JP2021034654A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[レーザ装置及び各部の構成]
図1は、本実施形態に係るレーザ装置の断面模式図を、図2は、レーザ装置の分解斜視図を、図3は、水冷ジャケットの斜視図を、図4は、半導体レーザモジュールの分解斜視図をそれぞれ示す。なお、図1〜4において、レーザ装置1000及び各部の構造は模式図として例示的に示している。従って、図1〜4において、各部の形状、位置、配置関係、寸法は実際のものとは異なっている。また、図4において、金シート332と金属層333の図示を省略している。
以上説明したように、本実施形態に係るレーザ装置1000は、半導体レーザモジュール300を少なくとも備えている。
なお、本実施形態では、水冷ジャケット100と下部電極ブロック310との間にInシート200が介在するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、金からなるシート材や銀からなるシート材等を用いるようにしてもよい。水冷ジャケット100と下部電極ブロック310との間に介在する金属シート材は、電気伝導性及び放熱性が高い材料を用いるのが好ましい。また、水冷ジャケット100と下部電極ブロック310との間の接触性を向上させる程度に軟らかい材料であることが好ましい。
110 流路
120 水冷ジャケットの上面
200 Inシート(金属シート)
300 半導体レーザモジュール
310 下部電極ブロック
311 第1金属ブロック
312 DBCシート(絶縁シート)
312a 銅層
312b 窒化アルミニウム(絶縁性セラミック)
313 第2金属ブロック
320 サブマウント
330 半導体レーザ素子
345 絶縁板
350 上部電極ブロック
400 絶縁シート
1000 レーザ装置
Claims (6)
- 放熱部品と前記放熱部品の上面に取り付けられた半導体レーザモジュールとを少なくとも備えたレーザ装置であって、
前記半導体レーザモジュールは、
前記放熱部品の上面に取り付けられた下部電極ブロックと、
前記下部電極ブロックに電気的に接続されたサブマウントと、
前記サブマウントに配設され、前記下部電極ブロックに電気的に接続された半導体レーザ素子と、
前記下部電極ブロックとで前記サブマウント及び前記半導体レーザ素子を挟持するように設けられ、前記半導体レーザ素子に電気的に接続される一方、前記下部電極ブロックと電気的に絶縁された上部電極ブロックと、を少なくとも有し、
前記下部電極ブロックは、第1金属ブロックと所定の熱伝導性を有する絶縁シートと第2金属ブロックとがこの順に積層された構造を有していることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1に記載のレーザ装置において、
前記放熱部品の上面と前記下部電極ブロックとの間に金属シートが介在していることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1または2に記載のレーザ装置において、
前記第1金属ブロックの厚さは前記第2金属ブロックの厚さに等しいことを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載のレーザ装置において、
前記放熱部品は、内部に冷媒が流れる流路を有していることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のレーザ装置において、
前記絶縁シートは、絶縁性セラミックが金属層で挟み込まれた積層体であることを特徴とするレーザ装置。 - 請求項5に記載のレーザ装置において、
前記第1金属ブロック及び前記第2金属ブロックを構成する主な材料は銅であり、
前記絶縁シートは、窒化アルミニウムが銅層で挟み込まれた積層体であることを特徴とするレーザ装置。
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