JP2021101172A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 第１基材と、
   前記第１基材上に設けられたトランジスタと、
   前記トランジスタ上に設けられた絶縁層と、
   第１基材上に設けられたセンサ領域と、
   前記センサ領域に、第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向にマトリクス状に配置された、複数の個別電極と、
   前記複数の個別電極に対向する共通電極と、
   前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置され、前記複数の個別電極と重畳する複数の第１スペーサと、
   前記センサ領域に設けられた複数の第２スペーサと、
   を備え、
   前記複数の個別領域は、それぞれ前記絶縁層を介して、前記トランジスタに電気的に接続され、
   前記複数の第１スペーサの材料は、前記絶縁層と同じ材料である、押力センサ。
2. 前記複数の個別電極及び前記共通電極との間に配置された感圧層とを、さらに備える請求項１に記載の押力センサ。
3. 前記第２スペーサは、前記個別電極に重畳しない、請求項１又は２に記載の押力センサ。
4. 前記第２スペーサは、前記第１方向に延伸する壁状である、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の押力センサ。
5. 前記第２スペーサは、前記個別電極を囲んで設けられる、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の押力センサ。
6. 前記第２スペーサの一部は、前記個別電極の一部と重畳する、請求項１又は２に記載の押力センサ。
7. 前記個別電極と重畳する第２スペーサは、前記個別電極を覆う、請求項１又は２に記載の押力センサ。
8. 前記複数の第２スペーサは、前記センサ領域内での散在密度が不均一である、請求項１又は２に記載の押力センサ。
9. センサ領域と、
   前記センサ領域に、第１方向及び前記第１方向に交差する第２方向にマトリクス状に配置された、複数の個別電極と、
   前記複数の個別電極に対向する共通電極と、
   前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置され、前記複数の個別電極と重畳する複数の第１スペーサと、
   を備え、
   前記複数の第１スペーサはそれぞれ、スペーサビーズ及び前記スペーサビーズを被覆する硬化樹脂を有する、押力センサ。
10. 前記複数の個別電極及び前記共通電極との間に配置された感圧層とを、さらに備える請求項９に記載の押力センサ。
11. 前記第１スペーサと重畳する前記個別電極は、凹部を有し、
    前記第１スペーサの前記凹部は、前記個別電極に接する、請求項９又は１０に記載の押力センサ。