JP2021046795A - オイルフリー真空ポンプ及び真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 密閉容器内の真空排気に利用されるオイルフリー真空ポンプにおいて、
オイルフリー真空ポンプのハウジング内に所定のガスを導入するガス導入手段と、ハウジング内に導入されたガスを排出する排出手段とを備え、
ガス導入手段が、ハウジング内に、超臨界状態となったガスまたは臨界圧力以上の圧力までガスを導入するように構成されることを特徴とするオイルフリー真空ポンプ。 - 真空チャンバとその内部を真空排気するオイルフリー真空ポンプとを備え、真空チャンバ内に配置される被成膜物に対して所定の真空処理を施す真空処理装置において、
オイルフリー真空ポンプのハウジング内に所定のガスを導入するガス導入手段と、ハウジング内に導入されたガスを排出する排出手段とを備え、
ガス導入手段が、ハウジング内に、超臨界状態となったガスまたは臨界圧力以上の圧力までガスを導入するように構成されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項2記載の真空処理装置であって、真空チャンバにオイルフリー真空ポンプが複数設けられているものにおいて、
各オイルフリー真空ポンプのハウジングが開閉バルブを介して取り付けられていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項2記載の真空処理装置であって、真空雰囲気の真空チャンバ内で成膜材料を飛散させて被成膜物に対して成膜処理を施すものにおいて、
前記排出手段に連通する回収容器を更に備え、回収容器が、超臨界状態となったガスの温度及び圧力の少なくとも一方を可変する可変手段を備えることを特徴とする真空処理装置。
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