JP2021100280A - 弾性波装置、分波器および通信装置 - Google Patents
弾性波装置、分波器および通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021100280A JP2021100280A JP2021043553A JP2021043553A JP2021100280A JP 2021100280 A JP2021100280 A JP 2021100280A JP 2021043553 A JP2021043553 A JP 2021043553A JP 2021043553 A JP2021043553 A JP 2021043553A JP 2021100280 A JP2021100280 A JP 2021100280A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrode finger
- elastic wave
- piezoelectric layer
- bus bar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004891 communication Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 25
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 29
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 17
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 5
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000005236 sound signal Effects 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02574—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of combined substrates, multilayered substrates, piezoelectrical layers on not-piezoelectrical substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02228—Guided bulk acoustic wave devices or Lamb wave devices having interdigital transducers situated in parallel planes on either side of a piezoelectric layer
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02062—Details relating to the vibration mode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/1457—Transducers having different finger widths
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/175—Acoustic mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
図1は、弾性波装置1の要部の構成を示す平面図である。図1は後述する共振子の構成を示している。図2は、図1のII−II線における断面図である。
基板3は、直接的には、弾性波装置1の電気的特性に影響しない。従って、基板3の材料および寸法は適宜に設定されてよい。基板3の材料は、例えば、絶縁材料であり、絶縁材料は、例えば、樹脂またはセラミックである。なお、基板3は、圧電層7等に比較して熱膨張係数が低い材料によって構成されていてもよい。この場合、例えば、温度変化によって弾性波装置1の周波数特性が変化してしまう虞を低減することができる。このような材料としては、例えば、シリコン等の半導体、サファイア等の単結晶および酸化アルミニウム質焼結体等のセラミックを挙げることができる。なお、基板3は、互いに異なる材料からなる複数の層が積層されて構成されていてもよい。基板3の厚さは、例えば、圧電層7よりも厚い。
導電層9は、例えば、金属により形成されている。金属は、適宜な種類のものとされてよく、例えば、アルミニウム(Al)またはAlを主成分とする合金(Al合金)である。Al合金は、例えば、Al−銅(Cu)合金である。なお、導電層9は、複数の金属層から構成されていてもよい。また、AlまたはAl合金と、圧電層7との間に、これらの接合性を強化するためのチタン(Ti)からなる比較的薄い層が設けられていてもよい。
1対の櫛歯電極23に電圧が印加されると、複数の電極指27によって圧電層7に電圧が印加され、圧電体である圧電層7が振動する。これにより、D1軸方向に伝搬する弾性波が励振される。弾性波は、複数の電極指27によって反射される。そして、複数の電極指27のピッチpを概ね半波長(λ/2)とする定在波が立つ。定在波によって圧電層7に生じる電気信号は、複数の電極指27によって取り出される。このような原理により、弾性波装置1は、ピッチpを半波長とする弾性波の周波数を共振周波数とする共振子として機能する。なお、λは、通常、波長を示す記号であり、また、実際の弾性波の波長は2pからずれることもあるが、以下でλの記号を用いる場合、特に断りがない限り、λは2pを意味するものとする。
A1モードの弾性波を利用して比較的高い周波数領域(例えば5GHz以上)の共振を実現するためには、多層膜5の材料および厚さ、圧電体層(本実施形態では圧電層7)のオイラー角、材料および厚さ、ならびに導電層9の厚さの組み合わせに条件がある。
材料:LN
厚さ:0.19λ
オイラー角:(0,0,0)
多層膜:
材料:2種(SiO2,Ta2O5)
厚み:SiO2層 0.10λ,Ta2O5層 0.07λ
積層数:8層
導電層:
材料:Al
厚さ:0.06λ
ピッチp:1μm(λ=2μm)
他条件2:LT/0.175λ/SiO2/0.09λ/Ta2O5/0.07λ
他条件3:LT/0.2λ/SiO2/0.1λ/HfO2/0.08λ
なお、他条件2,3のときに、LTのオイラー角は(0°±5°,24°±5°,0°±5°)もしくは(0°±5°,16°±5°,0°±5°)である。
弾性波装置1において、A1モード板波を用いたときには、圧電層7の厚みが20μm程度ある通常の弾性波装置に比べて共振周波数(fr)と反共振周波数(fa)との間のインピーダンス特性が悪い傾向があった。これは圧電層7の厚みが薄くなることにより顕著になる。
次に、オフセット量の範囲を確認した。具体的には、ピッチpに対するオフセット量をピッチp比で0〜10まで変化させたときの周波数特性を測定した。その結果を図11に示す。図11はオフセット量に対する最大位相値の変化の様子を示す線図であり、図11(a)は、圧電層7として、106°Y回転X伝搬のLT基板を用いた場合の結果を示し、図11(b)は、圧電層7として、Z回転Y伝搬のLN基板を用いた場合の結果を示す。
領域R4における電極指27の線幅に対して、拡幅部27Wの線幅を変化させたときの周波数特性を測定した。具体的には、領域R4におけるDutyを0.35〜0.5に、各Dutyにおいて、拡幅部27WにおけるDutyを領域R4におけるDutyの値〜0.75まで変化させて周波数特性を測定した。なお、オフセット量は2pとした。
上述の例では、多層膜5を備える構成を例に説明したが、これらを備えなくてもよい。図14に示す弾性波装置1Aは、凹部3xを備える基板3上に圧電層7を配置したメンブレン状となっている。この場合であっても板波を用いるのであれば、同様の効果を奏することができる。
図14に示す弾性波装置1Aのようにメンブレン形状の弾性波装置において、電極指27の形状を図16に示す実施例4,5,比較例8のようにした。具体的には、実施例4は実施例1と同様の形状であり、実施例5は、実施例4の電極指形状において、領域R3に位置する電極指27の先端部分も幅広部としたものであり、比較例8は、領域R3に位置する電極指27の先端部分のみ幅広部とし、それ以外は領域R4と同等の電極指幅としたものである。
幅広部27Wの太さは、領域R1〜R3で一様であってもよい。この場合には、弾性波の伝搬方向に向かって突き出す突起部を備えないため、電極指同士が短絡する恐れを低減することができる。
図9は、弾性波装置1の利用例としての分波器101の構成を模式的に示す回路図である。この図の紙面左上に示された符号から理解されるように、この図では、櫛歯電極23・反射器21を簡略化して表わされている。
図10は、弾性波装置1(分波器101)の利用例としての通信装置151の要部を示すブロック図である。通信装置151は、電波を利用した無線通信を行うものであり、分波器101を含んでいる。
Claims (10)
- 圧電層と、
前記圧電層上に位置しているIDT電極を含む複数の共振子と、
前記複数の共振子上に位置する保護膜と、
を有しており、
前記IDT電極は、
互いに異なる電位に接続され、互いに間隔を開けて配置された第1バスバーおよび第2バスバーと、
弾性波伝搬方向に沿って交互に配列された、前記第1バスバーに接続され前記第2バスバー側に延びる第1電極指および前記第2バスバーに接続され前記第1バスバー側に延びる第2電極指と、を含み、
前記第1電極指は、前記第1バスバーに接続される部分から、前記第1電極指と前記第2電極指との配列方向でみたときに前記第2電極指の先端と重複する位置までの太さが、前記第1電極指と前記第2電極指との交差領域の中央付近に比べて太くなっている、拡幅部を備え、
前記圧電層の厚さは、前記IDT電極の電極指のピッチをpとしたときに1.5p未満である、弾性波装置。 - A1モードの板波を用いる、請求項1に記載の弾性波装置。
- 圧電層と、
前記圧電層上に位置しているIDT電極を含む複数の共振子と、
前記複数の共振子上に位置する保護膜と、
を有しており、
前記IDT電極は、
互いに異なる電位に接続され、互いに間隔を開けて配置された第1バスバーおよび第2バスバーと、
弾性波伝搬方向に沿って交互に配列された、前記第1バスバーに接続され前記第2バスバー側に延びる第1電極指および前記第2バスバーに接続され前記第1バスバー側に延びる第2電極指と、を含み、
前記第1電極指は、前記第1バスバーに接続される部分から、前記第1電極指と前記第2電極指との配列方向でみたときに前記第2電極指の先端と重複する位置までの太さが、前記第1電極指と前記第2電極指との交差領域の中央付近に比べて太くなっている、拡幅部を備え、
A1モードの板波を用いる、弾性波装置。 - 前記圧電層の厚さは、前記IDT電極の電極指のピッチをpとしたときに、0.6p以下である、
請求項1〜3のいずれかに記載の弾性波装置。 - 前記圧電層は、ニオブ酸リチウム単結晶からなり、そのオイラー角(φ,θ,ψ)が(0±10°,0°±10°,0°〜360°)である、請求項1〜4のいずれかに記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極は、
前記第1バスバーに接続され、前記第2電極指の先端と対向する第1ダミー電極と、
前記第2バスバーに接続され、前記第2電極指の先端と対向する第2ダミー電極と、を備え、前記第1ダミー電極および前記第2ダミー電極は、前記第1電極指と前記第2電極指との交差領域の中央付近の太さに比べて太くなっている、請求項1〜5のいずれかに記載の弾性波装置。 - 前記第1電極指の伸びる方向を第1方向とし、前記第1電極指と前記第2電極指との繰り返し配列方向を第2方向とし、前記IDT電極の電極指のピッチをpとすると、
前記拡幅部は、
前記第2方向に見て前記第2ダミー電極と重なる位置を基準として、前記第1方向の前記第1バスバーと反対側に向けて1.5p以上2.5p以下離れた位置まで太くなっている、請求項6に記載の弾性波装置。 - 基板と、
前記基板上に位置している低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層が交互に積層された多層膜と、を含み、
前記圧電層は前記多層膜上に位置している、請求項1〜7のいずれかに記載の弾性波装置。 - アンテナ端子と、
前記アンテナ端子へ出力される信号をフィルタリングする送信フィルタと、
前記アンテナ端子から入力される信号をフィルタリングする受信フィルタと、
を有しており、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタの少なくとも一方が請求項1〜8いずれかに記載の弾性波装置を含んでいる
分波器。 - アンテナと、
前記アンテナに前記アンテナ端子が接続されている請求項9に記載の分波器と、
前記送信フィルタおよび前記受信フィルタに対して信号経路に関して前記アンテナ端子とは反対側に接続されているICと、
を有している通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018214002 | 2018-11-14 | ||
JP2018214002 | 2018-11-14 | ||
JP2020524650A JP6856820B2 (ja) | 2018-11-14 | 2019-11-13 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020524650A Division JP6856820B2 (ja) | 2018-11-14 | 2019-11-13 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021100280A true JP2021100280A (ja) | 2021-07-01 |
JP7433268B2 JP7433268B2 (ja) | 2024-02-19 |
Family
ID=70732139
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020524650A Active JP6856820B2 (ja) | 2018-11-14 | 2019-11-13 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
JP2021043553A Active JP7433268B2 (ja) | 2018-11-14 | 2021-03-17 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020524650A Active JP6856820B2 (ja) | 2018-11-14 | 2019-11-13 | 弾性波装置、分波器および通信装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US12009800B2 (ja) |
JP (2) | JP6856820B2 (ja) |
CN (1) | CN113169722B (ja) |
WO (1) | WO2020100949A1 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023002823A1 (ja) * | 2021-07-20 | 2023-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023033032A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
WO2023048140A1 (ja) * | 2021-09-21 | 2023-03-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023167034A1 (ja) * | 2022-03-03 | 2023-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、弾性波フィルタ、分波器、および通信装置 |
WO2023171741A1 (ja) * | 2022-03-11 | 2023-09-14 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器、および通信装置 |
WO2024004862A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 京セラ株式会社 | フィルタ装置および通信装置 |
WO2024024778A1 (ja) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 京セラ株式会社 | 弾性波共振子、弾性波フィルタおよび通信装置 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11870423B2 (en) * | 2018-06-15 | 2024-01-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Wide bandwidth temperature-compensated transversely-excited film bulk acoustic resonator |
WO2020116528A1 (ja) * | 2018-12-06 | 2020-06-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7499624B2 (ja) * | 2020-06-30 | 2024-06-14 | NDK SAW devices株式会社 | 弾性表面波素子 |
WO2022014494A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022014496A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
WO2022014495A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022014608A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2022014497A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | フィルタ |
WO2022025147A1 (ja) * | 2020-07-30 | 2022-02-03 | 京セラ株式会社 | 弾性波共振子、弾性波フィルタ、分波器、通信装置 |
WO2022044869A1 (ja) * | 2020-08-27 | 2022-03-03 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JPWO2022045307A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | ||
WO2022210689A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023002790A1 (ja) * | 2021-07-21 | 2023-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023189103A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 日本碍子株式会社 | 複合基板、弾性表面波素子および複合基板の製造方法 |
WO2023243351A1 (ja) * | 2022-06-17 | 2023-12-21 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、および通信装置 |
CN115208349A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-10-18 | 深圳新声半导体有限公司 | 一种声表面波滤波器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009232242A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Fujitsu Ltd | 弾性波素子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
WO2013021948A1 (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2016098526A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
JP2016140110A (ja) * | 2013-10-31 | 2016-08-04 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
WO2017051874A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子および弾性波装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09107259A (ja) * | 1995-10-12 | 1997-04-22 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波素子製造用フォトマスク及び電極パターン |
JP2005159835A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
US8482184B2 (en) | 2008-07-11 | 2013-07-09 | Panasonic Corporation | Plate wave element and electronic equipment using same |
JP5989524B2 (ja) * | 2012-11-30 | 2016-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
WO2014192756A1 (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
EP3235130A1 (en) * | 2014-12-16 | 2017-10-25 | SnapTrack, Inc. | Electroacoustic transducer with improved suppression of unwanted modes |
WO2016208446A1 (ja) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
CN105030381A (zh) * | 2015-07-03 | 2015-11-11 | 江苏奥康尼医疗科技发展有限公司 | 一种人工髋关节臼杯 |
WO2017077892A1 (ja) * | 2015-11-02 | 2017-05-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2017195580A (ja) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
JP6767497B2 (ja) * | 2016-10-28 | 2020-10-14 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
CN110392978B (zh) * | 2017-02-21 | 2023-04-04 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 |
-
2019
- 2019-11-13 US US17/293,828 patent/US12009800B2/en active Active
- 2019-11-13 CN CN201980074986.8A patent/CN113169722B/zh active Active
- 2019-11-13 WO PCT/JP2019/044567 patent/WO2020100949A1/ja active Application Filing
- 2019-11-13 JP JP2020524650A patent/JP6856820B2/ja active Active
-
2021
- 2021-03-17 JP JP2021043553A patent/JP7433268B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009232242A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Fujitsu Ltd | 弾性波素子、フィルタ、通信モジュール、および通信装置 |
WO2013021948A1 (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP2016140110A (ja) * | 2013-10-31 | 2016-08-04 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、フィルタ素子および通信装置 |
WO2016098526A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2017051874A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子および弾性波装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023002823A1 (ja) * | 2021-07-20 | 2023-01-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023033032A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信装置 |
WO2023048140A1 (ja) * | 2021-09-21 | 2023-03-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2023167034A1 (ja) * | 2022-03-03 | 2023-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、弾性波フィルタ、分波器、および通信装置 |
WO2023171741A1 (ja) * | 2022-03-11 | 2023-09-14 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器、および通信装置 |
WO2024004862A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 京セラ株式会社 | フィルタ装置および通信装置 |
WO2024024778A1 (ja) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 京セラ株式会社 | 弾性波共振子、弾性波フィルタおよび通信装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113169722A (zh) | 2021-07-23 |
US12009800B2 (en) | 2024-06-11 |
JP7433268B2 (ja) | 2024-02-19 |
US20220014172A1 (en) | 2022-01-13 |
JP6856820B2 (ja) | 2021-04-14 |
CN113169722B (zh) | 2024-08-23 |
WO2020100949A1 (ja) | 2020-05-22 |
JPWO2020100949A1 (ja) | 2021-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6856820B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP6856825B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
JP7278305B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
US20240030891A1 (en) | Elastic wave element and communication device | |
JP6854891B2 (ja) | 弾性波装置、分波器および通信装置 | |
US20210083644A1 (en) | Acoustic wave device, multiplexer, and communication apparatus | |
JP6994855B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
JP4645957B2 (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
JP2006295311A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波装置 | |
JP2019180064A (ja) | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 | |
WO2021020102A1 (ja) | 弾性波装置及び通信装置 | |
WO2023085210A1 (ja) | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 | |
WO2023210524A1 (ja) | 弾性波素子及び通信装置 | |
JP7037439B2 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
WO2023286705A1 (ja) | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 | |
WO2023033032A1 (ja) | 弾性波素子、分波器および通信装置 | |
WO2023286704A1 (ja) | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 | |
WO2023176814A1 (ja) | ラダー型フィルタ、モジュール及び通信装置 | |
WO2024034528A1 (ja) | 弾性波装置、複合フィルタ及び通信装置 | |
WO2023167221A1 (ja) | 複合基板、弾性波素子、モジュール及び通信装置 | |
JP2007325084A (ja) | 弾性表面波素子片および弾性表面波デバイス | |
CN115769492A (zh) | 弹性波装置以及通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210406 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221101 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230828 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231101 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7433268 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |