wn*q2)+wn2)*coef2; … (式11)
のa1,a2,b0,b1,b2として求めることができる。(式4)でデジタルノッチフィルタを実現し、そのフィルタを直列に接続することによって、共振除去器3を構成する。
なお、状態変数8としては(式4)の値を用いてもよい。すなわち、出力値を算出した後、z−1をzに、z−2をz−1に置換して(式4)の値を算出し、これを状態変数8に書き込んでもよい。
1段目のフィルタの前に挿入するためには、例えば、まず新たなフィルタの出力値ポインタが1段目のフィルタのもとの入力変数(多段フィルタの入力バッファ)を指すように変更し、次いで1段目のフィルタの出力値ポインタが新たなフィルタの出力変数を指すように変更すればよい。
また、最終段のフィルタの後に挿入するためには、例えば、まず最終段のフィルタの前に最終段のフィルタと同じフィルタ係数(特性)を有するフィルタを挿入し、次いで、最終段のフィルタの係数を新たなフィルタの係数に書き換える。これにより、新たなフィルタを等価的に最終段のフィルタの後に挿入することができる。
図5は、第1の実施例のノッチフィルタを別の構成で実現したときのメモリ構成を示す模式図である。同一の要素については同じ番号を付記する。図5において、11はフィルタの入力変数(入力値)を、12は入力値ポインタを、それぞれ格納する領域を示す。また、入力変数および入力値ポインタもそれぞれが格納される領域と同じ符号で示す。入力値ポインタ12は他のフィルタの入力変数メモリ領域を指すポインタであり、入力変数の値と状態変数8の値を用いて(式4)のフィルタ演算を行ない、状態変数8を更新し、演算結果を入力値ポインタ12の指す他のフィルタの入力変数メモリ領域に書き込む。図6(a)に多段フィルタのk段目とk+1段目の入力値ポインタの接続を示す(それ以外の段のフィルタの接続図は省略する)。ここで図(b)のように、k段目とk+1段目のフィルタの間に新たなフィルタを挿入するには、新たなフィルタの入力値ポインタがk+1段目のフィルタの入力変数を指すように変更し、次いでk段目のフィルタの入力値ポインタが新たなフィルタの入力変数を指すように変更すればよい。この手順によって新たなノッチフィルタを挿入すれば新たな遮断特性を持つフィルタを容易に挿入することができる。
また、フィルタもノッチフィルタに限らず、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタ、ハイパスフィルタなど、デジタルフィルタとして実現できる他種のフィルタも用いることができる。
次に、上述したステージ制御装置を有する露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。
図8は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク製作)では設計したパターンを形成したマスクを製作する。
一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクを設置した露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。
次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。
7:フィルタの係数(を格納する領域)
8:フィルタの状態変数(を格納する領域)
9:フィルタの出力変数(を格納する領域)
10:フィルタの出力値ポインタ(を格納する領域)
11:フィルタの入力変数(を格納する領域)
12:フィルタの入力値ポインタ(を格納する領域)
Claims (10)
- 入力値を変数とする関数として出力値を算出するソフトウエアで実現された複数個のフィルタを有するフィルタ装置であって、
少なくとも一部のフィルタに関し、そのフィルタへの入力値が記憶される領域を指すポインタを格納するメモリ手段と、該ポインタを書き換える手段とを備え、該ポインタを書き換えることによって前記少なくとも一部のフィルタそれぞれの入力値を前記ポインタが指す領域に記憶された値とすることを特徴とするフィルタ装置。 - 前記メモリ手段は前記複数個のフィルタの全部について前記ポインタを格納し、前記ポインタ書き換え手段が、一部または全部のポインタを他のフィルタの出力値格納領域または当該フィルタ装置の入力バッファ領域を指すように書き換えることによって前記複数個のフィルタを所望の組み合わせで接続することを特徴とする請求項1に記載のフィルタ装置。
- 入力値を変数とする関数として出力値を算出するソフトウエアで実現された複数個のフィルタを有するフィルタ装置であって、
少なくとも一部のフィルタに関し、そのフィルタからの出力値が記憶される領域を指すポインタを格納するメモリ手段と、該ポインタを書き換える手段とを備え、該ポインタを書き換えることによって前記少なくとも一部のフィルタそれぞれの出力値を前記ポインタが指す領域に記憶された値とすることを特徴とするフィルタ装置。 - 前記メモリ手段は、前記複数個のフィルタの全部について前記ポインタを格納し、前記ポインタ書き換え手段が、一部または全部のポインタを他のフィルタの入力値格納領域または当該フィルタ装置の出力バッファ領域を指すように書き換えることによって前記複数個のフィルタを所望の組み合わせで接続することを特徴とする請求項3に記載のフィルタ装置。
- 制御対象物の位置、速度または振動を検出して前記制御対象物の位置、速度または振動を負帰還制御する制御系における共振抑制方法であって、前記制御系における共振周波数および共振周波数近傍の信号を抑制または除去するためのフィルタとして請求項1〜4のいずれかに記載のフィルタ装置を用いることを特徴とする共振抑制方法。
- 前記フィルタ装置において前記複数個のフィルタの一部をカスケード接続して多段フィルタを構成し、必要に応じ残りのフィルタの一部または全部の前記ポインタを前記ポインタ書き換え手段により書き換えることによって該残りのフィルタの一部または全部を前記多段フィルタの前段、途中の段または後段に挿入することを特徴とする請求項5に記載の共振抑制方法。
- 挿入したフィルタの個数またはそれと前記多段フィルタを構成するフィルタの個数との和が予めた数を越えた場合、警告を出すことを特徴とする請求項6に記載の共振抑制方法。
- 移動ステージと、該移動ステージの位置、速度または振動を検出して該移動ステージの位置、速度または振動を負帰還制御する制御系とを有するステージ装置であって、前記制御系における共振周波数および共振周波数近傍の信号を抑制または除去するためのフィルタとして請求項1〜4のいずれかに記載のフィルタ装置を備えることを特徴とするステージ装置。
- 原版ステージに搭載された原版のパターン像を基板ステージに搭載された基板に転写露光する露光装置であって、
前記原版ステージおよび基板ステージの少なくとも一方として請求項8に記載のステージ装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光した前記基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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