JPH09260279A

JPH09260279A - 露光装置

Info

Publication number: JPH09260279A
Application number: JP8096259A
Authority: JP
Inventors: Saburo Kamiya; 三郎神谷
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-03-26
Filing date: 1996-03-26
Publication date: 1997-10-03

Abstract

(57)【要約】【課題】露光本体部を収めるチャンバ内において、空
調部からの騒音のうち露光装置の機械共振周波数付近の
周波数の音を低減させる。【解決手段】露光本体部１４が設置されたチャンバ１
２内には、機械室１６で温度制御された空気が供給され
る。機械室１６内に設けられて空気を供給する送風機４
８には、ターボファンやラジアルファンが用いられてい
るため、数百Ｈｚ以下の機械共振周波数付近の騒音レベ
ルが低減されて、露光本体部１４における共振の発生を
抑制することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、露光装置に関し、
さらに詳しくは、半導体集積回路や液晶表示基板等の製
造におけるフォトリソグラフィ工程に用いて好適な露光
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体回路、特に、集積度の高
い超ＬＳＩ（Large Scale Integration ）や液晶回路な
どを製造する際に使用される露光装置には、非常に高精
度な温度管理と高いクリーン度が要求される。このた
め、通常、露光を行う露光本体部全体をチャンバ内に設
置し、このチャンバ内に熱交換機が内蔵された機械室内
で温度調節された空気を送風機で送風して供給する。そ
の際に、チャンバ内の空気の供給口には、ＵＬＰＡフィ
ルタ（Ultra Low Penetration Air-filter）等が設けら
れ、これにより塵埃が除去された後、前記チャンバ内へ
供給されるようになっている。そして、機械室からチャ
ンバ内へ供給された空気の大部分は、温度制御性能の観
点から再び前記機械室に戻されて、循環使用される。

【０００３】上記した従来の露光装置の機械室で用いら
れている送風機には、通常、前向き羽根を用いた遠心フ
ァンであるシロッコファンが搭載されている。このシロ
ッコファンが使われる理由は、この種の装置に生じる圧
力損失と空気流量に適している上、人間の聴覚上の騒音
も小さく、しかも小型で安価な送風機だからである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のシロッコファンは、人間の聴覚上の騒音は小さ
いが、実際に発生する物理的な騒音として、特に、数百
Ｈｚ以下の周波数の騒音が大きいという特性があった。
この数百Ｈｚ以下の周波数の騒音は、実際には露光装置
等における機械共振周波数付近の音であるため、送風機
から発生した騒音によりチャンバ内の音圧が変動し、機
械共振が励起される。これに関し、本発明者等による検
討の結果、シロッコファンを露光装置の空調部内の送風
機として用いた場合は、シロッコファンから発生する騒
音が露光装置の機械共振周波数付近の騒音であることか
ら、機械共振が発生して露光本体部の原板とウエハとの
重ね合わせ精度に無視できないほどの大きい影響を与
え、適正な露光ができなくなることがわかってきた。

【０００５】また、従来の露光装置では、送風機から発
生する数百Ｈｚ以下の露光装置の機械共振周波数付近の
音を低減するという目的で消音装置を搭載することは行
われていなかった。

【０００６】さらに、送風機の騒音は、従来から各種装
置において問題になっているが、いずれの場合も人間の
聴覚上の騒音を問題にしており、半導体集積回路の露光
装置のように機械的な共振が装置性能を決定する性質を
持っており、かつ作業者がほとんど介在することなく自
動で稼働する産業用製造装置という観点からの検討はほ
とんどなされていなかった。

【０００７】本発明は、上述したような事情の下に鑑み
てなされたものであり、その目的は、空調部からの騒音
のうち、主として露光本体部の機械共振周波数付近の周
波数の音を低減することができる露光装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、露光本体部が収納されたチャンバ内の空調を行う空
調部を備えた露光装置であって、前記空調部内で発生す
る騒音の中から前記露光本体部固有の機械共振周波数付
近の成分の少なくとも一部を除去する騒音除去手段を有
する。

【０００９】これによれば、露光本体部が収納されたチ
ャンバ内を空調部により空調を行う際に、空調部から発
生する騒音の中から騒音除去手段が露光本体部固有の機
械共振周波数付近の成分の少なくとも一部を除去するの
で、騒音に起因する露光本体部の共振が低減される。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の露光装置において、前記騒音除去手段は、前記空調部
内に配置され、温度調節が行われた空気を前記チャンバ
内に送り込むターボ型あるいはラジアル型の遠心ファン
により構成されていることを特徴とする。

【００１１】これによれば、騒音除去手段として、温度
調節が行われた空気をチャンバ内に送り込む空調部にタ
ーボ型やラジアル型の遠心ファンを採用したので、露光
本体部の露光精度で最も問題となる２００Ｈｚ以下の機
械共振周波数付近の騒音レベルが低減され、露光本体部
の共振の発生を抑えることができる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の露光装置において、前記騒音除去手段は、前記露光本
体部固有の機械共振周波数付近の音を低減するリアクテ
ィブ型消音器であることを特徴とする。

【００１３】これによれば、騒音除去手段として、リア
クティブ型消音器を採用し、そのリアクティブ型消音器
が消音できる音の周波数（以下、「ストップバンド周波
数」という）を露光本体部固有の機械共振周波数付近と
したので、露光本体部の露光精度で最も問題となる機械
共振周波数付近の騒音の音圧が小さくなり、露光本体部
の共振を抑えることができる。

【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の露光装置において、前記リアクティブ型消音器は、前
記空調部内の送風機付近に設けられ、前記露光本体部固
有の機械共振周波数付近の音に対して共鳴する共振周波
数発生手段を有することを特徴とする。

【００１５】これによれば、このリアクティブ型消音器
は、空調部内の送風機付近に設けられた共振周波数の音
をフィルタリングする作用を有するので、これによって
露光本体部固有の機械共振周波数付近の音の透過を阻止
することにより、機械共振周波数付近の音圧が小さくな
り、露光本体部の共振が抑制される。

【００１６】請求項５に記載の発明は、請求項１に記載
の露光装置において、前記騒音除去手段は、前記露光本
体部固有の機械共振周波数付近の音を低減するアクティ
ブ型消音器であることを特徴とする。

【００１７】これによれば、騒音除去手段として、アク
ティブ型消音器を採用し、そのアクティブ型消音器のス
トップバンド周波数を露光本体部固有の機械共振周波数
付近としたので、露光本体部の露光精度で最も問題とな
る機械共振周波数付近の騒音の音圧が小さくなり、露光
本体部の共振を抑えることができる。

【００１８】請求項６に記載の発明は、請求項５に記載
の露光装置において、前記アクティブ型消音器は、前記
空調部内の送風機付近で発生する周波数成分を検出する
検出マイクロフォンと、前記検出マイクロフォンで検出
された周波数成分の中から前記露光本体部固有の機械共
振周波数付近の音を打ち消す逆位相の音声信号を生成す
る演算処理部と、前記演算処理部で生成された音声信号
に基づいて前記機械共振周波数付近の音を打ち消す逆位
相の音波を出力する消音スピーカとを有することを特徴
とする。

【００１９】これによれば、騒音除去手段としてのアク
ティブ型消音器を構成する検出マイクロフォンは、空調
部内の送風機付近で発生する周波数成分を検出し、演算
処理部が検出マイクロフォンで検出された周波数成分の
中から露光本体部固有の機械共振周波数付近の音を打ち
消す逆位相の音声信号を生成し、消音スピーカが演算処
理部で生成された音声信号に基づく機械共振周波数付近
の音を打ち消す逆位相の音波を出力するので、アクティ
ブ型消音器の発生するストップバンド周波数の音により
送風機からの機械共振周波数付近の騒音が打ち消され
て、露光本体部の機械共振周波数付近の音圧が小さくな
り、露光本体部の共振を抑えることができる。

【００２０】請求項７に記載の発明は、請求項６に記載
の露光装置において、前記空調部から前記チャンバ内へ
の空気の吹き出し口付近に、前記露光本体部固有の機械
共振周波数付近の音をモニタするモニタマイクロフォン
を設けたことを特徴とする。

【００２１】これによれば、請求項６に記載されたアク
ティブ型消音器に、さらに、空調部からチャンバ内への
空気の吹き出し口付近に露光本体部固有の機械共振周波
数付近の音をモニタするモニタマイクロフォンを設けた
ことから、このモニタマイクロフォンを使ってアクティ
ブ型消音器が発生するストップバンド周波数の音をフィ
ードバック制御することにより、効率良く露光本体部固
有の機械共振周波数付近の音圧を小さくすることができ
る。

【００２２】請求項８に記載の発明は、請求項１に記載
の露光装置において、前記騒音除去手段は、前記チャン
バの内側壁面に所定の空隙を隔てて配置された吸音部材
により構成されていることを特徴とする。

【００２３】これによれば、騒音除去手段として、吸音
部材をチャンバの内側壁面に所定の空隙を隔てて配置し
たので、露光本体部の露光精度で最も問題となる機械共
振周波数付近の騒音が効率良く吸音部材で吸音されて音
圧が小さくなり、露光本体部の共振を抑えることができ
る。

【００２４】

【発明の実施の形態】

《第１の実施形態》以下、本発明の第１の実施形態を図
１に基づいて説明する。

【００２５】図１には、第１の実施形態に係る露光装置
１０の構成が概略的に示されている。この露光装置１０
では、チャンバ１２内に設置された露光本体部１４に対
して、機械室１６で温度調節がなされ、塵埃の除去され
たクリーンな空気が供給された状態で露光処理が行われ
る。これは、露光本体部１４の構成部材の温度が変化す
ると、回路パターンの重ね合わせ精度が劣化するため、
部材の温度を、例えば、０．０１℃程度以上の精度で制
御する必要があるからである。この温度制御は、本露光
装置１０では、機械室１６内の空調部（これについて
は、後に詳述する）で高精度に温度調節された空気を絶
えずチャンバ１２内に供給することにより行われてい
る。

【００２６】露光本体部１４は、露光光を照射する照明
系１８、一方の面に回路パターンが形成されたマスクと
してのレチクル２０、レチクル２０の回路パターンを露
光面に投影する投影光学系２２、レチクル２０の回路パ
ターンが結像転写されるウエハ２４、ウエハ２４を載置
して直交するＸ軸，Ｙ軸の２次元方向に移動可能なステ
ージ２６、ステージ２６のＸ軸，Ｙ軸方向の位置を計測
するレーザ干渉計２８、レチクル２０とウエハ２４とを
位置合わせするためウエハ上に形成されたアライメント
マークの位置を検出するアライメントセンサ３０等を備
えている。

【００２７】そして、この露光本体部１４は、防振台３
２で支持され、床から伝搬される振動の影響を排除する
とともに、全体がチャンバ１２内に設置されている。ま
た、チャンバ１２内への空気の供給口側には、空気中の
塵埃を除去するＵＬＰＡフィルタ３４と、ＵＬＰＡフィ
ルタ３４の機械室１６側に設けられ、ＵＬＰＡフィルタ
３４からの空気の吹き出し密度を均一化する前室として
のプレナム３６が設けられている。なお、図１では、Ｘ
方向のレーザ干渉計２８の測定ビームだけが表示され、
Ｙ方向のレーザ干渉計及びその測定ビームを省略してい
る。

【００２８】機械室１６には、チャンバ１２内に供給さ
れた空気を回収するリターンダクト３８、リターンダク
ト３８で回収された空気を所定温度まで冷却する冷却用
熱交換器４０、冷却用熱交換器４０に冷媒を供給する冷
凍機４２、冷却用熱交換器４０で冷却された空気を制御
目標温度まで加熱するヒータ４４、後述する温度センサ
５０の出力及び予め設定された目標値に基づいてヒータ
４４の発熱量をフィードバック制御する温度制御部４
６、及びヒータ４４により目標温度に調整された空気を
チャンバ１２側に圧送する送風機４８等が設けられてお
り、これらによって温度調節のなされた空気を供給する
空調部が構成されている。

【００２９】前記温度センサ５０は、チャンバ１２内の
ＵＬＰＡフィルタ３４の直下に設けられており、この温
度センサ５０によりチャンバ１２内の空気の温度が測定
され、その出力（温度情報）が機械室１６内の温度制御
部４６に供給されている。

【００３０】本第１の実施形態の露光装置１０の特徴
は、機械室１６内に設けられた送風機４８が、ターボフ
ァンやラジアルファンから成る遠心ファンを用いて構成
されていることにある。このターボファンやラジアルフ
ァンは、従来から用いられているシロッコファンと比べ
ると、２００Ｈｚ程度以下の騒音レベルが低減されるた
め、送風機４８から発生する露光本体部１４の機械共振
周波数付近の音の発生を抑えることができる。すなわ
ち、本第１の実施形態の露光装置１０では、ターボファ
ンやラジアルファンから成る遠心ファンを用いて構成さ
れた送風機４８により、騒音除去手段が構成されてい
る。

【００３１】なお、この場合、人間の聴感上の騒音につ
いては、高周波音が増大することでかえって悪化するこ
とも考えられるが、ほぼ無人運転が行われる半導体工場
で、しかもチャンバ内に設置されるため、なんら不都合
はない。

【００３２】次に、上述のようにして構成された露光装
置１０の作用を図１に基づいて説明する。

【００３３】最初に、チャンバ１２内に設置された露光
本体部１４の重ね合わせ露光時における作用について簡
単に説明する。

【００３４】いわゆるベースライン計測等の準備が終了
し、不図示の制御系によりレーザ干渉計２８の出力をモ
ニタしつつステージ２６が移動され、ウエハ上に前工程
の露光までの間に形成されたアライメントマークの位置
がアライメントセンサ３０により検出される。次に、制
御系ではこのアライメントマークの位置と前記ベースラ
イン計測の結果とを用いてウエハ上のショット領域を露
光位置（投影光学系の露光フィールド内）に位置決めす
るとともにレチクルとウエハの位置合わせ（アライメン
ト）を行なう。このアライメント後、照明系１８からの
照明光により原板であるレチクル２０が照明されると、
レチクル２０のパターンが投影光学系２２を介してウエ
ハ２４表面の不図示のレジスト上に投影され、パターン
の像が転写される。この露光本体部１４では、このよう
なウエハ２４上の各ショット領域の露光位置へ順次位置
決めしつつ、上記のようにしてレチクル２０のパターン
をウエハ２４上の各ショット領域に順次転写する。

【００３５】次に、上述した露光本体部１４が設置され
たチャンバ１２内に温度調節された空気を供給する機械
室１６の空調部の作用について説明する。

【００３６】機械室１６には、チャンバ１２内からリタ
ーンダクト３８を介して空気が取り込まれるとともに、
不図示の空気取り入れ口から外部空気も取り込まれる。
このようにしてリターンダクト３８及び不図示の空気取
り入れ口から取りまれた外部空気は、いったん冷却用熱
交換器４０で所定温度まで冷却された後、ヒータ４４で
制御目標温度まで加熱される。

【００３７】ここで、冷却用熱交換器４０は、冷凍機４
２から供給される冷媒によって熱交換が行われる。ま
た、ヒータ４４は、上記の如く、冷却用熱交換器４０で
一旦冷却された空気を目標温度まで加熱するが、このヒ
ータは、温度制御部４６によってチャンバ１２のＵＬＰ
Ａフィルタ３４の直下に設置された温度センサ５０の検
出温度に基づいてフィードバック制御される。

【００３８】次に、上述したヒータ４４により目標温度
まで加熱され温度調節がなされた空気は、送風機４８に
よってチャンバ１２の前室であるプレナム３６に送風さ
れ、ＵＬＰＡフィルタ３４で塵埃が除去されてチャンバ
１２内に供給される。このチャンバ１２内に供給された
空気の大部分は、リターンダクト３８によって回収さ
れ、再び機械室１に戻されて循環使用される。

【００３９】すなわち、このようにして露光本体部１４
が設置されたチャンバ１２内の温度が一定に保たれてい
る。

【００４０】ところで、露光本体部１４に生じる振動
は、回路層パターンの重ね合わせ精度を低下させたり、
投影像の劣化をもたらすことが分かっている。特に、露
光本体部１４全体の構造が有する固有周波数付近の振動
は、共振現象によって振幅が大きくなるため、上記した
重ね合わせ精度の低下に大きく影響することになる。

【００４１】そこで、露光本体部１４の振動を小さくす
るために、装置固有の周波数を上げるとともに、外
乱（外部からの加振力）を小さくすることが必要とな
る。上記に関しては、本第１の実施形態の本露光装置
１０では、設計の際、装置全体の剛性をなるべく高くし
て装置の固有周波数を高くするようにしている。これ
は、振動エネルギーが同じであっても、振動の振幅は周
波数が低くなればなる程大きくなって精度の劣化の影響
が大きいからである。また、上記に関しては、露光本
体部１４の床からの加振に対する防振対策として、防振
台３８を設置することにより、影響の低減化を図ってい
る。

【００４２】また、送風機４８によるチャンバ１２側へ
の送風は、大きな騒音を伴うが、その騒音の大部分は送
風機４８から発生することが分かっている。そして、送
風機４８から発生した騒音は、ダクト５２を経てプレナ
ム３６及びＵＬＰＡフィルタ３４を介してチャンバ１２
内へ伝搬され、露光本体部１４を加振することが、前述
の如く、本発明者等の調査により判明している。従っ
て、チャンバ１２内の音圧レベル、特に、露光本体部１
４の機械共振周波数付近の音圧レベルをなるべく小さく
することが露光本体部１４の振動を小さくするために必
要である。

【００４３】そこで、本第１の実施形態の露光装置１０
では、機械室１６内に設けられる送風機４８として、タ
ーボファンやラジアルファンを搭載し、露光本体部１４
の機械共振周波数に近い２００Ｈｚ以下の低域の騒音レ
ベルを抑制するように工夫している。

【００４４】これまでの説明から明らかなように、本第
１の実施形態の露光装置１０では、ターボファンあるい
はラジアルファンから成る送風機４８により騒音除去手
段が構成され、これによって露光本体部１４の共振の発
生を従来のシロッコファンを用いた装置に比べて低減し
ている。従って、ウエハ２４の回路層パターンを露光す
る際の重ね合わせ精度が向上し、より集積度の高い微細
な回路層パターンの露光にも対応できるようになってい
る。

【００４５】《第２の実施形態》以下、本発明の第２の
実施形態を図２及び図３に基づいて説明する。ここで、
前述した第１の実施形態の装置と同一の構成部分につい
ては、同一の符号を用いるとともに、その説明を省略し
若しくは簡略化するものとする。

【００４６】図２には、第２の実施形態に係る露光装置
６０の構成が概略的に示されている。この露光装置６０
では、第１の実施形態と同様にチャンバ１２内に設置さ
れた露光本体部１４に対して、機械室６２で温度調節が
なされ、塵埃の除去されたクリーンな空気を供給しなが
ら露光処理が行われる。そして、その際の機械室６２に
は、送風機６４から発生する騒音に対して、特定の周波
数バンドの音を消音するリアクティブ型消音器の一種で
ある共鳴型消音器７０が設置されている。

【００４７】本第２の実施形態の特徴は、図２に示され
る機械室６２内の送風機６４の吹き出し口付近からチャ
ンバ１２との接続部分までのダクトの途中に、共鳴型消
音７０を設置したことにある。この共鳴型消音器７０
は、体積Ｖからなる空洞部６６、及びその空洞部６６と
前記ダクトとを連結する開口面積Ｓで長さＬからなる連
結管６８とを有している。

【００４８】この共鳴型消音器７０の共鳴周波数ｆp
は、音速をＣとすると、次式（１）で表される。

【００４９】

【数１】

【００５０】また、同じく共鳴型消音器７０の共鳴周波
数の減衰量ＴＬは、送風機側のダクトの断面積をＳｄと
し、減衰させたい周波数をｆとすると、次式（２）で表
すことができる。

【００５１】

【数２】

【００５２】そして、上式（１）の共鳴周波数ｆp を露
光本体部１４固有の機械共振周波数に合うように上記
Ｖ、Ｓ、Ｌを設定する。そうすると、上式（２）の減衰
量ＴＬは、ｆp ＝ｆの場合に無限大∞となって、ｆp ≒
ｆ付近では音圧が最も低減されることがわかる。

【００５３】これまでの説明から明らかなように、本第
２の実施形態の露光装置６０では、空洞部６６及び連結
管６８から共振周波数発生手段が構成され、この共振周
波数発生手段を有する共鳴型消音器７０により騒音除去
手段が構成され、この共鳴型消音器７０により、送風機
６４から発生する騒音の中から露光本体部１４の固有周
波数（減衰させたい周波数ｆ）付近の音を消音すること
ができるため、送風機６４による露光本体部１４の共振
を抑制することができる。その結果、露光本体部１４で
は、振動が抑制された状態で露光が行なわれるため、ウ
エハ２４の回路層パターンを露光する際の重ね合わせ精
度が向上して、より集積度の高い微細な回路層パターン
の露光にも対応することができるようになる。

【００５４】なお、上記した露光本体部１４の固有周波
数（＝減衰させたい周波数ｆ）を選択する場合は、低域
の周波数であって、しかも音圧による露光本体部１４へ
の振動伝達の大きい周波数を選択するとよい。

【００５５】また、露光本体部１４において、複数の共
振周波数の音を消音する必要がある場合は、それぞれの
共振周波数に合わせた共鳴型消音器を複数個搭載すれば
よい。このような場合、機械室６２内部の容積の関係か
ら、複数の共鳴型消音器が収納しきれなくなることも考
えられる。そこで、第２の実施形態における変形例とし
て、図３に示すように、機械室６２とチャンバ１２との
間を大きく離し、配給ダクト７２，７４との間に前記共
鳴型消音器（７０）が複数個収納された消音部７６を設
置するとともに、チャンバ１２と機械室６２とをリター
ンダクト３８で接続するように構成してもよい。

【００５６】さらに、本第２の実施形態では、リアクテ
ィブ型消音器の一例として共鳴型消音器７０を用いて説
明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例
えば、内燃機関等で用いられるマフラーを機械室６２と
チャンバ１２との間に挿入して消音する挿入型消音器を
搭載しても良い。

【００５７】また、本第２の実施形態の送風機６４で
は、従来からのシロッコファンを用いることもできる
が、好ましくは、上記した第１の実施形態におけるター
ボファンやラジアルファンを用いることによって、より
一層の共振周波数の低減化を図るようにしてもよい。

【００５８】《第３の実施形態》以下、本発明の第３の
実施形態を図４に基づいて説明する。ここで、前述した
第１又は第２の実施形態の装置と同一の構成部分につい
ては、同一の符号を用いるとともに、その説明を省略し
若しくは簡略化するものとする。

【００５９】図４には、第３の実施形態に係る露光装置
８０の構成が概略的に示されている。この露光装置８０
では、第１及び第２の実施形態と同様にチャンバ１２内
に設置された露光本体部１４に対して、機械室８２で温
度調節がなされ、塵埃の除去されたクリーンな空気を供
給しながら露光処理が行われる。そして、その際の機械
室８２には、送風機６４から発生する騒音を打ち消す音
波を発生させて消音するアクティブ型消音器８６が設置
されている。

【００６０】本第３の実施形態の特徴は、図４に示され
る機械室８２内部の送風機６４の吹き出し口付近からチ
ャンバ１２との接続部分までのダクトにアクティブ型消
音器８６を設置したことにある。このアクティブ型消音
器８６は、送風機６４から伝搬される音を検出する検出
マイクロフォン８６Ｄ、検出マイクロフォン８６Ｄで検
出された音声信号を演算処理して逆位相の音声信号を生
成する演算処理回路８６Ａ、演算処理回路８６Ａで演算
処理された逆位相の音声信号を増幅するアンプ８６Ｂ、
アンプ８６Ｂで増幅された逆位相の音声信号に基づく音
波を出力する２次音源としてのスピーカ８６Ｃ、スピー
カ８６Ｃから出力される逆位相の音波により打ち消され
た後の音圧を検出するモニタマイクロフォン８６Ｅを備
えている。

【００６１】そして、前記したアクティブ型消音器８６
の消音動作は、まず、送風機６４から伝搬される騒音を
検出マイクロフォン８６Ｄで検出し、その検出された音
声信号を演算処理回路８６Ａで演算処理することによっ
て逆位相の音声信号が生成される。演算処理回路８６Ａ
で生成された逆位相の音声信号は、さらにアンプ８６Ｂ
で増幅され、スピーカ８６Ｃから出力される。スピーカ
８６Ｃから出力される音波は、送風機６４から伝搬され
る騒音を打ち消すための逆位相の音波である。さらに、
演算処理回路８６Ａでは、スピーカ８６Ｃから出力され
た音波により打ち消された後の騒音をモニタマイクロフ
ォン８６Ｅによってモニタすることにより、送風機６４
から伝搬される騒音のうち、特に、露光本体部１４の固
有の機械共振周波数付近の音が残っている場合は、これ
を打ち消すのに必要な逆位相の音波を生成するための制
御信号を発生するようなフィードバック制御が行われ
る。

【００６２】これまでの説明から明らかなように、本第
３の実施形態の露光装置８０では、アクティブ型消音器
８６により騒音除去手段が構成され、これにより送風機
６４から発生する騒音の中から露光本体部１４の固有周
波数（＝減衰させたい周波数ｆ）付近の音を効率良く消
音することができるため、送風機６４による露光本体部
１４の共振を抑制することができる。その結果、露光本
体部１４では、振動が抑制された状態で露光することが
できるため、ウエハ２４の回路層パターンを露光する際
の重ね合わせ精度が向上して、より集積度の高い微細な
回路層パターンの露光にも対応できるようになる。特
に、このアクティブ型消音器８６は、広帯域のランダム
な音を消音することが可能であって、あらかじめ露光本
体部１４の共振周波数付近の音だけを消音すれば良い場
合には、より簡単な演算処理で効果的に消音することが
可能となる。

【００６３】なお、上記の第３の実施形態の露光装置８
０では、モニタマイクロフォン８６Ｅが設けられ、露光
本体部１４の固有の機械共振周波数付近の音を打ち消す
のに必要な逆位相の音波を生成するための制御信号を発
生するようなフィードバック制御が行なわれているが、
このモニタマイクロフォン８６Ｅを必ずしも設ける必要
はない。これを設けない場合にも、騒音除去手段として
のアクティブ型消音器８６を構成する検出マイクロフォ
ン８６Ｄは、空調部内の送風機付近で発生する周波数成
分を検出し、演算処理回路８６Ａが検出マイクロフォン
８６Ｄで検出された周波数成分の中から露光本体部１４
固有の機械共振周波数付近の音を打ち消す逆位相の音声
信号を生成し、消音スピーカ８６Ｃが演算処理回路８６
Ｄで生成された音声信号に基づく機械共振周波数付近の
音を打ち消す逆位相の音波を出力するので、アクティブ
型消音器８６の発生するストップバンド周波数の音によ
り送風機６４からの機械共振周波数付近の騒音が打ち消
されて、露光本体部１４の機械共振周波数付近の音圧が
小さくなり、露光本体部１４の共振を抑えることができ
る。

【００６４】なお、本第３の実施形態では、第２の実施
形態における図３に示すように、機械室６２（第３の実
施形態では８２）から消音部７６（第３の実施形態では
アクティブ型消音器８６）を分離した構成をとるように
することもできる。

【００６５】《第４の実施形態》以下、本発明の第４の
実施形態を図５に基づいて説明する。ここで、前述した
第１、第２又は第３の実施形態の装置と同一の構成部分
については、同一の符号を用いるとともに、その説明を
省略し若しくは簡略化するものとする。また、機械室部
分は、従来の露光装置の機械室、あるいは、上記第１、
第２又は第３の実施形態と同一の構成を採用することが
できるため、図示を省略している。

【００６６】図５には、第４の実施形態に係る露光装置
９０の構成が概略的に示されている。この露光装置９０
では、第１、第２及び第３の実施形態と同様にチャンバ
１２内に設置された露光本体部１４に対して、図示省略
した機械室で温度調節がなされ、塵埃の除去されたクリ
ーンな空気を供給しながら露光処理が行われる。そし
て、その際のチャンバ１２内には、不図示の送風機から
発生する騒音を吸収するための吸音部材９６が設置され
ている。

【００６７】本第４の実施形態の特徴は、図５に示され
るように、チャンバ１２の内壁に吸音部材としての吸音
板９４が設置されたことにある。この吸音部板９４は、
チャンバ１２の壁面との間に厚さｄの空気層９２を隔て
て配置されており、ここでは、グラスウール等から成る
吸音性多孔性材質のものが用いられている。

【００６８】特に、本第４の実施形態の露光装置９０で
は、露光本体部１４等の機械共振周波数付近である２０
０Ｈｚ以下の低周波数の音の発生が問題となる。このた
め、この露光装置９０では、例えば空気層９２の厚さｄ
を３００ｍｍ程度とすることにより、２００Ｈｚ以下の
低周波音を効果的に吸収するようにしている。

【００６９】このように本第４の実施形態の露光装置９
０では、空気層９２を隔ててチャンバ１２の内壁に配置
された吸音板９４により、騒音除去手段が構成され、こ
の吸音部材９４により、不図示の送風機から発生する騒
音の中から露光本体部１４固有の機械共振周波数付近の
音をチャンバ１２内で効率良く吸音することができるた
め、送風機の騒音による露光本体部１４の共振を抑制す
ることができる。その結果、露光本体部１４では、振動
が抑制された状態で露光することが可能となり、ウエハ
２４の回路層パターンを露光する際の重ね合わせ精度が
向上して、より集積度の高い微細な回路層パターンの露
光にも対応できるようになる。

【００７０】なお、上記第４の実施形態では、吸音部材
９６の空気層９２の厚さｄを３００ｍｍ程度として、２
００Ｈｚ以下の低周波音を吸収するように構成したが、
これに限定されるものではなく、露光本体部１４固有の
機械共振周波数が異なる場合は、これに応じて適宜厚さ
ｄを変化させることにより、所望の周波数の騒音を吸収
できるようにすることもできる。

【００７１】また、図５では、チャンバ１２の左右の両
壁面の形状に応じて上記吸音部材９６をそれぞれ設ける
ように構成したが、図５の紙面の手前側、あるいは、露
光本体部１４の背面側のチャンバ１２の壁面にも設ける
ことが可能である。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
露光本体部の機械共振周波数に着目し、露光本体部が設
置されたチャンバ内に伝搬される空調部からの騒音のう
ち、特に、露光装置の機械共振周波数付近の周波数の音
を低減することのできる騒音除去手段を設けたことによ
り、空調部からの騒音による共振の励起を防止すること
ができるという従来にない優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施形態に係る露光装置の構成を概略的
に示す図である。

【図２】第２の実施形態に係る露光装置の構成を概略的
に示す図である。

【図３】第２の実施形態に係る露光装置の変形例を示す
図である。

【図４】第３の実施形態に係る露光装置の構成を概略的
に示す図である。

【図５】第４の実施形態に係る露光装置の構成を概略的
に示す図である。

【符号の説明】

１０露光装置１２チャンバ１４露光本体部１６機械室４８送風機（騒音除去手段）６０露光装置６２機械室６４送風機６６空洞部（共鳴型消音器を構成する共振周波数発生
手段の一部）６８連結管（共鳴型消音器を構成する共振周波数発生
手段の一部）７０共鳴型消音器（リアクティブ型消音器、騒音除去
手段）８０露光装置８２機械室８４送風機８６アクティブ型消音器（騒音除去手段）８６Ａ演算処理回路（演算処理部）８６Ｃ消音スピーカ８６Ｄ検出マイクロフォン８６Ｅモニタマイクロフォン９０露光装置９２空気層（空隙）９４吸音板（吸音部材）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光本体部が収納されたチャンバ内の空
調を行う空調部を備えた露光装置であって、前記空調部内で発生する騒音の中から前記露光本体部固
有の機械共振周波数付近の成分の少なくとも一部を除去
する騒音除去手段を有する露光装置。
【請求項２】前記騒音除去手段は、前記空調部内に配
置され、温度調節が行われた空気を前記チャンバ内に送
り込むターボ型あるいはラジアル型の遠心ファンにより
構成されていることを特徴とする請求項１に記載の露光
装置。
【請求項３】前記騒音除去手段は、前記露光本体部固
有の機械共振周波数付近の音を低減するリアクティブ型
消音器であることを特徴とする請求項１に記載の露光装
置。
【請求項４】前記リアクティブ型消音器は、前記空調
部内の送風機付近に設けられ、前記露光本体部固有の機
械共振周波数付近の音に対して共鳴する共振周波数発生
手段を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装
置。
【請求項５】前記騒音除去手段は、前記露光本体部固
有の機械共振周波数付近の音を低減するアクティブ型消
音器であることを特徴とする請求項１に記載の露光装
置。
【請求項６】前記アクティブ型消音器は、前記空調部
内の送風機付近で発生する周波数成分を検出する検出マ
イクロフォンと、前記検出マイクロフォンで検出された
周波数成分の中から前記露光本体部固有の機械共振周波
数付近の音を打ち消す逆位相の音声信号を生成する演算
処理部と、前記演算処理部で生成された音声信号に基づ
いて前記機械共振周波数付近の音を打ち消す逆位相の音
波を出力する消音スピーカとを有することを特徴とする
請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】前記空調部から前記チャンバ内への空気
の吹き出し口付近に、前記露光本体部固有の機械共振周
波数付近の音をモニタするモニタマイクロフォンを設け
たことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】前記騒音除去手段は、前記チャンバの内
側壁面に所定の空隙を隔てて配置された吸音部材により
構成されていることを特徴とする請求項１に記載の露光
装置。